JPH04320349A - ワイヤボンデイング方法及び装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法及び装置Info
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- JPH04320349A JPH04320349A JP3113825A JP11382591A JPH04320349A JP H04320349 A JPH04320349 A JP H04320349A JP 3113825 A JP3113825 A JP 3113825A JP 11382591 A JP11382591 A JP 11382591A JP H04320349 A JPH04320349 A JP H04320349A
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- Japan
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- wire
- linear motor
- clamping
- movable piece
- clamper
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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-
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- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07531—Techniques
- H10W72/07532—Compression bonding, e.g. thermocompression bonding
- H10W72/07533—Ultrasonic bonding, e.g. thermosonic bonding
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンデイング方
法及び装置に係り、特にワイヤクランパの駆動方法及び
駆動装置に関する。
法及び装置に係り、特にワイヤクランパの駆動方法及び
駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤクランパとして、例えば特
開昭５６ー７４４３号公報に示すように、ワイヤをクラ
ンプする一対の固定片と可動片とを電磁石によって開閉
させるものが知られている。かかるワイヤクランパにお
いては、可動片を駆動させるには、ある一定値以上の通
電力を必要とすると共に、ワイヤをクランプした後も一
定のクランプ力を保持させるための通電力を必要とする
。
開昭５６ー７４４３号公報に示すように、ワイヤをクラ
ンプする一対の固定片と可動片とを電磁石によって開閉
させるものが知られている。かかるワイヤクランパにお
いては、可動片を駆動させるには、ある一定値以上の通
電力を必要とすると共に、ワイヤをクランプした後も一
定のクランプ力を保持させるための通電力を必要とする
。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、可動
片の駆動力及びクランプ力を得るために必要なある一定
値の通電力で可動片を作動させてワイヤを固定片に押し
付けている。このため、可動片が早い速度でワイヤに当
たってワイヤをクランプするので、ワイヤにクランプ傷
が付くという問題点があった。
片の駆動力及びクランプ力を得るために必要なある一定
値の通電力で可動片を作動させてワイヤを固定片に押し
付けている。このため、可動片が早い速度でワイヤに当
たってワイヤをクランプするので、ワイヤにクランプ傷
が付くという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、クランプ傷の発生を防止
することができるワイヤボンデイング方法及び装置を提
供することにある。
することができるワイヤボンデイング方法及び装置を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の方法は、ワイヤをクランプする一対の固定片
と可動片とをリニアモータで開閉させるワイヤクランパ
であって、ワイヤクランプ時に、前記リニアモータをク
ランプ方向に通電させた後、通電をオフ又はクランプ開
方向に通電させ、その後再びクランプ方向に通電させて
前記可動片を作動させることを特徴とする。
の本発明の方法は、ワイヤをクランプする一対の固定片
と可動片とをリニアモータで開閉させるワイヤクランパ
であって、ワイヤクランプ時に、前記リニアモータをク
ランプ方向に通電させた後、通電をオフ又はクランプ開
方向に通電させ、その後再びクランプ方向に通電させて
前記可動片を作動させることを特徴とする。
【０００６】上記目的を達成するための本発明の装置は
、ワイヤをクランプする一対の固定片と可動片とを有す
るワイヤクランパと、このワイヤクランパを開閉させる
リニアモータと、このリニアモータを駆動するリニアモ
ータ駆動回路と、ワイヤクランプ時に、前記リニアモー
タをクランプ方向に通電させた後、通電をオフ又はクラ
ンプ開方向に通電させ、その後再びクランプ方向に通電
させる信号を出力する制御回路とを備えたことを特徴と
する。
、ワイヤをクランプする一対の固定片と可動片とを有す
るワイヤクランパと、このワイヤクランパを開閉させる
リニアモータと、このリニアモータを駆動するリニアモ
ータ駆動回路と、ワイヤクランプ時に、前記リニアモー
タをクランプ方向に通電させた後、通電をオフ又はクラ
ンプ開方向に通電させ、その後再びクランプ方向に通電
させる信号を出力する制御回路とを備えたことを特徴と
する。
【０００７】
【作用】リニアモータをクランプ方向に通電させた後、
通電をオフ又はクランプ開方向に通電させると、可動片
はリニアモータによるクランプ方向の通電力で始動し、
その後の通電のオフ又はクランプ開方向の通電によって
可動片の駆動力は弱められ、遅い速度でワイヤに当たる
。その後の再度のクランプ方向の通電によって、可動片
はこの場合における通電力によってワイヤをクランプす
る。即ち、遅い速度でワイヤに当接するので、ワイヤ傷
が防止される。また可動片がワイヤに当接した後の通電
力によってワイヤをクランプするので、適度のクランプ
力が得られる。
通電をオフ又はクランプ開方向に通電させると、可動片
はリニアモータによるクランプ方向の通電力で始動し、
その後の通電のオフ又はクランプ開方向の通電によって
可動片の駆動力は弱められ、遅い速度でワイヤに当たる
。その後の再度のクランプ方向の通電によって、可動片
はこの場合における通電力によってワイヤをクランプす
る。即ち、遅い速度でワイヤに当接するので、ワイヤ傷
が防止される。また可動片がワイヤに当接した後の通電
力によってワイヤをクランプするので、適度のクランプ
力が得られる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明する
。図３は本発明を適用したワイヤボンデイング装置を示
す。架台３０上には、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテーブ
ル３１が搭載されており、ＸＹテーブル３１上には、ボ
ンデイングヘッド３２が固定されている。ボンデイング
ヘッド３２には、リフタアーム３３が上下動可能に設け
られており、リフタアーム３３はモータ３４によって上
下動させられる。リフタアーム３３には、一端にキヤピ
ラリ３５を保持したツールアーム３６と、ワイヤ切断用
クランパ３７を保持したクランパ支持体３８とが固定さ
れている。またボンデイングヘッド３２には、ワイヤ３
９を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ４０を保持する
クランパ支持体４１と、ワイヤ３９が巻回されたスプー
ル４２を保持するスプール支持体４３と、試料４４を検
出するカメラ４５を保持したカメラ支持体４６とが固定
されている。前記ワイヤ３９は、スプール４２よりワイ
ヤ保持用クランパ４０、ワイヤ切断用クランパ３７を通
してキヤピラリ３５に挿通されている。なお、図中、５
０は試料４４を送るフイーダ、５１は試料４４をガイド
するガイドレールである。
。図３は本発明を適用したワイヤボンデイング装置を示
す。架台３０上には、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテーブ
ル３１が搭載されており、ＸＹテーブル３１上には、ボ
ンデイングヘッド３２が固定されている。ボンデイング
ヘッド３２には、リフタアーム３３が上下動可能に設け
られており、リフタアーム３３はモータ３４によって上
下動させられる。リフタアーム３３には、一端にキヤピ
ラリ３５を保持したツールアーム３６と、ワイヤ切断用
クランパ３７を保持したクランパ支持体３８とが固定さ
れている。またボンデイングヘッド３２には、ワイヤ３
９を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ４０を保持する
クランパ支持体４１と、ワイヤ３９が巻回されたスプー
ル４２を保持するスプール支持体４３と、試料４４を検
出するカメラ４５を保持したカメラ支持体４６とが固定
されている。前記ワイヤ３９は、スプール４２よりワイ
ヤ保持用クランパ４０、ワイヤ切断用クランパ３７を通
してキヤピラリ３５に挿通されている。なお、図中、５
０は試料４４を送るフイーダ、５１は試料４４をガイド
するガイドレールである。
【０００９】前記ワイヤ切断用クランパ３７は、図１に
示すように、装置に固定されたクランパ支持体１（図３
には符号３８で示す）には、固定片２を有する固定アー
ム３が固定されている。またクランパ支持体１には支軸
４を介して可動アーム５が回転自在に支承されており、
可動アーム５の一端側には、前記固定片２に対向して可
動片６が固定されている。可動アーム５の他端側にはリ
ニアモータ７の一方のコイル側７ａが固定され、リニア
モータ７の他方のコア側７ｂはクランパ支持体１に固定
されている。また可動アーム５は、可動片６が閉じる方
向（固定片２側の方向）に非常に弱いばね８で付勢され
ている。またクランパ支持体１には可動片６の開放量を
規制するストッパ９が設けられている。前記リニアモー
タ７には、マイクロコンピュータ等からなる制御回路１
０からの信号がリニアモータ駆動回路１１を介して入力
される。
示すように、装置に固定されたクランパ支持体１（図３
には符号３８で示す）には、固定片２を有する固定アー
ム３が固定されている。またクランパ支持体１には支軸
４を介して可動アーム５が回転自在に支承されており、
可動アーム５の一端側には、前記固定片２に対向して可
動片６が固定されている。可動アーム５の他端側にはリ
ニアモータ７の一方のコイル側７ａが固定され、リニア
モータ７の他方のコア側７ｂはクランパ支持体１に固定
されている。また可動アーム５は、可動片６が閉じる方
向（固定片２側の方向）に非常に弱いばね８で付勢され
ている。またクランパ支持体１には可動片６の開放量を
規制するストッパ９が設けられている。前記リニアモー
タ７には、マイクロコンピュータ等からなる制御回路１
０からの信号がリニアモータ駆動回路１１を介して入力
される。
【００１０】そこで、制御回路１０からプラスの電流又
は電圧が出力（クランパ閉方向の出力）されると、リニ
アモータ７のコイル側７ａがコア側７ｂに吸引され、可
動アーム５は支軸４を中心として移動、即ち可動片６が
固定片２側に移動し、ワイヤ１２は固定片２と可動片６
とでクランプされる。この状態より、制御回路１０から
マイナスの電流又は電圧が出力（クランパ開方向の出力
）されると、リニアモータ７のコイル側７ａはコア側７
ｂより離れ、可動片６は固定片２より離れてワイヤクラ
ンパは開となり、ワイヤ１２のクランプは開放される。
は電圧が出力（クランパ閉方向の出力）されると、リニ
アモータ７のコイル側７ａがコア側７ｂに吸引され、可
動アーム５は支軸４を中心として移動、即ち可動片６が
固定片２側に移動し、ワイヤ１２は固定片２と可動片６
とでクランプされる。この状態より、制御回路１０から
マイナスの電流又は電圧が出力（クランパ開方向の出力
）されると、リニアモータ７のコイル側７ａはコア側７
ｂより離れ、可動片６は固定片２より離れてワイヤクラ
ンパは開となり、ワイヤ１２のクランプは開放される。
【００１１】ところで、本実施例においては、制御回路
１０には、図２（ａ）に示すようなタイミングで電流が
リニアモータ７に出力されるようにプログラムが記憶さ
れている。即ち、Ｔ０からＴ３まではクランパ閉動作を
示し、Ｔ３からＴ４まではクランパ開動作を示す。クラ
ンパ閉動作においては、まずＴ１秒（約０．４ｍｓ）間
プラスの電流が印加２０され、その後Ｔ２秒（約１．７
ｍｓ）間だけ電流がオフ２１された後、再びＴ３秒（約
２０ｍｓ）までプラスの電流が印加２２される。
１０には、図２（ａ）に示すようなタイミングで電流が
リニアモータ７に出力されるようにプログラムが記憶さ
れている。即ち、Ｔ０からＴ３まではクランパ閉動作を
示し、Ｔ３からＴ４まではクランパ開動作を示す。クラ
ンパ閉動作においては、まずＴ１秒（約０．４ｍｓ）間
プラスの電流が印加２０され、その後Ｔ２秒（約１．７
ｍｓ）間だけ電流がオフ２１された後、再びＴ３秒（約
２０ｍｓ）までプラスの電流が印加２２される。
【００１２】そこで、まずプラス電流印加２０によって
可動アーム５はクランプ閉方向に駆動される。しかし、
このプラス電流印加２０は、極めて短時間であるので、
可動アーム５が駆動した直後は、ばね８による非常に弱
い付勢力又はプラス電流印加２０の駆動力による惰性で
可動アーム５は動く。即ち、図２（ｂ）に示すように遅
い速度３０で駆動される。従って、可動片６は遅い速度
３０でワイヤ１２を固定片２に押し付けるので、ワイヤ
傷が防止される。そして、その後の再度のプラス電流印
加２２によってワイヤ１２は固定アーム３と可動片６と
によりクランプされる。これにより、ワイヤ１２は適度
のクランプ力でクランプされる。ここで、プラス電流印
加２２の時間は、例えばワイヤ１２を切断する時間、ワ
イヤ１２の先端にボールを形成する時間等を考慮して設
定する。前記したワイヤクランプ状態よりマイナスの電
流を印加２３すると、可動片６は固定片２側より離れ、
ワイヤ１２のクランプは開放される。
可動アーム５はクランプ閉方向に駆動される。しかし、
このプラス電流印加２０は、極めて短時間であるので、
可動アーム５が駆動した直後は、ばね８による非常に弱
い付勢力又はプラス電流印加２０の駆動力による惰性で
可動アーム５は動く。即ち、図２（ｂ）に示すように遅
い速度３０で駆動される。従って、可動片６は遅い速度
３０でワイヤ１２を固定片２に押し付けるので、ワイヤ
傷が防止される。そして、その後の再度のプラス電流印
加２２によってワイヤ１２は固定アーム３と可動片６と
によりクランプされる。これにより、ワイヤ１２は適度
のクランプ力でクランプされる。ここで、プラス電流印
加２２の時間は、例えばワイヤ１２を切断する時間、ワ
イヤ１２の先端にボールを形成する時間等を考慮して設
定する。前記したワイヤクランプ状態よりマイナスの電
流を印加２３すると、可動片６は固定片２側より離れ、
ワイヤ１２のクランプは開放される。
【００１３】なお、上記したプラス電流印加２０、電流
オフ２１の時間は、一例を示したにすぎなく、これに限
定されるものでないことは言うまでもない。また電流の
大きさを変えることにより、速度３０の速さ及びクラン
パ力を変えることができることは勿論である。また前記
実施例においては、電流印加するとして説明したが、電
流と電圧とは一定の関係にあるので、電圧として説明し
ても同様である。また電流オフ２１として説明したが、
この動作においてはマイナスの電流を印加してもよい。 またリニアモータ７のコイル側７ａを可動アーム５に固
定し、コア側７ｂをクランパ支持体１に固定したが、逆
にコイル側７ａをクランパ支持体１に固定し、コア側７
ｂを可動アーム５に固定してもよい。
オフ２１の時間は、一例を示したにすぎなく、これに限
定されるものでないことは言うまでもない。また電流の
大きさを変えることにより、速度３０の速さ及びクラン
パ力を変えることができることは勿論である。また前記
実施例においては、電流印加するとして説明したが、電
流と電圧とは一定の関係にあるので、電圧として説明し
ても同様である。また電流オフ２１として説明したが、
この動作においてはマイナスの電流を印加してもよい。 またリニアモータ７のコイル側７ａを可動アーム５に固
定し、コア側７ｂをクランパ支持体１に固定したが、逆
にコイル側７ａをクランパ支持体１に固定し、コア側７
ｂを可動アーム５に固定してもよい。
【００１４】このように、リニアモータ７をクランプ方
向に通電２０させた後、通電をオフ２１又はクランプ開
方向に通電させると、可動片６はリニアモータ７による
クランプ方向の通電力で始動し、その後の通電のオフ又
はクランプ開方向の通電によって可動片６の駆動力は弱
められ、遅い速度でワイヤ１２に当たる。その後の再度
のクランプ方向の通電２３によって、可動片６はこの場
合における通電力によってワイヤ１２をクランプする。 即ち、遅い速度でワイヤ１２に当接するので、ワイヤ傷
が防止される。また可動片６がワイヤ１２に当接した後
の通電力によってワイヤ１２をクランプするので、適度
のクランプ力が得られる。
向に通電２０させた後、通電をオフ２１又はクランプ開
方向に通電させると、可動片６はリニアモータ７による
クランプ方向の通電力で始動し、その後の通電のオフ又
はクランプ開方向の通電によって可動片６の駆動力は弱
められ、遅い速度でワイヤ１２に当たる。その後の再度
のクランプ方向の通電２３によって、可動片６はこの場
合における通電力によってワイヤ１２をクランプする。 即ち、遅い速度でワイヤ１２に当接するので、ワイヤ傷
が防止される。また可動片６がワイヤ１２に当接した後
の通電力によってワイヤ１２をクランプするので、適度
のクランプ力が得られる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤクランプ時に、
リニアモータをクランプ方向に通電させた後、通電をオ
フ又はクランプ開方向に通電させ、その後再びクランプ
方向に通電させて可動片を作動させるので、ワイヤ傷が
防止されると共に、適度のクランプ力でワイヤをクラン
プする。
リニアモータをクランプ方向に通電させた後、通電をオ
フ又はクランプ開方向に通電させ、その後再びクランプ
方向に通電させて可動片を作動させるので、ワイヤ傷が
防止されると共に、適度のクランプ力でワイヤをクラン
プする。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は印加電流タイミング図で、（ｂ）はク
ランパ動作図である。
ランパ動作図である。
【図３】本発明を適用したワイヤボンデイング装置の側
面図である。
面図である。
２ 固定片
６ 可動片
７ リニアモータ
１０ 制御回路
１１ リニアモータ駆動回路
１２ ワイヤ
２０ プラス電流印加
２１ 電流オフ
２２ プラス電流印加
Claims (2)
- 【請求項１】 第１ボンド点と第２ボンド点にワイヤ
を接続するワイヤボンデイング方法において、ワイヤを
クランプする一対の固定片と可動片とをリニアモータで
開閉させるワイヤクランパを有し、ワイヤクランプ時に
、前記リニアモータをクランプ方向に通電させた後、通
電をオフ又はクランプ開方向に通電させ、その後再びク
ランプ方向に通電させて前記可動片を作動させることを
特徴とするワイヤボンデイング方法。 - 【請求項２】 第１ボンド点と第２ボンド点にワイヤ
を接続するワイヤボンデイング装置において、ワイヤを
クランプする一対の固定片と可動片とを有するワイヤク
ランパと、このワイヤクランパを開閉させるリニアモー
タと、このリニアモータを駆動するリニアモータ駆動回
路と、ワイヤクランプ時に、前記リニアモータをクラン
プ方向に通電させた後、通電をオフ又はクランプ開方向
に通電させ、その後再びクランプ方向に通電させる信号
を出力する制御回路とを備えたことを特徴とするワイヤ
ボンデイング装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113825A JPH04320349A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
| KR1019920006260A KR960002993B1 (ko) | 1991-04-19 | 1992-04-15 | 와이어본딩 방법 및 장치 |
| US07/870,461 US5234155A (en) | 1991-04-19 | 1992-04-16 | Wire bonding method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113825A JPH04320349A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04320349A true JPH04320349A (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=14621993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3113825A Pending JPH04320349A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5234155A (ja) |
| JP (1) | JPH04320349A (ja) |
| KR (1) | KR960002993B1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19538397A1 (de) * | 1995-08-15 | 1997-02-20 | Hesse & Knipps Gmbh | Fadenklammer |
| US6102275A (en) * | 1998-07-10 | 2000-08-15 | Palomar Technologies, Inc. | Bond head having dual axes of motion |
| JP4883017B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2012-02-22 | 株式会社安川電機 | 基板把持装置およびそれを備えた基板搬送ロボット、半導体製造装置 |
| US8540136B1 (en) | 2012-09-06 | 2013-09-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Methods for stud bump formation and apparatus for performing the same |
| US11420287B2 (en) * | 2019-09-29 | 2022-08-23 | Ningbo Shangjin Automation Technology Co., Ltd. | Wire clamping system for fully automatic wire bonding machine |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567443A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| US5037023A (en) * | 1988-11-28 | 1991-08-06 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for wire bonding |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP3113825A patent/JPH04320349A/ja active Pending
-
1992
- 1992-04-15 KR KR1019920006260A patent/KR960002993B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-16 US US07/870,461 patent/US5234155A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960002993B1 (ko) | 1996-03-02 |
| US5234155A (en) | 1993-08-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981110 |