JPH03230539A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
- Publication number
- JPH03230539A JPH03230539A JP2026515A JP2651590A JPH03230539A JP H03230539 A JPH03230539 A JP H03230539A JP 2026515 A JP2026515 A JP 2026515A JP 2651590 A JP2651590 A JP 2651590A JP H03230539 A JPH03230539 A JP H03230539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- linear motor
- lever
- current
- clamp piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体素子と外部電極とをワイヤ（金線、鋼
線など）によって接続するワイヤボンディング装置に関
する。
線など）によって接続するワイヤボンディング装置に関
する。
従来の技術
第２図は従来のワイヤボンディング装置のワイヤクラン
パの構成を示しており、１はワイヤクランパを駆動する
ソレノイド、２は一端に設けたクランプピース３を動作
させるレバー、４はクランプピース３に圧力を与えるば
ね、５はばね４の圧力を調整する圧力調整つまみ、６は
しｔ＜、−２の回動中心である回動軸、７はクランプピ
ース３に挟持された金線、銅線などのワイヤ、８はワイ
ヤ７をクランプピース３へ導くワイヤガイド、９はワイ
ヤ７を半導体素子と外部電極とにボンディングするため
の超音波ホーン、１０はワイヤ７を圧着するキャピラリ
である。
パの構成を示しており、１はワイヤクランパを駆動する
ソレノイド、２は一端に設けたクランプピース３を動作
させるレバー、４はクランプピース３に圧力を与えるば
ね、５はばね４の圧力を調整する圧力調整つまみ、６は
しｔ＜、−２の回動中心である回動軸、７はクランプピ
ース３に挟持された金線、銅線などのワイヤ、８はワイ
ヤ７をクランプピース３へ導くワイヤガイド、９はワイ
ヤ７を半導体素子と外部電極とにボンディングするため
の超音波ホーン、１０はワイヤ７を圧着するキャピラリ
である。
次にその動作について説明する。
クランプピース３は、通電によってソレノイド１が駆動
され、レバー２が回動軸６を中心に動くことによって開
き、閉じるときは通電を断つことで、ソレノイドｌが復
帰し、ばね４の力によってレバー２が回動軸６を中心に
動き閉じるものである。
され、レバー２が回動軸６を中心に動くことによって開
き、閉じるときは通電を断つことで、ソレノイドｌが復
帰し、ばね４の力によってレバー２が回動軸６を中心に
動き閉じるものである。
クランプピース３がワイヤ７を締めつける圧力はばね４
の有する力に依存する。−したがって、ばね４の力が強
いと、クランプピース３はワイヤ７を強く締めっけるた
め、ワイヤ７に傷がつき変形する。この変形を防止する
ためには、ワイヤ７を締めつける圧力をワイヤ７に対し
適正なものとする必要がある。この圧力を調整するのが
、圧力調整つまみ５であり、従来、ワイヤ７の径が変わ
る度に圧力調整っまみ５を調整しはね４の力を可変して
いた。
の有する力に依存する。−したがって、ばね４の力が強
いと、クランプピース３はワイヤ７を強く締めっけるた
め、ワイヤ７に傷がつき変形する。この変形を防止する
ためには、ワイヤ７を締めつける圧力をワイヤ７に対し
適正なものとする必要がある。この圧力を調整するのが
、圧力調整つまみ５であり、従来、ワイヤ７の径が変わ
る度に圧力調整っまみ５を調整しはね４の力を可変して
いた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の構成では、圧力調整つまみ５
ではね４の力を調節し、ワイヤ７を締めつける力を制御
していたため、ワイヤ７の変形を防止し、かつワイヤ７
を締めっける力を適正に制御するためには、ワイヤ７の
線径を変更するたびに圧力調整つまみ５によってはね４
の力を調整しなければならないという課題があった。
ではね４の力を調節し、ワイヤ７を締めつける力を制御
していたため、ワイヤ７の変形を防止し、かつワイヤ７
を締めっける力を適正に制御するためには、ワイヤ７の
線径を変更するたびに圧力調整つまみ５によってはね４
の力を調整しなければならないという課題があった。
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、ワイ
ヤを交換しても挟持圧力の調整を必要としない作業性に
優れたワイヤボンディング装置を提供することを目的と
するものである。
ヤを交換しても挟持圧力の調整を必要としない作業性に
優れたワイヤボンディング装置を提供することを目的と
するものである。
課題を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するために、リニアモータをレ
バーに設け、そのリニアモータへの電流を可変すること
によってワイヤクランパを駆動し、ワイヤのクランプ圧
力を制御するようにしたものである。
バーに設け、そのリニアモータへの電流を可変すること
によってワイヤクランパを駆動し、ワイヤのクランプ圧
力を制御するようにしたものである。
作用
したがって本発明によれば、ワイヤを締めっける力をリ
ニアモータへ供給する電流を可変にすることによって制
御できるためボンディング装置の作業性を向上できる。
ニアモータへ供給する電流を可変にすることによって制
御できるためボンディング装置の作業性を向上できる。
実施例
以下、本発明の実施例について、第１図とともに第２図
における部分と同一部分については同一番号を付して説
明を省略し、相違する点についてのみ説明する。すなわ
ち、本発明においては、従来のソレノイド１に代えてリ
ニアモータ１１を使用し、レバー２を駆動するようにし
たものである。したがって本発明においては従来使用し
ていたばね４と圧力調整つまみ５は不要となる。
における部分と同一部分については同一番号を付して説
明を省略し、相違する点についてのみ説明する。すなわ
ち、本発明においては、従来のソレノイド１に代えてリ
ニアモータ１１を使用し、レバー２を駆動するようにし
たものである。したがって本発明においては従来使用し
ていたばね４と圧力調整つまみ５は不要となる。
リニアモータ１１の特性として、その推力とリニアモー
タ１１に供給する電流との関係は比例関係にあり、また
電流の方向を変えることによってその推力の方向を変え
ることができる。したがってリニアモータ１１へ供給す
る電流の方向と量を変えることによって、ワイヤ７を締
めっける力を制御することができる。
タ１１に供給する電流との関係は比例関係にあり、また
電流の方向を変えることによってその推力の方向を変え
ることができる。したがってリニアモータ１１へ供給す
る電流の方向と量を変えることによって、ワイヤ７を締
めっける力を制御することができる。
次にその動作について説明する。
リニアモータ１１に電流を供給すると、レバー２は回動
軸６を中心に時計方向に回転し、その先端に取り付けら
れたクランプピース３はワイヤ７を挟持する。またリニ
アモータ１１に反、対方向の電流を供給すると、レバー
２は回動軸６を中心に反時計方向に回転し、その先端に
取り付けられたクランプピース３が開き、ワイヤ７を開
放する。
軸６を中心に時計方向に回転し、その先端に取り付けら
れたクランプピース３はワイヤ７を挟持する。またリニ
アモータ１１に反、対方向の電流を供給すると、レバー
２は回動軸６を中心に反時計方向に回転し、その先端に
取り付けられたクランプピース３が開き、ワイヤ７を開
放する。
さらに、使用するワイヤ径に合わせてリニアモータ１１
に供給する電流量を可変し、リニアモータ１１の推力を
制御することによってワイヤ７を適正な圧力で挟持する
ことができる。
に供給する電流量を可変し、リニアモータ１１の推力を
制御することによってワイヤ７を適正な圧力で挟持する
ことができる。
発明の効果
本発明は上記実施例より明らかなように、電流制御によ
ってワイヤの挟持圧力を制御できるようにしたものであ
り、ワイヤ径が変わった場合でも機械的な調整を行う必
要がなく、ワイヤボンディング装置の作業性を向上でき
るという利点を有する。
ってワイヤの挟持圧力を制御できるようにしたものであ
り、ワイヤ径が変わった場合でも機械的な調整を行う必
要がなく、ワイヤボンディング装置の作業性を向上でき
るという利点を有する。
第１図は本発明の一実施例におけるワイヤボンディング
装置のワイヤクランパ部分の斜視図、第２図は従来のワ
イヤボンディング装置のワイヤクランパ部分の斜視図で
ある。 ２・・・・・・レバー ３・・・・・・クランプピース
、７・・・・・・ワイヤ、９・・・・・・超音波ホーン
、１０・・・・・・キャピラリ、１１・・・・・・リニ
アモータ。
装置のワイヤクランパ部分の斜視図、第２図は従来のワ
イヤボンディング装置のワイヤクランパ部分の斜視図で
ある。 ２・・・・・・レバー ３・・・・・・クランプピース
、７・・・・・・ワイヤ、９・・・・・・超音波ホーン
、１０・・・・・・キャピラリ、１１・・・・・・リニ
アモータ。
Claims (1)
- レバーの一端に設けたクランプピースと超音波ホーンに
設けたキャピラリを通してワイヤを送給し、そのワイヤ
を半導体素子等の電極に圧着するワイヤボンディング装
置において、前記レバーの駆動にリニアモータを用い、
そのリニアモータに供給する電流の方向と電流量を制御
することにより前記クランプピースによるワイヤの保持
の開閉および締結力を調整可能としたワイヤボンディン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2026515A JPH03230539A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2026515A JPH03230539A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03230539A true JPH03230539A (ja) | 1991-10-14 |
Family
ID=12195615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026515A Pending JPH03230539A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03230539A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5277355A (en) * | 1992-11-25 | 1994-01-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Self-aligning fine wire clamp |
| WO2016208345A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 把持装置及び把持方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5988841A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-22 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
| JPS63136536A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-08 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング方法 |
| JPH01261836A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤボンディング装置 |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP2026515A patent/JPH03230539A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5988841A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-22 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
| JPS63136536A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-08 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング方法 |
| JPH01261836A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤボンディング装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5277355A (en) * | 1992-11-25 | 1994-01-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Self-aligning fine wire clamp |
| WO2016208345A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 把持装置及び把持方法 |
| KR20170063867A (ko) * | 2015-06-23 | 2017-06-08 | 닛또꾸 엔지니어링 가부시키가이샤 | 파지 장치 및 파지 방법 |
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