JPH0459145U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459145U JPH0459145U JP10104590U JP10104590U JPH0459145U JP H0459145 U JPH0459145 U JP H0459145U JP 10104590 U JP10104590 U JP 10104590U JP 10104590 U JP10104590 U JP 10104590U JP H0459145 U JPH0459145 U JP H0459145U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection conductor
- mounting base
- slit
- fixed
- contact point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａは本考案によるプローブヘツドの調整
機構の一実施例を示す側面図、第１図ｂは同平面
図、第２図ａ，ｂは、本考案の変形例を示す側面
図及び平面図、第３図は本考案のさらに他の変形
例を示す側面図、第４図ａ，ｂは従来のプローブ
ヘツドの一構成例を示す平面図及び側面図である
。 １ａ……第１の検出用導体、１ｂ……第２の検
出用導体、３……第１の接点、４……第２の接点
、７……スリツト、８……調整ネジ、Ｗ……被測
定物（半導体ウエーハ）。
機構の一実施例を示す側面図、第１図ｂは同平面
図、第２図ａ，ｂは、本考案の変形例を示す側面
図及び平面図、第３図は本考案のさらに他の変形
例を示す側面図、第４図ａ，ｂは従来のプローブ
ヘツドの一構成例を示す平面図及び側面図である
。 １ａ……第１の検出用導体、１ｂ……第２の検
出用導体、３……第１の接点、４……第２の接点
、７……スリツト、８……調整ネジ、Ｗ……被測
定物（半導体ウエーハ）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁材料からなり移動方向と直交する水平方向
にスリツト７が形成された取付台５と、 該取付台のスリツト間隔を調整する調整ネジ８
と、 被測定物Ｗと接離する第１の接点３を有し、前
記取付台のスリツトの一方側に固定された第１の
検出用導体１ａと、 前記被測定物の鉛直方向に前記第１の検出用導
体と並び、かつ前記取付台のスリツトの他方側に
固定された第２の検出用導体１ｂと、 前記第１の検出用導体あるいは第２の検出用導
体の何れかに設けられた第２の接点４と、 を備えたことを特徴とするプローブヘツドの調整
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10104590U JPH0459145U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10104590U JPH0459145U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459145U true JPH0459145U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31844170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10104590U Pending JPH0459145U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459145U (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5098282A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-08-05 | ||
| JPS6141971A (ja) * | 1984-08-03 | 1986-02-28 | Nec Corp | 針圧測定機能付プロ−ブ |
| JPS63152141A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-24 | Nec Corp | プロ−ブカ−ド |
| JPH02663B2 (ja) * | 1982-09-22 | 1990-01-09 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP10104590U patent/JPH0459145U/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5098282A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-08-05 | ||
| JPH02663B2 (ja) * | 1982-09-22 | 1990-01-09 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp | |
| JPS6141971A (ja) * | 1984-08-03 | 1986-02-28 | Nec Corp | 針圧測定機能付プロ−ブ |
| JPS63152141A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-24 | Nec Corp | プロ−ブカ−ド |