JPH0467681B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はVTR、フロツピーデイスク装置等の
磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘツドの製造
方法に関する。

〔従来の技術〕

第６図はVTRに用いられるフエライト磁気ヘ
ツドを示し、一対のコア半体４１，４２がSiO₂
のギヤツプ部４０を介して接合され、中央部には
巻線窓５が開設されている。又トラツク幅はガラ
ス製のトラツク幅規制部７，７によつて規定され
ている。

上記磁気ヘツドは従来より第２図乃至第５図に
示す工程を経て製造されている。

(a) 溝形成工程（第２図、第３図） Mn−Znフエライトよりなるウエハ１の表面
に超鏡面研摩を施して接合面１０を形成した
後、該接合面１０に多数条のトラツク幅規制溝
７０を砥石車によつて凹設すると共に、該溝７
０に直交する方向に多数条の接合溝６０及び巻
線溝５０を砥石車によつて凹設する（第２図）。

但し、従来は上記各溝５０，６０，７０を加
工する順序としてはトラツク幅規制溝７０を開
設した後、接合溝６０及び巻線溝５０を形成し
ていた。

又、上記ウエハ１と一対となるMn−Znフエ
ライト製のウエハ２に対しても同様に接合面２
０を形成した後、該接合面２０に多数条のトラ
ツク幅規制溝７０を凹設する（第３図）。

(b) 接合工程（第４図） 前記一対のウエハ１，２を、所定厚さに形成
されたSiO₂のギヤツプ層（図示省略）を介し
て互いに突き合わせる。接合溝６０にはガラス
棒８を挿入し、加熱処理を施す。これによつて
ガラス棒８が溶融し、接合溝６０及び接合面２
０に融着して両ウエハ１，２が互いに接合固定
されるのである。この際、トラツク幅規制溝７
０，７０にも溶融ガラスが流入し、トラツク幅
規制部７を形成する。

(c) 加工工程（第５図） 第４図に示すブロツクを鎖線Ａにて切断し、
テープ対接面を形成する為の研摩を施すことに
より、第５図に示す如きブロツク片３を製作す
る。

最後に前記ブロツク片３を破線Ｂに沿つてス
ライスし、第６図に示す磁気ヘツド４を完成す
る。

尚、図示した例に於ては一対のウエハ１，２か
ら２本のブロツク片３が得られ、該ブロツク片３
からは２個の磁気ヘツド４が形成されているが、
実際の製造工程に於ては更に多数のブロツク片３
及び磁気ヘツド４を得るべく、大形のウエハ１，
２に溝加工が施されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第２図及び第３図に示す溝形成工程に於て、ト
ラツク幅規制溝７０の加工誤差はそのまま第６図
に示すトラツク幅ｗの誤差となり、又巻線溝５０
の加工誤差はそのままギヤツプ部の初期寸法ｇの
誤差となつて、研摩仕上げ後の磁気ヘツドのギヤ
ツプ深さに大きな影響を及ぼす。従つて砥石車に
よる溝加工には極めて高い精度が要求される。

ところが従来は所期の精度を得ることが困難
で、歩留りが悪い問題があつた。

そこで出願人は該問題について考察し、下記の
如くいくつかの原因を明らかにした。

(1) 砥石車の回転面と、砥石車のウエハに対する
相対的な送り方向とを厳密に同一平面上に設定
することは現実には不可能であつて、両者の僅
かな設定誤差（以下単に砥石車の設定誤差とい
う）に基づいて、回転中の砥石車には回転面に
垂直な方向にも研削抵抗が作用し、これによつ
て砥石車は僅かに変形し、ウエハに対して蛇行
することになる。

この結果、加工された溝にうねりが生じ、該
うねり量が加工誤差となるのである。

(2) 又、上記砥石車の設定誤差に基づいて、ウエ
ハの被研削面には偏荷重が作用し、該偏荷重に
基づいて被研削面に欠けが生じることがある。
この欠けの発生が、前記うねりによる加工誤差
に加えて溝加工の精度を低下させているものと
考えられる。

尚、砥石車の研削量即ち砥石車のウエハに対
する相対的な送り速度及び切込み量を極端に小
さくすると、上記加工誤差は減少するが、全て
の溝加工をこの方法で行なうことは生産能率の
点で問題がある。

〔問題点を解決する為の手段〕

本発明は上記問題を解決するべく、第１図ａ〜
ｄ及び第７図に示す如く、溝形成工程にて接合溝
６０と、巻線溝５０のギヤツプ深さを規定する溝
上半部ｂを除く溝下半部ａとを形成した後、トラ
ツク幅規制溝７０を形成するものである。

〔作用〕

ウエハ１の接合面１０に、接合溝６０と巻線溝
５０の溝下半部ａとを砥石車によつて凹設する際
には、従来と同様に砥石車の設定誤差による加工
誤差が生じる。しかし、接合溝６０は単に両ウエ
ハ１，２を接合する為に用いられる溝にすぎない
から、高い寸法精度は不要である。又巻線溝５０
の溝下半部ａは専ら巻線を施す為に用いられ、第
６図に示すギヤツプ部４０の深さ方向の端部、即
ちギヤツプ深さを規定するのは溝上半部ｂである
から、該溝下半部ａには高い寸法精度は不要であ
る。

トラツク幅規制溝７０を砥石車によつて凹設す
る際、接合溝６０及び少なくとも巻線溝５０の溝
下半部ａは既に形成されているから、砥石車はウ
エハ１に対して断続的に研削を施すこととなる。

砥石車に設定誤差があると、砥石車には回転面
に垂直な方向の研削抵抗が作用するが、接合溝開
設時と略同じ研削速度（μm／gec）及び切り込み
量（μm）であつても、砥石車の単位時間当りの
研削量（μm³／sec）は少ないから、前記研削抵
抗は小さくなる。従つて、回転中の砥石車の変形
も小さく、ウエハに対する蛇行、即ち溝のうねり
量は軽微なものとなる。

又、砥石車が既に開設済みの溝に挾まれた山部
を研削する際に生じる僅かな変形は、砥石車が該
山部から前記溝に抜け出た際にある程度弾性復帰
して小さくなる。

この結果、砥石車の蛇行が軽減されるばかりで
なく、ウエハの被研削面に対する偏荷重も小さく
なり、欠けの発生は著しく減少する。

巻線溝５０の溝上半部ｂは、溝下半部ａの研削
の直後、或はトラツク幅規制溝７０の開設後、砥
石車によつて加工が施される。前者の場合は、溝
下半部ａの領域を出来るだけ大きくして（例えば
溝全体の90％）、溝上半部ｂの研削量を少なくす
ることにより、砥石車の設定誤差に基づくうねり
及び欠けの発生を阻止することが可能である。

又、後者の場合は、トラツク幅規制溝７０が既
に開設されているから、該溝７０を形成したとき
と同様の作用効果が得られる。

〔発明の効果〕

溝形成工程に於て前記の如き加工方法を採るこ
とにより、砥石車に多少の設定誤差があつても、
研削後の溝の少なくとも高精度が要求される部分
には大きなうねり及び欠けが生じることはない。
従つて、極めて高い精度を有する磁気ヘツドを能
率的に製造することができる。

〔実施例〕

第１図乃至第５図は、本発明に係る磁気ヘツド
製造方法の一実施例を示し、第１乃至第３図に示
す溝形成工程を除いて、第４図の接合工程及び第
５図の加工工程は従来と同じである。

第１図ａ〜ｄは一方のウエハ１に対し、接合溝
６０、巻線溝５０及びトラツク幅規制溝７０を形
成する順序を示している。

先ずMn−Znフエライト単結晶のインゴツトを
切断して一対のウエハ１，２を作製し、夫々の表
面に超鏡面研摩を施して接合面１０，２０を形成
する（第１図ａ）。

一方のウエハ１の接合面１０に対し、形成すべ
き溝に応じた形状の砥石車を用いて、多数条の接
合溝６０及び巻線溝５０の溝下半部ａを開設す
る。該溝下半部ａは、所定の溝幅ｈに仕上げるべ
き台形状巻線溝５０のギヤツプ部側（図中左側）
の溝上半部ｂを除いて、該溝幅ｈよりも僅かな寸
法ｄだけ狭い溝幅ｅに開設される（第１図ｂ）。

次に、トラツク幅規制溝７０が所定の寸法に開
設される。この際、既に接合溝６０及び巻線溝５
０の大部分が開設されているから、砥石車の設定
誤差に基づくうねり及び欠けは許容できる範囲内
に収まる（第１図ｃ）。

最後に巻線溝５０の溝上半部ｂが加工される。
この際、砥石車の回転軸方向の切り込み量は僅か
な寸法ｄであるので、加工誤差は微小である。こ
れによつて所定の溝幅ｈの巻線溝５０が形成さ
れ、テープ対接面の仕上げ研摩前の初期ギヤツプ
深さｇは高精度に仕上げられる（第１図ｄ）。

尚、巻線溝５０の溝上半部ｂは、溝下半部ａに
引き続いて加工を施しても可いのは前述のとおり
である。

上記一連の加工によつて第２図に示す溝付きウ
エハ１が得られる。又、他方のウエハ２には、ト
ラツク幅規制溝７０が比較的低い研摩速度にて開
設され、これによつて加工精度の向上が図られ
る。

以下、第４図及び第５図に示す工程を経て、第
６図に示す磁気ヘツドが完成されるのである。

尚、巻線溝５０は第７図及び第８図に示す如く
断面を段付きの台形状に形成することも可能であ
る。この場合、先ず鎖線５１で示す溝幅ｅなる溝
下半部ａが開設され、次に該下半部ａよりも深さ
の浅い溝上半部ｂが開設される。これによつて溝
上半部開設時の研削量が減少し、高精度な初期ギ
ヤツプ深さｇが得られるのである。

又、第３図に示すウエハ２のトラツク幅規制溝
７０を比較的速い研削速度にて高精度に形成する
べく、該ウエハ２に対しても他方のウエハ１と同
様に、先ず接合溝６１及び巻線溝５２を開設し、
その後トラツク幅規制溝７０を開設して、第９図
に示す如き磁気ヘツドブロツク片を形成すること
も可能である。この際、これらの溝６１，５２を
高精度に仕上げる必要はない。

本発明の実施により、溝の加工誤差が従来より
も数ミクロン減少することが確められている。

【図面の簡単な説明】

第１図は一連の溝形成工程を示すウエハの側面
図、第２図及び第３図は夫々溝が形成された一対
のウエハの斜面図、第４図は接合されたウエハの
側面図、第５図は磁気ヘツドブロツク片の斜面
図、第６図は磁気ヘツドの斜面図、第７図は他の
実施例に於ける溝の形状を示す拡大部分側面図、
第８図及び第９図は夫々の他の実施例におけるブ
ロツク片の側面図である。 １，２……ウエハ、５０……巻線溝、６０……
接合溝、７０……トラツク幅規制溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 磁性材料からなる一対のウエハ１，２の対向
   面に夫々研摩を施して接合面１０，２０を形成し
   た後、両接合面１０，２０に夫々多数条のトラツ
   ク幅規制溝７０，７０を凹設すると共に、少なく
   とも一方のウエハ１にはトラツク幅規制溝７０に
   略直交して伸びる多数条の接合溝６０と巻線溝５
   ０とを併設する溝形成工程と、上記ウエハ１，２
   を所定厚さのギヤツプ層を介して互いに接合面１
   ０，２０にて突き合わせると共に、接合溝６０に
   は接合剤、トラツク幅規制溝７０には非磁性体を
   充填、融着せしめて一体のブロツクを形成する接
   合工程と、該ブロツクを接合溝６０に沿つて切断
   して磁気ブロツク片を形成し、該ブロツク片をギ
   ヤツプ部４０毎にスライスして夫々ギヤツプ部４
   ０及び巻線窓５を具える多数の磁気ヘツドを完成
   する加工工程とからなる磁気ヘツドの製造工程に
   於て、前記溝形成工程にて接合溝６０と、巻線溝
   ５０のギヤツプ深さを規定する溝上半部ｂを除く
   溝下半部ａとを形成した後、トラツク幅規制溝７
   ０及び巻線溝５０の溝上半部ｂを形成することを
   特徴とする磁気ヘツドの製造方法。 ２ 巻線溝５０の溝上半部ｂは、溝下半部ａより
   も浅く形成される特許請求の範囲第１項に記載の
   方法。 ３ 他方のウエハ２は、前記ウエハ１の巻線溝５
   ０及び接合溝６０に対応して、巻線溝５２及び接
   合溝６１を施し、しかる後にこれ等の溝５２，６
   １と交叉してトラツク幅規制溝７０を形成する特
   許請求の範囲第１項又は第２項に記載の方法。 ４ 接合剤及び非磁性体は共に溶融ガラスである
   特許請求の範囲第１項乃至第３項の何れかに記載
   の製造方法。