JPH0470953B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、板状基板の複数面に薄い均一な樹脂
膜を同時に形成するようにした樹脂膜形成装置に
関するものである。

従来例の構成とその問題点 近年、半導体素子の発展は目ざましいものがあ
り、その半導体素子製造の過程で感光性樹脂膜等
の均一で薄い樹脂膜を基板表面に形成することの
必要性から、樹脂膜を形成する装置の開発が活発
に行われてきている。

以下に従来の樹脂膜形成装置について説明す
る。

第１図は従来の樹脂形成装置の原理を示す斜視
図である。

第１図において、１は試料台、２は回転駆動モ
ータで、回転駆動モータ２により試料台１を回転
させている。上記試料台１上には基板３の樹脂膜
を形成したい面３ａが回転軸心に対して直角方向
になるよう基板３が真空吸着（特に図示していな
い。）などの方法で取付固定されている。そして、
基板３の表面３ａに液状の感光性樹脂などを適量
たらした後、回転駆動モータ２で試料台１および
基板３を回転させると基板３の表面３ａに薄い樹
脂膜が形成される。この樹脂膜の厚さは、試料台
１の回転数あるいは液状の樹脂の粘度を選ぶこと
により任意に決めることができる。

しかしながら、上記のような構成では、基板３
の表面３ａの周囲に数ミリメートルの範囲で厚み
の厚い部分が生じたり、また表面３ａと同時にそ
れと反対側の面あるいは側面３ｂに表面３ａと同
じような樹脂膜を形成することはできないという
問題を有していた。したがつて、従来の樹脂膜形
成方法では感光性の樹脂膜を利用してフオトエツ
チングを行う方法でもつて表面３ａと側面３ｂと
を連続的に結ぶ微細なパターンを形成することも
できないという問題点を有していた。

発明の目的 本発明は上記のような従来の問題点を解消する
もので、基板の複数面に同時にほぼ均一な樹脂膜
を形成することのできる樹脂膜形成装置を提供す
ることを目的とする。

発明の構成 この目的を達成するために本発明は、断面が略
長方形の板状基板を回転主軸に対して所定距離離
して、この板状基板の長手方向を回転主軸と平行
となるよう長手方向の両端で固定保持する取付手
段を有し、この取付手段と板状基板を回転主軸を
中心として公転させる駆動手段を構成すること
で、板状基板の端面部とそれを挟む両側面の不連
続な複数の面に同時にほぼ均一な樹脂膜を形成す
ることを可能としたものである。

実施例の説明 以下、本発明の一実施例について図面を参照し
ながら説明する。

第２図は本発明の一実施例における樹脂膜形成
装置の側面図（斜線部は断面している。）を示す
ものである。第２図において、４は樹脂膜を形成
する板状基板、５は回転バランスを取るために設
けた補助基板である。６は回転下テーブル、７は
板状基板４、補助基板５を回転下テーブル６と回
転上テーブル９に取付けるための基板保持具、８
は回転力を与えたときに板状基板４、補助基板５
が基板保持具７から飛び出さないようにする取付
ねじ、１０は回転主軸である。

基板保持具７は第３図に示すように板状基板
４、補助基板５を挿入する凹部７ａを設け、フラ
ンジ部７ｂで回転下テーブル６、回転上テーブル
９にそれぞれ取付けている。また、取付ねじ８は
フランジ部８ａを設け、板状基板４、補助基板５
が回転力により飛び出すのを防止するよう構成し
ている。さらに、回転上テーブル９は上述したよ
うに回転主軸１０によつて回転下テーブル６と一
体的に連結され、回転下テーブル６側の基板保持
具７取付位置と対応する位置に回転上テーブル９
側の基板保持具７を設けている。すなわち、この
基板保持具７は回転上テーブル９と回転下テーブ
ル６の両端にそれぞれ設けて、板状基板４、補助
基板５の長手方向の両端部を保持するよう構成し
ている。前記回転主軸１０の上端部１０ａは回転
可能に支板１１に軸受１２を介して保持されてい
る。以上のようにして基板取付手段１３を構成し
ている。

第４図は基板取付手段１３への板状基板４の取
付状態の示すもので、基板保持具７の凹部７ａに
板状基板４の下端部が入り、取付ねじ８のフラン
ジ部８ａで板状基板４を係止している。また、回
転下テーブル６は回転駆動手段であるモータ１４
のモータ軸１４ａに連結されており、前記モータ
１４により基板取付手段１３を回転させる構成と
なつている。このモータ１４は基台１５に固定さ
れている。１６は前記支板１１を基台１５に固定
するための支持棒である。１７はモータ１４およ
びその駆動回路（特に図示していない。）等を保
護する保護カバー、１８は板状基板４に樹脂を塗
布するように基板取付手段１３を回転させたとき
に余分な樹脂が飛散するのを受ける円筒状をした
樹脂受カバーで、装置に着脱可能に設けられてい
る。

第５図は板状基板４の回転に対する基板取付手
段１３への取付状態を説明する図である。すなわ
ち、板状基板４は、回転軸心Ｐと板状基板４の中
心Ｑとの間に回転半径ｌを持たせ、さらに板状基
板４の巾広面４ａ，４ｂが回転軸心Ｐと板状基板
４の中心Ｑとを結ぶ線に対して傾きθを持たせて
前記基板取付手段１３に取付けられている。ま
た、板状基板４の巾広面４ａ，４ｂとそれを連絡
する幅の狭い面４ｃ，４ｄは、第５図および第２
に示すように回転軸心方向に延在させるように構
成している。

なお従来の場合は第１図であきらかなように、
樹脂膜を形成したい面を回転軸心に対して直角な
方向に延在させている。

次に、板状基板４に樹脂膜を形成する場合の操
作について説明する。

板状基板４を基板取付手段１３に前述したよう
に取付け、板状基板４の樹脂膜を形成したい４
ａ，４ｂ，４ｃ面（４ｄ面に形成してもよい。）
に樹脂を、手作業あるいは機械的にスプレー、デ
イスペンサー等（図示していない）により塗布
し、第５図に示すように前記回転駆動手段により
板状基板４を矢印の方向に所定の回転数で回転さ
せると、板状基板４の４ａ，４ｂ，４ｃ面にそれ
ぞれ必要な樹脂膜を形成することができる。第６
図は板状基板４を示す斜視図で、面と面との角に
面取りＲを構成している。このように面と面との
間にＲを構成することにより、面取り部も含めて
均一な樹脂膜を形成することができる。そして面
取りは直線よりも一定の曲率を有するように構成
するほど、樹脂膜を良好に面と面を接続するよう
形成することができる。

第７図は前記樹脂膜形成装置を用いて板状基板
４に樹脂膜を形成したときの樹脂膜の厚さとｔと
θとの関係を示す線図で、板状基板４の４ａ面を
三角、４ｂ面を四角、４ｃ面を黒丸で示してい
る。

なおこの場合は回転方向を第５図に示すように
反時計方向とし、回転軸心Ｐと板状基板４の中心
Ｑとを結ぶ線に対する巾広面４ａ，４ｂの成す角
θを反時計方向に変化させた場合である。

ここで、用いた板状基板４の形状は第８図に示
すように板厚Ｔが３mm、基板巾Ｗが16mm、基板長
さＨが140mm、４ａ面と４ｃ面および４ｃ面と４
ｂ面との角に曲率0.2〜0.5mmの面取りを施したも
のである。また、樹脂膜形成装置の条件は、回転
数が2000rpm、回転半径ｌを60mmに設定し、樹脂
は感光性樹脂で粘度が35cpである。第７図から
わかるように４ａ面と４ｃ面に同等の厚さで樹脂
膜を形成する場合には、θを5°あるいは35°〜50°
付近に設定し、４ｂ面の４ｃ面に同等の厚さを形
成する場合には、10°〜20°の付近に設定すれば良
いことがわかる。また、θが30°〜50°の付近で
は、４ａ，４ｂ，４ｃ面間に一定の安定した状態
があり、４ａ面、４ｂ面と４ｃ面との間に厚みの
差が許容されれば、これらの３面に同時に樹脂膜
を形成することもできる。

第９図は板状基板４、樹脂は前記と同様の条件
で、樹脂膜形成装置の回転半径を60mm、θを45°
とした条件で回転数を変化させて樹脂膜を形成し
た場合の回転数と樹脂膜ｔとの関係を示す線図で
ある。第９図からわかるように、回転数が大きく
なるに従つて樹脂膜の厚さｔは薄くなる傾向にあ
るが、ほぼ1500rpm以上でほぼ一定の厚みを得る
ことができることがわかる。なお角度θを反時計
方向とした場合においては0°＜θ≦60°でもつて
ほぼ良好に複数面に樹脂膜を形成することができ
た。以上のように樹脂膜形成条件と樹脂膜形成状
態について述べたが、樹脂膜の形成状態は、樹脂
膜を形成する条件、すなわち回転半径ｌ、角度
θ、回転数、あるいは樹脂材料、樹脂の粘度等に
より変化するので、これらの条件を選択して必要
な樹脂膜を形成することができる。

第７図において、４ｂ面と４ｃ面との関係でθ
が40°以下では、４ｂ面の方が薄く形成されるが、
第５図に示したように回転軸心Ｐと板状基板４の
中心Ｑとを結ぶ線と板状基板４の巾広面４ａ，４
ｂとのなす角θを時計方向にすることにより、逆
に４ｂ面の方が厚く形成することもできる。（但
し、基板取付手段の回転方向は第５図矢印で示す
ように反時計方向の場合。）この時のθは、0°＜
θ≦45°でもつて良好に樹脂膜を形成することが
できた。

以上のように本実施例によれば、板状基板の樹
脂膜形成面を回転軸心方向に延在させると共に所
定の回転半径を持たせて板状基板を基板取付手段
に取付け回転させることにより、板状基板の複数
面に同時に略々均一な樹脂膜を形成することがで
きるものである。

なお、前記実施例では板状基板を１枚しか取付
けていないが、基板保持具を円周上に複数個設け
て、同時に複数枚に樹脂膜を形成するように基板
取付手段を構成してもよい。

また、前記実施例では板状基板の樹脂膜形成面
を上下方向に延在させたが、左右方向に延在する
より基板取付手段を横向きに構成しても良いこと
は言うまでもない。

発明の効果 本発明の樹脂膜形成装置は、断面が略長方形状
の板状基板のような複数の不連続な面を有する基
板に対しても、端面部と両側面部およびそれぞれ
の面の境界部を含めてほぼ均一な膜厚で樹脂膜を
形成することができ、端面部から側面部にかけて
連続的な配線パターンを必要とする電子部品等の
分野でその実用的効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の樹脂膜形成装置の原理を示す斜
視図、第２図は本発明による樹脂膜形成装置の一
実施例を示す一部を断面でみた側面図、第３図は
同装置を説明するための基板保持具と取付ねじを
示す斜視図、第４図は同じく基板取付状態を示す
要部斜視図、第５図は同じく基板取付状態を説明
する図、第６図は同じく板状基板を示す斜視図、
第７図は同じく角度θと樹脂膜の厚さｔとの関係
を示す線図、第８図は同じく板状基板の形状を示
す斜視図、第９図は同じく回転数と樹脂膜の厚さ
ｔとの関係を示す線図である。 ４……板状基板、４ａ，４ｂ，４ｃ……樹脂膜
形成面、６……回転下テーブル、７……基板保持
具、８……取付ねじ、９……回転上テーブル、１
０……連結棒、１３……基板取付手段、１４……
回転駆動手段、Ｐ……回転軸心、ｌ……回転半
径、θ……角度。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 断面が略長方形の板状基板４を回転主軸１０
   に対して所定の回転半径ｌを与えかつ板状基板の
   長手方向が回転主軸１０と平行となるよう板状基
   板の長手方向の両端で固定する基板取付手段１３
   と、この基板取付手段およびこの基板取付手段に
   固定された板状基板を回転主軸を中心として所定
   の回転速度で回転させる回転駆動手段１４とを備
   えたことを特徴とする樹脂膜形成装置。 ２ 基板取付手段の回転方向を反時計方向とした
   とき、回転軸中心と板状基板の中心とを結ぶ線と
   前記板状基板の樹脂膜を形成する幅広面とのなす
   角θを、反時計方向でかつ0°＜θ≦60°とするよ
   う前記基板取付手段を構成したことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の樹脂膜形成装置。 ３ 基板取付手段の回転方向を反時計方向とした
   とき、回転軸中心と板状基板の中心とを結ぶ線と
   前記板状基板の樹脂膜を形成する幅広面とのなす
   角θを、時計方向でかつ0°＜θ≦45°とするよう
   前記基板取付手段を構成したことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の樹脂膜形成装置。