JPH0477739A - ペリクルの製造方法 - Google Patents
ペリクルの製造方法Info
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- JPH0477739A JPH0477739A JP2191245A JP19124590A JPH0477739A JP H0477739 A JPH0477739 A JP H0477739A JP 2191245 A JP2191245 A JP 2191245A JP 19124590 A JP19124590 A JP 19124590A JP H0477739 A JPH0477739 A JP H0477739A
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ペリクルの製造法に関するものであり、詳し
くは製造工程において支持枠の外側にはみ出している部
分の薄膜を切り除いた後の支持枠端面より飛散の恐れの
ある残留した薄膜片を溶解し支持枠端をなめらかに仕上
げる製造方法に関する。
くは製造工程において支持枠の外側にはみ出している部
分の薄膜を切り除いた後の支持枠端面より飛散の恐れの
ある残留した薄膜片を溶解し支持枠端をなめらかに仕上
げる製造方法に関する。
（従来技術）
ペリクルは、高集積半導体製造においてウニ／λ−の回
路パターンを焼き付けを行なう露光工程で使用されるマ
スク及びレチクルのパターン面に異物が付着するのを防
止するために、マスクに装着されるものである。
路パターンを焼き付けを行なう露光工程で使用されるマ
スク及びレチクルのパターン面に異物が付着するのを防
止するために、マスクに装着されるものである。
ペリクルの製造方法は、通常平滑なガラスあるいは石英
板上でスピン塗布ないしは流延して薄膜を形成する。薄
膜を仮枠に移し取り、これをペリクルの支持枠に貼り付
る。支持枠より外側の薄膜を切り除くことによって行な
われる。
板上でスピン塗布ないしは流延して薄膜を形成する。薄
膜を仮枠に移し取り、これをペリクルの支持枠に貼り付
る。支持枠より外側の薄膜を切り除くことによって行な
われる。
支持枠より外側の薄膜の切断は、普通カッターやレーザ
ー等で行なわれている。
ー等で行なわれている。
切断した後支持枠の端面にわずかにても薄膜か残留すれ
ばペリクルの取り扱い中に、薄膜片か飛散しマスクある
いはレチクルの回路パターン上に落下し欠陥になる恐れ
があった。
ばペリクルの取り扱い中に、薄膜片か飛散しマスクある
いはレチクルの回路パターン上に落下し欠陥になる恐れ
があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、高度な発塵防止対策が必要とされるペリクル
の製造工程において支持枠の外側にはる出している部分
の薄膜を切り除いた後の支持枠端面にわずかに残留した
飛散の恐れのある薄膜片を無くすることのできる方法を
提供しようとするものである。
の製造工程において支持枠の外側にはる出している部分
の薄膜を切り除いた後の支持枠端面にわずかに残留した
飛散の恐れのある薄膜片を無くすることのできる方法を
提供しようとするものである。
（課題を解決するだめの手段）
本発明は薄膜を溶解する溶剤により支持枠端面にわずか
に残留した飛散の恐れのある薄膜片を溶解せしめること
にある。すなわち本発明は薄膜を支持枠に均一な緊張状
態で貼り付けたペリクルを製造する工程において、支持
枠の外側にはみ出している薄膜を切り除いた後薄膜を溶
解する溶剤で薄膜片の飛散のない様になめらかに支持枠
端面を仕上げることを特徴とするペリクルの製造方法を
提供することにある。
に残留した飛散の恐れのある薄膜片を溶解せしめること
にある。すなわち本発明は薄膜を支持枠に均一な緊張状
態で貼り付けたペリクルを製造する工程において、支持
枠の外側にはみ出している薄膜を切り除いた後薄膜を溶
解する溶剤で薄膜片の飛散のない様になめらかに支持枠
端面を仕上げることを特徴とするペリクルの製造方法を
提供することにある。
ペリクルの製造は、樹脂溶液をガラス或いは石英板上に
スピン塗布ないしは流延して薄膜を形成し、薄膜を仮枠
に移しとり、これをペリクル支持枠に緊張状態で貼り付
ける。支持枠より外側にはろたした薄膜を切り除くこと
によって行われる。
スピン塗布ないしは流延して薄膜を形成し、薄膜を仮枠
に移しとり、これをペリクル支持枠に緊張状態で貼り付
ける。支持枠より外側にはろたした薄膜を切り除くこと
によって行われる。
支持枠より外側にはみたした薄膜の切断はカッタやレー
サーで行う。
サーで行う。
薄膜を溶解する溶剤で支持枠端面の仕上げる方法は、溶
剤を含有できるスポンジ状物に溶剤を含有させて支持枠
端面を軽く擦ることにより行なわれる。擦りは、溶剤を
含有したスポンジ状物を支持枠の端面に沿って動かして
もよいし、逆にスポンジ状物を固定しておき支持枠を回
してもよい。
剤を含有できるスポンジ状物に溶剤を含有させて支持枠
端面を軽く擦ることにより行なわれる。擦りは、溶剤を
含有したスポンジ状物を支持枠の端面に沿って動かして
もよいし、逆にスポンジ状物を固定しておき支持枠を回
してもよい。
使用される溶剤は、ペリクル膜を溶解させるものであれ
ばいずれのものでも可能である。更に薄膜の溶解性を調
整するために水あるいは非溶剤を混合することも可能で
ある。
ばいずれのものでも可能である。更に薄膜の溶解性を調
整するために水あるいは非溶剤を混合することも可能で
ある。
薄膜が硝化綿の時は、エステル類、酢酸エチル、酢酸イ
ソプロピル、酢酸ブチル、酢酸アミル等、ケトン類とし
てはアセ］・ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチ
ルケトン、ンクロヘキザノン、その他セロソルブアセテ
ート、ジアセトンアルコル等使用できる。さらにトルエ
ン、キシレン、あるいは水を混合してもよい。薄膜か酢
酸綿てはアセトン、メチルエチルケトン、メチレンクロ
ライドかある。エチルセルロースの場合は、トルエン、
キシレン等かある。
ソプロピル、酢酸ブチル、酢酸アミル等、ケトン類とし
てはアセ］・ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチ
ルケトン、ンクロヘキザノン、その他セロソルブアセテ
ート、ジアセトンアルコル等使用できる。さらにトルエ
ン、キシレン、あるいは水を混合してもよい。薄膜か酢
酸綿てはアセトン、メチルエチルケトン、メチレンクロ
ライドかある。エチルセルロースの場合は、トルエン、
キシレン等かある。
使用するスポンジは、溶剤に溶解しない材質てあれば使
用可能であり、ポリエステル、ポバール架橋物、ウレタ
ン等か使用できる。
用可能であり、ポリエステル、ポバール架橋物、ウレタ
ン等か使用できる。
以下実施例により詳細に説明する。
実施例−１
硝化綿製薄膜を支持枠にエポキシ樹脂で貼り付け８時間
硬化後カッターで切り出す。切り出したペリクルの支持
枠の端面に沿って酢酸イソプロピルを含有したポリエス
テル製スポンジ片を軽く擦りつける。
硬化後カッターで切り出す。切り出したペリクルの支持
枠の端面に沿って酢酸イソプロピルを含有したポリエス
テル製スポンジ片を軽く擦りつける。
実施例−２
硝化綿製薄膜を支持枠にエポキシ樹脂で貼り何け８時間
硬化後カッターで切り出す。切り出したペリクルの支持
枠の端面をエチルセロソルブアセテート及び水を含有し
たポバール架橋体に回転させながら軽く擦りつける。
硬化後カッターで切り出す。切り出したペリクルの支持
枠の端面をエチルセロソルブアセテート及び水を含有し
たポバール架橋体に回転させながら軽く擦りつける。
実施例−３
酢酸セルロース製薄膜を支持枠にエポキシ樹脂で貼り付
け８時間硬化後カッターで切り出す。切り出したペリク
ルの支持枠の端面をメチルエチルケトンを含有したポリ
エステル製スポンジに回転させながら軽く擦りつける。
け８時間硬化後カッターで切り出す。切り出したペリク
ルの支持枠の端面をメチルエチルケトンを含有したポリ
エステル製スポンジに回転させながら軽く擦りつける。
比較例
実施例−１と同様てカッタ
をペリクルとした。
て切りｉｌｌ Ｌ を二もの
（発明の効果）
本発明によるペリクルは支持枠端面より飛散の恐れのあ
る残留した薄膜片かなく、滑らかな支持枠端面を持った
ものである。
る残留した薄膜片かなく、滑らかな支持枠端面を持った
ものである。
Claims (1)
- 薄膜を支持枠に均一な緊張状態で貼り付けたペリクルを
製造する工程において、支持枠の外側にはみ出している
薄膜を切り除いた後薄膜を溶解する溶剤で薄膜片の飛散
のない様になめらかに支持枠端面を仕上げることを特徴
とするペリクルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191245A JPH0477739A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ペリクルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191245A JPH0477739A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ペリクルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477739A true JPH0477739A (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=16271318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2191245A Pending JPH0477739A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | ペリクルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477739A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008193910A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-28 | Kubota Corp | 脱穀装置の処理物漏下構造 |
| JP2020166063A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 三井化学株式会社 | ペリクルの製造方法 |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP2191245A patent/JPH0477739A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008193910A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-28 | Kubota Corp | 脱穀装置の処理物漏下構造 |
| JP2020166063A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 三井化学株式会社 | ペリクルの製造方法 |
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