JPH0481665B2 - - Google Patents
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- JPH0481665B2 JPH0481665B2 JP61074604A JP7460486A JPH0481665B2 JP H0481665 B2 JPH0481665 B2 JP H0481665B2 JP 61074604 A JP61074604 A JP 61074604A JP 7460486 A JP7460486 A JP 7460486A JP H0481665 B2 JPH0481665 B2 JP H0481665B2
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- JP
- Japan
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- valve
- piezoelectric element
- chamber
- valve body
- inlet port
- Prior art date
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Links
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- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
(産業上の利用分野)
この発明は各種弁においてその通路開閉用可動
機構の改良に関するものである。
機構の改良に関するものである。
(従来の技術)
弁は流体を通したり止めたり制御したりするた
めに通路を開閉することができる可動機構を持つ
機器の総称であり、特に流れの形を変えたり圧力
または流量を制御したりする制御弁は機能上方向
制御弁、圧力制御弁、流量制御弁に大別されてい
る。
めに通路を開閉することができる可動機構を持つ
機器の総称であり、特に流れの形を変えたり圧力
または流量を制御したりする制御弁は機能上方向
制御弁、圧力制御弁、流量制御弁に大別されてい
る。
従来、弁体の可動機構としては比例ソレノイド
方式が多く利用されている。その一例として第3
図に示す圧力制御弁においては、弁室2に弁座3
が設けられ、入口ポート4側の通路5と出口ポー
ト6側の通路7とがこの弁座3及び弁室2を介し
て連通されている。弁室2内には可動子25が移
動可能に嵌め込まれ、この可動子25の外周には
ソレノイド26が配設されている。可動子25の
弁体保持部25aには弁体27が圧縮コイルばね
28を介して取付けられ、この弁体27が弁座3
に対し開閉可能に圧接されている。そして、ソレ
ノイド26に電流が印加されると、可動子25が
移動して圧縮コイルばね28が圧縮され、弁座3
に対する弁体27の圧接力が増加する。この電流
値に応じてソレノイド推力は比例的に変化する。
このソレノイド推力と圧縮コイルばね28とが釣
り合つたところで可動子25が停止して圧縮コイ
ルばね28の撓み量が決まり、弁座3に対する弁
体27の圧接力も決まる。入口ポート4側の圧力
が上昇して弁体27に働く力が圧縮コイルばね2
8の弾性力に打ち勝つと、弁体27が弁座3を開
いて入口ポート4側と出口ポート6側とが連通
し、入口ポート4側の圧力が下がる。従つて、入
口ポート4側の過度な昇圧を防止する。弁体27
に働く力と圧縮コイルばね28の弾性力が釣り合
つたところで弁体27は弁座3を閉じる。この動
作が繰り返されて入口ポート4側の圧力がほぼ一
定になる。このようにして入口ポート4側の設定
圧力をソレノイド26の電流値の変更により調節
することができる。
方式が多く利用されている。その一例として第3
図に示す圧力制御弁においては、弁室2に弁座3
が設けられ、入口ポート4側の通路5と出口ポー
ト6側の通路7とがこの弁座3及び弁室2を介し
て連通されている。弁室2内には可動子25が移
動可能に嵌め込まれ、この可動子25の外周には
ソレノイド26が配設されている。可動子25の
弁体保持部25aには弁体27が圧縮コイルばね
28を介して取付けられ、この弁体27が弁座3
に対し開閉可能に圧接されている。そして、ソレ
ノイド26に電流が印加されると、可動子25が
移動して圧縮コイルばね28が圧縮され、弁座3
に対する弁体27の圧接力が増加する。この電流
値に応じてソレノイド推力は比例的に変化する。
このソレノイド推力と圧縮コイルばね28とが釣
り合つたところで可動子25が停止して圧縮コイ
ルばね28の撓み量が決まり、弁座3に対する弁
体27の圧接力も決まる。入口ポート4側の圧力
が上昇して弁体27に働く力が圧縮コイルばね2
8の弾性力に打ち勝つと、弁体27が弁座3を開
いて入口ポート4側と出口ポート6側とが連通
し、入口ポート4側の圧力が下がる。従つて、入
口ポート4側の過度な昇圧を防止する。弁体27
に働く力と圧縮コイルばね28の弾性力が釣り合
つたところで弁体27は弁座3を閉じる。この動
作が繰り返されて入口ポート4側の圧力がほぼ一
定になる。このようにして入口ポート4側の設定
圧力をソレノイド26の電流値の変更により調節
することができる。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、この比例ソレノイド方式において
は、(イ)電流比例の推力を得るための構造上の原因
によりソレノイド推力が余り大きくなく、又ソレ
ノイドのインダクタンス等による消磁遅れのた
め、弁体の切換えが遅くなつて応答性が悪い、(ロ)
ソレノイドの推力特性は熱影響により変わり易い
ため、設定圧力にばらつきが生ずる、(ハ)ソレノイ
ドの吸引作用は可動子ばかりでなくボデイにも働
くため、ヒステリシス損が発生し、ソレノイド推
力が低下して可動子の動作遅れの原因になる、(ニ)
比例ソレノイドは磁気回路に特殊な加工が必要で
ある、等の特有の欠点がある。
は、(イ)電流比例の推力を得るための構造上の原因
によりソレノイド推力が余り大きくなく、又ソレ
ノイドのインダクタンス等による消磁遅れのた
め、弁体の切換えが遅くなつて応答性が悪い、(ロ)
ソレノイドの推力特性は熱影響により変わり易い
ため、設定圧力にばらつきが生ずる、(ハ)ソレノイ
ドの吸引作用は可動子ばかりでなくボデイにも働
くため、ヒステリシス損が発生し、ソレノイド推
力が低下して可動子の動作遅れの原因になる、(ニ)
比例ソレノイドは磁気回路に特殊な加工が必要で
ある、等の特有の欠点がある。
そこで、このような種々の欠点を有する比例ソ
レノイド方式を採用せず、それらに代えて新規な
圧電素子方式を採用したものが本発明である。
レノイド方式を採用せず、それらに代えて新規な
圧電素子方式を採用したものが本発明である。
発明の構成
(問題点を解決するための手段)
すなわち、この発明はボデイ内の弁室に弁座を
設けて入口ポート側の通路と出口ポート側の通路
とをこの弁座及び弁室を介して連通し、弁室には
弁座に対し開閉動作可能に弁体を設けた弁におい
て、前記弁室内には、弁体制御用圧電素子積層体
を備え、この弁体制御用圧電素子積層体への電圧
印加に基づき前記弁体の開閉動作方向へ伸縮可能
で且つその伸縮方向へ弁室内を移動可能な可動体
と、この可動体に取付けたばねにより弁座に対し
圧接される弁体と、前記可動体に弁体制御用圧電
素子積層体とは伸縮方向が異なるように取着され
たクランプ用圧電素子積層体を備え、このクラン
プ用圧電素子積層体への電圧印加に基づいて伸縮
し、その収縮時には可動体と共に弁室内を移動可
能であり、伸長時には弁室内面に圧接固定可能な
位置決め装置と、弁室内面に摺接し、前記可動体
又は位置決め装置と共に弁室内を移動可能な区画
部材とを設け、前記区画部材により弁室内に弁座
に対応する弁体収容室とその反対側の背圧室とを
形成し、前記背圧室と入口ポート側の通路とをパ
イロツト通路により連通したものである。
設けて入口ポート側の通路と出口ポート側の通路
とをこの弁座及び弁室を介して連通し、弁室には
弁座に対し開閉動作可能に弁体を設けた弁におい
て、前記弁室内には、弁体制御用圧電素子積層体
を備え、この弁体制御用圧電素子積層体への電圧
印加に基づき前記弁体の開閉動作方向へ伸縮可能
で且つその伸縮方向へ弁室内を移動可能な可動体
と、この可動体に取付けたばねにより弁座に対し
圧接される弁体と、前記可動体に弁体制御用圧電
素子積層体とは伸縮方向が異なるように取着され
たクランプ用圧電素子積層体を備え、このクラン
プ用圧電素子積層体への電圧印加に基づいて伸縮
し、その収縮時には可動体と共に弁室内を移動可
能であり、伸長時には弁室内面に圧接固定可能な
位置決め装置と、弁室内面に摺接し、前記可動体
又は位置決め装置と共に弁室内を移動可能な区画
部材とを設け、前記区画部材により弁室内に弁座
に対応する弁体収容室とその反対側の背圧室とを
形成し、前記背圧室と入口ポート側の通路とをパ
イロツト通路により連通したものである。
(作用)
弁体制御用及びクランプ用圧電素子積層体に電
圧指令がない場合には、可動体と位置決め装置及
び区画部材は弁室内を移動可能であり、又、入口
ポートから供給される圧油は弁座と弁体との間を
通つて出口ポートへ流れる。
圧指令がない場合には、可動体と位置決め装置及
び区画部材は弁室内を移動可能であり、又、入口
ポートから供給される圧油は弁座と弁体との間を
通つて出口ポートへ流れる。
まず、クランプ用圧電素子積層体に電圧を印加
すると、この圧電素子積層体の伸長に基づき位置
決め装置が弁室の内面に固定される。次いで、弁
体制御用圧電素子積層体に電圧を印加すると、こ
の圧電素子積層体は印加電圧に応じた寸法だけ伸
長と、この伸長寸法によりばねの弾性力が変わつ
て弁座に対する弁体の圧接力が決まる。
すると、この圧電素子積層体の伸長に基づき位置
決め装置が弁室の内面に固定される。次いで、弁
体制御用圧電素子積層体に電圧を印加すると、こ
の圧電素子積層体は印加電圧に応じた寸法だけ伸
長と、この伸長寸法によりばねの弾性力が変わつ
て弁座に対する弁体の圧接力が決まる。
クランプ用圧電素子積層体の印加電圧が短時間
切られると、入口ポート側からパイロツト通路を
通つて背圧室に流入された圧油により区画部材が
押圧されるため、可動体と収縮状態にある位置決
め装置及び区画部材は弁座側へ移動し、弁座に対
する弁体の圧接力が増大する。
切られると、入口ポート側からパイロツト通路を
通つて背圧室に流入された圧油により区画部材が
押圧されるため、可動体と収縮状態にある位置決
め装置及び区画部材は弁座側へ移動し、弁座に対
する弁体の圧接力が増大する。
短時間の後、再びクランプ用圧電素子積層体に
電圧が印加されると、この圧電素子積層体の伸長
に基づき位置決め装置は前記移動後の位置で弁室
内面に圧接固定される。従つて、弁体制御用圧電
素子積層体の印加電圧の変更及びクランプ用圧電
素子積層体の印加電圧の入切調節により、入口ポ
ート側の圧力を任意の設定値に保つことが可能と
される。
電圧が印加されると、この圧電素子積層体の伸長
に基づき位置決め装置は前記移動後の位置で弁室
内面に圧接固定される。従つて、弁体制御用圧電
素子積層体の印加電圧の変更及びクランプ用圧電
素子積層体の印加電圧の入切調節により、入口ポ
ート側の圧力を任意の設定値に保つことが可能と
される。
(実施例)
まず、この発明を圧力制御弁に具体化した第一
実施例を第1図に従つて説明する。
実施例を第1図に従つて説明する。
ボデイ1内には弁室2が設けられ、その左側に
弁座3が形成されている。ボデイ1の左側には入
口ポート4及び出口ポート6が設けられ、入口ポ
ート4側の通路5と出口ポート6側の通路7とは
弁座3及び弁室2を介して連通されている。
弁座3が形成されている。ボデイ1の左側には入
口ポート4及び出口ポート6が設けられ、入口ポ
ート4側の通路5と出口ポート6側の通路7とは
弁座3及び弁室2を介して連通されている。
前記弁室2内には弁体制御用圧電素子積層体1
0からなる可動体9が配設されている。弁体制御
用圧電素子積層体10は1mm厚前後の圧電素子を
その伸縮方向が同一となるように積層したもので
あり、電圧印加に基づくその伸縮方向は弁座3に
対する弁体15の開閉動作方向と同じにされてい
る。従つて、可動体9は前記弁体制御用圧電素子
積層体10により伸縮可能であり、その伸縮方向
へ弁室2内を移動可能になつている。
0からなる可動体9が配設されている。弁体制御
用圧電素子積層体10は1mm厚前後の圧電素子を
その伸縮方向が同一となるように積層したもので
あり、電圧印加に基づくその伸縮方向は弁座3に
対する弁体15の開閉動作方向と同じにされてい
る。従つて、可動体9は前記弁体制御用圧電素子
積層体10により伸縮可能であり、その伸縮方向
へ弁室2内を移動可能になつている。
前記可動体9の基端(第1図において右端)に
は位置決め装置8を構成するクランプ用圧電素子
積層体18が取着されている。このクランプ用圧
電素子積層体18は電圧印加に基づく伸縮方向が
前記弁体制御用圧電素子積層体10の伸縮方向と
直交するように配設されている。従つて、前記位
置決め装置8はクランプ用圧電素子積層体18の
収縮時には可動体9と共に弁室2内を移動可能で
あるが、その圧電素子積層体18の伸長時には弁
室2の内面に圧接固定されるようになつている。
は位置決め装置8を構成するクランプ用圧電素子
積層体18が取着されている。このクランプ用圧
電素子積層体18は電圧印加に基づく伸縮方向が
前記弁体制御用圧電素子積層体10の伸縮方向と
直交するように配設されている。従つて、前記位
置決め装置8はクランプ用圧電素子積層体18の
収縮時には可動体9と共に弁室2内を移動可能で
あるが、その圧電素子積層体18の伸長時には弁
室2の内面に圧接固定されるようになつている。
そして、前記可動体9と位置決め装置8とは区
画部材を構成する左右一対のガイド11,12に
より一体的に挟着されている。この両ガイド1
1,12は弁室2の内周面に摺接されて弁体制御
用圧電素子積層体10の伸縮方向へ移動可能にな
つている。弁座3に対応する左側ガイド11には
Oリング13が嵌め込まれ、このガイド11と弁
座3との間には弁体収容室2aが設けられてい
る。このガイド11には弁座3に向けて突起14
が突設され、この突起14と対応して弁体15に
も突起15aが設けられている。そして、弁体1
5と可動体9の左側ガイド11との間には前記両
突起14,15aを挿通する弁体用圧縮コイルば
ね19が介在され、このばね19により弁体15
を弁座3の方向へ付勢するようになつている。ま
た、弁体収容室2aにはその内面と左側ガイド1
1との間において可動体リターン用圧縮コイルば
ね20が介在されている。一方、右側ガイド12
にはOリング21が嵌め込まれ、前記弁体収容室
2aの反対側に背圧室2bが設けられている。こ
の背圧室2bと入口ポート4側の通路5とはパイ
ロツト通路22により連通され、このパイロツト
通路22と入口ポート4側との間において入口ポ
ーツト4側の通路5には絞り23が設けられてい
る。右側ガイド12に対応してボデイ1の右側に
は調節ねじ16が螺合され、その内端がこのガイ
ド12に当接し得るようになつている。
画部材を構成する左右一対のガイド11,12に
より一体的に挟着されている。この両ガイド1
1,12は弁室2の内周面に摺接されて弁体制御
用圧電素子積層体10の伸縮方向へ移動可能にな
つている。弁座3に対応する左側ガイド11には
Oリング13が嵌め込まれ、このガイド11と弁
座3との間には弁体収容室2aが設けられてい
る。このガイド11には弁座3に向けて突起14
が突設され、この突起14と対応して弁体15に
も突起15aが設けられている。そして、弁体1
5と可動体9の左側ガイド11との間には前記両
突起14,15aを挿通する弁体用圧縮コイルば
ね19が介在され、このばね19により弁体15
を弁座3の方向へ付勢するようになつている。ま
た、弁体収容室2aにはその内面と左側ガイド1
1との間において可動体リターン用圧縮コイルば
ね20が介在されている。一方、右側ガイド12
にはOリング21が嵌め込まれ、前記弁体収容室
2aの反対側に背圧室2bが設けられている。こ
の背圧室2bと入口ポート4側の通路5とはパイ
ロツト通路22により連通され、このパイロツト
通路22と入口ポート4側との間において入口ポ
ーツト4側の通路5には絞り23が設けられてい
る。右側ガイド12に対応してボデイ1の右側に
は調節ねじ16が螺合され、その内端がこのガイ
ド12に当接し得るようになつている。
この調節ねじ16は前記クランプ用圧電素子積
層体18の収縮時に弁体15が圧電素子積層体1
0の伸縮(矢印A方向)により弁座3を閉じる方
向へ動くときその反力を受けるように可動体9の
右方への移動を規制する。一方、前記クランプ用
圧電素子積層体18の伸長時には、位置決め装置
8が弁室2の内面に圧接固定されるため、この伸
長時には前記調節ねじ16に代わつて、このクラ
ンプ用圧電素子積層体18からなる位置決め装置
8によつて弁座3に対する圧接力の反力が受けら
れる。
層体18の収縮時に弁体15が圧電素子積層体1
0の伸縮(矢印A方向)により弁座3を閉じる方
向へ動くときその反力を受けるように可動体9の
右方への移動を規制する。一方、前記クランプ用
圧電素子積層体18の伸長時には、位置決め装置
8が弁室2の内面に圧接固定されるため、この伸
長時には前記調節ねじ16に代わつて、このクラ
ンプ用圧電素子積層体18からなる位置決め装置
8によつて弁座3に対する圧接力の反力が受けら
れる。
前記弁体制御用及びクランプ用の両圧電素子積
層体10,18の各圧電素子は圧力設定器17に
接続されている。この圧力設定器17は入口ポー
ト4側の圧力を検出する圧力センサ(図示せず)
からの入力に基づき所定の電圧指令を圧電素子に
出力するようになつている。なお、弁体制御用圧
電素子積層体10の一部を感圧センサとして用
い、前記圧力センサの代用とすることも可能であ
る。
層体10,18の各圧電素子は圧力設定器17に
接続されている。この圧力設定器17は入口ポー
ト4側の圧力を検出する圧力センサ(図示せず)
からの入力に基づき所定の電圧指令を圧電素子に
出力するようになつている。なお、弁体制御用圧
電素子積層体10の一部を感圧センサとして用
い、前記圧力センサの代用とすることも可能であ
る。
さて、弁体制御用及びクランプ用圧電素子積層
体10,18に電圧指令がない場合には、可動体
9及び位置決め装置8は弁室2内を移動可能であ
り、弁体15は弁座3に対する圧接力がなく弁座
3に対して離れているか、又は離間可能な状態に
なつている。入口ポート4から供給される圧油は
弁座3と弁体15との間を通つて出口ポート6へ
流れる。
体10,18に電圧指令がない場合には、可動体
9及び位置決め装置8は弁室2内を移動可能であ
り、弁体15は弁座3に対する圧接力がなく弁座
3に対して離れているか、又は離間可能な状態に
なつている。入口ポート4から供給される圧油は
弁座3と弁体15との間を通つて出口ポート6へ
流れる。
この状態から、まず調節ねじ16を操作して可
動体9の移動規制位置を決め、その後圧力設定器
17によりクランプ用圧電素子積層体18に電圧
を印加すると、クランプ用圧電素子積層体18が
伸長して位置決め装置8は弁室2の内面に圧接固
定される。次いで、圧力設定器17により弁体制
御用圧電素子積層体10に電圧を印加すると、弁
体制御用圧電素子積層体10は印加電圧に応じた
寸法だけA矢印方向へ伸ばされる。このとき、可
動体9は位置決め装置8により位置決めされてい
るため、可動体9はこの位置を中心にして弁座3
側へ伸長される。この伸長により、弁体用圧縮コ
イルばね19が圧縮され、弁体15が弁座3に圧
接される。弁体15により弁座3が閉じられる
と、入口ポート4側から出口ポーツト6側への流
れは遮断され、入口ポート4側の圧力は上昇す
る。
動体9の移動規制位置を決め、その後圧力設定器
17によりクランプ用圧電素子積層体18に電圧
を印加すると、クランプ用圧電素子積層体18が
伸長して位置決め装置8は弁室2の内面に圧接固
定される。次いで、圧力設定器17により弁体制
御用圧電素子積層体10に電圧を印加すると、弁
体制御用圧電素子積層体10は印加電圧に応じた
寸法だけA矢印方向へ伸ばされる。このとき、可
動体9は位置決め装置8により位置決めされてい
るため、可動体9はこの位置を中心にして弁座3
側へ伸長される。この伸長により、弁体用圧縮コ
イルばね19が圧縮され、弁体15が弁座3に圧
接される。弁体15により弁座3が閉じられる
と、入口ポート4側から出口ポーツト6側への流
れは遮断され、入口ポート4側の圧力は上昇す
る。
この状態で、クランプ用圧電素子積層体18の
印加電圧が短時間切られると、位置決め装置8に
よる弁室2内面への圧接固定状態が解除される。
すると、入口ポート4側からパイロツト通路22
を通つて背圧室2bに流入された圧油が右側ガイ
ド12に作用する。これにより、可動体9と位置
決め装置8及び両ガイド11,12は可動体リタ
ーン用圧縮コイルばね20の付勢力に抗して弁座
3側へ移動し、弁座3に対する弁体15の圧接力
が増大する。短時間の後再びクランプ用圧電素子
積層体18に電圧が印加されると、クランプ用圧
電素子積層体18が伸長して、この伸長により位
置決め装置8は弁室2の内面に圧接固定され、こ
の移動位置で位置決めされる。
印加電圧が短時間切られると、位置決め装置8に
よる弁室2内面への圧接固定状態が解除される。
すると、入口ポート4側からパイロツト通路22
を通つて背圧室2bに流入された圧油が右側ガイ
ド12に作用する。これにより、可動体9と位置
決め装置8及び両ガイド11,12は可動体リタ
ーン用圧縮コイルばね20の付勢力に抗して弁座
3側へ移動し、弁座3に対する弁体15の圧接力
が増大する。短時間の後再びクランプ用圧電素子
積層体18に電圧が印加されると、クランプ用圧
電素子積層体18が伸長して、この伸長により位
置決め装置8は弁室2の内面に圧接固定され、こ
の移動位置で位置決めされる。
入口ポート4側の圧力は圧力センサにより検出
され、この検出圧力は圧力設定器17に入力され
る。この検出圧力が入口ポート4側の圧力の設定
値よりも高くなると、弁体15に働く力が弁体用
圧縮コイルばね19の弾性力に打ち勝ち、弁体1
5が弁座3を開いて入口ポート4側と出口ポート
6側とが連通し、入口ポート4側の圧力が下が
る。従つて、入口ポート4側の過度な昇圧を防止
し、入口ポート4側の圧力を任意の設定値に保つ
ことができる。
され、この検出圧力は圧力設定器17に入力され
る。この検出圧力が入口ポート4側の圧力の設定
値よりも高くなると、弁体15に働く力が弁体用
圧縮コイルばね19の弾性力に打ち勝ち、弁体1
5が弁座3を開いて入口ポート4側と出口ポート
6側とが連通し、入口ポート4側の圧力が下が
る。従つて、入口ポート4側の過度な昇圧を防止
し、入口ポート4側の圧力を任意の設定値に保つ
ことができる。
弁体制御用圧電素子積層体10の印加電圧が変
更されると、その印加電圧に応じて弁体制御用圧
電素子積層体10が伸縮し、弁体用圧縮コイルば
ね19の撓み量が変わる。この撓み量に応じて弁
座3に対する弁体15の圧接力が決まり、入口ポ
ート4側の設定圧力を変更することができる。
更されると、その印加電圧に応じて弁体制御用圧
電素子積層体10が伸縮し、弁体用圧縮コイルば
ね19の撓み量が変わる。この撓み量に応じて弁
座3に対する弁体15の圧接力が決まり、入口ポ
ート4側の設定圧力を変更することができる。
前記クランプ用圧電素子積層体18の切時間を
変更すると、パイロツト通路22を通つて背圧室
2bに流入した圧油の作用により位置決め装置8
の固定位置が変わる。従つて、弁体制御用圧電素
子積層体10による弁体15の圧接力の調節に加
えて、前記クランプ用圧電素子積層体18の切時
間変更によつても弁体15の圧接力を調節するこ
とができる。
変更すると、パイロツト通路22を通つて背圧室
2bに流入した圧油の作用により位置決め装置8
の固定位置が変わる。従つて、弁体制御用圧電素
子積層体10による弁体15の圧接力の調節に加
えて、前記クランプ用圧電素子積層体18の切時
間変更によつても弁体15の圧接力を調節するこ
とができる。
弁体制御用及びクランプ用圧電素子積層体1
0,18の印加電圧を切ると、弁体制御用圧電素
子積層体10が反A矢印方向へ収縮し、弁座3が
開いて入口ポート4側の圧油は出口ポート6側へ
流れる。この入口ポート4側の通路5には絞り2
3があるため、この絞り23と弁座3との間が低
圧になり、背圧室2bの圧油がパイロツト通路2
2を通つて入口ポート4側の通路5に逆流する。
これにより、可動体9と位置決め装置8及び両ガ
イド11,12は可動体リターン用圧縮コイルば
ね20により右方へ戻されて調節ねじ16に当接
したところで止まる。
0,18の印加電圧を切ると、弁体制御用圧電素
子積層体10が反A矢印方向へ収縮し、弁座3が
開いて入口ポート4側の圧油は出口ポート6側へ
流れる。この入口ポート4側の通路5には絞り2
3があるため、この絞り23と弁座3との間が低
圧になり、背圧室2bの圧油がパイロツト通路2
2を通つて入口ポート4側の通路5に逆流する。
これにより、可動体9と位置決め装置8及び両ガ
イド11,12は可動体リターン用圧縮コイルば
ね20により右方へ戻されて調節ねじ16に当接
したところで止まる。
第2図に示す第二実施例は前記第一実施例にお
ける可動体リターン用圧縮コイルばね20に代え
て、背圧室2bに可動体リターン用引張コイルば
ね24を設け、その両端を右側ガイド12及び背
圧室2bの内面に固着したものであり、この第二
実施例の作用は第一実施例の場合と同様である。
ける可動体リターン用圧縮コイルばね20に代え
て、背圧室2bに可動体リターン用引張コイルば
ね24を設け、その両端を右側ガイド12及び背
圧室2bの内面に固着したものであり、この第二
実施例の作用は第一実施例の場合と同様である。
発明の効果
以上詳述したように、この発明によれば、可動
体に備えた弁体制御用圧電素子積層体による弁体
圧接力の調節に加えて、位置決め装置に備えたク
ランプ用圧電素子積層体及びパイロツト通路によ
る弁体圧接力の調節が行えるので、細かく広範囲
の圧力制御が可能となり弁の制御性が良くなると
いう優れた効果を奏する。
体に備えた弁体制御用圧電素子積層体による弁体
圧接力の調節に加えて、位置決め装置に備えたク
ランプ用圧電素子積層体及びパイロツト通路によ
る弁体圧接力の調節が行えるので、細かく広範囲
の圧力制御が可能となり弁の制御性が良くなると
いう優れた効果を奏する。
第1図は第一実施例に係る圧力制御弁を示す断
面図、第2図は第二実施例に係る圧力制御弁を示
す断面図、第3図は従来の圧力制御弁を示す断面
図である。 図中、2は弁室、2aは弁体収容室、2bは背
圧室、3は弁座、4は入口ポート、5は入口ポー
ト側通路、6は出口ポート、8は位置決め装置、
9は可動体、10は弁体制御用圧電素子積層体、
11,12は区画部材としての左右ガイド、15
は弁体、18はクランプ用圧電素子積層体、19
は弁体用圧縮コイルばね、22はパイロツト通
路、23は絞りである。
面図、第2図は第二実施例に係る圧力制御弁を示
す断面図、第3図は従来の圧力制御弁を示す断面
図である。 図中、2は弁室、2aは弁体収容室、2bは背
圧室、3は弁座、4は入口ポート、5は入口ポー
ト側通路、6は出口ポート、8は位置決め装置、
9は可動体、10は弁体制御用圧電素子積層体、
11,12は区画部材としての左右ガイド、15
は弁体、18はクランプ用圧電素子積層体、19
は弁体用圧縮コイルばね、22はパイロツト通
路、23は絞りである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ボデイ内の弁室に弁座を設けて入口ポート側
の通路と出口ポート側の通路とをこの弁座及び弁
室を介して連通し、弁室には弁座に対し開閉動作
可能に弁体を設けた弁において、 前記弁室2内には、 弁体制御用圧電素子積層体10を備え、この弁
体制御用圧電素子積層体10への電圧印加に基づ
き前記弁体15の開閉動作方向へ伸縮可能で且つ
その伸縮方向へ弁室2内を移動可能な可動体9
と、 この可動体9に取付けたばね19により弁座3
に対し圧接される弁体15と、 前記可動体9に弁体制御用圧電素子積層体10
とは伸縮方向が異なるように取着されたクランプ
用圧電素子積層体18を備え、このクランプ用圧
電素子積層体18への電圧印加に基づいて伸縮
し、その収縮時には可動体9と共に弁室2内を移
動可能であり、伸長時には弁室2内面に圧接固定
可能な位置決め装置8と、 弁室2内面に摺接し、前記可動体9又は位置決
め装置8と共に弁室2内を移動可能な区画部材1
1,12とを設け、 前記区画部材11,12により弁室2内に弁座
3に対応する弁体収容室2aとその反対側の背圧
室2bとを形成し、前記背圧室2bと入口ポート
4側の通路5とをパイロツト通路22により連通
した圧電素子式弁。 2 パイロツト通路22と入口ポート4との間に
おいて入口ポート4側の通路5には絞り23が設
けられている特許請求の範囲第1項に記載の圧電
素子式弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7460486A JPS62233578A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 圧電素子式弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7460486A JPS62233578A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 圧電素子式弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62233578A JPS62233578A (ja) | 1987-10-13 |
| JPH0481665B2 true JPH0481665B2 (ja) | 1992-12-24 |
Family
ID=13551932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7460486A Granted JPS62233578A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 圧電素子式弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62233578A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW221491B (ja) * | 1990-03-16 | 1994-03-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | |
| JPH0455607U (ja) * | 1990-09-14 | 1992-05-13 | ||
| JP4247386B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2009-04-02 | 旭有機材工業株式会社 | 流量調節弁 |
| JP2008008356A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Noiberuku Kk | 圧電駆動装置、バルブおよびブレーキ装置 |
| CN104879549A (zh) * | 2015-04-10 | 2015-09-02 | 孟书芳 | 一种多头控制高敏气阀 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3749537A (en) * | 1971-06-04 | 1973-07-31 | Schriever Design Co Inc | Mold base for injection molding apparatus |
| JPS6078179A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-05-02 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 流体制御弁 |
| JPS60129482A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-10 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子駆動の制御弁 |
| JPS60129481A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-10 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子駆動の制御弁 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7460486A patent/JPS62233578A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62233578A (ja) | 1987-10-13 |
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