JPH0483184A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路Info
- Publication number
- JPH0483184A JPH0483184A JP2197187A JP19718790A JPH0483184A JP H0483184 A JPH0483184 A JP H0483184A JP 2197187 A JP2197187 A JP 2197187A JP 19718790 A JP19718790 A JP 19718790A JP H0483184 A JPH0483184 A JP H0483184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clock
- circuit
- scan
- register
- registers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 31
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路に関し、特にシリアルスキャン
パス方式の機能を有する半導体集積回路に関する。
パス方式の機能を有する半導体集積回路に関する。
半導体集積回路(以下ICと称する)の不良発生率はい
わゆるバスタブ・カーブと呼ばれる統計的な故障発生確
率曲線に従うことが知られており、製品として出荷され
るICの中には初期不良を起こす可能性を持つICが混
入している。
わゆるバスタブ・カーブと呼ばれる統計的な故障発生確
率曲線に従うことが知られており、製品として出荷され
るICの中には初期不良を起こす可能性を持つICが混
入している。
このような初期不良を起こす可能性のあるICを短期間
にスクリーニングして高品質のICのみを手に入れる方
法として、バイアステスト(以下BTと称する)が一般
に行なわれている。
にスクリーニングして高品質のICのみを手に入れる方
法として、バイアステスト(以下BTと称する)が一般
に行なわれている。
バイアステストは、ICを高温度雰囲気中、あるいは高
温度・高湿度雰囲気中にさらした状態でICに電源電力
を供給し、初期不良を加速し誘発させてスクリーニング
する方法が一般的であるが、よりきびしいスクリーニン
グの方法として、このような条件下でさらにICに論理
動作をさせるダイナミックBTがある。
温度・高湿度雰囲気中にさらした状態でICに電源電力
を供給し、初期不良を加速し誘発させてスクリーニング
する方法が一般的であるが、よりきびしいスクリーニン
グの方法として、このような条件下でさらにICに論理
動作をさせるダイナミックBTがある。
従来、このようなダイナミックBTを行なう場合、恒温
槽内に納められた被検査ICに対してICコネクタ、プ
リント基板、配線ケーブル等を接続して論理信号発生装
置から論理信号を供給し、ICを動作させることが行な
われていた。
槽内に納められた被検査ICに対してICコネクタ、プ
リント基板、配線ケーブル等を接続して論理信号発生装
置から論理信号を供給し、ICを動作させることが行な
われていた。
上述したように、従来のICのダイナミックBTを行な
う場合、恒温槽、電源装置などのほかに被検査ICに論
理信号を供給するためのICテスト装置か、あるいは信
号発生器などの設備が必要となり、余分な設備投資がか
かるという欠点がある。
う場合、恒温槽、電源装置などのほかに被検査ICに論
理信号を供給するためのICテスト装置か、あるいは信
号発生器などの設備が必要となり、余分な設備投資がか
かるという欠点がある。
また、生産性を良くする上から多数の被検査ICを恒温
槽に入れて同時にBTを行なうため、信号発生器から被
検査ICまで、プリント基板や配線ケーブルを用いて、
複雑かつ煩雑な信号分配の接続を行わなければならない
という欠点があった。
槽に入れて同時にBTを行なうため、信号発生器から被
検査ICまで、プリント基板や配線ケーブルを用いて、
複雑かつ煩雑な信号分配の接続を行わなければならない
という欠点があった。
本発明の半導体集積回路は、内部の複数のレジスタをシ
リアルスキャンを使用して試験する機能を有する半導体
集積回路において、スキャンパスのスキャンイン側先頭
の前記レジスタの論理値の反転論理値を発生する論理反
転回路と、この論理反転回路の出力又はスキャンイン端
子のいずれか一方を選択して前記スキャンバスのスキャ
ンイン側先頭の前記レジスタのスキャン入力に供給する
第1のセレクタ回路と、前記複数のレジスタを動作させ
ることができる内部クロック信号を発生するクロック発
生回路と、前記第1のセレクタ回路の選択制御入力と前
記クロック発生回路の発生制御入力とに入力され前記第
1のセレクタ回路に前記論理反転回路の出力を選択させ
、かつ、前記クロック発生回路に前記内部クロック信号
を発生させる状態と前記第1のセレクタ回路に前記スキ
ャンイン端子を選択させ、かつ、前記クロック発生回路
に前記内部クロック信号の発生を中止させる状態とを選
択するための制御信号の入力端子とを備えている。
リアルスキャンを使用して試験する機能を有する半導体
集積回路において、スキャンパスのスキャンイン側先頭
の前記レジスタの論理値の反転論理値を発生する論理反
転回路と、この論理反転回路の出力又はスキャンイン端
子のいずれか一方を選択して前記スキャンバスのスキャ
ンイン側先頭の前記レジスタのスキャン入力に供給する
第1のセレクタ回路と、前記複数のレジスタを動作させ
ることができる内部クロック信号を発生するクロック発
生回路と、前記第1のセレクタ回路の選択制御入力と前
記クロック発生回路の発生制御入力とに入力され前記第
1のセレクタ回路に前記論理反転回路の出力を選択させ
、かつ、前記クロック発生回路に前記内部クロック信号
を発生させる状態と前記第1のセレクタ回路に前記スキ
ャンイン端子を選択させ、かつ、前記クロック発生回路
に前記内部クロック信号の発生を中止させる状態とを選
択するための制御信号の入力端子とを備えている。
また、本発明の半導体集積回路は、外部からクロック信
号を入力するクロック入力端子に外部で接続することに
より前記クロック発生回路からの前記内部クロック信号
を前記クロック入力端子に供給するクロック出力端子を
含んで構成されていてもよい。
号を入力するクロック入力端子に外部で接続することに
より前記クロック発生回路からの前記内部クロック信号
を前記クロック入力端子に供給するクロック出力端子を
含んで構成されていてもよい。
更に、本発明の半導体集積回路は、前記制御信号により
前記クロック発生回路が前記内部クロック信号を発生す
る状態のときには前記クロック発生回路の出力を選択し
、前記クロック発生回路が前記クロック信号を発生しな
い状態のときには外部からクロック信号を入力するクロ
ック入力端子′を選択して前記複数のレジスタのタロツ
ク入力に供給する第2のセレクタ回路を含んで構成され
ていてもよい。
前記クロック発生回路が前記内部クロック信号を発生す
る状態のときには前記クロック発生回路の出力を選択し
、前記クロック発生回路が前記クロック信号を発生しな
い状態のときには外部からクロック信号を入力するクロ
ック入力端子′を選択して前記複数のレジスタのタロツ
ク入力に供給する第2のセレクタ回路を含んで構成され
ていてもよい。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例である半導体集積回路1
0を示すブロック図である。
0を示すブロック図である。
レジスタ1.2.3は、半導体集積回路10の内部回路
に使用されているレジスタであり、通常はIC本来の論
理機能を果たしているが、スキャンモード制御信号(図
示せず)を与えることによりシフトレジスタ状に直列接
続され、シリアルスキャン動作を行なうようになる。第
1図にはスキャンモード時の接続状態を図示した。すな
わち、レジスタ1,2.3がシフトレジスタを構成して
おり、レジスタ3のスキャン出力が半導体集積回路10
のスキャンアウト端子14に出力される。
に使用されているレジスタであり、通常はIC本来の論
理機能を果たしているが、スキャンモード制御信号(図
示せず)を与えることによりシフトレジスタ状に直列接
続され、シリアルスキャン動作を行なうようになる。第
1図にはスキャンモード時の接続状態を図示した。すな
わち、レジスタ1,2.3がシフトレジスタを構成して
おり、レジスタ3のスキャン出力が半導体集積回路10
のスキャンアウト端子14に出力される。
レジスタ1のスキャン入力にはセレクタ回路4の出力が
接続されている。
接続されている。
セレクタ回路4は、制御端子11に印加される制御信号
(以下制御信号11という)の論理値が“0”のときス
キャンイン端子13を選択し、“1°°のとき論理反転
回路7の出力を選択してレジスタ1のスキャン入力に供
給する。論理反転回路7は、レジスタ1のスキャン出力
が分岐されて入力されており、レジスタ1の出力値を反
転してセレクタ回路4へ入力する。
(以下制御信号11という)の論理値が“0”のときス
キャンイン端子13を選択し、“1°°のとき論理反転
回路7の出力を選択してレジスタ1のスキャン入力に供
給する。論理反転回路7は、レジスタ1のスキャン出力
が分岐されて入力されており、レジスタ1の出力値を反
転してセレクタ回路4へ入力する。
制御信号11はセレクタ回路4に入力されるほか、クロ
ック発生回路6にも入力されている。タロツク発生回路
6は、制御信号11か“Oパのときはクロックを発生せ
ず、“1°′になるとクロックを発生する発振器である
。クロック発生回路6の出力は半導体集積回路10のク
ロック出力端子15に接続されている。
ック発生回路6にも入力されている。タロツク発生回路
6は、制御信号11か“Oパのときはクロックを発生せ
ず、“1°′になるとクロックを発生する発振器である
。クロック発生回路6の出力は半導体集積回路10のク
ロック出力端子15に接続されている。
以上のように構成された半導体集積回路10において、
BTを行なう場合には、タロツク出力端子15とタロツ
ク端子12とを半導体集積回路10の外部で接続し、半
導体集積回路10にスキャンモード制御信号を与えてレ
ジスタ群をシフトレジスタ状態にすると共に、制御信号
11を論理値“1パにする。クロック発生回路6がタロ
ツク信号の発生を開始し、このクロック信号が外部の接
続を通してレジスタ1,2.3に供給される。
BTを行なう場合には、タロツク出力端子15とタロツ
ク端子12とを半導体集積回路10の外部で接続し、半
導体集積回路10にスキャンモード制御信号を与えてレ
ジスタ群をシフトレジスタ状態にすると共に、制御信号
11を論理値“1パにする。クロック発生回路6がタロ
ツク信号の発生を開始し、このクロック信号が外部の接
続を通してレジスタ1,2.3に供給される。
このときレジスタ1,2.3はシフトレジスタとして動
作し、1クロツクごとにレジスタ1内の論理値はレジス
タ2へ、レジスタ2内の論理値はレジスタ3へと伝搬す
る。ここで、レジスタ1のスキャン入力は第1のセレク
タ回路4.論理反転回路7を介してレジスタ1のスキャ
ン出力に接続されているため、レジスタ1には1クロツ
クごとにクロック入力直前のレジスタ1の論理値の反転
されたものがセットされる。従って、レジスタ1には0
“と“1″が1クロツクごとに交互にセットされ、この
レジスタ1の動作は、レジスタ2には1クロック遅れで
伝わり、レジスタ3には2クロック遅れで伝わる。
作し、1クロツクごとにレジスタ1内の論理値はレジス
タ2へ、レジスタ2内の論理値はレジスタ3へと伝搬す
る。ここで、レジスタ1のスキャン入力は第1のセレク
タ回路4.論理反転回路7を介してレジスタ1のスキャ
ン出力に接続されているため、レジスタ1には1クロツ
クごとにクロック入力直前のレジスタ1の論理値の反転
されたものがセットされる。従って、レジスタ1には0
“と“1″が1クロツクごとに交互にセットされ、この
レジスタ1の動作は、レジスタ2には1クロック遅れで
伝わり、レジスタ3には2クロック遅れで伝わる。
このようにレジスタ1,2.3の論理値は1クロツクご
とに“0”と“1”に変化を繰り返すので、これらのレ
ジスタの出力に接続されている半導体集積回路10の内
部論理回路(図示せず)もこれに伴って論理動作するた
め、BT用恒温槽外部からクロックや論理信号を半導体
集積回路10に供給しなくとも容易に内部の回路を論理
動作させることができる。
とに“0”と“1”に変化を繰り返すので、これらのレ
ジスタの出力に接続されている半導体集積回路10の内
部論理回路(図示せず)もこれに伴って論理動作するた
め、BT用恒温槽外部からクロックや論理信号を半導体
集積回路10に供給しなくとも容易に内部の回路を論理
動作させることができる。
従って、スキャンモード制御信号入力端子(図示せず)
と制御端子11の端子位置にダイナミックBTを実施す
るときの論理設定値が加わり、かつ、クロック出力端子
15とクロック端子12とが接続されるようにBT用の
プリント基板を作成しておき、半導体集積回路10をこ
のプリント基板に装着して恒温槽に入れ電源電圧を印加
すれば、自動的に半導体集積回路10が論理動作を開始
するため、特別なICテスト装置や、信号発生器などの
設備を用意する必要もなく、信号発生器から被検査IC
までの間の複雑がっ煩雑な信号分配の接続を行なうこと
もなく容易にダイナミックBTを行なうことができる。
と制御端子11の端子位置にダイナミックBTを実施す
るときの論理設定値が加わり、かつ、クロック出力端子
15とクロック端子12とが接続されるようにBT用の
プリント基板を作成しておき、半導体集積回路10をこ
のプリント基板に装着して恒温槽に入れ電源電圧を印加
すれば、自動的に半導体集積回路10が論理動作を開始
するため、特別なICテスト装置や、信号発生器などの
設備を用意する必要もなく、信号発生器から被検査IC
までの間の複雑がっ煩雑な信号分配の接続を行なうこと
もなく容易にダイナミックBTを行なうことができる。
また、通常のIC検査を行なう場合には、制御信号11
を“0“にし、クロック端子12にクロック信号を供給
すれば、スキャンイン端子13がらレジスタ1,2.3
に任意の論理値をセットするとかでき、スキャンモード
を使った検査を実施することも可能である。
を“0“にし、クロック端子12にクロック信号を供給
すれば、スキャンイン端子13がらレジスタ1,2.3
に任意の論理値をセットするとかでき、スキャンモード
を使った検査を実施することも可能である。
第2図は本発明の第2の実施例である半導体集積回路2
0を示すブロック図である。
0を示すブロック図である。
半導体集積回路20のレジスタ1,2,3、セレクタ回
路4、論理反転回路7、スキャンイン端子13、および
スキャンアウト端子14の接続関係は半導体集積回路1
0におけると同じであるが、半導体集積回路20は半導
体集積回路10にはないセレクタ回路を設けている。
路4、論理反転回路7、スキャンイン端子13、および
スキャンアウト端子14の接続関係は半導体集積回路1
0におけると同じであるが、半導体集積回路20は半導
体集積回路10にはないセレクタ回路を設けている。
セレクタ回路5は、制御信号11が“Oパのとき半導体
集積回路20のクロック端子12を選択し、また、“′
1パのとクロック発生回路6の出力を選択してレジスタ
1,2.3のクロック入力端子にタロツク信号を供給す
る。すなわち、制御信号11が“0゛′のときレジスタ
1,2.3は外部からクロック端子12に与えられたク
ロック信号により動作し、“1°′のときはタロツク発
生回路6によって発生された内部のクロック信号により
動作する。
集積回路20のクロック端子12を選択し、また、“′
1パのとクロック発生回路6の出力を選択してレジスタ
1,2.3のクロック入力端子にタロツク信号を供給す
る。すなわち、制御信号11が“0゛′のときレジスタ
1,2.3は外部からクロック端子12に与えられたク
ロック信号により動作し、“1°′のときはタロツク発
生回路6によって発生された内部のクロック信号により
動作する。
以上のように接続された半導体集積回路20においてB
Tを行なう場合には、半導体集積回路20にスキャンモ
ード制御信号を与えてレジスタ群をシフトレジスタ状態
にすると共に、制御信号11を論理値“1”にする。ク
ロック発生回路6にて発生されたクロック信号がセレク
タ回路5を通してレジスタ1,2.3に供給され、なお
かつレジスタ1のスキャン入力にはレジスタ1自身の反
転論理値が供給されているため、第1図に示した実施例
と同じ効果を得ることかできる。
Tを行なう場合には、半導体集積回路20にスキャンモ
ード制御信号を与えてレジスタ群をシフトレジスタ状態
にすると共に、制御信号11を論理値“1”にする。ク
ロック発生回路6にて発生されたクロック信号がセレク
タ回路5を通してレジスタ1,2.3に供給され、なお
かつレジスタ1のスキャン入力にはレジスタ1自身の反
転論理値が供給されているため、第1図に示した実施例
と同じ効果を得ることかできる。
第2図の実施例は、第1図の実施例と比べて内部のクロ
ック分配系配線部にセレクタ回路5か介入するため、I
C間のクロックスキューが増える可能性があるが、IC
外部でクロック信号をつなぐ配線が不要になり、BT用
のプリント基板の作成が容易になると共に、ICの端子
を節約することができる。
ック分配系配線部にセレクタ回路5か介入するため、I
C間のクロックスキューが増える可能性があるが、IC
外部でクロック信号をつなぐ配線が不要になり、BT用
のプリント基板の作成が容易になると共に、ICの端子
を節約することができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、IC内のレジスタ
の論理値をシリアルスキャンしてテストするICにおい
て、BT実施時に、IC内に内蔵されたクロック発生回
路から各レジスタにクロック信号を供給し、シリアルス
キャンパスの先頭のレジスタに自分自身の反転論理値を
入力値とじて与え、1クロツクごとに“0′″と゛1パ
を繰り返すようにする回路構成を採ることにより、IC
外部かられざわざ専用のICテスト装置や信号発生器な
どを使って論理信号を供給することなくダイナミックB
Tを容易に行なうことができ、余分な設備投資もかから
ず経済的に試験を行えるという効果がある。
の論理値をシリアルスキャンしてテストするICにおい
て、BT実施時に、IC内に内蔵されたクロック発生回
路から各レジスタにクロック信号を供給し、シリアルス
キャンパスの先頭のレジスタに自分自身の反転論理値を
入力値とじて与え、1クロツクごとに“0′″と゛1パ
を繰り返すようにする回路構成を採ることにより、IC
外部かられざわざ専用のICテスト装置や信号発生器な
どを使って論理信号を供給することなくダイナミックB
Tを容易に行なうことができ、余分な設備投資もかから
ず経済的に試験を行えるという効果がある。
また、IC内に内蔵されたクロック発生回路の出力又は
クロック入力端子を選択する第2のセレクタ回路を設け
ることにより、IC外部でのクロック接続が不要となる
ため、BT用のプリント基板まわりの設計をより簡略化
することができ、また、ICの端子を節約することがで
きるという効果がある。
クロック入力端子を選択する第2のセレクタ回路を設け
ることにより、IC外部でのクロック接続が不要となる
ため、BT用のプリント基板まわりの設計をより簡略化
することができ、また、ICの端子を節約することがで
きるという効果がある。
5・・・セレクタ回路、6・・・クロック発生回路、7
・・・論理反転回路、10.20・・・半導体集積回路
、11・・・制御端子、12・・・タロツク端子、13
・・・スキャンイン端子、14・・・スキャンアウト端
子、15・・・クロック出力端子。
・・・論理反転回路、10.20・・・半導体集積回路
、11・・・制御端子、12・・・タロツク端子、13
・・・スキャンイン端子、14・・・スキャンアウト端
子、15・・・クロック出力端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、内部の複数のレジスタをシリアルスキャンを使用し
て試験する機能を有する半導体集積回路において、スキ
ャンパスのスキャンイン側先頭の前記レジスタの論理値
の反転論理値を発生する論理反転回路と、この論理反転
回路の出力又はスキャンイン端子のいずれか一方を選択
して前記スキャンパスのスキャンイン側先頭の前記レジ
スタのスキャン入力に供給する第1のセレクタ回路と、
前記複数のレジスタを動作させることができる内部クロ
ック信号を発生するクロック発生回路と、前記第1のセ
レクタ回路の選択制御入力と前記クロック発生回路の発
生制御入力とに入力され前記第1のセレクタ回路に前記
論理反転回路の出力を選択させ、かつ、前記クロック発
生回路に前記内部クロック信号を発生させる状態と前記
第1のセレクタ回路に前記スキャンイン端子を選択させ
、かつ、前記クロック発生回路に前記内部クロック信号
の発生を中止させる状態とを選択するための制御信号の
入力端子とを備えたことを特徴とする半導体集積回路。 2、外部からクロック信号を入力するクロック入力端子
に外部で接続することにより前記クロック発生回路から
の前記内部クロック信号を前記クロック入力端子に供給
するクロック出力端子を含むことを特徴とする請求項1
記載の半導体集積回路。 3、前記制御信号により前記クロック発生回路が前記内
部クロック信号を発生する状態のときには前記クロック
発生回路の出力を選択し、前記クロック発生回路が前記
クロック信号を発生しない状態のときには外部からクロ
ック信号を入力するクロック入力端子を選択して前記複
数のレジスタのクロック入力に供給する第2のセレクタ
回路を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体集積
回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197187A JP2648001B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197187A JP2648001B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 半導体集積回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483184A true JPH0483184A (ja) | 1992-03-17 |
| JP2648001B2 JP2648001B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=16370257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2197187A Expired - Lifetime JP2648001B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2648001B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6202184B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-03-13 | Nec Corporation | Semiconductor integrated circuit device |
| JP2010071729A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | モータ駆動用半導体集積回路およびテスト方法 |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2197187A patent/JP2648001B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6202184B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-03-13 | Nec Corporation | Semiconductor integrated circuit device |
| JP2010071729A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | モータ駆動用半導体集積回路およびテスト方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2648001B2 (ja) | 1997-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5341096A (en) | Semiconductor integrated circuit having a scan circuit provided with a self-contained signal generator circuit | |
| JPH0481147B2 (ja) | ||
| US6888414B2 (en) | Controllable and testable oscillator apparatus for an integrated circuit | |
| US5164665A (en) | IC tester | |
| US5367551A (en) | Integrated circuit containing scan circuit | |
| JPH05264667A (ja) | テスト回路 | |
| JP2648001B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| CN118707288A (zh) | 半导体集成电路以及半导体集成电路的测试方法 | |
| JPH0627195A (ja) | Lsi試験装置 | |
| JP2005283207A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JP3156644B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPS60120269A (ja) | 半導体テスト装置 | |
| JPH11125660A (ja) | 半導体試験装置用タイミング発生器 | |
| JP2838458B2 (ja) | 集積回路装置 | |
| JP2000009807A (ja) | 半導体デバイス試験装置および半導体デバイス試験装置における試験方法 | |
| JP2838459B2 (ja) | 集積回路装置 | |
| JPS63271966A (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPH07294606A (ja) | 半導体集積回路の自己検査回路 | |
| JPH04361179A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH02128179A (ja) | 集積回路 | |
| JPH1090362A (ja) | 半導体集積装置 | |
| JPH07151828A (ja) | テスト容易化回路 | |
| JP2001174518A (ja) | 診断機能を有する半導体集積回路 | |
| JP2003156530A (ja) | 半導体回路と試験方法 | |
| JP2000009814A (ja) | 半導体デバイス試験装置および半導体デバイス試験装置における試験方法 |