JPH048428U - - Google Patents

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JPH048428U
JPH048428U JP4787390U JP4787390U JPH048428U JP H048428 U JPH048428 U JP H048428U JP 4787390 U JP4787390 U JP 4787390U JP 4787390 U JP4787390 U JP 4787390U JP H048428 U JPH048428 U JP H048428U
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vapor phase
phase growth
cooling water
water jacket
partition
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の気相成長装置の一実施例
を示す側面図、第２図はウオータージヤケツトの
仕切りの他の構造例を示す、この考案の他の実施
例の側面図である。第３図及び第４図は従来の気
相成長装置の一実施例を示す側面図及び断面図で
ある。 １０……反応管、１２……サセプタ、１３……
半導体ウエーハ、１４……高周波誘導加熱コイル
、１５……ウオータージヤケツト、１６……冷却
水の入口、１７……冷却水の出口、１８……仕切
り（螺旋状）、２０……気相成長装置、２１……
仕切り（環状板）。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハを載置したサセプタを収納し、
    気相成長用ガスが供給される反応管の周囲に、冷
    却水を流すウオータージヤケツトを設けたものに
    おいて、 ウオータージヤケツト内に、冷却水の流れを均
    等化する仕切りを設けたことを特徴とする気相成
    長装置。
JP4787390U 1990-05-07 1990-05-07 Pending JPH048428U (ja)

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