JPH048782B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

「産業上の利用分野」 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オ
ーバーヘツドプロジエクター用図面、IC回路、
ホトマスクの製造に適する光可溶化組成物に関す
る。更に詳しくは、(a)活性光線の照射により、酸
を発生し得る化合物、及び(b)酸により分解し得る
シリルエーテル基を少なくとも１個有する化合
物、を含有する新規な光可溶化組成物に関する。 「従来の技術」 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブ
に作用する感光性物質としては、従来オルトキノ
ンジアジド化合物が知られており、実際平版印刷
版、ホトレジスト等に広く利用されてきた。この
ようなオルトキノンジアジド化合物としては、例
えば米国特許第2766118号、同第2767092号、同第
2772972号、同第2859112号、同第2907665号、同
第3046110号、同第3046111号、同第3046115号、
同第3046118号、同第3046119号、同第3046120号、
同第3046121号、同第3046122号、同第3046123号、
同第3061430号、同第3102809号、同第3106465号、
同第3635709号、同第3647443号の各明細書をはじ
め、多数の刊行物に記されている。 これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性
光線の照射により分解を起こして５員環のカルボ
ン酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用し
たものであるが、いずれも感光性が不十分である
という欠点を有する。これは、オルトキノンジア
ジド化合物の場合、本質的に量子収率が１を越え
ないということに由来するものである。 オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成
物の感光性を高める方法については、今までいろ
いろと試みられてきたが、現像時の現像許容性を
保持したまま感光性を高めることは非常に困難で
あつた。例えば、このような試みの例として、特
公昭48−12242号、特開昭52−40125号、米国特許
第4307173号などの明細書に記載された内容を挙
げることができる。 また最近、オルトキノンジアジド化合物を用い
ずにポジチブに作用させる感光性組成物に関し
て、いくつかの提案がされている。その１つとし
て、例えば特公昭56−2696号の明細書に記載され
ているオルトニロカリビノールエステル基を有す
るポリマー化合物が挙げられる。しかし、この場
合も、オルトキノンジアジドの場合と同じ理由で
感光性が十分とは言えない。また、これとは別に
接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸に
よつて第２の反応を生起させ、それにより露光域
を可溶化する公知の原理が適用されている。 このような例として、例えば光分解により酸を
発生する化合物と、アセタール又はＯ、Ｎ−アセ
タール化合物との組合せ（特開昭48−89003号）、
オルトエステル又はアミドアセタール化合物との
組合せ（特開昭51−120714号）、主鎖にアセター
ル又はケタール基を有するポリマーとの組合せ
（特開昭53−133429号）、エノールエーテル化合物
との組合せ（特開昭55−12995号）、Ｎ−アシルイ
ミノ炭酸化合物との組合せ（特開昭55−126236
号）、及び主鎖にオルトエステル基を有するポリ
マーとの組合せ（特開昭56−17345号）を挙げる
ことができる。これらは原理的に量子収率が１を
越える為、高い感光性を示す可能性があるが、ア
セタール又はＯ、Ｎ−アセタール化合物の場合、
及び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポ
リマーの場合、光分解で生成する酸による第２の
反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光性
を示さない。またオルトエステル又はアミドアセ
タール化合物の場合及び、エノールエーテル化合
物の場合、更にＮ−アシルイミノ炭酸化合物の場
合は確かに高い感光性を示すが、経時での安定性
が悪く、長期に保存することができない。主鎖に
オルトエステル基を有するポリマーの場合も、同
じく高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭
いという欠点を有する。 「発明が解決しようとする問題点」 本研究の目的は、これらの問題点が解決された
新規な光可溶化組成物を提供することである。即
ち高い感光性を有し、現像時の現像許容性が広い
新規な光可溶化組成物を提供することである。 本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長
期に保持が可能な新規な光可溶化組成物を提供す
ることである。 本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に
取得できる新規な光可溶化組成物を提供すること
である。 「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を
加えた結果新規な光可溶化組成物を用いることで
前記目的が達成されることを見い出し本発明に到
達した。 即ち本発明は、次の(1)(2)の光可溶化組成物であ
る。 (1) (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及び(b)分子中に下記一般式（）で示され
る、酸により分解し得るシリルエーテル基を少
なくとも１個有し、なお且つウレタン基、ウレ
イド基、アミド基、エステル基のうち少なくと
も１個を有する化合物を含有することを特徴と
する光可溶化組成物。 Ｃ−Ｏ−Si （） (2) (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及び(b)分子中に下記一般式（）で示され
る、酸により分解し得るシリルエーテル基を少
なくとも１個有し、なお且つウレタン基、ウレ
イド基、アミド基、エステル基のうち少なくと
も１個を有し、更に親水性基を少なくとも１個
有する化合物を含有することを特徴とする光可
溶化組成物。 Ｃ−Ｏ−Si （） 本発明(2)の親水性基を有する化合物を含有した
光可溶化組成物は、特に親水性表面を持つ支持体
に対して塗布性が優れている。 なお本発明でいう親水性基としては、具体的に
は下記に示されるものがある。 （−CH₂CH₂−Ｏ−）_o、 〔−（−CH₂−）_lＯ−〕_n（−CH₂CH₂−Ｏ−）_o 〔−（−CH₂−）_lＯ−〕_o、

【式】 式中、ｌは１〜４の整数の示し、ｍ、ｎは２以
上の整数、好ましくは２〜100の整数、更に好ま
しくは２〜20の整数を示す。Ｒはアルキル基、又
は置換もしくは無置換のフエニル基を示す。特に
好ましい親水性基は（−CH₂CH₂−Ｏ−）_oである。 また本発明に用いられる(b)の化合物としては好
ましくは、一般式（）で示される酸により分解
し得るシリルエーテル基及びウレタン基、ウレイ
ド基、アミド基、エステル基のうち少なくとも１
個を有する化合物または更に親水性基を少なくと
も１個有する化合物であり、下記一般式（）の
繰返し単位によつて化合物を表わすことができ
る。 式中、R₁はウレタン基、ウレイド基、アミド
基、エステル基のうち少なくとも１個を有し、更
に必要により親水性基を少なくとも１個有する、
２価の脂肪族又は、芳香族炭化水素を示す。R₂、
R₃は同一でも相異していてもよく、それぞれ水
素原子、アルキル基、アルケニル基、置換もしく
は無置換のアリール基又はアラルキル基、又は−
OR₄を示す。好ましくは炭素数１〜４のアルキル
基、又は−OR₄を示す。R₄は置換もしくは無置
換のアルキル基、アリール基、又はアラルキル
基、好ましくは炭素数１〜８個のアルキル基、又
は炭素数６〜15のアリール基を示す。 更に本発明に用いられる化合物(b)は、一般式
（）で示される繰返し単位を２種以上含有して
いてもよく、また上記の一般式（）及び下記の
（）で示される繰返し単位をそれぞれ１種以上
含有する化合物でもよい。 式中、R₅はウレタン基、ウレイド基、アミド
基、エルテル基は有しないが、必要により親水性
基を少なくとも１個有する、２価の脂肪族、又は
芳香族炭化水素を示す。 本発明の(b)における化合物の具体例としては次
に示すものが含まれる。 なおNo.１〜37は親水性基を含まない化合物を、
No.38〜45は親水性基を含む化合物を示す。 なお具体例中のｎは１以上の整数を示す。ま
た、ｘ、ｙ、ｚはモル比を示し、化合物例No.40、
41、43ではｘ＝５〜100モル％、ｙ＝０〜95モル
％、ｚ＝０〜95モル％である。また化合物例No.16
〜22、27〜28、33、37、39、42、及び44〜45では
ｘ＝５〜100モル％、ｙ＝０〜95モル％を示す。 これらの酸により分解し得るシリルエーテル基
を少なくとも１個有する化合物と組合せて用い
る、活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
としては多くの公知化合物及び混合物、例えば、
ジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
びヨードニウムのBF₄ ^-、PF₆ ^-、SbF₆ ^-、SiF₆ ^-、
ClO₄ ^-などの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキ
ノンジアジドスルホニルクロリド、及び有機金
属／有機ハロゲン化合物組合せ物が適当である。
もちろん、米国特許第3779778号及び西ドイツ国
特許第2610842号の明細書中に記載された光分解
により酸を発生させる化合物も本発明の組成物と
して適する。更に適当な染料と組合せて露光の
際、未露光部と露光物の間に可視的コントラスト
を与えることを目的とした化合物、例えば特開昭
55−77742号、同57−16323号の明細書に記載され
た化合物も本発明の組成物として使用することが
できる。 上記光分解により酸を発生させる化合物の中で
は特にオルトキノンジアジドスルホニルクロリ
ド、及びハロメチル基が置換したｓ−トリアジン
誘導体、オキサジアゾール誘導体が好ましい。と
いうのは、例えばオルトキノンジアジドスルホニ
ルクロリドの場合露光の際３つの酸基（即ち塩
酸、スルホン酸、カルボン酸）が形成される為、
比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解
させることができるからである。 これらの活性光線の照射により酸を発生し得る
化合物と前記酸により分解し得るシリルエーテル
基を少なくとも１個有する化合物との割合は、重
量比で0.001：１〜２：１であり、好ましくは
0.02：１〜0.8：１の範囲で使用される。 本発明の光可溶性組成物は、上記活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解
し得るシリルエーテル基を少なくとも１個有する
化合物の組合せのみで使用することができるが、
アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた方が好まし
い。好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラツク
型フエノール樹脂が含まれ、具体的には、フエノ
ールホルムアルデヒド樹脂、ｏ−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂、ｍ−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭50−125806
号公報に記される様に上記のようなフエノール樹
脂と共に、ｔ−ブチルフエノールホルムアルヒド
樹脂のような炭素数３〜８のアルキル基で置換さ
れたフエノールまたはクレゾールとホルムアルヒ
ドとの縮合物とを併用すると、一層好ましい。ア
ルカリ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成
物の全重量を基準として約40〜約90重量％、より
好ましくは60〜80重量％含有させられる。 本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更
に染料、顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化
合物の酸発生効率を増大させる化合物（所調増感
剤）などを含有させることができる。好適な染料
としては油溶性染料及び塩基性染料がある。具体
的には、オイルイエロー＃101、オイルイエロー
＃130、オイルピンク＃312、オイルグリーン
BG、オイルブルーBOS、オイルブルー＃603、
オイルブラツクBY、オイルブラツクBS、オイル
ブラツクＴ−505（以上、オリエント化学工業株式
会社製）クリスタルバイオレツト（CI42555）、
メチルバイオレツト（CI42535）、ローダミンＢ
（CI45170B）、マラカイトグリーン（CI42000）、
メチレンブルー（CI52015）などをあげることが
できる。 本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解
する溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで
使用する溶媒としては、エチレンジクロライド、
シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、２−メトキシエチル
アセテート、トルエン、酢酸エチルなどがあり、
これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形
分）は、２〜50重量％である。このうち、本発明
の組成の好ましい濃度（固形分）は0.1〜25重量
％である。また、塗布量は用途により異なるが、
例えば感光性平版印刷版についていえば一般的に
固形分として0.5〜3.0ｇ／m²が好ましい。塗布量
が少なくなるにつれて感光性は大になるが、感光
膜の物性は低下する。 本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を
製造する場合、その支持体としては、親水化処理
したアルミニウム板、たとえばシリケート処理ア
ルミニウム板、陽極酸化アルミニウム板、砂目立
したアルミニウム板、シリケート電着したアルミ
ニウム板があり、その他亜鉛板、ステンレス板、
クローム処理鋼板、親水化処理したプラスチツク
フイルムや紙を上げることができる。 また印刷用校正版、オーバーヘツドプロジエク
ター用フイルム第２原図用フイルムの製造に適す
る支持体としてはポリエチレンテレフタレートフ
イルム、トリアセテートフイルム等の透明フイル
ムや、これらのプラスチツクフイルムの表面を化
学的あるいは物理的にマツト化したものをあげる
ことが出来る。ホトマスク用フイルムの製造に適
する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタ
レートフイルムや着色層をもうけたポリエチレン
テレフタレートフイルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持
体、例えば銅内、銅メツキ板、ガラス板上に本発
明の光可溶化組成物を塗布して使用される。 本発明に用いられる活性光線の光源としては例
えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノン
ランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。また高密度エネルギービーム（レーザー
ビーム又は電子線）による走査露光も本発明に使
用することができる。このようなレーザービーム
としてはヘリウム・ネオンレーザー、アルゴンレ
ーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。 本発明の光可溶性組成物にたいする現像液とし
ては、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第
三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第
三リン酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウ
ム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、ア
ンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶液
が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量％、
好ましくは0.5〜５重量％になるように添加され
る。 また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界
面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を加
えることもできる。 「実施例」 以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細
に説明するが、本発明の内容がこれにより限定さ
れるものではない。 合成例 １ （化合物例No.１の原料合成） エチレングリコール１に触媒量のピリジンを
加え、これに２，４−トリレン−ジイソシアナー
ト139ｇを、撹拌しながら滴下ロートより約40分
間かけて添加した。添加後70℃にて、更に２時間
撹拌を続けた。その後、反応溶液を氷−メタノー
ル浴にて冷却し、白色固体を析出せしめた。別
後、約２の水で再結晶し、白色結晶214ｇ（収
率90％）を得た。NMR及び元素分析により、こ
の白色結晶が、ビス−（２−ヒドロキシエチル）
２，４−トリレンジカルバメート であることを確認した。 合成例 ２ （化合物例No.23の原料合成） モノエタノールアミン１に触媒量のトリエチ
ルアミンを加え、これに２，４−トリレン−ジイ
ソシアナート／39ｇを撹拌しながら滴下ロートよ
り約１時間かけて添加した。添加後50℃にて更に
１時間撹拌を続けた。生成した白色固体を別
し、約３の水で再結晶した。白色結晶156ｇ
（収率66％）を得た。NMR及び元素分析により、
この白色結晶が２，４−トリレン−ビス−（２−
ヒドロキシエチルカルバミド） であることを確認した。 合成例 ３ （化合物例No.１の合成） 合成例１にて得たビス−（２−ヒドロキシエチ
ル）２，４−トリレンジカルバメート29.8ｇ
（0.100mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）を酢
酸エチル180ml中で室温下撹拌し、ジクロロジメ
チルシラン12.9ｇ（0.100mole）のトルエン20ml
溶液を滴下ロートより添加した。添加に約30分間
を要した。添加後、50℃で５時間撹拌を続けた。 生成したピリジンのHCl塩を別した後、反応
溶液を５％NaHCO₃水溶液200ml、更に飽和食塩
水200mlで洗浄し、Na₂SO₄にて乾燥させた。そ
の後反応溶液を濃縮乾枯した結果、無色の樹脂31
ｇを得た。NMRにより、その構造が化合物例No.
１であることを確認した。更にGPC（Gel
Permeation Chromatography）により分子量を
測定したところ、ポリスチレン標準で4500であつ
た。 合成例 ４ （化合物例No.17の合成） 合成例１と同様な方法により得たビス−（２−
ヒドロキシエチル）ｍ−キシリレンジカルバメー
ト（

【式】精 製はエチレングリコール濃縮後、水再結晶で行つ
た。）18.7ｇ（0.0600mole）、ｐ−キシリレングリ
コール5.5ｇ（0.0400mole）、ピリジン17.4ｇ
（0.220mole）の酢酸エチル180mlの混合物を合成
例３に示した方法で反応、後処理した。無色の粘
稠な液体24ｇを得た。NMRにより、その構造が
化合物例No.17であることを確認し、更にGPCに
より分子量を測定したところ、ポリスチレン標準
で2800であつた。 合成例 ５ （化合物例No.42の合成） 合成例２で得た２，４−トリレン−ビス−（２
−ヒドロキシエチルカルバミド）8.9ｇ
（0.0300mole）、テトラエチレングリコール13.6ｇ
（0.0700mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）の
酢酸エチル180ml混合物を合成例３に示した方法
と同様に反応、後処理した。無色の粘稠な液体22
ｇを得た。NMRにより、その構造が化合物例No.
42であることを確認し、更にGPCにより分子量
を測定したところ、ポリスチレン標準で1500であ
つた。 合成例 ６ （化合物例No.33の合成） Ｎ，Ｎ−ｍ−フエニレン ビス（−３−ヒドロ
キシプロピオンアミド）

【式】10.0ｇ （0.0400mole）、ｐ−キシリレングリコール8.3ｇ
（0.0600mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）の
酢酸エチル180ml混合を合成例３に示した方法と
同様に反応、後処理した。無色の粘稠な液体20ｇ
を得た。NMRにより、その構造が化合物例No.33
であることを確認し、更にGPCにより分子量を
測定したところ、ポリスチレン標準で2300であつ
た。 合成例 ７ （化合物例No.36の合成） ビス−（２−ヒドロキシエチル）イソフタレー
ト

【式】25.4ｇ （0.100mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）のト
ルエン100ml溶液にジクロロジエチルシラン15.7
ｇ（0.100mole）のトルエン20ml溶液を室温下、
撹拌しながら滴下ロートより約30分間かけて添加
した。添加後50℃にて８時間撹拌を続けた。生成
したピリジンのHCl塩を別後、合成例３に示し
た方法と同様にに後処理を行い、無色の粘稠な液
体27ｇを得た。NMRにより、その構造が化合物
例No.36であることを確認し、更にGPCにより分
子量を測定したところ、ポリスチレン標準で3000
であつた。 実施例 １ 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80℃に保つた
第３燐酸ナトリウムの10％水溶液に３分間浸漬し
て脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アル
ミン酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫
酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマツト処理を
行つた。このアルミニウム板を20％硫酸中で電流
密度2A／ｄm²において２分間陽極酸化を行いア
ルミニウム板を作成した。 次に下記感光液〔Ａ〕の本発明の化合物の種類
を変えて６種類の感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６を
調整し、この感光液を陽極酸化させたアルミニウ
ム板の上に塗布し、100℃で２分間乾燥して、そ
れぞれの感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６
を作製した。このとき塗布量は全て乾燥重量で
1.58ｇ／m²であつた。 また、感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６に用いた本
発明の化合物は第１表に示す。 感光液〔Ａ〕 本発明の化合物 0.40ｇ クレゾールーホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ ２−（ｐ−メトキシフエニル）−４，６−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 次に比較例として下記の感光液〔Ｂ〕を感光液
〔Ａ〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔Ｂ〕
を作成した。 感光液〔Ｂ〕 クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
と１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−
スルホニルクロリドとの縮合生成物 0.45ｇ クレゾールーホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.02ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 乾燥後の塗布重量は1.5ｇ／m²であつた。感光
性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕の
感光層上に濃度差0.15のグレースケールを密着さ
せ、30アンペアのカーボンアーク灯で70cmの距離
から露光を行つた。 本発明の優れた感光性を示す為に露光された感
光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕
をDP−４（商品名：富士写真フイルム(株)製）の８
倍希釈水溶液で25℃において60秒間浸漬現像し、
濃度差0.15のグレースケールで５段目が完全にク
リアーする露光時間を求めたところ第１表に示す
とおりとなつた。

【表】 なお第１表における本発明の化合物No.16、42、
44では、ｘ／ｙ＝40／60（モル比）のものを使用
した。また第１表の本発明の化合物の分子量はい
ずれもGPC、ポリスチレン標準で1500〜3000の
ものであつた。 第１表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６はいず
れも〔Ｂ〕より露光時間が少なく、感度が高い。 実施例 ２ 実施例１の感光液〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、〔Ａ〕−５、及び本発明の化合物を変えた
〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−８を用い、実施例１と同様に
して感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、
〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−５、及び〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−８
を作製した。塗布量は全て乾燥重量で1.5ｇ／m²
であつた。感光液〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−８に用いた
本発明の化合物は第２表に示す。 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版〔Ａ〕
−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−５、〔Ａ〕−
７
〜〔Ａ〕−８及び〔Ｂ〕の感光層上に濃度差0.15
のグレースケールを密着させ、30アンペアのカー
ボンアーク灯で70cmの距離から30秒間露光を行つ
た。露光された感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、
〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−５、〔Ａ〕−７〜
〔Ａ〕−８及び〔Ｂ〕を実施例１と同じ現像液に
て、25℃で60秒間及び３分間浸漬現像した。濃度
差0.15のグレースケールで60秒間及び３分間現像
液における完全クリアーとなる段数の差を求めた
ところ第２表に示すとおりとなつた。

【表】 なお第２表における本発明の化合物No.39、42、
44では、ｘ／ｙ＝40／60（モル比）のものを使用
した。また第２表の本発明の化合物の分子量はい
ずれもGPC、ポリスチレン標準で、1500〜3000
のものであつた。 第２表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、〔Ａ〕−５、及び〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−８はい
ずれも、グリアー部のグレースケール段数変化が
小さく、現像許容性が大きく優れたものであつ
た。 実施例 ３ 実施例１の感光液〔Ａ〕−３、及び実施例１の
感光性〔Ａ〕において、本発明の化合物のみを下
記シリエーテル化合物(1)に置き換えた感光液
〔Ｃ〕を用い、実施例１と同様にして感光性平版
印刷版〔Ａ〕−３、及び〔Ｃ〕を作製した。塗布
量はいずれも乾燥重量で1.5ｇ／m²であつた。 シリルエーテル化合物 分子量はGPC、ポリスチレン標準で2800。 経時安定性を見る為、感光性平版印刷版〔Ａ〕
−３、及び〔Ｃ〕の作製直後、及び温度45℃、湿
度75％の条件下、３日放置後における現像許容性
を、それぞれ実施例２に示した方法により、濃度
差0.15のグレースケールで60秒間及び３分間現像
での完全にクリアーとなる段数差で求めたとこ
ろ、第３表に示すとおりとなつた。

【表】 なお第３表における本発明の化合物No.16では、
ｘ／ｙ＝50／50（モル比）のものを使用した。ま
た分子量はGPC、ポリスチレン標準で2500のも
のであつた。 第３表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−３は、作製直後と、
温度45℃、湿度75％の条件下、３日放置後の現像
許容性に差がなく、経時安定性が優れたものであ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
   物、及び(b)分子中に下記一般式（）で示され
   る、酸により分解し得るシリルエーテル基を少な
   くとも１個有し、なお且つウレタン基、ウレイド
   基、アミド基、エステル基のうち少なくとも１個
   を有する化合物を含有することを特徴とする光可
   溶化組成物。 Ｃ−Ｏ−Si （） ２ (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
   物、及び(b)分子中に下記一般式（）で示され
   る、酸により分解し得るシリルエーテル基を少な
   くとも１個有し、なお且つウレタン基、ウレイド
   基、アミド基、エステル基のうち少なくとも１個
   を有し、更に親水性基を少なくとも１個有する化
   合物を含有することを特徴とする光可溶化組成
   物。 Ｃ−Ｏ−Si （）