JPH0544664B2 - - Google Patents
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- JPH0544664B2 JPH0544664B2 JP58230377A JP23037783A JPH0544664B2 JP H0544664 B2 JPH0544664 B2 JP H0544664B2 JP 58230377 A JP58230377 A JP 58230377A JP 23037783 A JP23037783 A JP 23037783A JP H0544664 B2 JPH0544664 B2 JP H0544664B2
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
- G03F7/0758—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds with silicon- containing groups in the side chains
-
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- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オ
ーバーヘツドプロジエクター用図面、IC回路、
ホトマスクの製造に適する光可溶化組成物に関す
る。更に詳しくは、(a)活性光線の照射により、酸
を発生し得る化合物、及び(b)酸により分解し得る
シリルエーテル基及び親水性基を各々少なくとも
１個有する特定構造の化合物、を含有する新規な
光可溶化組成物に関する。 （従来技術） 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブ
に作用する感光性物質としては、従来オルトキノ
ンジアジド化合物が知られており、実際平版印刷
版、ホトレジスト等に広く利用されてきた。この
ようなオルトキノンジアジド化合物としては、例
えば米国特許第2766118号、同第2767092号、同第
2772972号、同第2859112号、同第2907665号、同
第3046110号、同第3046111号、同第3046115号、
同第3046118号、同第3046119号、同第3046120号、
同第3046121号、同第3046122号、同第3046123号、
同第3061430号、同第3102809号、同第3106465号、
同第3635709号、同第3647443号の各明細書をはじ
め、多数刊行物に記されている。 これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性
光線の照射により分解を起こして５員環のカルボ
ン酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用し
たものであるが、いずれも感光性が不十分である
という欠点を有する。これは、オルトキノンジア
ジド化合物の場合、本質的に量子収率が１を越え
ないということを由来にするものである。 オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成
物の感光性を高める方法については、今までいろ
いろと試みられてきたが、現像時の現像許容性を
保持したまま感光性を高めることは非常に困難で
あつた。例えば、このような試みの例として、特
公昭48−12242号、特開昭52−40125号、米国特許
第4307173号などの明細書に記載された内容を挙
げることができる。 また最近、オルトキノンジアジド化合物を用い
ずポジチブに作用させる感光性組成物に関して、
いくつかの提案がされている。その１つとして、
例えば特公昭56−2696号の明細書を記載されてい
るオルトニトロカルビノールエステル基を有する
ポリマー化合物が挙げられる。しかし、この場合
も、オルトキノンジアジドの場合と同じ理由で感
光性が十分とは言えない。また、これとは別に接
触作用により活性化される感光系を使用し、感光
性を高める方法として、光分解で生成する酸によ
つて第２の反応を生起させ、それにより露光域を
可溶化する公知の原理が適用されている。 このような例として、例えば光分解により酸を
発生する化合物と、アセタール又はＯ、Ｎ−アセ
タール化合物との組合せ（特開昭48−89003号）、
オルトエステル又はアミドアセタール化合物との
組合せ（特開昭51−120714号）、主鎖にアセター
ル又はケタール基を有するポリマーとの組合せ
（特開昭53−133429号）、エノールエーテル化合物
との組合せ（特開昭55−12995号）、Ｎ−アシルイ
ミノ炭酸化合物との組合せ（特開昭55−126236
号）、及び主鎖にオルトエステル基を有するポリ
マーとの組合せ（特開昭56−17345号）を挙げる
ことができる。これら原理的に量子収率が１を越
える為、高い感光性を示す可能性があるが、アセ
タール又はＯ、Ｎ−アセタール化合物の場合、及
び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリ
マーの場合、光分解で生成する酸による第２の反
応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光性を
示さない。またオルトエステル又はアミドアセタ
ール化合物の場合及び、エノールエーテル化合物
の場合、更にＮ−アシルイミノ炭酸化合物の場合
は確かに高い感光性を示すが、経時での安定が悪
く、長期に保存することができない。主鎖にオル
トエステル基を有するポリマーの場合も、同じく
高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いと
いう欠点を有する。 （発明の目的） 本研究の目的は、これらの問題点が解決された
新規な光可溶化組成物を提供することである。即
ち高い感光性を有し、現像時の現像許容性が広い
新規な光可溶化組成物を提供することである。 本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長
期に保存が可能な新規な光可溶化組成物を提供す
ることである。 本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に
取得できる新規な光可溶化組成物を提供すること
である。 （発明の構成） 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を
加えた結果新規な光可溶化組成物を用いることで
前記目的が達成されることを見い出し本発明に到
達した。 即ち本発明は、(a)活性光線の照射により酸を発
生し得る化合物及び(b)分子中に一般式（）また
は（）で示される化合物を含有することを特徴
とする光可溶化組成物である。 式中R1は下記親水性基を有し、更に置換基を
有していてもよいn1価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。R2、R3、R4は同一でも相異していて
もよく、それぞれ水素原子、アルキル、アルケニ
ル、置換基を有していてもよいアリール又はアラ
ルキル、ハロゲン、もしくは−OR8を示す。好ま
しくは炭素数１〜４個のアルキル、クロル、もし
くは−OR8、更に好ましくは炭素数１〜４個のア
ルキル、又は−OR8を示す。R5は置換基を有し
ていてもよい２価の脂肪族又は芳香族炭化水素を
示す。R6は下記の親水性基を示し、R7はR5又は
R6を示す。R8は置換基を有していてもよいアル
キル、アリール、もしくはアラルキル基、好まし
くは炭素数１〜８個のアルキル、又は炭素数６〜
15のアリール基を示す。またR5とR8が結合して
脂肪族環又は芳香族環の一部を形成してもよい。
n1、n2、n3及びn4は正の整数、好ましくはn1は１
〜1000、n2、n3及びn4はそれぞれ１〜500の整数
を示す。 ａ、ｂはそれぞれ０又は１を示す。 親水性基：―（CH2CH2−Ｏ―）o、 ―〔―（CH2）l――Ｏ〕n―――（CH2CH2−Ｏ―）o、 ―〔―（CH2―）lＯ〕o――、
ーバーヘツドプロジエクター用図面、IC回路、
ホトマスクの製造に適する光可溶化組成物に関す
る。更に詳しくは、(a)活性光線の照射により、酸
を発生し得る化合物、及び(b)酸により分解し得る
シリルエーテル基及び親水性基を各々少なくとも
１個有する特定構造の化合物、を含有する新規な
光可溶化組成物に関する。 （従来技術） 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブ
に作用する感光性物質としては、従来オルトキノ
ンジアジド化合物が知られており、実際平版印刷
版、ホトレジスト等に広く利用されてきた。この
ようなオルトキノンジアジド化合物としては、例
えば米国特許第2766118号、同第2767092号、同第
2772972号、同第2859112号、同第2907665号、同
第3046110号、同第3046111号、同第3046115号、
同第3046118号、同第3046119号、同第3046120号、
同第3046121号、同第3046122号、同第3046123号、
同第3061430号、同第3102809号、同第3106465号、
同第3635709号、同第3647443号の各明細書をはじ
め、多数刊行物に記されている。 これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性
光線の照射により分解を起こして５員環のカルボ
ン酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用し
たものであるが、いずれも感光性が不十分である
という欠点を有する。これは、オルトキノンジア
ジド化合物の場合、本質的に量子収率が１を越え
ないということを由来にするものである。 オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成
物の感光性を高める方法については、今までいろ
いろと試みられてきたが、現像時の現像許容性を
保持したまま感光性を高めることは非常に困難で
あつた。例えば、このような試みの例として、特
公昭48−12242号、特開昭52−40125号、米国特許
第4307173号などの明細書に記載された内容を挙
げることができる。 また最近、オルトキノンジアジド化合物を用い
ずポジチブに作用させる感光性組成物に関して、
いくつかの提案がされている。その１つとして、
例えば特公昭56−2696号の明細書を記載されてい
るオルトニトロカルビノールエステル基を有する
ポリマー化合物が挙げられる。しかし、この場合
も、オルトキノンジアジドの場合と同じ理由で感
光性が十分とは言えない。また、これとは別に接
触作用により活性化される感光系を使用し、感光
性を高める方法として、光分解で生成する酸によ
つて第２の反応を生起させ、それにより露光域を
可溶化する公知の原理が適用されている。 このような例として、例えば光分解により酸を
発生する化合物と、アセタール又はＯ、Ｎ−アセ
タール化合物との組合せ（特開昭48−89003号）、
オルトエステル又はアミドアセタール化合物との
組合せ（特開昭51−120714号）、主鎖にアセター
ル又はケタール基を有するポリマーとの組合せ
（特開昭53−133429号）、エノールエーテル化合物
との組合せ（特開昭55−12995号）、Ｎ−アシルイ
ミノ炭酸化合物との組合せ（特開昭55−126236
号）、及び主鎖にオルトエステル基を有するポリ
マーとの組合せ（特開昭56−17345号）を挙げる
ことができる。これら原理的に量子収率が１を越
える為、高い感光性を示す可能性があるが、アセ
タール又はＯ、Ｎ−アセタール化合物の場合、及
び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリ
マーの場合、光分解で生成する酸による第２の反
応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光性を
示さない。またオルトエステル又はアミドアセタ
ール化合物の場合及び、エノールエーテル化合物
の場合、更にＮ−アシルイミノ炭酸化合物の場合
は確かに高い感光性を示すが、経時での安定が悪
く、長期に保存することができない。主鎖にオル
トエステル基を有するポリマーの場合も、同じく
高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いと
いう欠点を有する。 （発明の目的） 本研究の目的は、これらの問題点が解決された
新規な光可溶化組成物を提供することである。即
ち高い感光性を有し、現像時の現像許容性が広い
新規な光可溶化組成物を提供することである。 本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長
期に保存が可能な新規な光可溶化組成物を提供す
ることである。 本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に
取得できる新規な光可溶化組成物を提供すること
である。 （発明の構成） 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を
加えた結果新規な光可溶化組成物を用いることで
前記目的が達成されることを見い出し本発明に到
達した。 即ち本発明は、(a)活性光線の照射により酸を発
生し得る化合物及び(b)分子中に一般式（）また
は（）で示される化合物を含有することを特徴
とする光可溶化組成物である。 式中R1は下記親水性基を有し、更に置換基を
有していてもよいn1価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。R2、R3、R4は同一でも相異していて
もよく、それぞれ水素原子、アルキル、アルケニ
ル、置換基を有していてもよいアリール又はアラ
ルキル、ハロゲン、もしくは−OR8を示す。好ま
しくは炭素数１〜４個のアルキル、クロル、もし
くは−OR8、更に好ましくは炭素数１〜４個のア
ルキル、又は−OR8を示す。R5は置換基を有し
ていてもよい２価の脂肪族又は芳香族炭化水素を
示す。R6は下記の親水性基を示し、R7はR5又は
R6を示す。R8は置換基を有していてもよいアル
キル、アリール、もしくはアラルキル基、好まし
くは炭素数１〜８個のアルキル、又は炭素数６〜
15のアリール基を示す。またR5とR8が結合して
脂肪族環又は芳香族環の一部を形成してもよい。
n1、n2、n3及びn4は正の整数、好ましくはn1は１
〜1000、n2、n3及びn4はそれぞれ１〜500の整数
を示す。 ａ、ｂはそれぞれ０又は１を示す。 親水性基：―（CH2CH2−Ｏ―）o、 ―〔―（CH2）l――Ｏ〕n―――（CH2CH2−Ｏ―）o、 ―〔―（CH2―）lＯ〕o――、
【式】
式中、ｌは１〜４の整数を示し、ｍ、ｎは１以
上の整数、好ましくは１〜100の整数、更に好ま
しくは１〜20の整数を示す。Ｒはアルキル、又は
置換基を有していてもよいフエニル基を示す。特
に好ましい親水性基―（CH2CH2−Ｏ―）oである。 本発明の(b)における化合物の具体例としては次
に示すものが含まれる。 No.１ No.２ No.３ No.４ No.５ No.６ No.７ No.８ No.９ No.10 No.11 No.12 No.13 No.14 No.15 No.16 No.17 No.18 No.19 No.20 No.21 No.22 No.23 No.24 No.25 No.26 No.27 No.28 No.29 No.30 No.31 なお具体例中のｘ、ｙ、ｚはモル比を示し、化
合物No.１、２では、ｘ＝０〜90モル％、ｙ＝５〜
95モル％、ｚ＝５〜95モル％である。また化合物
例No.３〜No.23及びNo.25では、ｘ＝０〜95モル％、
ｙ＝５〜100モル％を示す。化合物例No.１〜No.26
のｍ、ｎは１以上の整数を示す。 これら酸により分解し得るシリルエーテル基、
並びに親水性基を有する化合物と組合せて用い
る、活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
としては多くの公知化合物及び混合物、例えば、
ジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
びヨードニウムのBF4−、PF6 -、SbF6 -、
SiF6 --、ClO4 -などの塩、有機ハロゲン化合物、
オルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及び
有機金属／有機ハロゲン化合物組合せ物が適当で
ある。もちろん、米国特許第3779778号及び西ド
イツ国特許第2610842号の明細中に記載された光
分解により酸を発生させる化合物も本発明の組成
物として適する。更に適当な染料と組合せて露光
の際、未露光部と露光物の間に可視的コントラス
トを与えることを目的とした化合物、例えば特開
昭55−77742号、同57−163234号の明細書に記載
された化合物も本発明の組成物として使用するこ
とができる。 上記光分解により酸を発生させる化合物の中で
は特にオルトキノンジアジドスルホニルクロリド
が好ましい。というのは、露光の際３つの酸基
（即ち塩酸、スルホン酸、カルボン酸）が形成さ
れる為、比較的大きい割合で前記シリルエーテル
基を分解させことができるからである。 これらの活性光線の照射により酸を発生し得る
化合物と前記酸により分解し得るシリルエーテル
基、並びに親水性基を有する化合物との割合は、
重量比で0.001：１〜２：１であり、好ましくは
0.02：１〜0.8：１で使用される。 本発明の光可溶性組成物は上記活性光線の照射
により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し
得るシリルエーテル基並びに親水性基を有する化
合物の組合せのみで使用することができるが、水
可溶性樹脂、アルカリ可溶性樹脂、又は有機溶剤
可溶性樹脂と混合して用いた方が好ましい。これ
らの樹脂は感光性レジスト形成性組成物の全重量
を基準として約30〜約90重量％、より好ましくは
50〜80重量％含有させられる。 本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更
に染料、顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化
合物の酸発生効率を増大させる化合物（所謂増感
剤）などを含有させることができる。好適な染料
としては油溶性染料及び塩基性染料がある。具体
的には、オイルイエロー＃101、オイルイエロー
＃130、オイルピンク＃312、オイルグリーン
BG、オイルブルーBOS、オイルブルー＃603、
オイルブラツクBY、オイルブラツクBS、オイル
ブラツクＴ−505（以上、オリエント化学工業株式
会社製）クリスタルバイオレツト（CI42555）、
メチルバイオレツト（CI42535）、ローダミンＢ
（CI45170B）、マラカイトグリーン（CI42000）、
メチレンブルー（CI52015）などをあげることが
できる。 本発明の光可溶化組成物は、上記各成分を溶解
する溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで
使用する溶媒としては、エチレンジクロライド、
シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、２−メトキシエチル
アセテート、トルエン、酢酸エチルなどがあり、
これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形
分）は、２〜50重量％である。このうち、本発明
の組成(a)＋(b)の好ましい濃度（固形分）は0.1〜
25重量％である。また、塗布量は用途により異な
るが例えば、感光性平版印刷版についていえば一
般的に固形分として0.5〜3.0ｇ／m2が好ましい。
塗布量が少くなるにつれ感光性は大になるが、感
光膜の物性は低下する。 本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を
製造する場合、その支持体としては親水化処理し
たアルミニウム板、たとえばシリケート処理アル
ミニウム板、陽極酸化アルミニウム板、砂目立て
したアルミニウム板、シリケート電着したアルミ
ニウム板があり、その他亜鉛板、ステンレス板、
クローム処理鋼板、親水化処理したプラスチツク
フイルムや紙を上げることができる。 また印刷用校正版、オーバーヘツドプロジエク
ター用フイルム第２原図用フイルムの製造に適す
る支持体としてはポリエチレンテレフタレートフ
イルム、トリアセテートフイルム等の透明フイル
ムや、これらのプラスチツクフイルムの表面を化
学的あるいは物理的マツト化したものをあげるこ
とが出来る。ホトマスク用フイルムの製造に適す
る支持体としてはアルミニウム、アルミニウム合
金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレ
ートフイルムや着色層をもうけたポリエチレンテ
レフタレートフイルムをあげることが出来る。ま
たホトレジストとして上記以外の種々の支持体、
例えば鋼板、鋼メツキ板、ガラス板上に本発明の
光可溶化組成物を塗布して使用される。 本発明に用いられる活性光線の光源としては例
えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノン
ランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。また高密度エネルギービーム（レーザー
ビーム又は電子線）による走査露光も本発明に使
用することができる。このようなレーザービーム
としてはヘリウム・ネオンレーザー、アルゴンレ
ーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。 本発明の光可溶性組成物に対する現像液として
は、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第三
リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第三
リン酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウム、
メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、アンモ
ニア水などのような無機アルカリ剤の水溶液が適
当であり、それらの濃度が0.1〜10重量％、好ま
しくは0.5〜５重量％になるように添加される。 また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界
面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を加
えることもできる。 以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細
に説明するが、本発明の内容がこれにより限定さ
れるものではない。 合成例 １ （化合物No.３の合成） １，８−オクタンジオール7.32ｇ
（0.0501mole）、テトラエチレングリコール9.712
ｇ（0.0500mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）、
脱水蒸留したトルエン80mlの混合物に、ジクロロ
ジメチルシラン12.9ｇ（0.100mole）のトルエン
20mlの溶液を撹拌及び氷冷下、滴下ロートより30
分間かけて添加した。添加後50℃にて、５時間撹
拌を続けた。生成した白色の塩（ピリジンの塩酸
塩）を別し、トルエン溶液を減圧下濃縮した。
その後、真空下（約１mmHg）、約80℃に加熱しな
がら10時間乾燥させた。無色透明液体、収量20.7
ｇ。NMRにより、その構造が化合物例No.３であ
ることを確認した。更にVPO（Vapour Pressure
Osmometer）により数平均分子量を測定したと
ころ、o＝1980であつた。 合成例 ２ （化合物例No.４の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオールの
代わりに１，10−デカンジオール8.72ｇ
（0.0500mole）を使用し、合成例１と同様に反
応、後処理を行つた。無色透明液体収量21.5ｇ。
NMRにより、その構造が化合物例No.４であるこ
とを確認し、VPOにより数平均分子量を測定し
たところo＝1850であつた。 合成例 ３ （化合物例No.６の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
ジクロロジメチルシランの代わりにそれぞれ１，
10−デカンジオール8.72ｇ（0.0500mole）、ジク
ロロジエチルシラン15.8ｇ（0.101mole）を使用
し、反応条件加熱環流３時間以外は合成例１と同
様に反応、後処理を行つた。無色透明粘稠液体、
収量24.1ｇ。NMRによりその構造を化合物No.６
であることを確認し、VPOにより数平均分子量
を測定したところo＝1480であつた。 合成例 ４ （化合物例No.10の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
テトラエチレングリコールの代わりにそれぞれ
１，４−シクロヘキサンジオール5.81ｇ
（0.0500mole）、ポリエチレングリコール＃200
（関東化学(株)製、平均分子量200）10ｇ
（0.050mole）を使用し、合成例１と同様に反応、
後処理を行つた。無色透明粘稠液体、収量19.7
ｇ。NMRによりその構造が化合物例No.10である
ことを確認し、VPOにより数平均分子量を測定
したところo＝1620であつた。 合成例 ５ （化合物例No.15の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
テトラエチレングリコールの代わりにそれぞれｐ
−キシリレングリコール5.53ｇ（0.0400mole）、
ポリエチレングリコール＃300（関東化学(株)製、平
均分子量300）18ｇ（0.060mole）を使用し、合
成例１と同様に反応、後処理を行つた。無色透明
粘稠液体、収量26.8ｇ。NMRによりその構造が
化合物例No.15であることを確認し、VPOにより
数平均分子量を測定したところo＝1730であつ
た。 合成例 ６ （化合物例No.16の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
ジクロロジメチルシランの代わりにそれぞれｐ−
キシリレングリコール6.91ｇ（0.0500mole）、メ
チルフエニルジクロロシラン19.2ｇ（0.100mole）
を使用し、反応条件加熱還流３時間以外は合成例
１と同様に反応、後処理を行つた。無色透明粘稠
液体、収量26.2ｇ。NMRによりその構造が化合
物例No.16であることを確認し、VPOにより数平
均分子量を測定したところo＝1350であつた。 合成例 ７ （化合物例No.24の合成） ジヒドロキシエチルハイドロキノン19.9ｇ
（0.100mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）、脱
水蒸留したトルエン80mlの混合物に、ジクロロジ
メチルシラン12.9ｇ（0.100mole）のトルエン20
ml溶液を、合成例１と同様に添加し、その後、反
応、後処理を同様に行つた。やや褐色がかつた白
色固体、収量19.7ｇ。NMRによりその構造が化
合物例No.24であることを確認し、VPOにより数
平均分子量を測定したところo＝2040であつた。 実施例 １ 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80℃に保つた
第３燐酸ナトリウムの10％水溶液に３分間浸漬し
て脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アル
ミン酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫
酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマツト処理を
行つた。このアルミニウム板を20％硫酸中で電流
密度2A／Ｄm2において２分間陽極酸化を行いア
ルミニウム板を作製した。 次に下記感光液〔Ａ〕の本発明の化合物の種類
を変えて６種類の感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６を
調整し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウ
ム板の上に塗布し、100℃で２分間乾燥して、そ
れぞれの感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６
を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量で
1.5ｇ／m2であつた。 また、感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６に用いた本
発明の化合物は第１表に示す。 感光液〔Ａ〕 本発明の化合物 0.40ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ ２−（ｐ−メトキシフエニル）−４，６−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 次に比較例として下記の感光液〔Ｂ〕を感光液
〔Ａ〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔Ｂ〕
を作製した。 感光液〔Ｂ〕 クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
と１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−
スルホニルクロリドとの縮合生成物 0.45ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.02ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 乾燥後の塗布重量は1.5ｇ／m2であつた。感光
性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕の
感光層上に濃度差0.15のグレースケールを密着さ
せ、30アンペアのカーボンアーク灯で70cmの距離
から露光を行つた。 本発明の優れた感光性を示す為に露光された感
光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕
をDP−3B（商品名：富士写真フイルム(株)製）の
10倍希釈水溶液で25℃において60秒間浸漬現像
し、濃度差0.15のグレースケールで５段目が完全
にクリアーとなる露光時間を求めたところ第１表
に示すとおりとなつた。
上の整数、好ましくは１〜100の整数、更に好ま
しくは１〜20の整数を示す。Ｒはアルキル、又は
置換基を有していてもよいフエニル基を示す。特
に好ましい親水性基―（CH2CH2−Ｏ―）oである。 本発明の(b)における化合物の具体例としては次
に示すものが含まれる。 No.１ No.２ No.３ No.４ No.５ No.６ No.７ No.８ No.９ No.10 No.11 No.12 No.13 No.14 No.15 No.16 No.17 No.18 No.19 No.20 No.21 No.22 No.23 No.24 No.25 No.26 No.27 No.28 No.29 No.30 No.31 なお具体例中のｘ、ｙ、ｚはモル比を示し、化
合物No.１、２では、ｘ＝０〜90モル％、ｙ＝５〜
95モル％、ｚ＝５〜95モル％である。また化合物
例No.３〜No.23及びNo.25では、ｘ＝０〜95モル％、
ｙ＝５〜100モル％を示す。化合物例No.１〜No.26
のｍ、ｎは１以上の整数を示す。 これら酸により分解し得るシリルエーテル基、
並びに親水性基を有する化合物と組合せて用い
る、活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
としては多くの公知化合物及び混合物、例えば、
ジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
びヨードニウムのBF4−、PF6 -、SbF6 -、
SiF6 --、ClO4 -などの塩、有機ハロゲン化合物、
オルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及び
有機金属／有機ハロゲン化合物組合せ物が適当で
ある。もちろん、米国特許第3779778号及び西ド
イツ国特許第2610842号の明細中に記載された光
分解により酸を発生させる化合物も本発明の組成
物として適する。更に適当な染料と組合せて露光
の際、未露光部と露光物の間に可視的コントラス
トを与えることを目的とした化合物、例えば特開
昭55−77742号、同57−163234号の明細書に記載
された化合物も本発明の組成物として使用するこ
とができる。 上記光分解により酸を発生させる化合物の中で
は特にオルトキノンジアジドスルホニルクロリド
が好ましい。というのは、露光の際３つの酸基
（即ち塩酸、スルホン酸、カルボン酸）が形成さ
れる為、比較的大きい割合で前記シリルエーテル
基を分解させことができるからである。 これらの活性光線の照射により酸を発生し得る
化合物と前記酸により分解し得るシリルエーテル
基、並びに親水性基を有する化合物との割合は、
重量比で0.001：１〜２：１であり、好ましくは
0.02：１〜0.8：１で使用される。 本発明の光可溶性組成物は上記活性光線の照射
により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し
得るシリルエーテル基並びに親水性基を有する化
合物の組合せのみで使用することができるが、水
可溶性樹脂、アルカリ可溶性樹脂、又は有機溶剤
可溶性樹脂と混合して用いた方が好ましい。これ
らの樹脂は感光性レジスト形成性組成物の全重量
を基準として約30〜約90重量％、より好ましくは
50〜80重量％含有させられる。 本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更
に染料、顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化
合物の酸発生効率を増大させる化合物（所謂増感
剤）などを含有させることができる。好適な染料
としては油溶性染料及び塩基性染料がある。具体
的には、オイルイエロー＃101、オイルイエロー
＃130、オイルピンク＃312、オイルグリーン
BG、オイルブルーBOS、オイルブルー＃603、
オイルブラツクBY、オイルブラツクBS、オイル
ブラツクＴ−505（以上、オリエント化学工業株式
会社製）クリスタルバイオレツト（CI42555）、
メチルバイオレツト（CI42535）、ローダミンＢ
（CI45170B）、マラカイトグリーン（CI42000）、
メチレンブルー（CI52015）などをあげることが
できる。 本発明の光可溶化組成物は、上記各成分を溶解
する溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで
使用する溶媒としては、エチレンジクロライド、
シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、２−メトキシエチル
アセテート、トルエン、酢酸エチルなどがあり、
これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形
分）は、２〜50重量％である。このうち、本発明
の組成(a)＋(b)の好ましい濃度（固形分）は0.1〜
25重量％である。また、塗布量は用途により異な
るが例えば、感光性平版印刷版についていえば一
般的に固形分として0.5〜3.0ｇ／m2が好ましい。
塗布量が少くなるにつれ感光性は大になるが、感
光膜の物性は低下する。 本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を
製造する場合、その支持体としては親水化処理し
たアルミニウム板、たとえばシリケート処理アル
ミニウム板、陽極酸化アルミニウム板、砂目立て
したアルミニウム板、シリケート電着したアルミ
ニウム板があり、その他亜鉛板、ステンレス板、
クローム処理鋼板、親水化処理したプラスチツク
フイルムや紙を上げることができる。 また印刷用校正版、オーバーヘツドプロジエク
ター用フイルム第２原図用フイルムの製造に適す
る支持体としてはポリエチレンテレフタレートフ
イルム、トリアセテートフイルム等の透明フイル
ムや、これらのプラスチツクフイルムの表面を化
学的あるいは物理的マツト化したものをあげるこ
とが出来る。ホトマスク用フイルムの製造に適す
る支持体としてはアルミニウム、アルミニウム合
金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレ
ートフイルムや着色層をもうけたポリエチレンテ
レフタレートフイルムをあげることが出来る。ま
たホトレジストとして上記以外の種々の支持体、
例えば鋼板、鋼メツキ板、ガラス板上に本発明の
光可溶化組成物を塗布して使用される。 本発明に用いられる活性光線の光源としては例
えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノン
ランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。また高密度エネルギービーム（レーザー
ビーム又は電子線）による走査露光も本発明に使
用することができる。このようなレーザービーム
としてはヘリウム・ネオンレーザー、アルゴンレ
ーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。 本発明の光可溶性組成物に対する現像液として
は、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第三
リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第三
リン酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウム、
メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、アンモ
ニア水などのような無機アルカリ剤の水溶液が適
当であり、それらの濃度が0.1〜10重量％、好ま
しくは0.5〜５重量％になるように添加される。 また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界
面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を加
えることもできる。 以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細
に説明するが、本発明の内容がこれにより限定さ
れるものではない。 合成例 １ （化合物No.３の合成） １，８−オクタンジオール7.32ｇ
（0.0501mole）、テトラエチレングリコール9.712
ｇ（0.0500mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）、
脱水蒸留したトルエン80mlの混合物に、ジクロロ
ジメチルシラン12.9ｇ（0.100mole）のトルエン
20mlの溶液を撹拌及び氷冷下、滴下ロートより30
分間かけて添加した。添加後50℃にて、５時間撹
拌を続けた。生成した白色の塩（ピリジンの塩酸
塩）を別し、トルエン溶液を減圧下濃縮した。
その後、真空下（約１mmHg）、約80℃に加熱しな
がら10時間乾燥させた。無色透明液体、収量20.7
ｇ。NMRにより、その構造が化合物例No.３であ
ることを確認した。更にVPO（Vapour Pressure
Osmometer）により数平均分子量を測定したと
ころ、o＝1980であつた。 合成例 ２ （化合物例No.４の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオールの
代わりに１，10−デカンジオール8.72ｇ
（0.0500mole）を使用し、合成例１と同様に反
応、後処理を行つた。無色透明液体収量21.5ｇ。
NMRにより、その構造が化合物例No.４であるこ
とを確認し、VPOにより数平均分子量を測定し
たところo＝1850であつた。 合成例 ３ （化合物例No.６の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
ジクロロジメチルシランの代わりにそれぞれ１，
10−デカンジオール8.72ｇ（0.0500mole）、ジク
ロロジエチルシラン15.8ｇ（0.101mole）を使用
し、反応条件加熱環流３時間以外は合成例１と同
様に反応、後処理を行つた。無色透明粘稠液体、
収量24.1ｇ。NMRによりその構造を化合物No.６
であることを確認し、VPOにより数平均分子量
を測定したところo＝1480であつた。 合成例 ４ （化合物例No.10の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
テトラエチレングリコールの代わりにそれぞれ
１，４−シクロヘキサンジオール5.81ｇ
（0.0500mole）、ポリエチレングリコール＃200
（関東化学(株)製、平均分子量200）10ｇ
（0.050mole）を使用し、合成例１と同様に反応、
後処理を行つた。無色透明粘稠液体、収量19.7
ｇ。NMRによりその構造が化合物例No.10である
ことを確認し、VPOにより数平均分子量を測定
したところo＝1620であつた。 合成例 ５ （化合物例No.15の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
テトラエチレングリコールの代わりにそれぞれｐ
−キシリレングリコール5.53ｇ（0.0400mole）、
ポリエチレングリコール＃300（関東化学(株)製、平
均分子量300）18ｇ（0.060mole）を使用し、合
成例１と同様に反応、後処理を行つた。無色透明
粘稠液体、収量26.8ｇ。NMRによりその構造が
化合物例No.15であることを確認し、VPOにより
数平均分子量を測定したところo＝1730であつ
た。 合成例 ６ （化合物例No.16の合成） 合成例１における１，８−オクタンジオール、
ジクロロジメチルシランの代わりにそれぞれｐ−
キシリレングリコール6.91ｇ（0.0500mole）、メ
チルフエニルジクロロシラン19.2ｇ（0.100mole）
を使用し、反応条件加熱還流３時間以外は合成例
１と同様に反応、後処理を行つた。無色透明粘稠
液体、収量26.2ｇ。NMRによりその構造が化合
物例No.16であることを確認し、VPOにより数平
均分子量を測定したところo＝1350であつた。 合成例 ７ （化合物例No.24の合成） ジヒドロキシエチルハイドロキノン19.9ｇ
（0.100mole）、ピリジン17.4ｇ（0.220mole）、脱
水蒸留したトルエン80mlの混合物に、ジクロロジ
メチルシラン12.9ｇ（0.100mole）のトルエン20
ml溶液を、合成例１と同様に添加し、その後、反
応、後処理を同様に行つた。やや褐色がかつた白
色固体、収量19.7ｇ。NMRによりその構造が化
合物例No.24であることを確認し、VPOにより数
平均分子量を測定したところo＝2040であつた。 実施例 １ 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80℃に保つた
第３燐酸ナトリウムの10％水溶液に３分間浸漬し
て脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アル
ミン酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫
酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマツト処理を
行つた。このアルミニウム板を20％硫酸中で電流
密度2A／Ｄm2において２分間陽極酸化を行いア
ルミニウム板を作製した。 次に下記感光液〔Ａ〕の本発明の化合物の種類
を変えて６種類の感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６を
調整し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウ
ム板の上に塗布し、100℃で２分間乾燥して、そ
れぞれの感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６
を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量で
1.5ｇ／m2であつた。 また、感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６に用いた本
発明の化合物は第１表に示す。 感光液〔Ａ〕 本発明の化合物 0.40ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ ２−（ｐ−メトキシフエニル）−４，６−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 次に比較例として下記の感光液〔Ｂ〕を感光液
〔Ａ〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔Ｂ〕
を作製した。 感光液〔Ｂ〕 クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
と１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−
スルホニルクロリドとの縮合生成物 0.45ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ １，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−ス
ルホニルクロリド 0.02ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ 乾燥後の塗布重量は1.5ｇ／m2であつた。感光
性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕の
感光層上に濃度差0.15のグレースケールを密着さ
せ、30アンペアのカーボンアーク灯で70cmの距離
から露光を行つた。 本発明の優れた感光性を示す為に露光された感
光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６及び〔Ｂ〕
をDP−3B（商品名：富士写真フイルム(株)製）の
10倍希釈水溶液で25℃において60秒間浸漬現像
し、濃度差0.15のグレースケールで５段目が完全
にクリアーとなる露光時間を求めたところ第１表
に示すとおりとなつた。
【表】
なお第１表における本発明の化合物No.４、10、
14、15、21では、ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、ｎ＝
４のものを使用した。また第１表の本発明の化合
物の分子量はいずれも数平均分子量でo＝1600
〜2100のものであつた。 第１表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６はいず
れも〔Ｂ〕より露光時間が少なく、感度が高い。 実施例 ２ 実施例１の感光液〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、及び本発明の化合物を変えた〔Ａ〕−７〜
〔Ａ〕−９を用い、実施例１と同様にして感光性平
版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、及び
〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９を作製した。塗布量は全て
乾燥重量で1.5ｇ／m2であつた。感光液〔Ａ〕−７
〜〔Ａ〕−９に用いた本発明の化合物は第２表に
示す。 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版〔Ａ〕
−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−
９及び〔Ｂ〕の感光層上に濃度差0.15のグレース
ケールを密着させ、30アンペアのカーボンアーク
灯で70cmの距離から30秒間露光を行つた。露光さ
れた感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、
〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９及び〔Ｂ〕を実
施例１と同じ現像液にて、25℃で60秒間及び３分
間浸漬現像した。濃度差0.15のグレースケールで
60秒間及び３分間現像における完全にクリアーと
なる段数の差を求めたところ第２表に示すとおり
となつた。
14、15、21では、ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、ｎ＝
４のものを使用した。また第１表の本発明の化合
物の分子量はいずれも数平均分子量でo＝1600
〜2100のものであつた。 第１表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕−６はいず
れも〔Ｂ〕より露光時間が少なく、感度が高い。 実施例 ２ 実施例１の感光液〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、及び本発明の化合物を変えた〔Ａ〕−７〜
〔Ａ〕−９を用い、実施例１と同様にして感光性平
版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、及び
〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９を作製した。塗布量は全て
乾燥重量で1.5ｇ／m2であつた。感光液〔Ａ〕−７
〜〔Ａ〕−９に用いた本発明の化合物は第２表に
示す。 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版〔Ａ〕
−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−
９及び〔Ｂ〕の感光層上に濃度差0.15のグレース
ケールを密着させ、30アンペアのカーボンアーク
灯で70cmの距離から30秒間露光を行つた。露光さ
れた感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、
〔Ａ〕−４、〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９及び〔Ｂ〕を実
施例１と同じ現像液にて、25℃で60秒間及び３分
間浸漬現像した。濃度差0.15のグレースケールで
60秒間及び３分間現像における完全にクリアーと
なる段数の差を求めたところ第２表に示すとおり
となつた。
【表】
なお第２表における本発明の化合物No.４、10、
15、17、23、25では、ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、
ｎ＝４のものを使用した。また第２表の本発明の
化合物の分子量はいずれも数平均分子量でo＝
1500〜2100のものであつた。 第２表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、及び〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９はいずれも、ク
リアー部のグレースケール段数変化が小さく、現
像許容性が大きく優れたものであつた。 実施例 ３ 実施例１の感光液〔Ａ〕−４、及び下記感光液
〔Ｃ〕を用い、実施例１と同様にして感光性平版
印刷版〔Ａ〕−４、及び〔Ｃ〕を作製した。 感光液〔Ｃ〕 下記シリルエーテル化合物(1) 0.40ｇ ポリエチレングリコール＃300（関東化学(株)製、
平均6.8量体） 0.20ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ ２−（ｐ−メトキシフエニル）−４，６−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ シリルエーテル化合物(1) 数平均分子量o＝1820塗布量は全て乾燥重量
で1.5ｇ／m2であつた。 感光性平版印刷版〔Ａ〕−４、〔Ｃ〕及び〔Ｂ〕
に対し、実施例１で示した方法により、濃度差
0.15のグレースケールで５段目が完全にクリアー
となる露光時間を求め、更に実施例２に示した方
法により、濃度差0.15のグレースケールで60秒間
及び３分間現像における完全にクリアーとなる段
数の差を求めたところ第３表に示すとおりとなつ
た。
15、17、23、25では、ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、
ｎ＝４のものを使用した。また第２表の本発明の
化合物の分子量はいずれも数平均分子量でo＝
1500〜2100のものであつた。 第２表からわかるように本発明の化合物を用い
た感光性平版印刷版〔Ａ〕−１、〔Ａ〕−２、〔Ａ〕
−４、及び〔Ａ〕−７〜〔Ａ〕−９はいずれも、ク
リアー部のグレースケール段数変化が小さく、現
像許容性が大きく優れたものであつた。 実施例 ３ 実施例１の感光液〔Ａ〕−４、及び下記感光液
〔Ｃ〕を用い、実施例１と同様にして感光性平版
印刷版〔Ａ〕−４、及び〔Ｃ〕を作製した。 感光液〔Ｃ〕 下記シリルエーテル化合物(1) 0.40ｇ ポリエチレングリコール＃300（関東化学(株)製、
平均6.8量体） 0.20ｇ クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂
1.1ｇ ２−（ｐ−メトキシフエニル）−４，６−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン 0.05ｇ オイルブルー＃603（オリエント化学工業(株)製）
0.01ｇ エチレンジクロリド 10ｇ メチルセロソルブ 10ｇ シリルエーテル化合物(1) 数平均分子量o＝1820塗布量は全て乾燥重量
で1.5ｇ／m2であつた。 感光性平版印刷版〔Ａ〕−４、〔Ｃ〕及び〔Ｂ〕
に対し、実施例１で示した方法により、濃度差
0.15のグレースケールで５段目が完全にクリアー
となる露光時間を求め、更に実施例２に示した方
法により、濃度差0.15のグレースケールで60秒間
及び３分間現像における完全にクリアーとなる段
数の差を求めたところ第３表に示すとおりとなつ
た。
【表】
【表】
なお第３表における本発明の化合物No.15では、
ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、ｎ＝平均6.8のものを
使用した。また分子量は数平均分子量でo＝
1880であつた。 第３表からわかるように、酸により分解し得る
シリルエーテル基及び親水性基を同一分子中に有
する本発明の特定構造の化合物は、単に親水性化
合物を添加した系に比べ感度、現像許容性とも増
大した。
ｘ／ｙ＝50／50（モル比）、ｎ＝平均6.8のものを
使用した。また分子量は数平均分子量でo＝
1880であつた。 第３表からわかるように、酸により分解し得る
シリルエーテル基及び親水性基を同一分子中に有
する本発明の特定構造の化合物は、単に親水性化
合物を添加した系に比べ感度、現像許容性とも増
大した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物および(b)分子中に下記一般式（）または
（）で示される化合物を含有することを特徴と
する光可溶化組成物。 式中R1は下記の親水性基を有し、更に置換基
を有していてもよいn1価の脂肪族又は芳香族炭化
水素を示す。R2、R3、R4は同一でも相異してい
てもよく、それぞれ水素原子、アルキル、アルケ
ニル、置換基を有していてもよいアリール又はア
ラルキル、ハロゲン、もしくは−OR8を示す。
R5は置換基を有していてもよい２価の脂肪族又
は芳香族炭化水素を示す。R6は下記の親水性基
を示し、R7はR5又はR6を示す。R8は置換基を有
していてもよいアルキル、アリール、もしくはア
ラルキル基を示す。またR5とR8が結合して脂肪
族環又は芳香族環の一部を形成してもよい。n1、
n2、n3及びn4は正の整数を示す。ａ及びｂはそれ
ぞれ０又は１を示す。 親水性基：―（CH2CH2−Ｏ―）o、 ―〔―（CH2）l――Ｏ〕n―――（CH2CH2−Ｏ―）o、 式中、ｌは１〜４の整数を示し、ｍ、ｎは１以
上の整数を示す。Ｒはアルキル、又は置換基を有
していてもよいフエニル基を示す。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23037783A JPS60121446A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 光可溶化組成物 |
| DE8484107587T DE3473359D1 (de) | 1983-06-29 | 1984-06-29 | Photosolubilizable composition |
| EP84107587A EP0130599B1 (en) | 1983-06-29 | 1984-06-29 | Photosolubilizable composition |
| US07/044,161 US4816375A (en) | 1983-06-29 | 1987-04-30 | Photosolubilizable composition with silyl ether or silyl ester compound |
| US07/085,230 US4752552A (en) | 1983-06-29 | 1987-08-12 | Photosolubilizable composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23037783A JPS60121446A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 光可溶化組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121446A JPS60121446A (ja) | 1985-06-28 |
| JPH0544664B2 true JPH0544664B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=16906907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23037783A Granted JPS60121446A (ja) | 1983-06-29 | 1983-12-06 | 光可溶化組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121446A (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH067260B2 (ja) * | 1985-01-22 | 1994-01-26 | 富士写真フイルム株式会社 | 光可溶化組成物 |
| JPH067259B2 (ja) * | 1985-01-22 | 1994-01-26 | 富士写真フイルム株式会社 | 着色光可溶化組成物 |
| JP2607870B2 (ja) * | 1985-07-26 | 1997-05-07 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像形成方法 |
| JPS6261047A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性組成物 |
| DE69029104T2 (de) | 1989-07-12 | 1997-03-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Polysiloxane und positiv arbeitende Resistmasse |
| JPH0450947A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パターン形成方法 |
| JP2726348B2 (ja) * | 1992-02-03 | 1998-03-11 | 沖電気工業株式会社 | 放射線感応性樹脂組成物 |
| JP2944296B2 (ja) | 1992-04-06 | 1999-08-30 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性平版印刷版の製造方法 |
| JPH0954437A (ja) | 1995-06-05 | 1997-02-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 化学増幅型ポジレジスト組成物 |
| JP3591672B2 (ja) | 1996-02-05 | 2004-11-24 | 富士写真フイルム株式会社 | ポジ型感光性組成物 |
| JP3820778B2 (ja) * | 1998-11-17 | 2006-09-13 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 感光性平版印刷版 |
| JP3969909B2 (ja) | 1999-09-27 | 2007-09-05 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型フォトレジスト組成物 |
| JP4396443B2 (ja) | 2004-08-18 | 2010-01-13 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 感光性平版印刷版の製造方法及び使用方法 |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037549A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS6052845A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | パタ−ン形成材料 |
-
1983
- 1983-12-06 JP JP23037783A patent/JPS60121446A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60121446A (ja) | 1985-06-28 |
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|---|---|---|---|
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