JPH0532888U - 定流量弁付圧力比例制御弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 １台で小流量から大流量まで制御できるよう
にする。 【構成】 流路１１中に直列で同軸上に設けた２つの弁
座１２、１３と、このそれぞれの弁座の中心に貫通させ
た弁棒２４と、それぞれの弁座に対向させてバネ１６に
より閉弁方向に押圧力を付与すると共に、上流側には弁
棒と一体にスライドし、下流側には弁棒に対しフリーに
するよう設けた弁体１４、１５と、弁棒に上流側の弁体
の開弁後遅れて下流側の弁体に係合して開弁するよう設
けた係合部２５と、通電により閉弁方向にダイヤフラム
１７を介し弁棒とスライドさせるよう設けた電磁駆動部
２１と、上流側の弁座を通過後下流側の弁座を迂回して
流路の出口側に微少流量を流すよう設けたバイパス通路
２６と、このバイパス通路に弁座２７とそれに対向する
ダイヤフラム弁２８とで設けたダイヤフラム弁室２９
と、ダイヤフラム弁を開弁方向に押圧するバネ３０と、
流体をダイヤフラム弁室に流入させるよう設けた連通路
３１とから成り、連通路により流体流量を制御する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、微少流量を制御できる定流量弁付圧力比例制御弁に関するもので ある。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えばガス燃焼器具、特にガスコンロなどでは、小さな燃焼熱量から大 きな燃焼熱量までその熱量に大きな幅が要求されている。

【０００３】 上記熱量に大きな幅をもたせる方法としては、ガス供給量を変化させることで 燃焼熱量に幅をもたせることができる。

【０００４】 しかしながら、ガス供給量を多くする場合には、大きな弁口径の制御弁を使用 すればよいが、大きな弁口径の制御弁では、制御できる最少流量も大きくなって しまう問題があった。

【０００５】 そこで、図１３及び図１４に示すように、バーナー１に向う流路２に上流側か ら下流側に電磁弁３、ガバナー４、小孔５付電磁流量制御弁６を配置した制御装 置や図１５に示すように、バーナー１に向う流路２の上流側に電磁弁３、下流側 に圧力比例制御弁７を配置し、また、流路２に電磁弁３の上流側と圧力比例制御 弁７の下流側とを連通するバイパス通路８を設けると共に、このバイパス通路８ に上流側に電磁弁９を、下流側にオリフィス１０を配置した制御装置が使用され ている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

上記のような制御装置によると、小流量から大流量まで制御するのに電磁弁や ガバナーを必要とし、ガバナーを使用しないようバイパス通路を設けると、バイ パス通路に電磁弁やオリフィスが必要になるので、装置が大型になると共に、著 しくコストが上昇する問題があった。

【０００７】 そこで、この考案の課題は、小流量から大流量まで１台で制御できるようした 定流量弁付圧力比例制御弁を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決するために、この考案は流路中に直列で同軸上に設けた２つ の弁座と、このそれぞれの弁座の中心に貫通させた弁棒と、上記それぞれの弁座 に対向させてバネにより閉弁方向に押圧力を付与すると共に、上流側は上記弁棒 と一体にスライドし、下流側は上記弁棒に対しフリーにスライドするよう設けた 弁体と、上記弁棒に上流側の弁体の開弁後遅れて下流側の弁体に係合して開弁す るよう設けた係合部と、通電により開弁方向にダイヤフラムを介し弁棒をスライ ドさせるよう設けた電磁駆動部と、上記上流側の弁座を通過後下流側の弁座を迂 回して上記流路の出口側に微少流量を流すよう設けたバイパス通路と、このバイ パス通路に弁座とそれに対向するダイヤフラム弁とで設けたダイヤフラム弁室と 、このダイヤフラム弁を開弁方向に押圧するバネと、流体を前記ダイヤフラム弁 室に流入させるよう設けた連通路とから成る構成を採用したものである。

【０００９】 また、流路中に設けた主弁座と、この主弁座に対向させてバネにより閉弁方向 に押圧力を付与して設けた主弁体と、流体圧力を受けて応動するよう設けたダイ ヤフラムと、このダイヤフラムの動きを主弁体に伝えるよう設けた弁棒と、通電 により開弁方向に上記ダイヤフラムを介し弁棒をスライドさせるよう設けた電磁 駆動部と、上記主弁体内に前記主弁体の上記主弁座内に位置する部分に連通させ て設けた副弁座と、バネの押圧力により上記副弁座に押し付けるダイヤフラム弁 とで上記主弁体内に構成したダイヤフラム弁室と、入口側流体を上記ダイヤフラ ム弁室に流入させるよう設けた連通路と、上記副弁座内に遊嵌させて上記ダイヤ フラム弁に端を当接させてある上記弁棒に前記ダイヤフラム弁の開弁後遅れて上 記主体に係合して開弁させるよう設けた係合部とから成る構成を採用したもので ある。

【００１０】 さらに、流路中に設けた主弁座と、この主弁座に対向させてバネにより閉弁方 向に押圧力を付与して設けた主弁体と、流体圧力を受けて応動するよう設けたダ イヤフラムと、このダイヤフラムの動きを主弁体に伝えるよう設けた弁棒と、通 電により開弁方向に上記ダイヤフラムを介し弁棒をスライドさせるよう設けた電 磁駆動部と、上記主弁体内の上部に前記主弁体の上記主弁座内に位置する部分に 連通させて設けた第１弁座と、バネにより上記第１弁座に押し付けられるよう設 けた副弁体と、上記主弁体内の下部に第２弁座及びバネにより開弁方向に押圧力 を付与したダイヤフラム弁により構成したダイヤフラム室と、流体を上記ダイヤ フラム室に流入させるよう設けた連通路とから成り、前記副弁体の開弁後遅れて 主弁体が開弁するよう係合手段を設けた構成を採用したものである。

【００１１】

【作用】

電磁駆動部に通電しないときは、バネにより上流側の弁座に上流側の弁体を、 下流側の弁座に下流側の弁体をそれぞれ圧接しているので、流路が閉止している 。

【００１２】 電磁駆動部の励磁電流を増やしていくと、ダイヤフラムの動きを弁棒に伝えて 上記弁棒を後退させるので、上流側の弁座から上流側の弁体が遊離する。 このとき、弁棒に対しフリーの下流側の弁体は、バネにより下流側の弁座に圧 接されている。

【００１３】 そこで上流側の弁座と弁体の開口部を通過した流体は、バイパス通路をへて出 口に向うと共に、連通路により流体流量を制御する。即ち定流量弁の働きをする 。

【００１４】 上述の電流を増やしてさらに弁棒を後退させると、係合部により弁棒と共に下 流側の弁体を同方向にスライドさせるので、下流側の弁座から下流側の弁体が遊 離する。 その結果、電流量に比例して流体出口圧力を制御する圧力比例制御弁としての 働きをする。

【００１５】 また、電磁駆動部に通電しないときは、バネにより主弁座に主弁体を、副弁座 にダイヤフラム弁をそれぞれ圧接しているので、流路が閉止している。

【００１６】 電磁駆動部の励磁電流を増やしていくと、ダイヤフラムの動きを弁棒に伝えて 副弁座からダイヤフラム弁を遊離させる。 このとき、弁棒に対しフリーの主弁体は、主弁座に圧接している。

【００１７】 そこで、連通路をへてダイヤフラム弁室に流入した流体は、副弁座と弁棒との 間隙から出口に向い、上記連通路により流体流量を制御する。即ち定流量弁の働 きをする。

【００１８】 上記の電流を増やしてさらに弁棒を後退させると、係合部により主弁体を同方 向にスライドさせるので、主弁座から主弁体が遊離する。 その結果、電流量に比例して流体出口圧力を制御する圧力比例制御弁としての 働きをする。

【００１９】 さらに、駆動電磁部に通電しないときは、バネにより主弁座に主弁体を押し付 けて流路が閉止している。 勿論、バネにより第１弁座にも副弁体が押し付けられている。

【００２０】 駆動電磁部の励磁電流を増やしていくと、ダイヤフラムの動きを弁棒に伝えて 上記弁棒を後退させるので、第１弁座から副弁体が遊離する。 このとき、弁棒に対しフリーの主弁体は、主弁座に圧接している。

【００２１】 そこで、連通路を通過した流体は、第２弁座、ダイヤフラム弁室、第１弁座を へて出口に向うと共に、連通路により流体流量を制御する。即ち定流量弁の働き をする。

【００２２】 上述の電流を増やしてさらに弁棒を後退させると、係合手段により同方向に主 弁体をスライドさせて主弁座から主弁体が遊離する。

【００２３】 その結果、電流量に比例して流体出口圧力を制御する圧力比例制御弁としての 働きをする。

【００２４】

【実施例】

以下、この考案に係る実施例を添付図面に基づいて説明する。

【００２５】 （第１実施例） 図１に示すように流路１１中に直列で同軸上に２つの弁座１２、１３を設ける と共に、この両弁座１２、１３に対向するよう流路１１中に組み込んだ弁体１４ 、１５には、バネ１６により閉弁方向の押圧力が付与されている。

【００２６】 １７は中空室１８内を二分するダイヤフラムで、上記中空室１８のダイヤフラ ム１７の片面側は、通路１９を介し流路１１の下流側弁座１３の下流部分に連通 させてあり、もう片面側は、通孔２０を介し大気に連通させてある。

【００２７】 ２１は通電により下流側弁座１３の方向にダイヤフラム１７を動かす電磁駆動 部である。 上記の電磁駆動部２１は、コイル２２への通電により上記コイル２２の回りに 磁路を形成して、ダイヤフラム１７の中心に気密状に先端を接続したプランジヤ ２３をスライドさせるように構成してある。

【００２８】 ２４は通電によりスライドするプランジヤ２３の動きを弁体１４、１５に伝え る弁棒である。

【００２９】 上流側の弁体１４は、弁棒２４と一体にスライドするよう接続され、下流側の 弁体１５は、弁棒２４に対しフリーになるよう軸芯の透孔に上記弁棒２４を遊嵌 状に貫通させてある。

【００３０】 また、上記下流側の弁体１５は、上流側の弁体１４の開弁後遅れて開弁するよ う弁棒２４に係合部２５が設けてある。 上記の係合部２５は、図示の場合弁棒２４の外周にピンを突出させて、このピ ンが下流側弁体１５の先端面中央部に当接すると弁棒２４と共に下流側弁体１５ をスライドさせるようになっている。

【００３１】 ２６は流路１１の弁座１２、１３間と下流側の弁座１３を迂回して出口に通ず るバイパス通路で、このバイパス通路２６内には、弁座２７とそれに対向するダ イヤフラム弁２８とでダイヤフラム弁室２９が形成されている。

【００３２】 また、ダイヤフラム弁２８には、バネ３０により開弁方向の押圧力が付勢され ている。

【００３３】 さらに、バイパス通路２６の流体を連通路３１をへてダイヤフラム弁室２９に 流入させるようになっている。 上記の連通路３１は、図１に示すように弁座２７の外周外側に位置するようダ イヤフラム弁２８に設ける場合と、図２に示すようにバイパス通路２６とダイヤ フラム弁室２９を連通する通路３２に設ける場合とがあり連通路３１の断面積は 、適宜設定する。

【００３４】 上記のように構成すると、電磁駆動部２１に通電しないときは、バネ１６によ り上流側の弁座１２に上流側の弁体１４を、下流側の弁座１３に下流側の弁体１ ５をそれぞれ圧接しているので、流路１１が閉止している。

【００３５】 次に電磁駆動部２１の励磁電流を増やしていくと、プランジヤ２３のスライド をダイヤフラム１７から弁棒２４に伝えて上記弁棒２４を後退させるので、上流 側の弁座１２から上流側の弁体１４が遊離する。

【００３６】 このため、開弁した上流側の弁体１４と弁座１２との開口部を通過した流体は 、バイパス通路２６をへて（このとき、下流側の弁体１５は、バネ１６により下 流側の弁座１３に押し付けられて閉弁状態になっている）出口に向うと共に、連 通路３１により流体流量が制御される。即ち定流量弁の働きをする。

【００３７】 さらに電流を増やして弁棒２４を後退させると、係合部２５により弁棒２４と 共に下流側の弁体１５同方向にスライドさせるので、下流側の弁座１３から下流 側の弁体１５が遊離する。 その結果、電流量に比例して流体出口圧を制御する圧力比例制御弁としての働 きをする。

【００３８】 なお、流路１１からバイパス通路２６に向う流体流量が多くなると、バネ３０ を圧縮しながら弁座２７にダイヤフラム弁２８を接近させ、逆に流量が少なくな ると、バネ３０により弁座２７からダイヤフラム弁２８を離反させて、定流量の 流体を供給する。

【００３９】 （第２実施例） 図５に示すように、流路１１中に主弁座４１を設けると共に、この主弁座４１ に対向するよう流路１１中に組み込んだ主弁体４２には、バネ４３により閉弁方 向の押圧力が付与されている。

【００４０】 １７は中空室１８内を二分するダイヤフラムで、上記中空室１８のダイヤフラ ム１７の片面側は、通路１９を介し流路１１の主弁座４１の下流部分に連通させ てあり、もう片面側は、通孔２０を介し大気に連通させてある。

【００４１】 ２１は通電により主弁座４１の方向にダイヤフラム１７を動かす電磁駆動部で ある。 上記の電磁駆動部２１は、コイル２２への通電により上記コイル２２の回りに 磁路を形成して、ダイヤフラム１７の中心に気密状に先端を接続したプランジヤ ２３をスライドさせるように構成してある。

【００４２】 ２４は通電によりスライドするプランジヤ２３の動きを主弁体４２に伝える弁 棒である。

【００４３】 また、主弁体４２内には、主弁体４２の主弁座４１内に位置する部分に連通さ せた副弁座４４と、バネ４５の押圧力により副弁座４４に押し付けるダイヤフラ ム弁２８とでダイヤフラム弁室２９が設けられている。

【００４４】 ３１は入口側流体をダイヤフラム弁室２９に流入させるよう設けた連通路であ る。 上記の連通路３１は、図５に示すように主弁体４２の外周からダイヤフラム弁 室２９に連通するよう設ける場合と、図６に示すように副弁座４４の外周外側に 位置するようダイヤフラム弁２８に設ける場合とがあり、連通路３１の断面積は 、適宜設定する。

【００４５】 なお、主弁体４２と弁棒２４との関係は、副弁座４４の中心に弁棒２４を貫通 させて、ダイヤフラム弁２８に上記弁棒２４の端面を当接し、ダイヤフラム弁２ ８の開弁後遅れて主弁体４２が開弁するよう弁棒２４に係合部２５が設けてある 。

【００４６】 上記のように構成すると、電磁駆動部２１に通電しないときは、バネ４３によ り主弁座４１に主弁体４２を、バネ４５により副弁座４４にダイヤフラム弁２８ をそれぞれ圧接しているので、流路１１が閉止している。

【００４７】 次に電磁駆動部２１の励磁電流を増やしていくと、プランジャ２３のスライド をダイヤフラム１７から弁棒２４に伝えて上記弁棒２４を後退させるので、副弁 座４４からダイヤフラム弁２８が遊離する。

【００４８】 このため、流体は連通路３１をへてダイヤフラム弁室２９、副弁座４４をへて 出口に向うと共に、連通路３１により流体流量が制御される。即ち定流量弁の働 きをする。

【００４９】 さらに電流を増やして弁棒２４を後退させると、係合部２５により弁棒２４と 共に主弁体４２を同方向にスライドさせるので、主弁座４１から主弁体４２が遊 離する。 その結果、電流量に比例して流体出口圧を制御する圧力比例制御弁としての働 きをする。

【００５０】 （第３実施例） 図９に示すように、流路１１中に主弁座４１を設けると共に、この主弁座４１ に対向するよう流路１１に組み込んだ主弁体４２には、バネ４３により閉弁方向 の押圧力が付与されている。

【００５１】 １７は中空室１８内を二分するダイヤフラムで、上記中空室１８のダイヤフラ ム１７の片面側は、通路１９を介し流路１１の主弁座４１の下流部分に連通させ てあり、もう片面側は、通孔２０を介し大気に連通させてある。

【００５２】 ２１は通電により主弁座４１の方向にダイヤフラム１７を動かす電磁駆動部で ある。 上記の電磁駆動部２１は、コイル２２への通電により上記コイル２２の回りに 磁路を形成して、ダイヤフラム１７の中心に気密状に先端を接続したプランジヤ ２３をスライドさせるように構成してある。

【００５３】 ２４は通電によりスライドするプランジヤ２３の動きを主弁体４２に伝える弁 棒である。

【００５４】 また、主弁体４２内の上部には、主弁体４２の上記主弁座４１内に位置する部 分に連通させた第１弁座５１と、バネ５２により第１弁座５１に押し付けられる 副弁体５３と、主弁体４２内の下部には、第２弁座５４及びバネ５５により開弁 方向に押圧力を付与したダイヤフラム弁２８により構成したダイヤフラム弁室２ ９とが設けられている。

【００５５】 ３１は流体をダイヤフラム室２９に流入させるよう設けた連通路である。 上記の連通路３１は、図９に示すように主弁体４２の外周からダイヤフラム弁 室２９に連通するよう設ける場合と、図１０に示すように第２弁座５４の外周外 側に位置するようダイヤフラム弁２８に設ける場合とがあり、連通路３１の断面 積は、適宜設定する。

【００５６】 また、主弁体４２は、係合手段５６により副弁体５３の開弁後遅れて開弁する ようになっている。

【００５７】 上記の係合手段５６は、第１弁座５１の中心に貫通させた弁棒２４の端に副弁 体５３を固定し、弁棒２４と共に後退する副弁体５３が第２弁座５４の出口端に 当接して主弁体４２を押し戻すようになっている。

【００５８】 図中５７は第２弁座５４の出口用通路である。

【００５９】 上記のように構成すると、電磁駆動部２１に通電しないときは、バネ４３によ り主弁座４１に主弁体４２を、バネ５２により第１弁座５１に副弁体５３をそれ ぞれ圧接しているので、流路１１が閉止している。

【００６０】 次に電磁駆動部２１の励磁電流を増やしていくと、プランジャ２３のスライド をダイヤフラム１７から弁棒２４に伝えて上記弁棒２４を後退させるので、第１ 弁座５１から副弁体５３が遊離する。

【００６１】 このため、流体は連通路３１をへてダイヤフラム弁室２９、第２弁座５４、第 １弁座５１をへて出口に向うと共に、連通路３１により流体流量が制御される。 即ち定流量弁の働きをする。

【００６２】 さらに電流を増やして弁棒２４を後退させると、係合手段５６と副弁体５３と の当接により主弁体４２が押し戻されて主弁座４１から上記主弁体４２が遊離す る。 その結果、電流量に比例して流体出口圧を制御する圧力比例制御弁としての働 きをする。

【００６３】 なお、連通路３１の内径を、図１及び図２に示すように弁座２７の内径よりも 、また図５及び図６に示すように副弁座４４の内径よりも、さらに図９及び図１ ０に示すように第２弁座５４の内径よりも小さくすると、間隙での圧力減少量を 小さくできることにより、全体の圧力減少量も小さくなり、制御できる必要最低 入口圧力を低くできる。これにより流体が都市ガスで入口圧力が５０mm水柱の低 い圧力でも制御することができる。

【００６４】 また、都市ガスで入口圧力が５０mm水柱の場合、全体の圧力減少量を５０mm水 柱以下にする必要があるが、間隙での圧力減少量を小さくすると、連通路での圧 力減少量を比較的大きくでき、ダイヤフラム弁前後の差圧が大きくなり、安定し た制御ができる。

【００６５】 次に、連通路３１の内径を、図３及び図４に示すように弁座２７の内径よりも 、また図７及び図８に示すように副弁座４４の内径よも、さらに図１１及び図１ ２に示すように第２弁座５４の内径よりも大きくすると、流体が例えば水道水で 入口圧が２〜４kg／cm² の比較的高い圧力の場合は、圧力減少があまり問題にな らず、弁座内径を小さくすると、ダイヤフラム弁の動きによる間隙部の流量変化 が小さくなり、安定した制御ができる。

【００６６】

【効果】

以上のように、この考案に係る一台の定流量弁付圧力比例制御弁を使用するこ とにより電磁弁、ガバナー、電磁弁やオリフィス付のバイパス通路を設けないで 小流量から大流量まで制御することができると共に、小型化でき、かつコストを 低減することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係る第１実施例の縦断正面図

【図２】連通路の他の実施例の縦断正面図

【図３】第１実施例の連通路の内径を弁座の内径よりも
大きくした縦断正面図

【図４】同連通孔の他の実施例の縦断正面図

【図５】第２実施例の縦断正面図

【図６】連通路の他の実施例の縦断正面図

【図７】第２実施例の連通路の内径を副弁座の内径より
も大きくした縦断正面図

【図８】同連通孔の他の実施例の縦断正面図

【図９】第３実施例の縦断正面図

【図１０】連通路の他の実施例の縦断正面図

【図１１】第３実施例の連通路の内径を第２弁座の内径
よりも大きくした縦断正面図

【図１２】同連通孔の他の実施例の縦断正面図

【図１３】従来の制御装置の回路図

【図１４】小孔付電磁流量制御弁の縦断拡大正面図

【図１５】従来の制御装置の回路図

【符号の説明】

１１ 流路 １２、１３ 弁座 １４、１５ 弁体 １６、３０、４３、４５、５２、５５ バネ １７ ダイヤフラム １８ 中空室 １９ 通路 ２０ 通孔 ２１ 電磁駆動部 ２２ コイル ２３ プランジャ ２４ 弁棒 ２５ 係合部 ２６ バイパス通路 ２７ 弁座 ２８ ダイヤフラム弁 ２９ ダイヤフラム弁室 ３１ 連通路 ４１ 主弁座 ４２ 主弁体 ４４ 副弁座 ５１ 第１弁座 ５３ 副弁体 ５４ 第２弁座 ５６ 係合手段

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路中に直列で同軸上に設けた２つの弁
   座と、このそれぞれの弁座の中心に貫通させた弁棒と、
   上記それぞれの弁座に対向させてバネにより閉弁方向に
   押圧力を付与すると共に、上流側は上記弁棒と一体にス
   ライドし、下流側は上記弁棒に対しフリーにスライドす
   るよう設けた弁体と、上記弁棒に上流側の弁体の開弁後
   遅れて下流側の弁体に係合して開弁するよう設けた係合
   部と、通電により開弁方向にダイヤフラムを介し弁棒を
   スライドさせるよう設けた電磁駆動部と、上記上流側の
   弁座を通過後下流側の弁座を迂回して上記流路の出口側
   に微少流量を流すよう設けたバイパス通路と、このバイ
   パス通路に弁座とそれに対向するダイヤフラム弁とで設
   けたダイヤフラム弁室と、このダイヤフラム弁を開弁方
   向に押圧するバネと、流体を前記ダイヤフラム弁室に流
   入させるよう設けた連通路とから成る定流量弁付圧力比
   例制御弁。
2. 【請求項２】 流路中に設けた主弁座と、この主弁座に
   対向させてバネにより閉弁方向に押圧力を付与して設け
   た主弁体と、流体圧力を受けて応動するよう設けたダイ
   ヤフラムと、このダイヤフラムの動きを主弁体に伝える
   よう設けた弁棒と、通電により開弁方向に上記ダイヤフ
   ラムを介し弁棒をスライドさせるよう設けた電磁駆動部
   と、上記主弁体内に前記主弁体の上記主弁座内に位置す
   る部分に連通させて設けた副弁座と、バネの押圧力によ
   り上記副弁座に押し付けるダイヤフラム弁とで上記主弁
   体内に構成したダイヤフラム弁室と、入口側流体を上記
   ダイヤフラム弁室に流入させるよう設けた連通路と、上
   記副弁座内に遊嵌させて上記ダイヤフラム弁に端を当接
   させてある上記弁棒に前記ダイヤフラム弁の開弁後遅れ
   て上記主体に係合して開弁するよう設けた係合部とから
   成る定流量弁付圧力比例制御弁。
3. 【請求項３】 流路中に設けた主弁座と、この主弁座に
   対向させてバネにより閉弁方向に押圧力を付与して設け
   た主弁体と、流体圧力を受けて応動するよう設けたダイ
   ヤフラムと、このダイヤフラムの動きを主弁体に伝える
   よう設けた弁棒と、通電により開弁方向に上記ダイヤフ
   ラムを介し弁棒をスライドさせるよう設けた電磁駆動部
   と、上記主弁体内の上部に前記主弁体の上記主弁座内に
   位置する部分に連通させて設けた第１弁座と、バネによ
   り上記第１弁座に押し付けられるよう設けた副弁体と、
   上記主弁体内の下部に第２弁座及びバネにより開弁方向
   に押圧力を付与したダイヤフラム弁により構成したダイ
   ヤフラム室と、流体を上記ダイヤフラム室に流入させる
   よう設けた連通路とから成り、前記副弁体の開弁後遅れ
   て主弁体が開弁するよう係合手段を設けた定流量弁付圧
   力比例制御弁。