JPH0563416B2 - - Google Patents
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- JPH0563416B2 JPH0563416B2 JP32225289A JP32225289A JPH0563416B2 JP H0563416 B2 JPH0563416 B2 JP H0563416B2 JP 32225289 A JP32225289 A JP 32225289A JP 32225289 A JP32225289 A JP 32225289A JP H0563416 B2 JPH0563416 B2 JP H0563416B2
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- JP
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- quartz glass
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32225289A JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32225289A JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03183626A JPH03183626A (ja) | 1991-08-09 |
| JPH0563416B2 true JPH0563416B2 (mo) | 1993-09-10 |
Family
ID=18141590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32225289A Granted JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03183626A (mo) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996021617A1 (en) * | 1995-01-12 | 1996-07-18 | Mitsubishi Chemical Corporation | Silica gel, synthetic quartz glass powder, quartz glass molding, and processes for producing these |
| JP4898014B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2012-03-14 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 合成石英粉の製造方法および石英ガラスルツボの製造方法 |
| JP6301441B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-03-28 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ用のシリカガラスルツボの製造方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP32225289A patent/JPH03183626A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03183626A (ja) | 1991-08-09 |
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