JPH0576557B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、板状めつき物と樹脂パツケージとの
接着強度を確保するために使用する部分めつき用
マスク治具に関する。

「従来の技術」 従来、ICリードフレームの如き板状のめつき
物にめつきを施す部分めつき用マスク治具として
は、第６図の下部に示すように、部分めつき用マ
スク治具１の開口部２が長方形等の単純形状をし
たものが使用され、出回つている（例えば、実開
昭60−105658号公報）。近年、ICの多ピン化およ
び薄肉化に伴い、樹脂パツケージ（図示略）と
ICリードフレーム４との接着強度を確保し、か
つ、耐湿性を向上する必要が生じたので、第６図
の上部および第７図ａに示すようにICリードフ
レーム４にロツクホール５を付けた形状のものが
増加してきた。しかしながら、従来の部分めつき
用マスク治具では、マスク治具開口部２がリード
フレーム４のめつき対象部位４ａに対応した長方
形等の単純形状であるため、ロツクホール５にお
けるロツクホール内壁面５ａに銀めつき液が充分
に供給されず、ロツクホール部内壁面が不完全な
めつき仕上がりとなり、樹脂パツケージとの接着
強度に支障来すという問題を知見した。そこで、
不完全なめつき仕上りを無くするためマスク治具
開口部２をロツクホール５より狭い面積にする
と、インナリード６先端の必要部にめつきがつか
ない。また、第７図ｂに２点鎖線でに示すよう
に、マスク治具開口部２をロツクホール５より広
い面積としたのでは、めつきを施される領域が、
めつき対象部位４ａに含まれないせき止め７の外
部領域にまで広がり、高価な銀めつき液を多く必
要とするという問題がある。さらに、マスク治具
開口部２の拡大はICリードフレーム４における
モールドエリア４ｂ以外のインナーリード６の端
面部へのめつき液の漏れを拡大し高価なめつき液
の洩れを増大させるという問題がある。しかも、
このめつき漏れは、湿潤環境下において泳動によ
る漏電故障を起こし、信頼性を低下させるという
問題があつた。

特開昭60−39193号公報に記載されたマスク板
は、リードフレーム表面（対象面）のめつき必要
部のみを開口させた形状を有するマスク板を規定
しており、樹脂板２０にメツキ対象物２の形状を
転写・凹設され、その凹部２２内のメツキ対象物
２のメツキ部位Ｘと相応する位置に微小径のメツ
キ液の供給孔２８が形成されているマスク板に過
ぎず、メツキ対象物２にはロツクホールが穿設さ
れていないので、上記公報のマスク板によるとメ
ツキ対象物２（ICリードフレーム）と樹脂パツ
ケージとの接着強度が確保されないという欠点が
ある。

実開昭57−48265号公報に記載された部分めつ
き用マスク板は、上記公報と同様にリードフレー
ム表面（対象面）のメツキ必要部のみを開口させ
た形状を有するマスク板を規定しており、半導体
リードフレーム１の半導体素子接着用のアイラン
ド２に対応するアイランドマスク部４とその周辺
にリードフレーム１のインナーリード３先端を覗
かせる如く加工せる開孔部６，６′とを有するマ
スク樹脂基板にコーチングゴム層９を施してなる
部分めつき用マスク板７に過ぎず、ICリードフ
レームのインナーリード３にはロツクホールが穿
設されていないので、ICリードフレーム１と樹
脂パツケージとの接着強度が確保されないという
欠点がある。

また、実開昭58−128980号公報（以下単に第３
引例という）に記載された表面処理用マスクは、
マスクする際におけるメツキエリアの精度向上を
ねらつたマスク断面形状に関するもので、マスク
６の開口部２の周縁側面７を被処理面との接点か
らの垂直線８に対し、上記側面７を10〜50゜の角
度で開口部２の内方に傾斜突出させた表面処理用
マスクに過ぎず、ICリードフレーム４にはロツ
クホールが穿設されていないので、ICリードフ
レーム４の樹脂パツケージとの接着強度が確保さ
れないという欠点がある。

「発明が解決しようとする問題点」 そこで、本発明は上記の問題を解決するために
なされたものであり、ICリードフレームなどの
めつき物と樹脂パツケージと接着強度を確保する
ことが可能であるとともに、貴金属めつきを施す
ことが必要なめつき対象部位に充分にめつきを施
こすことができ、しかも高価な貴金属めつき液の
漏れを増大することがない部分めつき用マスク治
具を提供することを目的とする。

「問題点を解決するための手段」 そのため本発明は、樹脂パツケージとの接着強
度を確保するため、ロツクホールを穿設した板状
のめつき物に使用する部分めつき用マスク治具で
あつて、 前記部分めつき用マスク治具におけるめつき物
の支持面に、 めつき対象部位に対応してマスク治具開口部を
穿設するとともに、前記めつき対象部位に隣接す
るロークホール部位に対応して溝を穿設し、 前記溝はマスク治具開口部内壁面に穿設させて
なることを特徴とする部分めつき用マスク治具を
提供する。

「作用」 上記構成によれば、部分めつき用マスク治具に
おけるマスク治具開口部を通してめつき物におけ
るめつき対象部位に貴金属めつき液を供給すると
き、マスク治具開口部内壁面に穿設した溝を通し
てロツクホール内壁面に貴金属めつき液が供給さ
れ、ICリードフレームのめつき対象部位だけで
はなくロツクホール内壁面に充分な貴金属めつき
が施されるので、めつき物と樹脂パツケージとの
接着強度が確保される。また、マスク治具開口部
の拡大が少ないので、めつき液の漏れが最小とな
る。

「実施例」 次に、本発明実施例を第１図から第５図に基づ
いて説明する。

第１図および第２図に示すように、第１実施例
のマスク治具１は、ICリードフレーム４におけ
るめつき対象部位４ａに対応する間隔4Lでマス
ク治具開口部２が穿設されている。マスク治具開
口部２はめつき対象部位４ａに対応した略長方形
形状をなし、マスク治具開口内部壁面２ａにはロ
ツクホール５に対応した半円状の溝２１が数列に
わたつて穿設されている。溝２１の深さ２１ａ
は、ロツクホール５のロツクホール径５ｂの略1/
３以上である（第３図）。また、マスク治具１の材
質は、可撓弾性および耐薬品性を備え、かつシー
ルを有するシリコンゴムである。シリコンゴムよ
りなるマスク治具１を支持するために、マスク治
具支持台３が用いられる（第１図、第４図）。マ
スク治具支持台３は、めつき対象部位４ａに対応
する間隔4Lでマスク治具支持台開口部３ａを有
している。マスク治具支持台３の材質は硬質なポ
リ塩化ビニルである。そして、マスク治具支持台
３のマスク治具支持台開口部３ａにマスク治具１
におけるマスク治具開口部２を対応させて、マス
ク治具１はマスク治具支持台３における支持面３
ｂに組付けられる。

ICリードフレーム４は、端子をなすインナー
リード６および半導体素子マウント用アイランド
８が打抜き成形されている（第２図）。さらに、
インナーリード６には樹脂パツケージとの接合の
際に充分な接合強度を確保し耐湿性を向上するた
めに、ロツクホール５（インナーリード６先端の
めつき対象部位に隣接する空孔）およびせき止め
７がモールドエリア４ｂの内側に設けられてい
る。（第２図） めつき処理は、第４図に示されるように、上押
えスポンジ１１を介してICリードフレーム４を
マスク治具１に押圧する図示しない押圧手段と、
マスク治具支持台３における反支持面３ｃより差
し込まれたノズル９とを用いて行われる。ノズル
９の先端には陽極１０が具備されている。

第２実施例のマスク治具１は、第５図ａに示さ
れるように、ロツクホール５に対応して穿設され
たマスク治具１におけるマスク治具開口部内壁面
２ａの溝２１が角形断面にされている。溝２１の
深さ２１ａは、ロツクホール径５ｂの略1/3以上
である。溝２１の形状は、ロツクホール５におけ
るロツクホール内壁面５ａにめつき液が充分に行
き渡る形状であればよい。マスク治具支持台３は
前記第１実施例に用いたマスク治具支持台３と同
様な形状をしている。

第３実施例のマスク治具１は、第５図ｂに示さ
れるように、ロツクホール５に対応して穿設され
たマスク治具１におけるマスク治具開口部内壁面
２ａの溝２１が星形断面にされている。

第４実施例のマスク治具１は、第５図ｃに示さ
れるように、ロツクホール５に対応しえ穿設され
たマスク治具１におけるマスク治具開口部内壁面
２ａの溝２１が三角形断面をなしている。

「作動」 次に、上記第１〜第４実施例についてその作動
を説明する。ICリードフレーム４は、めつき対
象部位４ａを、マスク治具支持台３に組付けられ
たマスク治具１のマスク治具開口部２に対応させ
て、マスク治具１に搭載される（第１図、第４
図）。マスク治具１に搭載されたリードフレーム
４は、図示しない押圧手段より上押えスポンジ１
１を介して２〜５Kg／cm²の圧力が加えられ、マス
ク治具１に押し付けられてICリードフレーム４
とマスク治具１との間にシール性が保たれる。さ
らに、ICリードフレーム４は電圧を加えられて
カソード化され、陽極１０との間に電流を流され
る。ノズル９から噴射された銀めつき液は、マス
ク支持台３の開口部３ａおよびマスク治具１のマ
スク治具開口部２を通してICリードフレーム４
に至り、ICリードフレーム４は半導体素子マウ
ント用アイランド８およびインナーリード６先端
に銀めつきが施される。そして、マスク治具１の
マスク治具開口部２がロツクホール５内壁面に対
応した溝２１を有するので、ロツクホール５にお
けるロツクホール内壁面５ａにも充分な銀めつき
が施される。さらに、マスク治具開口部２をロツ
クホール５に対応して拡大したことによるICリ
ードフレーム４におけるモールドエリア４ｂ以外
へのめつき液の漏れはなく、ロツクホール５に対
応した部位のみへの拡大であるため、従来のマス
ク治具１と同程度の問題はない。

「その他の実施例」 本発明は、上記の実施例の細部にまで限定され
るものではなく、例えば、マスク治具１の材質は
可撓弾性、耐薬品性を有する弾性材なら適し、フ
ロシリコンゴム、エチレンプロピレンゴム等であ
つてもよい。さらに、マスク治具１におけるマス
ク治具開口部２のマスク治具開口部内壁面２ａに
穿設された溝２１の形状は、ロツクホール５にお
けるロツクホール内壁面５ａにめつき液が充分に
行き渡る形状ならよく、また、めつき液が行き渡
りにくい部分にのみ溝２１を穿設するものであつ
てもよい。

「効果」 以上述べたごとく、本発明の部分めつき用マス
ク治具は、マスク治具開口部を通してめつき物に
おけるめつき対象部位に貴金属めつき液を供給す
るとき、マスク治具開口部内壁面に穿設した溝を
通してロツクホール内壁面に貴金属めつき液が供
給され、モールドエリア外へのめつき洩れを増大
することなく、めつき対象部位へ充分なめつきを
施すことが可能である。

また、ロツクホール部に溝を介して充分なめつ
き液を供給することができ、該ロツクホール部の
内壁面全体に確実にめつきを施すことができ、従
つて、めつきの不十分さによつて該ロツクホール
部を介してのめつき物と樹脂パツケージとの接着
強度が劣るという難点を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例マスク治具をマス
ク治具支持台に組付けた状態において、ICリー
ドフレームとの組合せを示す概略斜視図、第２図
は第１実施例マスク治具にICリードフレームを
配置した状態におけるマスク治具のマスク治具開
口部拡大平面図、第３図は第１実施例のマスク治
具にICリードフレームを配置した状態における
ロツクホール対応部位の拡大平面図、第４図は第
１実施例のマスク治具にICリードフレームを配
置した状態において、第１図に示される矢印−
線に沿う拡大断面図、第５図ａは第２実施例の
マスク治具におけるロツクホール対応部位の拡大
平面図、第５図ｂは第３実施例のマスク治具にお
けるロツクホール対応部位の拡大平面図、第５図
ｃは第４実施例のマスク治具におけるロツクホー
ル対応部位の拡大平面図、第６図は従来からのマ
スク治具とICリードフレームとの組合せを示す
概略斜視図、第７図ａは従来からのマスク治具に
ICリードフレームを配置した状態におけるマス
ク治具開口部の拡大平面図、第７図ｂはマスク治
具開口部をロツクホールを含むように単純に拡大
したマスク治具に、ICリードフレームを配置し
た状態におけるマスク治具開口部の拡大平面図で
ある。 １……マスク治具、２……マスク治具開口部、
２ａ……マスク治具開口部内壁面、３……マスク
治具支持台、３ｂ……支持面、４……ICリード
フレーム、４ａ……めつき対象部位、５……ロツ
クホール、６……インナーリード、７……せき止
め、２１……溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 樹脂パツケージとの接着強度を確保するた
   め、ロツクホールを穿設した板状のめつき物に使
   用する部分めつき用マスク治具であつて、 前記部分めつき用マスク治具におけるめつき物
   の支持面に、 めつき対象部位に対応してマスク治具開口部を
   穿設するとともに、 前記めつき対象部位に隣接するロツクホール部
   位に対応して溝を穿設し、 前記溝はマスク治具開口部内壁面に穿設させて
   なることを特徴とする部分メツキ用マスク治具。