JPH0589413A - 浮動式磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 磁気ギャップの側方でヘッドコアの側部に計
量部を設ける。計量部の側面には傾斜面を形成し、後部
には媒体対向面の反対側に向く斜面を形成することでヘ
ッドコア以外にバックギャップを形成しない。この磁気
ヘッドにおいて、所定量のギャップ深さの磁気ギャップ
を得る為にヘッドコアを研磨加工する際には、磁気ギャ
ップ側方部の計量部の研磨状態を計測しながら行なう。 【効果】 研磨量を媒体対向面側から把握できるので、
磁気ギャップのギャップ深さを正確に調製することがで
きる。計量部の後部に斜面が形成されているので、計量
部の形成に伴うバックギャップは存在しない。従って、
外部誘導ノイズを拾うことがなく、不要にインダクタン
スが高まることがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はハードディスクドライブ
装置等に用いられる浮動式磁気ヘッド及びその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に２レールのメタルインギャップ
（MIG）ヘッド型の浮動式磁気ヘッドの一例を示す。こ
の浮動式磁気ヘッド１０はスライダ１２の媒体対向面側
に２本の浮上レール１４，１６が形成されている。さら
にスライダ１２の後部（図５においては手前側）には略
コ字状のヘッドコア１８が形成されている。そして、ヘ
ッドコア１８には磁気ギャップ２０が形成され、その磁
気ギャップ２０の周囲部はガラス１３で保護されてい
る。

【０００３】一般に、磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップで磁気記録の記録再生を行なう為、磁気ギャップの
深さ（以下、ギャップ深さ：ＧＤ）は磁気ヘッドの記録
再生の性能に大きく影響を与えるものである。従って、
磁気ギャップの形成における研磨工程時には正確なギャ
ップ深さを測定しつつ研磨することが必要である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
浮動式磁気ヘッド１０においては、磁気ギャップ２０の
周囲部はガラス１３で覆われている為に、磁気ギャップ
２０のギャップ深さを測定することは困難であった。こ
のため従来は、ギャップ深さを測定する為には、スライ
ダ１２を破壊してから測定する手段しかなかった。この
為に、スライダの研磨と同時にギャップ深さを測定する
ことが困難で、ギャップ深さを正確に加工することがで
きなかった。

【０００５】そこで本発明者は、これらの課題を解決し
た浮動式磁気ヘッド及びその製造方法を先に発案した。
これは図６と図７に示すように、浮動式磁気ヘッド２２
のスライダ２６の浮上レール２４の後方に形成されるヘ
ッドコア３０の側部に計量部３２，３２を形成するもの
である。この計量部３２，３２は少なくとも磁気ギャッ
プ２８よりも後方に形成されていることが必要である。
そして、ヘッドコア３０の媒体対向面側からの研磨加工
時には、ヘッドコア３０と計量部３２，３２を同時に、
且つ同条件で研磨加工する。計量部３２，３２の側面に
は傾斜面３４が形成されているので、媒体対向面側から
研磨加工を行なうと、計量部３２，３２のモニタ４２，
４２が短くなる。従って、ヘッドコア３０を媒体対向面
側から研磨加工をする時に、モニタ４２，４２の長さを
計測することでヘッドコア３０の研磨量を把握できる。
即ち、磁気ギャップ２８のギャップ深さを調製すること
ができるものである。

【０００６】しかしながら、この浮動式磁気ヘッド２２
においては、製造上、計量部３２を設けたことで、本来
のヘッドコア３０の外側にもバックギャップ２９が形成
されてしまう。このバックギャップ２９は磁気ヘッドに
悪影響を及ぼす外部誘導ノイズ等を拾い易く、不要にイ
ンダクタンスが高くなってしまうものであった。

【０００７】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、ヘッドコアの側部で磁気ギャップの側方に計
量部を設け、さらに計量部の後部に媒体対向面の反対側
に向く斜面を形成することで、スライダを破壊すること
なく、かつ外部誘導ノイズを拾うことなく、磁気ギャッ
プのギャップ深さを正確に調製するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の浮動式磁
気ヘッドは、スライダに複数の浮上レールが形成され、
少なくとも１つの浮上レールの後端部に磁気ギャップを
有するヘッドコアが形成されてなる浮動式磁気ヘッドに
おいて、ヘッドコアの側部に、媒体対向面を磁気ギャッ
プよりも後方に延出させて計量部が形成され、計量部の
側面の媒体対向面側に傾斜面が形成され、前記計量部の
後部に媒体対向面の反対側に向く斜面が形成されている
ことを特徴とするものである。

【０００９】請求項２記載の浮動式磁気ヘッドは、請求
項１記載の浮動式磁気ヘッドにおいて、計量部の側面に
形成されている傾斜面の傾斜角度が４５゜であることを
特徴とするものである。

【００１０】請求項３記載の浮動式磁気ヘッドの製造方
法は、スライダブロックにスライス・切断加工を施し
て、ヘッドコアと、浮上レールと、ヘッドコアの側部に
位置する計量部を有するスライダを形成し、計量部の後
部に媒体対向面の反対側に向く斜面を形成し、計量部の
研磨変化量を計測しながら計量部とヘッドコアを同条件
で媒体対向面側から研磨することを特徴とするものであ
る。

【００１１】

【作用】本発明の浮動式磁気ヘッドでは、 磁気ギャップを有するヘッドコアの極近傍に、即ち浮
上レールの後端部でヘッドコアの側部に計量部が設けら
れている。 この際、計量部の媒体対向面は少なくとも磁気ギャッ
プの側方に形成されている。 計量部の側面の媒体対向面側には傾斜面が形成されて
いる。 計量部の後部に、媒体対向面の反対側に向く斜面が形
成されている。 この構成において、計量部に媒体対向面側から研磨加工
を行なうと、計量部の傾斜面のモニタは、研磨されて削
られる量に応じて短くなる。よって、隣接するヘッドコ
アと計量部を同時に同条件で研磨すれば、ヘッドコアの
研磨量を計量部の傾斜面のモニタの変化から知ることが
できる。即ち、ヘッドコアの研磨状態（磁気ギャップの
ギャップ深さ）を計量部の側面に形成されている傾斜面
から把握することができる。これは、ギャップ深さを研
磨加工と同時に把握することができることであり、正確
なギャップ深さをもつ浮動式磁気ヘッドの製造を可能と
する。

【００１２】さらに、計量部の後部に斜面が形成されて
いる為に、計量部の形成による不要なバックギャップが
存在しない。この為、外部誘導ノイズを拾うことがな
い。

【００１３】

【実施例】本実施例の浮動式磁気ヘッドを図１〜３に示
す。尚、図２（ｂ）ではヘッドコアは省略した。本実施
例の浮動式磁気ヘッドは、図１に示すように、スライダ
６０の媒体対向面側に２本の平行な浮上レール４６，４
８が形成されている。そして、磁気ギャップ５６を内包
するヘッドコア５０が浮上レール４８の後端部に形成さ
れている。さらに、浮上レール４８の後端で、磁気ギャ
ップ５６の側方を含むヘッドコア５０の側部には、計量
部５２，５４が形成されている。また、計量部５２，５
４の外方で幅方向側面の媒体対向面側には浮上レール４
８と連続している傾斜面６４，６４が形成されている。
この傾斜面６４，６４の傾斜角度を図１で示すように、
θとする。本実施例では傾斜角度θを４５゜に設定して
いる。

【００１４】さらに、計量部５２，５４の後部を媒体対
向面の反対側に向く斜面７２とした。この斜面７２と垂
線との間の傾斜角度を図３で示すようにαとする。この
傾斜角度αは５゜〜１５゜が好ましい。この際、計量部
５２，５４の後部に斜面７２を形成することで、計量部
５２，５４を設けたことによるバックギャップの形成が
なくなることが必要である。尚、ヘッドコア５０のバッ
クギャップ７０は残存する。

【００１５】次に、磁気ギャップ５６のギャップ深ＧＤ
さを計量しながら行なう浮動式磁気ヘッド４４の製造方
法を説明する。まず、図４に示すように、Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライト等からなる平板状の素材ブロック３８と略コ字
状のヘッドコアブロック３６を接合してスライダブロッ
ク４０を製造する。これを逐次スライスして複数のスラ
イダを形成する。さらに研磨ないし加工を施して、ヘッ
ドコア５０と浮上レール４６，４８等および計量部５
２，５４を形成する。

【００１６】さらに、計量部５２，５４の後部を研磨・
切断加工をして斜面７２とする。この斜面７２は媒体対
向面の反対側に向くようにして、計量部５２，５４の形
成によるバックギャップをなくす。

【００１７】次に、このスライダ６０を媒体対向面側か
ら研磨して所定深さのギャップ深さＧＤを有する磁気ギ
ャップ５６を形成する。研磨加工の際には、磁気ギャッ
プ５６を有するヘッドコア５０とその側部の計量部５
２，５４を同時に同条件で研磨する必要がある。

【００１８】計量部５２，５４が媒体対向面側から研磨
されると、計量部５２，５４の側面に傾斜面６４が形成
されている為に、図２（ｂ）に示す研磨部６８が削られ
て小さくなると共にモニタ（計量部５２，５４の側面に
形成されている傾斜面の長さ）６６は短くなる。そし
て、傾斜角度θが４５゜である本実施例の磁気ヘッドで
は、ヘッドコア５０の研磨される深さとモニタ６６の減
少量は比例している。そして、モニタ６６の減少量は研
磨工程中であっても、媒体対向面側から実測することが
可能である。

【００１９】こうしてギャップ深さＧＤ、即ちモニタ６
６を計測しながら計量部５２，５４及びヘッドコア５０
を研磨することで、所定深さのギャップ深さＧＤをもつ
磁気ギャップ５６の形成された浮動式磁気ヘッド４４が
製造される。

【００２０】この方法によれば、測定困難であった磁気
ギャップ５６のギャップ深さＧＤを媒体対向面の側面に
形成されている傾斜面から実測可能なモニタ６６で把握
でき、ギャップ深さを研磨加工を行ないながら測定でき
る。従って、正確なギャップ深さをもつ浮動式磁気ヘッ
ド４４を製造することができる。特に、計量部５２，５
４とヘッドコア５０が隣接して設けてあるので、ギャッ
プ深さ加工時の計測精度が極めて高い。

【００２１】さらに、計量部５２，５４の後部に斜面７
２が形成されているので、ヘッドコア５０以外の所にバ
ックギャップが存在しない。従って、計量部５２，５４
を設けたことで外部誘導ノイズを拾うことはなく、イン
ダクタンスが不要に高まることがない。

【００２２】尚、本実施例では傾斜角度θを４５゜とし
たが、傾斜角度θは４５゜に限られるものではなく、任
意の傾斜角度θから三角関数等で換算すれば、モニタ６
６からギャップ深さＧＤを求めることは容易であり、本
発明の目的を達成することができる。

【００２３】また、本実施例ではヘッドコア５０の両側
部に計量部５２，５４を設けてあるが、ヘッドコア５０
のどちらか片側の側部にだけ計量部５２（５４）を設け
ることも可能である。

【００２４】さらにまた、本実施例では、スライダ６０
にヘッドコアを１つだけ設けたが、スライダ６０にヘッ
ドコアを２つ設け、各ヘッドコアの側部に計量部をそれ
ぞれ形成しても同様な効果を得られ、差し支えない。

【００２５】

【発明の効果】本発明は浮動式磁気ヘッドにおいて、少
なくとも磁気ギャップの側方を含むヘッドコアの側部に
計量部を設け、所定量のギャップ深さの磁気ギャップを
得る為にヘッドコアを研磨加工する際に、磁気ギャップ
側方部の計量部の研磨状態を計測することでヘッドコア
の研磨状態を把握することができるので、スライダを破
壊することなく、正確なギャップ深さの磁気ギャップを
もつ浮動式磁気ヘッドを製造することができる。特に、
ヘッドコアの研磨量の目安とする計量部が磁気ギャップ
の極近傍、即ちヘッドコアに隣接して形成されている為
に、ギャップ深さを高精度で調製することができる。さ
らに、計量部の後部に媒体対向面の反対側に向く斜面が
形成されているので、計量部の形成に伴う不要なバック
ギャップは存在しない。従って、磁気ヘッドに悪影響を
及ぼす外部誘導ノイズを拾うことがなく、不要にインダ
クタンスが高まることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の浮動式磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】本実施例の浮動式磁気ヘッドの一部であり、図
２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は主要部分拡大斜視図で
ある。

【図３】本実施例の浮動式磁気ヘッドのヘッドコア部の
側面図である。

【図４】本実施例の浮動式磁気ヘッドの製造過程を示す
斜視図である。

【図５】従来例の浮動式磁気ヘッドの斜視図である。

【図６】図６（ａ）は従来例の浮動式磁気ヘッドの斜視
図であり、図６（ｂ）は計量部の拡大斜視図である。

【図７】従来例の浮動式磁気ヘッドの部分平面図であ
る。

【符号の説明】

１０，２２，４４ 浮動式磁気ヘッド １２，２６，６０ スライダ １４，１６，２４，４６，４８ 浮上レール １８，３０，５０ ヘッドコア ２０，２８，５６ 磁気ギャップ ３２，５４，５６ 計量部 ３４，６４ 傾斜面 ４０ スライダブロック ４２ モニタ ６６ モニタ ７２ 斜面 ＧＤ ギャップ深さ θ 傾斜角度

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダに複数の浮上レールが形成さ
   れ、少なくとも１つの浮上レールの後端部に磁気ギャッ
   プを有するヘッドコアが形成されてなる浮動式磁気ヘッ
   ドにおいて、ヘッドコアの側部に、媒体対向面を磁気ギ
   ャップよりも後方に延出させて計量部が形成され、計量
   部の側面の媒体対向面側に傾斜面が形成され、前記計量
   部の後部に媒体対向面の反対側に向く斜面が形成されて
   いることを特徴とする浮動式磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１記載の浮動式磁気ヘッドにおい
   て、計量部の側面に形成されている傾斜面の傾斜角度が
   ４５゜であることを特徴とする浮動式磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 スライダブロックにスライス・切断加工
   を施して、ヘッドコアと、浮上レールと、ヘッドコアの
   側部に位置する計量部を有するスライダを形成し、計量
   部の後部に媒体対向面の反対側に向く斜面を形成し、計
   量部の研磨変化量を計測しながら計量部とヘッドコアを
   同条件で媒体対向面側から研磨することを特徴とする浮
   動式磁気ヘッドの製造方法。