JPH05242446A - 浮動式磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ギャップのギャップ深さの精度の高い磁
気ヘッドを製造する。 【構成】 磁気ギャップの側方を含むヘッドコアの側部
を囲むように計量部を設ける。そして、所定量のギャッ
プ深さの磁気ギャップを得る為にヘッドコアを研磨加工
する際に、磁気ギャップ側方部の計量部の研磨状態を計
測することでヘッドコアの研磨状態を把握することがで
きる。従って、正確なギャップ深さの磁気ギャップをも
つ浮動式磁気ヘッドを製造することができる。特に、ヘ
ッドコアの研磨量の目安とする計量部がヘッドコアに隣
接して形成されている為に、ギャップ深さを高精度で調
製することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はハードディスクドライブ
装置等に用いられる浮動式磁気ヘッド及びその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３と図４に２レールのメタルインギャ
ップ（MIG）ヘッド型の浮動式磁気ヘッドの一例を示
す。この浮動式磁気ヘッド１０はスライダ１２の媒体対
向面側に２本の浮上レール１４，１６が形成されてい
る。さらにスライダ１２の後部（図３においては手前
側）には略コ字状のヘッドコア１８が形成されている。
そして、ヘッドコア１８には磁気ギャップ２０が形成さ
れ、その磁気ギャップ２０の周囲部はガラス１３で保護
されている。

【０００３】一般に、磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップで磁気記録の記録再生を行なう為、磁気ギャップの
深さ（以下、ギャップ深さ：ＧＤ）は磁気ヘッドの記録
再生の性能に大きく影響を与えるものである。従って、
磁気ギャップの形成における研磨工程時には正確なギャ
ップ深さを測定しつつ研磨することが必要である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
浮動式磁気ヘッド１０においては、磁気ギャップ２０の
周囲部はガラス１３で覆われている為に、磁気ギャップ
２０のギャップ深さを測定することは困難であった。こ
のため従来は、ギャップ深さを測定する為には、スライ
ダ１２を破壊してから測定する手段しかなかった。この
為に、スライダの研磨と同時にギャップ深さを測定する
ことが困難で、ギャップ深さを正確に加工することがで
きなかった。

【０００５】そこで本発明者は、これらの課題を解決し
た浮動式磁気ヘッド及びその製造方法を先に発案した。
これは図５に示すように、浮動式磁気ヘッド３１のスラ
イダ２３に形成される２本の浮上レール２５，２７の
内、ヘッドコア２９の形成されていない方の浮上レール
２７を少なくとも磁気ギャップ３５よりも後方に延出し
て計量部３３を形成した。そして、ヘッドコア２９の研
磨加工時には、ヘッドコア２９と計量部３３を同条件で
研磨加工し、この計量部３３の研磨状態、もしくは計量
部幅４５の長さを計測することでヘッドコア２９の研磨
量を把握し、磁気ギャップ３５のギャップ深さを調製し
たものである。

【０００６】しかしながら、この方法は磁気ヘッドの使
用時に、計量部３３が磁気ギャップ３５に干渉し、ノイ
ズの発生を引起こす可能性のあるものであった。さらに
また、磁気ヘッドには、より正確なギャップ深さが求め
られてもいる。

【０００７】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、ヘッドコアの側部で磁気ギャップの側方に計
量部を設けることで、スライダを破壊することなく、磁
気ギャップのギャップ深さを正確に測定可能とするもの
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の浮動式磁
気ヘッドは、スライダに２本の浮上レールが形成され、
少なくとも一方の浮上レールの後端部に磁気ギャップを
有するヘッドコアが形成されてなる浮動式磁気ヘッドに
おいて、ヘッドコアの側部で、且つ磁気ギャップの側方
に計量部が形成され、計量部の側面に傾斜面が形成され
ていることを特徴とするものである。

【０００９】請求項２に記載の浮動式磁気ヘッドは、請
求項１記載の浮動式磁気ヘッドにおいて、計量部の側面
に形成されている傾斜面の傾斜角度が４５゜であること
を特徴とするものである。

【００１０】請求項３に記載の浮動式磁気ヘッドの製造
方法は、 スライダブロックにスライス・切断加工をして、ヘッ
ドコアと、２本の浮上レールと、ヘッドコアの側部に形
成されて、且つその側面の少なくとも媒体対向面側に傾
斜面が形成されている計量部とを有するスライダを形成
し、 計量部の研磨変化量を計測しながら計量部とヘッドコ
アを同条件で媒体対向面側から研磨することを特徴とす
るものである。

【００１１】請求項４に記載の浮動式磁気ヘッドの製造
方法は、 スライダブロックにスライス・切断加工をして、ヘッ
ドコアと、２本の浮上レールと、ヘッドコアの側部に形
成されて、且つ側面の少なくとも媒体対向面側に傾斜面
が形成されている計量部とを有するスライダを形成し、 計量部の研磨変化量を計測しながら計量部とヘッドコ
アを同条件で媒体対向面側から研磨し、 その後、計量部を除去することを特徴とするものであ
る。

【００１２】

【作用】本発明の浮動式磁気ヘッドでは、 磁気ギャップを有するヘッドコアの近くに、即ち浮上
レールの後端部でヘッドコアの側部に計量部が設けられ
ている。 この際、計量部は少なくとも磁気ギャップの側方に形
成されていることが好ましい。 計量部の外方側面の少なくとも媒体対向面側には傾斜
面が形成されている。この構成において、計量部に媒体
対向面側から研磨加工を行なうと、計量部の媒体対向面
の幅（計量部幅）は、研磨されて削られる量に応じて長
くなる。 よって、隣り合うヘッドコアと計量部を同条件で研磨す
れば、ヘッドコアの研磨量を計量部の表面の計量部幅の
変化から知ることができる。即ち、ヘッドコアの研磨状
態（磁気ギャップのギャップ深さ）をスライダの媒体対
向面側から把握することができる。これは、ギャップ深
さを研磨加工と同時に把握することができることであ
り、正確なギャップ深さをもつ浮動式磁気ヘッドの製造
を可能とする。

【００１３】

【実施例】本実施例の浮動式磁気ヘッドは図１に示すよ
うに、スライダ２２の媒体対向面側に２本の平行な浮上
レール２４，２６が形成されている。そして、磁気ギャ
ップ３４を内包するヘッドコア２８が浮上レール２４の
後端部に形成されている。さらに、浮上レール２４の後
端で、少なくとも磁気ギャップ３４の側方を含むヘッド
コア２８の側部には、計量部３２，３２が形成されてい
る。このヘッドコア２８の側部をおよそ囲むように設け
られた計量部３２，３２は浮上レール２４と一体に形成
されている。また、計量部３２の外方で幅方向側面の媒
体対向面側には傾斜面４６が形成されている。この傾斜
面４６の傾斜角度を図１（Ｃ）で示すように、θとす
る。本実施例では傾斜角度θを４５゜に設定している。

【００１４】次に、磁気ギャップ３４のギャップ深さを
計量しながら行なう浮動式磁気ヘッド３０の製造方法を
説明する。まず、図２に示すように、Ｍｎ−Ｚｎフェラ
イト等からなる平板状の素材ブロック３８と略コ字状の
ヘッドコアブロック３６を接合してスライダブロック４
０を製造する。これを逐次スライスして複数のスライダ
を形成する。さらに研磨ないし加工して、ヘッドコア２
８と浮上レール２４，２６等および計量部３２，３２の
形成された形状のスライダ２２を製造する。

【００１５】次に、このスライダ２２を媒体対向面側か
ら研磨して所定深さのギャップ深さを有する磁気ギャッ
プ３４を形成する。研磨加工の際には、磁気ギャップ３
４を有するヘッドコア２８とその側部の計量部３２，３
２を同時に同条件で研磨する必要がある。

【００１６】計量部３２，３２が媒体対向面側から研磨
されると、計量部３２の外側の側面に傾斜面４６が形成
されている為に、図１（ｃ）に示す研磨部４２が削られ
て小さくなると共に計量部幅（計量部３２の媒体対向面
側の幅方向の長さ）４４は長くなる。この時の計量部幅
４４の増加分が増加長ｔ₂である。そして、傾斜角度θ
が４５゜である本実施例の磁気ヘッドでは、増加長ｔ₂
と研磨部４２の図１（ｃ）における高さ方向の変化量で
ある計量長ｔ₁の長さは常に等しい。即ち、ヘッドコア
２８の研磨される深さと増加長ｔ₂は等しくなってい
る。そして、増加長ｔ₂は研磨工程中であっても媒体対
向面側から計測することが可能である。

【００１７】こうしてギャップ深さ、即ち増加長ｔ₂を
計測しながら計量部３２及びヘッドコア２８を研磨する
ことで、所定深さのギャップ深さをもつ磁気ギャップ３
４の形成された浮動式磁気ヘッド３０が製造される。

【００１８】この方法によれば、測定困難であった磁気
ギャップ２８のギャップ深さを媒体対向面側から計測可
能な増加長ｔ₂で把握でき、ギャップ深さを研磨加工を
行ないながら計量できる。従って、正確なギャップ深さ
をもつ浮動式磁気ヘッド３０を製造することができる。
特に、計量部３２，３２とヘッドコア２８が隣接して設
けてあるので、ギャップ深さ加工時の計測精度が極めて
高い。

【００１９】なお、本実施例では傾斜角度θを４５゜と
したが、傾斜角度θは４５゜に限られるものではなく、
任意の傾斜角度θから三角関数等で換算すれば、増加長
ｔ₂から計量長ｔ₁を求めることは容易であり、本発明の
目的を達成することができる。

【００２０】また、計量部３２が残存していると、磁気
ヘッドの使用時にノイズ発生の原因となる可能性がある
が、磁気ギャップの形成後には計量部３２を除去してし
まってかまわない。

【００２１】また、本実施例ではヘッドコア２８の両側
部に計量部３２，３２を設けてあるが、ヘッドコア２８
のどちらか片側の側部にだけ計量部３２を設けることも
可能である。

【００２２】さらにまた、本実施例では、スライダにヘ
ッドコアを１つだけ設けたが、スライダにヘッドコアを
２つ設け、各ヘッドコアの側部に計量部をそれぞれ形成
しても同様な効果を得られ、差し支えない。

【００２３】

【発明の効果】本発明は浮動式磁気ヘッドにおいて、磁
気ギャップの側方を含むヘッドコアの側部を囲むように
計量部を設け、所定量のギャップ深さの磁気ギャップを
得る為にヘッドコアを研磨加工する際に、磁気ギャップ
側方部の計量部の研磨状態を計測することでヘッドコア
の研磨状態を把握することができるので、スライダを破
壊することなく、正確なギャップ深さの磁気ギャップを
もつ浮動式磁気ヘッドを製造することができる。特に、
ヘッドコアの研磨量の目安とする計量部が磁気ギャップ
の極近傍、即ちヘッドコアに隣接して形成されている為
に、ギャップ深さを高精度で調製することができる。さ
らに、磁気ギャップの形成後に計量部を取除くことで、
磁気ヘッドの使用時に於ける計量部の磁気ギャップへの
影響を排除することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の浮動式磁気ヘッドであり、図１
（ａ）は平面図、図１（ｂ）は計量部の拡大平面図、図
１（ｃ）は図１（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。

【図２】本実施例の浮動式磁気ヘッドの製造過程を説明
するための斜視図である。

【図３】従来例の浮動式磁気ヘッドの斜視図である。

【図４】従来例の浮動式磁気ヘッドであり、図４（ａ）
は平面図、図４（ｂ）はヘッドコア部の拡大平面図であ
る。

【図５】別の従来例の浮動式磁気ヘッドの平面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 浮動式磁気ヘッド １２ スライダ １４ 浮上レール １６ 浮上レール １８ ヘッドコア ２０ 磁気ギャップ ２２ スライダ ２３ スライダ ２４ 浮上レール ２５ 浮上レール ２６ 浮上レール ２７ 浮上レール ２８ ヘッドコア ２９ ヘッドコア ３０ 浮動式磁気ヘッド ３１ 浮動式磁気ヘッド ３２ 計量部 ３３ 計量部 ３４ 磁気ギャップ ３５ 磁気ギャップ ４０ スライダブロック ４６ 傾斜面 ４７ 傾斜面 θ 傾斜角度

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダに２本の浮上レールが形成さ
   れ、少なくとも一方の浮上レールの後端部に磁気ギャッ
   プを有するヘッドコアが形成されてなる浮動式磁気ヘッ
   ドにおいて、ヘッドコアの側部で、且つ磁気ギャップの
   側方に計量部が形成され、計量部の側面に傾斜面が形成
   されていることを特徴とする浮動式磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１記載の浮動式磁気ヘッドにおい
   て、計量部の側面に形成されている傾斜面の傾斜角度が
   ４５゜であることを特徴とする浮動式磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 スライダブロックにスライス・切断加工
   をして、ヘッドコアと、２本の浮上レールと、ヘッドコ
   アの側部に形成されて、且つその側面の少なくとも媒体
   対向面側に傾斜面が形成されている計量部とを有するス
   ライダを形成し、計量部の研磨変化量を計測しながら計
   量部とヘッドコアを同条件で媒体対向面側から研磨する
   ことを特徴とする浮動式磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 スライダブロックにスライス・切断加工
   をして、ヘッドコアと、２本の浮上レールと、ヘッドコ
   アの側部に形成されて、且つ側面の少なくとも媒体対向
   面側に傾斜面が形成されている計量部とを有するスライ
   ダを形成し、計量部の研磨変化量を計測しながら計量部
   とヘッドコアを同条件で媒体対向面側から研磨し、その
   後、計量部を除去することを特徴とする浮動式磁気ヘッ
   ドの製造方法。