JPH0596470A - スライダ−の研削砥石及び研削方法 - Google Patents
スライダ−の研削砥石及び研削方法Info
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- JPH0596470A JPH0596470A JP25623591A JP25623591A JPH0596470A JP H0596470 A JPH0596470 A JP H0596470A JP 25623591 A JP25623591 A JP 25623591A JP 25623591 A JP25623591 A JP 25623591A JP H0596470 A JPH0596470 A JP H0596470A
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- grinding wheel
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 浮上型磁気ヘッドに用いる非磁性セラミック
で構成したスライダ−を研削する砥石を提供する。 【構成】 実質的に粒度が８以下の合成ダイヤモンドの
砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合し、直径Ｄが２
ｍｍ以下、砥石軸保持具９２の端部からの突出し長さＬ
が０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比Ｄ／Ｌが
０．４〜５．０の研削砥石９１と、その砥石を用いて 砥石回転数：１００，０００〜３００，０００ｒｐｍ、 送り：１００〜１５０ｍｍ／ｍｉｎ 切り込み：１〜１５μｍ の条件により研削するスライダ−の加工方法。
で構成したスライダ−を研削する砥石を提供する。 【構成】 実質的に粒度が８以下の合成ダイヤモンドの
砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合し、直径Ｄが２
ｍｍ以下、砥石軸保持具９２の端部からの突出し長さＬ
が０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比Ｄ／Ｌが
０．４〜５．０の研削砥石９１と、その砥石を用いて 砥石回転数：１００，０００〜３００，０００ｒｐｍ、 送り：１００〜１５０ｍｍ／ｍｉｎ 切り込み：１〜１５μｍ の条件により研削するスライダ−の加工方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上型磁気ヘッドに用
いられるスライダ−を加工する研削砥石と、その研削砥
石を用いてスライダ−を研削加工する方法に関する。
いられるスライダ−を加工する研削砥石と、その研削砥
石を用いてスライダ−を研削加工する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７はコンポジット型の浮上式磁気ヘッ
ドの基本構成を示す斜視図である。同図において、７１
はスライダ−であり、ＣａＴｉＯ3ゃＭｎ−Ｎｉ等の非
磁性材料で構成されている。スライダ−の浮上面側の磁
気記録媒体対向面には、浮上のためのエアベアリング７
２ａ、７２ｂが形成されており、電磁変換部となるヘッ
ドコア７３がスリット７４にモ−ルドガラス７５により
固定保持されている。図８はヘッドコア８３をスリット
８４にモ−ルドガラス８５により固定保持する状態を示
す図である。スライダ−８１のエアベアリング８２はガ
ラスが固まった後に、平均面粗さ２００Å程度にラッピ
ングされる。従来の浮上型磁気ヘッドの浮上高さは０．
１５μｍ前後であり、それに対応するスライダ−の大き
さは、長さが４mm、幅が３mm、高さが１mm程度である。
図５は従来のスライダ−５１のエアベアリング近傍の拡
大図である。浮上高さを決めるエアベアリング５２は浮
上面側の段差の底部５６ａ、５６ｂより約８０μｍ高
く、平均面粗さは２００〜４００Åに構成されている。
また、エアベアリングの側面５７と段差の底部５６ａ、
５６ｂとが成す隅部は、浮上特性に影響を与えない０．
５Ｒ程度の円弧状に形成されている。このような構成の
エアベアリングの加工に用いられる研削砥石の一例を図
６に示す。図６において、６１は加工に用いる直径が１
００〜１５０Φのカップ型研削砥石である。６３は砥石
粒層、６２は台金であり。砥粒層はダイヤモンドの砥粒
とそれを結合するレジンボンドの結合剤で構成され、角
部６４はＲ形状である。このような砥石を用いる研削条
件は通常、回転数１０，０００ｒｐｍ、送り２０〜１０
０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み３０〜６０μｍの条件であ
る。図７にしめすスライダ−は、エアベアリングの側面
７７と底部７６をエアベアリング面からの深さ１００μ
ｍに加工し、スリット７４にヘッドコア７３を固定した
エアベアリング７２ａと対のエアベアリング７２ｂとを
ラッピングして段差の深さ８０μｍに仕上げている。
ドの基本構成を示す斜視図である。同図において、７１
はスライダ−であり、ＣａＴｉＯ3ゃＭｎ−Ｎｉ等の非
磁性材料で構成されている。スライダ−の浮上面側の磁
気記録媒体対向面には、浮上のためのエアベアリング７
２ａ、７２ｂが形成されており、電磁変換部となるヘッ
ドコア７３がスリット７４にモ−ルドガラス７５により
固定保持されている。図８はヘッドコア８３をスリット
８４にモ−ルドガラス８５により固定保持する状態を示
す図である。スライダ−８１のエアベアリング８２はガ
ラスが固まった後に、平均面粗さ２００Å程度にラッピ
ングされる。従来の浮上型磁気ヘッドの浮上高さは０．
１５μｍ前後であり、それに対応するスライダ−の大き
さは、長さが４mm、幅が３mm、高さが１mm程度である。
図５は従来のスライダ−５１のエアベアリング近傍の拡
大図である。浮上高さを決めるエアベアリング５２は浮
上面側の段差の底部５６ａ、５６ｂより約８０μｍ高
く、平均面粗さは２００〜４００Åに構成されている。
また、エアベアリングの側面５７と段差の底部５６ａ、
５６ｂとが成す隅部は、浮上特性に影響を与えない０．
５Ｒ程度の円弧状に形成されている。このような構成の
エアベアリングの加工に用いられる研削砥石の一例を図
６に示す。図６において、６１は加工に用いる直径が１
００〜１５０Φのカップ型研削砥石である。６３は砥石
粒層、６２は台金であり。砥粒層はダイヤモンドの砥粒
とそれを結合するレジンボンドの結合剤で構成され、角
部６４はＲ形状である。このような砥石を用いる研削条
件は通常、回転数１０，０００ｒｐｍ、送り２０〜１０
０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み３０〜６０μｍの条件であ
る。図７にしめすスライダ−は、エアベアリングの側面
７７と底部７６をエアベアリング面からの深さ１００μ
ｍに加工し、スリット７４にヘッドコア７３を固定した
エアベアリング７２ａと対のエアベアリング７２ｂとを
ラッピングして段差の深さ８０μｍに仕上げている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置はノ
−トブック型のパソコン等への搭載により、小型化と高
密度記録化が要求されている。高密度化に対応するため
に、記録媒体である磁気ディスクは高保磁力の媒体を用
い、磁化反転密度、トラック記録密度、線記録密度を高
くしている。磁気ヘッドは、Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライ
トのヘッドコアにＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ等の金属磁性薄膜を
成膜して媒体の高保磁力化に、トラック幅を狭くした狭
トラック化や、ギャップ長を小さくすることにより、高
密度記録に対処している。一方磁気ヘッドの浮上高さ
は、高密度記録に対応して０．０５〜０．１μｍと低く
なリ、スライダ−も小型化している。また、安定した定
低浮上特性を得るためのひとつの方法として、図３に示
すようなエアベアリングの両側に深さ１０μｍ、幅１０
０μｍ、平均面粗さ５０〜７０Åの段差を設けたエアベ
アリングが用いられ始めてている。安定した定浮上特性
の為には、エアベアリングの側面３７と段差の底部３６
ａ，３６ｂのなす隅部のＲ形は状可能な限り小さく、エ
アベアリングの側面と底部の成す角度は直角に近いほう
が良い。しかし、従来のカップ型砥石を用いる研削方法
では、砥石形状による制約で、必要な形状のエアベアリ
ングを作製することができない。図６に示すカップ型砥
石の刃先６４のＲの大きさは最小３０μｍ程度である。
スリットにヘッドコアを固定したガラスを除去し７０Å
程度の平均面粗さに仕上げるためには、２０μｍ位の研
削代を付ける必要がある。エアベアリングの仕上げ後の
段差の深さを１０μｍとすると、図４に示すようにエア
ベアリングと段差とが成す隅部は、大きい曲率の円弧状
となってしまう。また、Ａｒ等のイオンビ−ムを処理材
の面に当て、衝撃により原子を吹きとばすイオンミ−リ
ング、塩酸、りん酸等の化学試薬によるケミカルエッチ
ング、レ−ザ加工等も考えられるが、必要な形状の段差
を形成することはできない。また、大規模な設備を必要
とし、生産効率も低く、大量生産を行なうスライダ−に
は適当でない。
−トブック型のパソコン等への搭載により、小型化と高
密度記録化が要求されている。高密度化に対応するため
に、記録媒体である磁気ディスクは高保磁力の媒体を用
い、磁化反転密度、トラック記録密度、線記録密度を高
くしている。磁気ヘッドは、Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライ
トのヘッドコアにＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ等の金属磁性薄膜を
成膜して媒体の高保磁力化に、トラック幅を狭くした狭
トラック化や、ギャップ長を小さくすることにより、高
密度記録に対処している。一方磁気ヘッドの浮上高さ
は、高密度記録に対応して０．０５〜０．１μｍと低く
なリ、スライダ−も小型化している。また、安定した定
低浮上特性を得るためのひとつの方法として、図３に示
すようなエアベアリングの両側に深さ１０μｍ、幅１０
０μｍ、平均面粗さ５０〜７０Åの段差を設けたエアベ
アリングが用いられ始めてている。安定した定浮上特性
の為には、エアベアリングの側面３７と段差の底部３６
ａ，３６ｂのなす隅部のＲ形は状可能な限り小さく、エ
アベアリングの側面と底部の成す角度は直角に近いほう
が良い。しかし、従来のカップ型砥石を用いる研削方法
では、砥石形状による制約で、必要な形状のエアベアリ
ングを作製することができない。図６に示すカップ型砥
石の刃先６４のＲの大きさは最小３０μｍ程度である。
スリットにヘッドコアを固定したガラスを除去し７０Å
程度の平均面粗さに仕上げるためには、２０μｍ位の研
削代を付ける必要がある。エアベアリングの仕上げ後の
段差の深さを１０μｍとすると、図４に示すようにエア
ベアリングと段差とが成す隅部は、大きい曲率の円弧状
となってしまう。また、Ａｒ等のイオンビ−ムを処理材
の面に当て、衝撃により原子を吹きとばすイオンミ−リ
ング、塩酸、りん酸等の化学試薬によるケミカルエッチ
ング、レ−ザ加工等も考えられるが、必要な形状の段差
を形成することはできない。また、大規模な設備を必要
とし、生産効率も低く、大量生産を行なうスライダ−に
は適当でない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は浮上型磁気ヘッ
ドに用いられる非磁性セラミックで構成されたスライダ
−用の研削砥石であって、実質的に粒度が８以下の合成
ダイヤモンドの砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合
し、直径Ｄが２ｍｍ以下、砥石軸保持具の端部からの突
出し長さＬが０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比
Ｄ／Ｌが０．４〜５．０ｍｍであることを特徴とするス
ライダ−用の研削砥石と、その研削砥石を用いたスライ
ダ−の加工方法を提供するものである。本発明のスライ
ダ−の加工方法は、実質的に粒度が８以下の合成ダイヤ
モンドの砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合し、直
径Ｄが２ｍｍ以下、砥石軸保持具の端部からの突出し長
さＬが０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比Ｄ／Ｌ
が０．４〜５．０である研削砥石を用い、 砥石回転数：１００，０００〜３００，０００ｒｐｍ 送り：１００〜１５０ｍｍ／ｍｉｎ 切り込み：５〜１５μｍ の条件により研削加工するものである。
ドに用いられる非磁性セラミックで構成されたスライダ
−用の研削砥石であって、実質的に粒度が８以下の合成
ダイヤモンドの砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合
し、直径Ｄが２ｍｍ以下、砥石軸保持具の端部からの突
出し長さＬが０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比
Ｄ／Ｌが０．４〜５．０ｍｍであることを特徴とするス
ライダ−用の研削砥石と、その研削砥石を用いたスライ
ダ−の加工方法を提供するものである。本発明のスライ
ダ−の加工方法は、実質的に粒度が８以下の合成ダイヤ
モンドの砥粒を集中度１２０％〜２００％で結合し、直
径Ｄが２ｍｍ以下、砥石軸保持具の端部からの突出し長
さＬが０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比Ｄ／Ｌ
が０．４〜５．０である研削砥石を用い、 砥石回転数：１００，０００〜３００，０００ｒｐｍ 送り：１００〜１５０ｍｍ／ｍｉｎ 切り込み：５〜１５μｍ の条件により研削加工するものである。
【０００５】
【作用】図２は本発明のスライダ−の加工状態を示す図
である。図２において、スライダ−２１のエアベアリン
グ２２は最終仕上げ加工が施されている。エアベアリン
グの両側の段差の深さは１０μｍである。エアベアリン
グ両側の段差はの加工はその深さ１０μｍのみ加工すれ
ばよく、小型の研削砥石が使用でき、従来より高速の研
削条件が適用できる。側面２７と段差の底面２６の加工
は、＃８以下の砥粒２３を用い、その砥粒数を出来るだ
け少ない数、好ましくは１〜２個の砥粒を結合した研削
砥石２４を用いて、最大３００，０００ｒｐｍの高速回
転することにより、面精度が良好で、必要な精度が確保
できる。
である。図２において、スライダ−２１のエアベアリン
グ２２は最終仕上げ加工が施されている。エアベアリン
グの両側の段差の深さは１０μｍである。エアベアリン
グ両側の段差はの加工はその深さ１０μｍのみ加工すれ
ばよく、小型の研削砥石が使用でき、従来より高速の研
削条件が適用できる。側面２７と段差の底面２６の加工
は、＃８以下の砥粒２３を用い、その砥粒数を出来るだ
け少ない数、好ましくは１〜２個の砥粒を結合した研削
砥石２４を用いて、最大３００，０００ｒｐｍの高速回
転することにより、面精度が良好で、必要な精度が確保
できる。
【０００６】
【実施例】図９は研削砥石９１を研削砥石軸保持具９２
により加工機主軸９３に取付けた状態を示す図である。
加工機主軸はエアモ−タの採用により最大３００，００
０ｒｐｍの高速回転が可能である。研削砥石軸径Ｄは
１．５mm、突出し長さＬは３mm、Ｄ／Ｌ＝０．５、砥粒
は＃１５００を用いた。回転数は２００，０００ｒｐｍ
とし、図２に示すようにエアベアリングの段差、深さ１
０μｍ，幅１００μｍを研削加工した。送りは８０、１
１０、１４５、１６０mm／min 、切り込みは５、１０、
１５、２０μｍの各４種類とした。送りが１００以下で
は能率が悪く、１６０ではカケが出やすくなりとなり適
当でなかった。切り込みも２０μｍになるとカケが出や
すくなり適当でない。送りが１１０、１４５で、切り込
みが５、１０、１５、の場合には面粗さ５０Å、段差の
角部のチッピングも少なく良好エアベアリングを得るこ
とができた。
により加工機主軸９３に取付けた状態を示す図である。
加工機主軸はエアモ−タの採用により最大３００，００
０ｒｐｍの高速回転が可能である。研削砥石軸径Ｄは
１．５mm、突出し長さＬは３mm、Ｄ／Ｌ＝０．５、砥粒
は＃１５００を用いた。回転数は２００，０００ｒｐｍ
とし、図２に示すようにエアベアリングの段差、深さ１
０μｍ，幅１００μｍを研削加工した。送りは８０、１
１０、１４５、１６０mm／min 、切り込みは５、１０、
１５、２０μｍの各４種類とした。送りが１００以下で
は能率が悪く、１６０ではカケが出やすくなりとなり適
当でなかった。切り込みも２０μｍになるとカケが出や
すくなり適当でない。送りが１１０、１４５で、切り込
みが５、１０、１５、の場合には面粗さ５０Å、段差の
角部のチッピングも少なく良好エアベアリングを得るこ
とができた。
【０００７】
【発明の効果】本発明の研削砥石と研削方法により、低
浮上型のスライダ−に必要なエアベアリング両側の段差
を効率的に研削することが可能となる。また、段差の底
部と段差の側面とのなす隅部のＲ形状を小さく、かつ段
差の底部と段差の側面とのなす角度を９０度に近くする
ことが可能となり、性能の良好な定浮上型のスライダ−
を得ることができる。
浮上型のスライダ−に必要なエアベアリング両側の段差
を効率的に研削することが可能となる。また、段差の底
部と段差の側面とのなす隅部のＲ形状を小さく、かつ段
差の底部と段差の側面とのなす角度を９０度に近くする
ことが可能となり、性能の良好な定浮上型のスライダ−
を得ることができる。
【図１】本発明の研削砥石を示す図である。
【図２】本発明の研削砥石を用いた加工状態を示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明を適用するスライダ−のエアベアリング
近傍を示す図である。
近傍を示す図である。
【図４】従来の研削砥石を用いた加工状態を示す図であ
る。
る。
【図５】従来のスライダ−のエアベアリング近傍を示す
図である。
図である。
【図６】従来の研削砥石を示す図ある。
【図７】浮上型磁気ヘッドを示す図である。
【図８】ヘッドコアをスライダ−に固定する工程を示す
図である。
図である。
【図９】研削砥石を加工機に取付けた状態を示す図であ
る。
る。
１１ 研削砥石 １２ 砥石軸 １３ 台金 １４ 砥粒 ２１ スライダ− ２２ エアベアリング ２３ 砥粒 ２４ 台金 ２６ 段差底部 ２７ エアベアリング側面 ９１ 研削砥石 ９２ 研削砥石軸保持具 ９３ 加工機主軸
Claims (2)
- 【請求項１】 浮上型磁気ヘッドに用いられる非磁性セ
ラミックで構成されたスライダ−を研削する砥石であっ
て、実質的に粒度が８以下の合成ダイヤモンドの砥粒を
集中度１２０％〜２００％で結合し、直径Ｄが２ｍｍ以
下、砥石軸保持具の端部からの突出し長さＬが０．４〜
５．０ｍｍ、直径Ｄと長さＬの比Ｄ／Ｌが０．４〜５．
０であることを特徴とするスライダ−用の研削砥石。 - 【請求項２】 浮上型磁気ヘッドに用いられる非磁性の
スライダ−の加工方法であって、実質的に粒度が８以下
の合成ダイヤモンドの砥粒を集中度１２０％〜２００％
で結合し、直径Ｄが２ｍｍ以下、砥石軸保持具の端部か
らの突出し長さＬが０．４〜５．０ｍｍ、直径Ｄと長さ
Ｌの比Ｄ／Ｌが０．４〜５．０ｍｍである研削砥石を用
い、 砥石回転数：１００，０００〜３００，０００ｒｐｍ、 送り：１００〜１５０ｍｍ／ｍｉｎ 切り込み：１〜１５μｍ の条件により研削加工することを特徴とするスライダ−
の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25623591A JPH0596470A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | スライダ−の研削砥石及び研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25623591A JPH0596470A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | スライダ−の研削砥石及び研削方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596470A true JPH0596470A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17289813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25623591A Pending JPH0596470A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | スライダ−の研削砥石及び研削方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596470A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012145284A3 (en) * | 2011-04-18 | 2012-12-27 | 3M Innovative Properties Company | Resin bonded grinding wheel |
| US10125359B2 (en) | 2007-10-25 | 2018-11-13 | Revalesio Corporation | Compositions and methods for treating inflammation |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP25623591A patent/JPH0596470A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10125359B2 (en) | 2007-10-25 | 2018-11-13 | Revalesio Corporation | Compositions and methods for treating inflammation |
| WO2012145284A3 (en) * | 2011-04-18 | 2012-12-27 | 3M Innovative Properties Company | Resin bonded grinding wheel |
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