JPH06132800A - 絶縁ゲート型半導体装置 - Google Patents

絶縁ゲート型半導体装置

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JPH06132800A
JPH06132800A JP5007614A JP761493A JPH06132800A JP H06132800 A JPH06132800 A JP H06132800A JP 5007614 A JP5007614 A JP 5007614A JP 761493 A JP761493 A JP 761493A JP H06132800 A JPH06132800 A JP H06132800A
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マジュムダール ゴーラブ
Shinji Hatae
慎治 波多江
Mitsuharu Tabata
光晴 田畑
Takashi Marumo
高志 丸茂
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電気的雑音による誤動作がなく、過大な主電
流を高速で制限し、かつゼロ付近まで遮断する。 【構成】 負荷が接続されるIGBT1により主電流を
調整する。この主電流の一部はIGBT2に分流する。
この分流した電流は、抵抗3を流れることにより、抵抗
3の両端の間の電圧に変換される。負荷の短絡などによ
り主電流が過度に上昇すると、この電圧が所定の大きさ
を超え、トランジスタ5とサイリスタ7が導通状態にな
る。これらの結果、IGBT1のゲートGとエミッタE
の間の電圧が引き下げられるので、主電流が遮断され
る。 【効果】 トランジスタは応答が早いので、主電流の過
度な上昇を事前に防止し、サイリスタは導通時の抵抗が
より低いので、主電流をゼロまで遮断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばインバータ装
置などの電力変換装置においてスイッチング素子として
用いられる絶縁ゲート型半導体装置に関し、特に負荷の
短絡時における絶縁ゲート素子の破壊を防止する機能の
改良に関する。
【0002】
【従来の技術】MOS型電界効果トランジスタ素子(M
OSFET)、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ素
子(IGBT)などの絶縁ゲート素子は、2つの電流電
極及びこれらの電極との間が絶縁された制御電極とを有
しており、制御電極と1つの電流電極の間に印加される
電圧の大きさによって、2つの電流電極の間を流れる電
流の大きさを調整するものである。この印加電圧が大き
いほど電流は大きく、この電圧が0であるときには電流
は遮断される。これらの絶縁ゲート素子を備えた絶縁ゲ
ート型半導体装置は、例えば負荷へ流れる電流(主電
流)をスイッチングするインバータ装置などの電力変換
装置にスイッチング素子として用いられる。この電力変
換装置において負荷が短絡すると、絶縁ゲート素子に過
大な主電流(短絡電流)が流れ、これを放置すれば絶縁
ゲート素子は破壊に至る。このため、絶縁ゲート型半導
体装置において、絶縁ゲート素子を駆動する回路部分で
ある絶縁ゲート素子の駆動回路には、短絡電流による破
壊を防止するための短絡電流遮断機能が設けられる。
【0003】図15は、短絡電流遮断機能を有する従来
の絶縁ゲート型半導体装置の例を示すブロック図であ
る。絶縁ゲート素子としてのIGBT1のコレクタCに
は図示しない負荷が接続されており、コレクタCからエ
ミッタEへ流れるコレクタ電流IC が、主電流として負
荷へ供給される。このコレクタ電流IC は、ゲートGと
エミッタEの間の電圧(ゲート電圧)の大きさによって
制御される。ゲート電圧が大きいほど大きなコレクタ電
流IC が流れる。ゲート電圧はゲート駆動回路42によ
り調整して供給される。
【0004】この絶縁ゲート型半導体装置には電流トラ
ンス43が設けられており、電流トランス43によって
コレクタ電流IC が検出される。検出されたコレクタ電
流IC の値は、比較回路44において所定の基準値と比
較される。比較回路44は、コレクタ電流IC が基準値
を超えたときには所定の信号をゲート駆動回路42へ送
出する。ゲート駆動回路42はこの信号に応答して、I
GBT1を遮断すべく、所定のゲート電圧をゲートGへ
出力する。これにより、負荷の短絡に伴う過大なコレク
タ電流IC が遮断され、IGBT1が破壊から保護され
る。
【0005】短絡電流遮断機能を有する従来の絶縁ゲー
ト型半導体装置の他の例として、特開昭63−3187
81号公報、特開昭64−68005号公報、及び特開
平2−309714号公報に開示される技術がある。こ
れらの中の前2者は主電流を制御する第1のMOSFE
Tに並列に第2のMOSFETを設け、主電流をこの第
2のMOSFETに分流させて、この分流電流が所定の
大きさを超えるとオン状態になるトランジスタを、第1
及び第2のMOSFETのゲート電極とソース電極の間
に接続したものである。このため、負荷の短絡などによ
り主電流が所定の大きさを超えて流れるときには、トラ
ンジスタがオンしてこれらのMOSFETのゲート電圧
が引き下げられることにより、主電流が所定値以下に制
限される。
【0006】前述の従来技術の中の最後の1者は、前2
者の技術におけるトランジスタの代わりにサイリスタを
設けたものである。第2のMOSFETへ分流する電流
が、一旦所定の大きさを超えサイリスタのゲートとカソ
ード間に所定以上の電圧が印加されると、以後継続して
サイリスタが導通し、2つのMOSFETのゲート電圧
がゼロ付近にまで引き下げられ、主電流が継続して遮断
される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の技術は以下に示すような問題点を有している。
負荷に供給される電圧が高い場合には特に短絡電流を早
急に遮断する必要があり、そのためには図15に示した
従来技術においては、ゲート駆動回路42および比較回
路44の動作を高速化する必要がある。これらの回路を
高速化すると、電気的雑音によってこれらの回路が誤動
作を引き起こし易くなり、安定した動作が得られないと
いう問題点があった。また、高速化に伴って、回路損失
が増大するという問題点もあった。
【0008】トランジスタを用いてMOSFETのゲー
ト電圧を制限する方式の従来技術では、トランジスタが
ゲート電圧をゼロ付近まで十分に引き下げることが困難
であり、このため、負荷の短絡時において短絡電流を十
分に遮断することができないという問題点があった。一
方、サイリスタを用いた従来技術では、サイリスタの応
答速度がトランジスタに比べて遅いために、過大な主電
流が検出された後にサイリスタが導通するまでの時間が
トランジスタに比べて長い。このため、負荷が短絡した
ときには一定期間に過大な短絡電流が流れ、この間にM
OSFETが破壊されるという問題点があった。また、
過大な短絡電流が流れた後に電流を遮断するので、負荷
が有するインダクタンスにより過大なサージ電圧が発生
し、これによってもMOSFETが破壊されるという問
題点があった。
【0009】また従来技術ではトランジスタのオン電圧
の大きさ、すなわちトランジスタに供給される電圧信号
であって、トランジスタをオンするのに必要な電圧信号
の大きさは、トランジスタの温度と共に変化する。この
ため、制限される主電流の大きさが温度に依存して変動
するという問題点があった。従来技術では更に、上述の
電圧信号に重畳する電気的雑音によって、トランジスタ
が誤ってオンするという問題点があった。電気的雑音の
影響は、MOSFETのスイッチング動作が高速になる
ほど大きくなる。
【0010】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、過大な主電流を高速で制限し、
かつゼロ付近まで遮断する絶縁ゲート型半導体装置を提
供することを目的とする。この発明はまた、電気的雑音
による誤動作の恐れがなく、また温度による特性上の変
動のない絶縁ゲート型半導体装置を提供することを目的
とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる請求項
1に記載の絶縁ゲート型半導体装置は、(a)第1電流
電極と、第2電流電極と、前記第1および第2電流電極
から絶縁された第1制御電極とを有し、当該第1制御電
極と前記第2電流電極の間に付加される第1電圧が大き
いほど、当該第1電圧に応答して前記第1および第2電
流電極の間がより導通した状態となる第1の絶縁ゲート
素子と、(b)第3電流電極と、第4電流電極と、前記
第3および第4電流電極から絶縁された第2制御電極と
を有し、当該第2制御電極と前記第4電流電極の間に付
加される第2電圧が大きいほど、当該第2電圧に応答し
て前記第3および第4電流電極の間がより導通した状態
となり、当該第3電流電極と前記第1電流電極とが接続
され、当該第2制御電極と前記第1制御電極とが接続さ
れ、当該第4電流電極が前記第2電流電極と結合される
第2の絶縁ゲート素子と、(c)前記第2電流電極と前
記第4電流電極との間に介挿される抵抗と、(d)出力
端子を有し、当該出力端子が前記第1および第2制御電
極へ結合され、当該出力端子へ調整された第3電圧を出
力するゲート駆動手段と、(e)コレクタ電極、エミッ
タ電極、およびベース電極を有し、前記第1および第2
制御電極と当該コレクタ電極が結合され、前記第4電流
電極と当該ベース電極が接続され、前記第2電流電極と
当該エミッタ電極が結合されたトランジスタ素子と、
(f)アノード電極、カソード電極、及びゲート電極を
有し、当該ゲート電極と当該カソード電極の間の電圧が
一旦所定以上の大きさになると、当該アノード電極と当
該カソード電極の間が導通し、前記第1及び第2制御電
極と当該アノード電極が結合され、前記第2電流電極と
当該カソード電極が接続され、第4電流電極と当該ゲー
ト電極が結合されたサイリスタ素子と、を備える。
【0012】この発明にかかる請求項2に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項1に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、(g)前記エミッタ電極と前記第2
電流電極の間に、前記コレクタ電極から前記エミッタ電
極へ流れる電流が順方向電流となる向きに介挿された第
1のダイオードであって、前記トランジスタ素子におけ
る前記エミッタ電極と前記ベース電極の間におけるより
も逆リカバリー時間が短い第1のダイオード、を更に備
える。
【0013】この発明にかかる請求項3に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項1に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、(h)前記エミッタ電極と前記第2
電流電極の間に、前記コレクタ電極から前記エミッタ電
極へ流れる電流が逆方向電流となる向きに介挿されたツ
ェナーダイオード、を更に備える。
【0014】この発明にかかる請求項4に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項1に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、前記ゲート駆動手段が、(d−1)
前記調整された電圧として、前記第2電流電極の電位よ
りも低い電位を出力し得るゲート駆動部、を備え、
(i)前記第1及び第2制御電極と前記コレクタ電極及
び前記サイリスタ素子の前記アノード電極との間に、前
記コレクタ電極から前記第1及び第2制御電極へ向かう
電流を阻止する向きに介挿された第2のダイオード、を
更に備える。
【0015】この発明にかかる請求項5に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項1に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、(j)前記トランジスタ素子に結合
され、前記トランジスタ素子が導通状態であることを報
知する報知手段、を更に備える。
【0016】この発明にかかる請求項6に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、(a)第1電流電極と、第2電流
電極と、前記第1および第2電流電極から絶縁された第
1制御電極とを有する第1の絶縁ゲート素子であって、
当該第1制御電極と前記第2電流電極の間に付加される
第1電圧が大きいほど、当該第1電圧に応答して前記第
1および第2電流電極の間がより導通した状態となる第
1の絶縁ゲート素子と、(b)第3電流電極と、第4電
流電極と、前記第3および第4電流電極から絶縁された
第2制御電極とを有する第2の絶縁ゲート素子であっ
て、当該第2制御電極と前記第4電流電極の間に付加さ
れる第2電圧が大きいほど、当該第2電圧に応答して前
記第3および第4電流電極の間がより導通した状態とな
る第2の絶縁ゲート素子であって、当該第3電流電極と
前記第1電流電極とが接続され、当該第2制御電極と前
記第1制御電極とが接続され、当該第4電流電極が前記
第2電流電極と結合される第2の絶縁ゲート素子と、
(c)電圧出力端子を有し、前記第2電流電極と前記第
4電流電極との間に介挿される電流検出手段であって、
前記第2の絶縁ゲート素子を通過して前記第3電流電極
と前記第4電流電極との間を流れる電流を検出する電流
検出手段であって、前記電流に対応した電圧を前記電圧
出力端子から出力する電流検出手段と、(d)出力端子
を有し、当該出力端子が前記第1および第2制御電極へ
結合されたゲート駆動手段であって、調整された第3電
圧を当該出力端子へ出力するゲート駆動手段と、(e)
第5電流電極、第6電流電極、および第3制御電極を有
するMOS型電界効果トランジスタ素子であって、当該
第5電流電極が前記第1および第2制御電極に結合さ
れ、当該第3制御電極が前記電圧出力端子に結合され、
前記第6電流電極が前記第2電流電極に結合されたMO
S型電界効果トランジスタ素子と、(f)前記第6電流
電極と前記第2電流電極の間に介挿されたツェナーダイ
オードであって、前記MOS型電界効果トランジスタ素
子を通過して前記第5電流電極と前記第6電流電極との
間を順方向に流れる電流が、逆方向電流となる向きに介
挿されたツェナーダイオードと、を備える。
【0017】この発明にかかる請求項7に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項6に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、前記ツェナーダイオードにおけるツ
ェナー電圧が、前記MOS型電界効果トランジスタ素子
におけるゲート閾電圧の温度特性に対して、相補的な温
度特性を有する。
【0018】この発明にかかる請求項8に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項6に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、前記電流検出手段が、(c−1)前
記第2電流電極と前記第4電流電極との間に介挿される
第1抵抗であって、前記第4電流電極に結合される当該
第1抵抗の端部が、前記電圧出力端子として機能する第
1抵抗、を備える。
【0019】この発明にかかる請求項9に記載の絶縁ゲ
ート型半導体装置は、請求項6に記載の絶縁ゲート型半
導体装置であって、前記MOS型電界効果トランジスタ
素子が、(e−1)第7電流電極、第8電流電極、およ
び第4制御電極を有する複数の単位MOS型電界効果ト
ランジスタ素子を備え、当該複数の単位MOS型電界効
果トランジスタ素子における第7電流電極同士、第8電
流電極同士、および第4制御電極同士が相互に接続さ
れ、当該第7電流電極、当該第8電流電極、および当該
第4制御電極は、それぞれ前記第5電流電極、前記第6
電流電極、および前記第3制御電極として機能する。
【0020】この発明にかかる請求項10に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項6に記載の絶縁ゲート型
半導体装置であって、(g)前記MOS型電界効果トラ
ンジスタ素子に結合された発光ダイオードであって、前
記MOS型電界効果トランジスタ素子を通過して前記第
5電流電極と前記第6電流電極との間を順方向に流れる
電流が、順方向電流となる向きに介挿された発光ダイオ
ード、を更に備える。
【0021】この発明にかかる請求項11に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項6に記載の絶縁ゲート型
半導体装置であって、前記ゲート駆動手段が、(d−
1)前記調整された第3電圧として、前記第2電流電極
の電位よりも低い電位に相当する電圧を出力し得るゲー
ト駆動部、を備え、(g)前記第1及び第2制御電極と
前記第5電流電極との間に介挿された第1のダイオード
であって、前記MOS型電界効果トランジスタ素子を通
過して前記第5電流電極と前記第6電流電極の間を順方
向に流れる電流が、順方向電流となる向きに介挿された
第1のダイオード、を更に備える。
【0022】この発明にかかる請求項12に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項11に記載の絶縁ゲート
型半導体装置であって、前記第1のダイオードが、発光
ダイオードである。
【0023】この発明にかかる請求項13に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項8に記載の絶縁ゲート型
半導体装置であって、(h)前記第3制御電極と前記電
圧出力端子との間に介挿される第2抵抗、を更に備え
る。
【0024】この発明にかかる請求項14に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項13に記載の絶縁ゲート
型半導体装置であって、(i)前記第2抵抗に並列に接
続される第2のダイオードであって、前記第3制御電極
と前記電圧出力端子との間に介挿される第2のダイオー
ドであって、前記MOS型電界効果トランジスタ素子が
遮断状態から導通状態へ移行するように前記電圧出力端
子から出力される電圧を、当該第2のダイオードが短絡
した状態で、第3制御電極へ伝達し得る向きに介挿され
る第2のダイオード、を更に備える。
【0025】この発明にかかる請求項15に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、請求項14に記載の絶縁ゲート
型半導体装置であって、少なくとも、前記MOS型電界
効果トランジスタ素子、前記ツェナーダイオード、前記
第2抵抗、および前記第2のダイオードが、1つの半導
体チップに集積化されている。
【0026】この発明にかかる請求項16に記載の絶縁
ゲート型半導体装置は、(a)第1電流電極と、第2電
流電極と、前記第1および第2電流電極から絶縁された
第1制御電極とを有する第1の絶縁ゲート素子であっ
て、当該第1制御電極と前記第2電流電極の間に付加さ
れる第1電圧が大きいほど、当該第1電圧に応答して前
記第1および第2電流電極の間がより導通した状態とな
る第1の絶縁ゲート素子と、(b)第3電流電極と、第
4電流電極と、前記第3および第4電流電極から絶縁さ
れた第2制御電極とを有する第2の絶縁ゲート素子であ
って、当該第2制御電極と前記第4電流電極の間に付加
される第2電圧が大きいほど、当該第2電圧に応答して
前記第3および第4電流電極の間がより導通した状態と
なる第2の絶縁ゲート素子であって、当該第3電流電極
と前記第1電流電極とが接続され、当該第2制御電極と
前記第1制御電極とが接続され、当該第4電流電極が前
記第2電流電極と結合される第2の絶縁ゲート素子と、
(c)前記第2電流電極と前記第4電流電極との間に介
挿される第1の接合型電界効果トランジスタ素子であっ
て、第5電流電極、第6電流電極、および第3制御電極
を有する第1の接合型電界効果トランジスタ素子であっ
て、当該第5電流電極が第4電流電極に接続され、当該
第6電流電極が前記第2電流電極に結合され、当該第3
制御電極が前記第4電流電極に結合された第1の接合型
電界効果トランジスタ素子と、(d)前記第6電流電極
と前記第2電流電極との間に介挿される第1抵抗と、
(e)出力端子を有し、当該出力端子が前記第1および
第2制御電極へ結合され、当該出力端子へ調整された第
3電圧を出力するゲート駆動手段と、(f)第7電流電
極、第8電流電極、および第4制御電極を有する第2の
接合型電界効果トランジスタ素子であって、当該第7電
流電極が前記第1および第2制御電極に結合され、当該
第4制御電極が前記第3制御電極に結合され、前記第8
電流電極が前記第2電流電極に結合された第2の接合型
電界効果トランジスタ素子と、(g)前記第8電流電極
と前記第2電流電極との間に介挿される第2抵抗と、を
備える。
【0027】
【作用】この発明における絶縁ゲート型半導体装置で
は、第1の絶縁ゲート素子に負荷を接続し、この第1の
絶縁ゲート素子により主電流を調整する。この主電流の
一部は第2の絶縁ゲート素子に分流する。この分流した
電流は、抵抗を流れることにより、抵抗の両端の間の電
圧に変換される。負荷の短絡などにより主電流が過度に
上昇すると、この電圧が所定の大きさを超え、トランジ
スタ素子とサイリスタ素子が導通状態になる。これらの
結果、第1及び第2の絶縁ゲート素子において、第1制
御電極と第2電流電極の間、第2制御電極と第4電流電
極の間のそれぞれの電圧が引き下げられるので、これら
の絶縁ゲート素子が遮断状態となり、主電流が遮断され
る。トランジスタは応答が速いので、主電流の過度な上
昇を事前に防止する。サイリスタはトランジスタよりも
応答は遅いが、導通時の抵抗がより低いので、第1制御
電極と第2電流電極の間、第2制御電極と第4電流電極
の間のそれぞれの電圧を十分に低く引き下げることがで
き、主電流を十分に遮断する(請求項1〜請求項5)。
【0028】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、トランジスタ素子のエミッタ電極に、逆リカバリ
ー時間の短いダイオードが接続されているので、トラン
ジスタの発振による誤動作が防止される(請求項2)。
【0029】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、トランジスタ素子のエミッタ電極にツェナーダイ
オードが接続されるので、トランジスタ素子のオン電圧
が高い。このため、トランジスタ素子のベース電極に供
給される電圧信号に重畳する電気的雑音に対するマージ
ンが高い。すなわちこの半導体装置では、この電気的雑
音によるトランジスタ素子の誤動作が抑制される。ま
た、適切な温度特性を有するツェナーダイオードを選択
することにより、トランジスタ素子のベース電極とエミ
ッタ電極の間の順方向電圧(VBE)の温度変化による変
動が補償される。このため、トランジスタ素子の導通を
引き起こす主電流の大きさの温度変化に伴う変動が抑制
される(請求項3)。
【0030】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、ゲート駆動部が第1の絶縁ゲート素子の第2電流
電極の電位よりも低い電位を出力し得るので、第1およ
び第2の絶縁ゲート素子を、十分にかつ高速で遮断させ
ることができる。第1及び第2制御電極とトランジスタ
およびサイリスタの間にダイオードが設けられているの
で、第1のゲート絶縁素子の第2電流電極から、トラン
ジスタを介して第1および第2制御電極へ向かう逆電流
が阻止され、上述の低い電位が第1および第2制御電極
に正しく伝達される(請求項4)。
【0031】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、トランジスタ素子が導通状態であることを報知す
る手段が設けられるので、主電流が停止する要因を容易
に認識することができる(請求項5)。
【0032】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、第1の絶縁ゲート素子に負荷を接続し、この第1
の絶縁ゲート素子により主電流を調整する。この主電流
の一部は第2の絶縁ゲート素子に分流する。この分流し
た電流は、電流検出手段によって、その電流の大きさに
対応する高さを有する電圧に変換される。負荷の短絡な
どにより主電流が過度に上昇すると、この電圧が所定の
オン電圧を超え、MOS型電界効果トランジスタ素子が
導通状態になる。これらの結果、第1及び第2の絶縁ゲ
ート素子において、第1制御電極と第2電流電極の間、
第2制御電極と第4電流電極の間のそれぞれの電圧が引
き下げられるので、これらの絶縁ゲート素子が遮断状態
に近くなり、所定限度を超えた主電流の上昇が抑制され
る。MOS型電界効果トランジスタ素子の第6電流電極
にツェナーダイオードが直列に接続されているので、M
OS型電界効果トランジスタ素子のオン電圧が、ツェナ
ーダイオードのツェナー電圧に相当する分高くなってい
る。このため、MOS型電界効果トランジスタ素子の第
3制御電極に供給される電圧信号に重畳する電気的雑音
に対するマージンが高い。すなわちこの半導体装置で
は、この電気的雑音によるMOS型電界効果トランジス
タ素子の誤動作が抑制される(請求項6〜請求項1
5)。
【0033】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、ツェナーダイオードにおけるツェナー電圧の温度
特性が、MOS型電界効果トランジスタ素子のゲート閾
電圧の温度特性と相補的であるツェナーダイオードが選
択され、使用される。すなわち、ツェナー電圧の温度依
存性とゲート閾電圧の温度依存性とは、相互に補償し合
う結果、これらの総和は温度に依存しない。このため、
MOS型電界効果トランジスタ素子のオン電圧は温度に
依存しない。従って、MOS型電界効果トランジスタ素
子の導通を引き起こす主電流の大きさの温度変化に伴う
変動が抑制される(請求項7)。
【0034】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、電流検出手段として抵抗が使用される。第2の絶
縁ゲート素子を流れる電流が、この第1抵抗を流れるこ
とにより、第1抵抗の両端部の間に電流に比例した電圧
が発生する。この電圧がMOS型電界効果トランジスタ
素子の第3制御電極に供給される。すなわち、この半導
体装置では、電流検出手段を簡単に構成することがで
き、装置の構成に要するコストが低廉化される。しかも
電流を電圧に変換する際の応答が速い。また、抵抗値の
精度の高い抵抗を選択することにより、変換の精度を容
易に高く設定することができる(請求項8、請求項13
〜請求項15)。
【0035】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、MOS型電界効果トランジスタ素子が複数個並列
に接続されているので、MOS型電界効果トランジスタ
素子が導通したときの、MOS型電界効果トランジスタ
素子の抵抗値が低い。大きな主電流に対応する半導体装
置においては、第1および第2の絶縁ゲート素子を高速
度で遮断するために、駆動手段の出力抵抗は低く設定さ
れる。この半導体装置ではMOS型電界効果トランジス
タ素子の抵抗値が低いので、駆動手段の出力抵抗が低く
ても、第1制御電極と第2電流電極の間、第2制御電極
と第4電流電極の間のそれぞれの電圧を十分に引き下げ
ることができる。すなわち、この半導体装置は、大きな
主電流を高速度で調整し得て、かつ主電流の過大な上昇
を十分に抑制することができる(請求項9)。
【0036】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、MOS型電界効果トランジスタ素子に直列に発光
ダイオードが結合されている。このため、MOS型電界
効果トランジスタ素子が導通したときに、MOS型電界
効果トランジスタ素子を流れる電流は、同時に発光ダイ
オードを流れる。その結果、MOS型電界効果トランジ
スタ素子の導通時に、発光ダイオードが光を放出する。
すなわちこの半導体装置では、半導体装置が正常動作ま
たは異常動作のいずれの状態にあるのかを、発光ダイオ
ードの発光により、容易に認識することができる(請求
項10)。
【0037】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、ゲート駆動部が第1の絶縁ゲート素子の第2電流
電極の電位よりも低い電位を出力し得るので、第1およ
び第2の絶縁ゲート素子を、十分にかつ高速で遮断させ
ることができる。第1及び第2制御電極とMOS型電界
効果トランジスタ素子との間に第1のダイオードが設け
られているので、第1のゲート絶縁素子の第2電流電極
から、MOS型電界効果トランジスタ素子を介して第1
および第2制御電極へ向かう逆電流が阻止され、上述の
低い電位が第1および第2制御電極に正しく伝達される
(請求項11、請求項12)。
【0038】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、MOS型電界効果トランジスタ素子に直列に結合
された第1のダイオードが、発光ダイオードである。こ
のため、MOS型電界効果トランジスタ素子が導通した
ときに、発光ダイオードが光を放出する。すなわちこの
半導体装置では、簡単な構成によって逆電流の阻止と異
常動作の報知との双方を実現し得る(請求項12)。
【0039】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、MOS型電界効果トランジスタ素子の第3制御電
極と電流検出手段の電圧出力端子との間に、第2抵抗が
設けられているので、装置の発振現象が防止される(請
求項13〜請求項15)。
【0040】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、第2抵抗に対して並列に第2のダイオードが接続
される。このため、電流検出手段からMOS型電界効果
トランジスタ素子をオンすべく送出される電圧信号が、
MOS型電界効果トランジスタ素子の第3制御電極へ、
短い遅延時間で伝達される。すなわち、この半導体装置
では、過大な主電流に対するMOS型電界効果トランジ
スタ素子の応答が早いので、過大な主電流が短時間で抑
制される(請求項14、請求項15)。
【0041】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、MOS型電界効果トランジスタ素子およびこれに
結合した回路部分が、1つの半導体チップに集積化され
ている。このため、半導体装置の組立が簡単である。ま
た、MOS型電界効果トランジスタ素子とツェナーダイ
オードの温度特性が相補的であるように、再現性良く構
成することができる。加えて、これら両者の温度がより
均一となるので、オン電圧の温度に対する非依存性が更
に良好である。また、第1抵抗を集積化の対象から除外
することができる。この場合には、同一の集積回路を用
いて、第1抵抗を適宜選択するだけで、半導体装置の多
様な設計に対応することができる(請求項15)。
【0042】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、第1の絶縁ゲート素子に負荷を接続し、この第1
の絶縁ゲート素子により主電流を調整する。この主電流
の一部は第2の絶縁ゲート素子に分流する。この分流し
た電流は、第1の接合型電界効果トランジスタ素子と第
1抵抗との直列回路を流れる。第1および第2の接合型
電界効果トランジスタ素子と、第1および第2抵抗とに
よって負帰還型のカレントミラー回路が構成されてい
る。このため、第2の接合型電界効果トランジスタ素子
には、上記の分流電流に比例した電流が流れる。その比
例定数は、第1および第2抵抗の抵抗値の比で定まり、
温度変化に伴う変動も小さい。第2の接合型電界効果ト
ランジスタ素子の第7電流電極は、第1および第2の絶
縁ゲート素子の制御電極に結合されているので、上述の
第2の絶縁ゲート素子に分流する電流に相応した度合
で、第1および第2の絶縁ゲート素子の制御電極の電位
が引き下げられる。すなわち、この発明の半導体装置で
は、過電流を抑制する機能が、2つの抵抗の抵抗値の精
度に対応した高い精度で実現され、しかもその機能は温
度に余り依存しない(請求項16)。
【0043】
【実施例】<1.実施例1> <1-1.装置の構成>図1はこの発明の第1の実施例を示
す回路図である。IGBT1(第1の絶縁ゲート素子)
のコレクタC(第1電流電極)には図示しない負荷が接
続されており、主としてコレクタCからエミッタE(第
2電流電極)へ流れるコレクタ電流IC が、主電流とし
て負荷へ供給される。このコレクタ電流IC は、ゲート
G(制御電極)とエミッタEの間の電圧であるゲート電
圧の大きさによって制御される。ゲート電圧が大きいほ
ど大きなコレクタ電流IC が流れる。ゲート電圧はゲー
ト駆動回路9(ゲート駆動手段)によって調整して供給
される。ゲート駆動回路9の出力端子GO とゲートGの
間には抵抗4が介挿されている。ゲート駆動回路9に接
続される電源10は、電源電圧をゲート駆動回路9へ供
給する。
【0044】IGBT1よりも電流容量の低いIGBT
2(第2の絶縁ゲート素子)が、IGBT1に並列に設
けられている。IGBT1とIGBT2は、コレクタC
同士、及びゲートG同士が互いに接続されている。負荷
へ供給される主電流は、その一部がIGBT2のコレク
タ電流IC として、IGBT2へ分流する。IGBT2
のエミッタEとIGBT1のエミッタEの間には抵抗3
が接続されている。IGBT2へ分流した電流は抵抗3
を通過する。このため抵抗3の両端には分流した電流に
比例した電圧が発生する。従って、主電流が大きいほど
抵抗3の両端には高い電圧が発生する。
【0045】ゲートGとIGBT1のエミッタEの間に
はトランジスタ5とサイリスタ7が介挿されている。ゲ
ートGにはトランジスタ5のコレクタC、及びサイリス
タ7のアノードが接続されており、IGBT2のエミッ
タEと抵抗3の間にトランジスタ5のベースBが接続さ
れている。トランジスタ5のエミッタEは、ショットキ
ーバリアダイオード6(第1のダイオード)を介して、
IGBT1のエミッタEに接続されている。ショットキ
ーバリアダイオード6は、トランジスタ5のコレクタC
からエミッタEへ流れる電流を順方向電流とする方向に
接続される。サイリスタ7のカソードはIGBT1のエ
ミッタEに接続され、サイリスタ7のゲートは、抵抗8
を介して、IGBT2のエミッタEと抵抗3の間に接続
されている。
【0046】<1-2.装置の動作>主電流が正常動作の範
囲内の低い値である間は、抵抗3の両端に発生する電圧
は十分に低いので、トランジスタ5のベースBとエミッ
タEの間の電圧(VBE)はトランジスタ5をオン(導
通)する程には高くなく、またサイリスタ7のゲートと
カソードの間の電圧も、サイリスタ7をオンする程には
高くない。このため、トランジスタ5、サイリスタ7と
もに、オフ(遮断)した状態にある。このとき、ゲート
Gの電位は、ゲート駆動回路9が出力する電位に一致す
る。すなわち、IGBT1及びIGBT2はゲート駆動
回路9の出力電位に応答して動作する。
【0047】一方、負荷が短絡するなどにより、主電流
が正常動作の範囲を超えて上昇すると、それに伴って抵
抗3の両端の電圧が上昇する。その結果トランジスタ5
のベース・エミッタ間電圧VBEがトランジスタ5をオン
する程に高くなり、またサイリスタ7のゲート・カソー
ド間電圧もサイリスタ7をオンする程に高くなる。この
ため、トランジスタ5は直ちにオン状態となり、ゲート
Gの電位をある値まで引き下げる。これに幾分遅れてサ
イリスタ7がオン状態となり、ゲートGをIGBT1の
エミッタEに略等しい電位にまで引き下げるので、IG
BT1及びIGBT2が遮断状態となって最終的には主
電流がゼロになる。これらにより、IGBT1が破壊か
ら保護される。抵抗3の抵抗値は、主電流の正常動作範
囲の上限値の設定に相応して適宜選択される。
【0048】なお、ショットキーバリアダイオード6
は、半導体装置の発振を防止する目的で設置される。す
なわち、ショットキーバリアダイオード6はトランジス
タ5のベースBとエミッタEの間の接合におけるより
も、逆リカバリー時間が短いので、ショットキーバリア
ダイオード6を図1に示すように設置することにより、
回路の発振を防止することができる。
【0049】<1-3.実測データ>図2は、この実施例の
絶縁ゲート型半導体装置に関する実測結果を示すグラフ
である。グラフおいて、縦軸はゲート駆動回路9の出力
端子GO とIGBT1のエミッタEとの間の電圧VGO、
及び主電流(IGBT1のコレクタ電流IC に略一致す
る)に対応し、横軸は時間に対応する。この半導体装置
におけるIGBT1のコレクタCとエミッタEの間の電
圧VCEの定格値は600Vであり、実測ではその半分の
300Vを印加している。出力端子電圧VGOを、ゼロか
らIGBT1を導通させるのに十分な値である約10V
まで急速に立ち上げると、まずこれに追随してコレクタ
電流IC が上昇する。しかしながら、コレクタ電流IC
は際限なく上昇するのではなく、トランジスタ5がオン
することによって、100A付近の値に制限される。そ
の後、幾分遅れてサイリスタ7がオンすることによりゲ
ートGとIGBT1のエミッタEの間の電圧VG は略ゼ
ロまで引き下げられる。出力端子電圧VGOが約9μse
c付近で8Vにまで減少しているのはこのためである。
出力端子電圧VGOの減少の幅は、抵抗4とゲート駆動回
路9の出力抵抗との比率を反映している。サイリスタ7
がオンすることにより、IGBT1及びIGBT2が遮
断するので、グラフが示すように主電流はゼロになる。
時間が14μsecに達したときに、出力端子電圧VGO
をゼロに戻して測定を終了している。
【0050】図3はこの実施例の半導体装置からサイリ
スタ7を除去した構成を有する回路に関して、図2にお
けると同様の実測を行った結果を示すグラフである。こ
の場合には、出力端子電圧VGOが立ち上がった後に、図
2における結果と同様にトランジスタ5の働きにより、
主電流は約100Aの値に制限される。しかしながら、
出力端子電圧VGOがゼロに復帰する7μsecの時点ま
で、主電流は約100Aの値を保持し続ける。すなわ
ち、主電流が正常動作の範囲を超える程に負荷に異常が
生じても、主電流は相当に高い値を保持し続ける。この
ためこの回路構成では、負荷の短絡などの異常時にIG
BT1が破壊に至る危険がある。
【0051】また、図示を省略するが、図1に示すこの
実施例の半導体装置からサイリスタ7を残してトランジ
スタ5を除去した構成を有する回路では、図2に示す実
測結果から容易に予測されるように、出力端子電圧VGO
の立ち上がりから一定時間を経た後には、サイリスタ7
がオンして主電流はゼロまで引き下げられる。しかしな
がら、サイリスタ7がオンするまでの期間において、主
電流を制限する機構がないので、主電流は図2に示す約
100Aよりははるかに高い値にまで暴走する。この暴
走した異常に高い主電流により、IGBT1が破壊に至
る危険がある。また、一定時間の後にはサイリスタ7が
オンすることにより、主電流が異常に高い暴走電流のレ
ベルから急速にゼロに下降する。その結果、負荷が有す
るインダクタンス、あるいは負荷のラインに寄生的に発
生しているインダクタンスにより、IGBT1およびI
GBT2のコレクタ・エミッタ間に高いサージ電圧が発
生する。このサージ電圧が更にIGBT1及びIGBT
2の破壊の原因となる。
【0052】図1に示すこの実施例の半導体装置では、
トランジスタ5とサイリスタ7の双方を備えているの
で、負荷の短絡時などの主電流が正常動作範囲を超えて
異常に高くなる場合において、主電流の上昇をある限度
に素早く抑制し、しかも一定期間の後にはゼロにまで引
き下げられるので、過大なコレクタ電流IC によるIG
BT1の破壊が防止される。また、主電流の際限のない
上昇が抑えられるので、サイリスタ7がオンすることに
伴って発生するサージ電圧が低く抑えられる。このた
め、IGBT1およびIGBT2に過度に高いコレクタ
・エミッタ間電圧VCEが印加されることによるIGBT
1の破壊も防止される。
【0053】<2.実施例2>図4は、第2の実施例に
おける半導体装置の構成を示す回路図である。この実施
例では、トランジスタ5のエミッタEにショットキーバ
リアダイオード6と直列にツェナーダイオード13が接
続されている。ツェナーダイオード13は、トランジス
タ5のコレクタCからエミッタEへ流れる電流が逆電流
となる方向に設置される。トランジスタ5のベース・エ
ミッタ間電圧VBEは温度の変化に伴って変動する。この
ため実施例1の半導体装置では、トランジスタ5がオン
するための抵抗3の両端の間の電圧が変動し、その結果
トランジスタ5がオンする主電流の大きさが変動する。
ツェナーダイオード13の逆電圧(ツェナー電圧)は、
温度の上昇に伴ってベース・エミッタ間電圧VBEとは逆
に増加する性質を持っている。したがって、図4に示す
ように、適切なツェナーダイオード13を選択して設置
することにより、トランジスタ5がオンする抵抗3の両
端間の電圧を温度の変化に依存することなく、一定に保
持することができる。
【0054】<3.実施例3>図5は、第3の実施例に
おける半導体装置の構成を示す回路図である。この実施
例では、IGBT1をオフするときに、その応答を速く
するために、IGBT1のゲートGとエミッタEの間に
逆電圧が印加されるように構成される。そのために、ゲ
ート駆動回路9には電源10の他に逆バイアス電源11
が接続される。また、抵抗3およびトランジスタ5を経
由してIGBT1のエミッタEにおける電位がゲートG
の電位を引き上げて、ゲート・エミッタ間電圧VG がゼ
ロ付近の値になることを妨げないように、ダイオード1
2(第2のダイオード)が設けられている。ダイオード
12はゲートGと、トランジスタ5のコレクタCおよび
サイリスタ7のアノードとの間に介挿され、IGBT1
のエミッタEから抵抗3、トランジスタ5を介してゲー
トGへ向かう逆電流を阻止する。
【0055】<4.実施例4>図6は、第4の実施例に
おける半導体装置の構成を示す回路図である。この実施
例では、トランジスタ5のエミッタEとIGBT1のエ
ミッタEの間に、発光ダイオード14(報知手段)が介
挿されている。発光ダイオード14はトランジスタ5の
コレクタCからエミッタEへ流れる電流が、発光ダイオ
ード14の順方向電流となる方向に設置される。トラン
ジスタ5がオンすると発光ダイオード14が発光する。
このため、負荷の短絡などにより主電流が異常に増加し
たために、トランジスタ5が作動したことを、発光によ
り認識することができる。すなわち、主電流が停止した
ときに正常に停止しているのか、異常の発生によって停
止したのかを容易に認識することができる。
【0056】<5.実施例5>上述の各実施例におい
て、トランジスタ5、サイリスタ7、抵抗3を1つの半
導体チップの中に構成してもよい。更に、抵抗8、ショ
ットキーバリアダイオード6、ツェナーダイオード13
などをも含めて、1つの半導体チップの中に構成しても
よい。
【0057】<6.実施例6> <6-1.装置の構成>図7はこの発明の第6の実施例にお
ける半導体装置の構成を示す回路図である。IGBT1
01(第1の絶縁ゲート素子)のコレクタC(第1電流
電極)には図示しない負荷が接続されており、主として
コレクタCからエミッタE(第2電流電極)へ流れるコ
レクタ電流IC が、主電流として負荷へ供給される。こ
のコレクタ電流IC は、ゲートG(制御電極)とエミッ
タEの間の電圧であるゲート・エミッタ間電圧VG の大
きさによって制御される。ゲート・エミッタ間電圧VG
が大きいほど大きなコレクタ電流IC が流れる。ゲート
・エミッタ間電圧VGはゲート駆動回路210(ゲート
駆動手段)によって調整して供給される。ゲート駆動回
路210の出力端子GO とゲートGの間には抵抗109
が介挿されている。ゲート駆動回路210に接続される
電源103は、電源電圧をゲート駆動回路210へ供給
する。
【0058】IGBT101よりも電流容量の低いIG
BT102(第2の絶縁ゲート素子)が、IGBT10
1に並列に設けられている。IGBT101とIGBT
102は、コレクタC同士、及びゲートG同士が互いに
接続されている。負荷へ供給される主電流の小部分が、
IGBT102のコレクタ電流IC として、IGBT1
02へ分流する。IGBT102のエミッタEとIGB
T101のエミッタEの間には抵抗104が接続されて
いる。IGBT102へ分流した電流は抵抗104を通
過する。このため抵抗104の両端には分流した電流に
比例した電圧VR が発生する。従って、主電流が大きい
ほど抵抗104の両端には高い電圧VRが発生する。
【0059】ゲートGとIGBT101のエミッタEの
間に並列に、MOS型電界効果トランジスタ素子(以
下、MOSFETと略記する)105とツェナーダイオ
ード106との直列回路が介挿されている。ゲートGに
は、MOSFET105のドレインDが、抵抗110を
介して接続されている。ドレインDは、抵抗109の一
端にも接続されている。MOSFET105のソースS
には、ツェナーダイオード106のカソードが接続され
ている。ツェナーダイオード106のアノードはIGB
T101のエミッタEに接続されている。すなわち、ツ
ェナーダイオード106は、MOSFET105のドレ
インDからソースSへ流れる電流がツェナーダイオード
106の逆電流となる方向に設置される。
【0060】MOSFET105のゲートG1 は、抵抗
111、抵抗112、及びダイオード113を介して、
IGBT102のエミッタEに結合されている。抵抗1
11と抵抗112は直列に接続され、抵抗112にはダ
イオード113が並列に接続されている。ダイオード1
13は、そのアノードがIGBT102のエミッタEに
接続される方向に介挿される。
【0061】IGBT101には、この素子が導通状態
から遮断状態へ移行したときに、コレクタCとエミッタ
Eの間に逆電圧が発生することによる破壊を防止するた
めのフリーホイールダイオード301が、並列に接続さ
れている。同様に、MOSFET105には、MOSF
ET105の保護を目的としたフリーホイールダイオー
ド302が並列に接続されている。
【0062】<6-2.装置の概略動作>MOSFET10
5は、ゲートG1 とソースSの間の電圧であるゲート・
ソース間電圧VG1が、MOSFET105に固有のゲー
ト閾電圧Vthより低いときにはオフ状態となり、ゲート
閾電圧Vthより高い時にはオン状態となる。したがっ
て、抵抗104の両端に発生する電圧VR が、ツェナー
ダイオード106に固有のツェナー電圧Vz とMOSF
ET105のゲート閾電圧Vthとの和よりも低いときに
は、MOSFET105はオフし、逆に高いときにはオ
ンする。主電流が、正常動作の範囲内の低い値である間
は、電圧VR はツェナー電圧Vz とゲート閾電圧Vthの
和に比べて十分に低い。したがって、MOSFET10
5はオフ状態にある。このとき、ゲートGの電位は、ゲ
ート駆動回路210が出力する電位に一致する。すなわ
ち、IGBT101及びIGBT102はゲート駆動回
路210の出力電位に応答して動作する。
【0063】一方、負荷が短絡するなどにより、主電流
が正常動作の範囲を超えて上昇すると、それに伴って電
圧VR が上昇する。電圧VR がツェナー電圧Vz とゲー
ト閾電圧Vthの和を超えるほどに主電流が高くなると、
MOSFET105がオン状態となる。その結果、ゲー
トGの電位が引き下げられる。これにより、IGBT1
01及びIGBT102が遮断状態に近くなって、主電
流の上昇が阻止される。すなわち、この半導体装置は、
電圧VR がツェナー電圧Vz とゲート閾電圧Vthの和に
一致することに対応する主電流の上限値を超えて、主電
流が上昇するのを防止する。その結果、IGBT101
の過電流による破壊が防止される。抵抗104の抵抗値
は、正常動作の範囲で設定される主電流の上限値に相応
して、適宜選択される。
【0064】<6-3.装置の特徴的な動作>抵抗104の
代わりに、IGBT102のコレクタ電流IC を検出し
て、コレクタ電流IC に対応した電圧を出力する別の電
流検出回路を設けてもよい。しかしながら、抵抗104
で電流検出回路を構成するこの実施例では、半導体装置
を最も簡単にかつ最も低いコストで構成することができ
る。抵抗104は、コレクタ電流IC を電圧VR に変換
する速度が早い。しかも、抵抗104に精度の高い抵抗
器を選択することにより、コレクタ電流IC から電圧V
R への変換の精度を容易に高く設定することができる。
すなわち、この実施例は、電流検出回路の精度および高
速応答性に優れ、かつ構成が簡単であるという利点を有
している。
【0065】この半導体装置では、MOSFET105
に直列にツェナーダイオード106が設けられている。
このため、この半導体装置では、ツェナーダイオード1
06のない従来の半導体装置に比べて、MOSFET1
05がオンするに必要な電圧VR がツェナー電圧Vz の
分だけ高い。その結果、ゲートG1 に入力される電圧信
号に重畳する電気的雑音によって、MOSFET105
が誤ってオンするという誤動作が発生し難い。すなわち
この半導体装置は、従来装置に比べて高いノイズマージ
ンを有している。
【0066】この実施例では、電圧VR をゲートG1 へ
伝達するラインに、抵抗112および抵抗111が介挿
されている。このため、半導体装置の発振が防止され
る。
【0067】この実施例では、更に抵抗112に並列に
ダイオード113が設けられている。ダイオード113
は、電圧VR をゲートG1 に伝達する方向がダイオード
113の順方向となる向きに設置されている。このた
め、MOSFET105の動作をオフからオンに転換す
べく、抵抗104が電圧VR を送出する際に、電圧VR
がゲートG1 に短時間で伝達される。すなわち、ダイオ
ード113はMOSFET105のオフからオンへの変
転を加速する機能を果たしている。これにより、負荷が
短絡した後に主電流が上限値以下に制限されるまでの遅
延時間が短縮される。
【0068】<7.実施例7>実施例6の半導体装置に
おいて、MOSFET105のゲート閾電圧Vthは、温
度の変化に伴って変動する。このことは、主電流の上限
値が温度と共に変動し得ることを意味する。ところで、
ツェナー電圧Vz が様々な温度特性を有する市販のツェ
ナーダイオードが入手可能である。したがって、ツェナ
ー電圧Vz の温度依存性とゲート閾電圧Vthの温度依存
性とが互いに補償し合うようなツェナーダイオードを選
択して、これをツェナーダイオード106に利用するこ
とが可能である。このようにツェナーダイオード106
を選定した半導体装置では、MOSFET105をオン
するのに必要な電圧VR の高さは温度に依存せず一定で
ある。すなわち、この半導体装置では、主電流の上限値
は温度に依存せずに一定となる。
【0069】<8.実施例8>図8は、この発明の第8
の実施例における半導体装置の構成を示す回路図であ
る。この実施例では、IGBT101をオフ状態にする
ときには、IGBT101のゲートGとエミッタEの間
に逆電圧が印加されるように構成される。そのために、
ゲート駆動回路210には電源103の他に逆バイアス
電源107が接続される。このため、IGBT101を
オン状態からオフ状態へ変転させるときの応答が、実施
例6または実施例7の装置に比べて速いという利点があ
る。さらに、オフ状態が十分に安定して実現する。
【0070】この実施例では、ゲートGとエミッタEの
間に逆電圧が印加されるように構成されるので、IGB
T101のエミッタEにおける電位が、ツェナーダイオ
ード106およびMOSFET105を経由して、ゲー
トGの電位を引き上げることによって、ゲート・エミッ
タ間電圧VG がゼロ付近の値となる恐れがある。このこ
とを防止するために、ダイオード108(第1のダイオ
ード)が設けられている。ダイオード108は、ゲート
GとMOSFET105のドレインDとの間に介挿され
る。また、ダイオード108は、MOSFET105を
流れる順方向電流がダイオード108の順方向電流とな
る方向に介挿される。
【0071】ダイオード108は、IGBT101のエ
ミッタEからツェナーダイオード106、MOSFET
105を通過して、ゲートGへ向かう電流、すなわちM
OSFET105の逆電流を阻止する。これにより、ゲ
ート駆動回路210が出力する負の電位が、ゲートGに
正しく伝達される。ダイオード108は、逆電流による
MOSFET105の破壊をも防止する機能を果たして
いる。
【0072】ダイオード108は、MOSFET105
が導通したときに、電流がMOSFET105を順方向
に流れるのを妨げない。したがって、ダイオード108
は、この半導体装置が有する過大な主電流を防止する機
能を阻害しない。
【0073】<9.実施例9>図9は、この発明の第9
の実施例における半導体装置の構成を示す回路図であ
る。この実施例では、実施例8の半導体装置におけるダ
イオード108に、発光ダイオード303が使用されて
いる。MOSFET105がオンすると、MOSFET
105を流れる電流が発光ダイオード303をも流れる
ので、発光ダイオード303が発光する。
【0074】このため、負荷の短絡などにより主電流が
異常に増加したために、主電流を制限する機能が働いた
ことを、発光ダイオード303の発光によって認識する
ことができる。すなわち、半導体装置が正常動作状態に
あるのか、異常動作状態にあるのかを容易に認識するこ
とができる。
【0075】発光ダイオード303は、実施例8におけ
るダイオード108の機能をも兼ねている。すなわち、
この実施例の半導体装置では、発光ダイオード303を
用いることにより、MOSFET105の逆電流を阻止
する機能と、装置の動作状態における異常を報知する機
能との双方の機能を実現している。
【0076】<10.実施例10>図10は、この発明
の第10の実施例における半導体装置の構成を示す回路
図である。この実施例では、実施例9の半導体装置にお
けるMOSFET105が、互いに並列に接続された2
個のMOSFET105a、105bで構成されてい
る。各MOSFET105a、105b毎には、フリー
ホイールダイオード302に代わって、フリーホイール
ダイオード302a、302bが、それぞれ個別に接続
される。また、抵抗111に代わって、抵抗111a、
111bが、MOSFET105a、105bのそれぞ
れのゲートに接続されている。フリーホイールダイオー
ド302a、302bの機能はフリーホイールダイオー
ド302の機能と同様であり、抵抗111a、111b
の機能は抵抗111の機能と同様である。
【0077】この実施例の半導体装置では、2個のMO
SFET105a、105bが、並列に設けられている
ので、1個のMOSFET105のみが設けられた半導
体装置に比べて、これらの素子がオンしたときのオン抵
抗が低く、しかも電流容量が大きい。インバータ等のス
イッチング素子として使用される絶縁ゲート型半導体装
置では、IGBT101を高速度でオンおよびオフする
必要があるので、ゲート駆動回路210の出力抵抗およ
び抵抗109の抵抗値は低く設定される。特に、大きな
主電流を供給する大型の絶縁ゲート型半導体装置では、
それらの抵抗値は一層低く設定される。このため、高速
度でスイッチング動作する大型の絶縁ゲート型半導体装
置では、MOSFET105のオン抵抗は、抵抗109
等の抵抗値に見合って十分に低くなくてなならない。な
ぜなら、オン抵抗が抵抗109等の抵抗値に比べて十分
に低くなければ、MOSFET105がオンしたとき
に、ゲート・エミッタ間電圧VG を十分に引き下げて、
主電流を所定の上限値以下に制限することができなくな
るからである。また、大型の絶縁ゲート型半導体装置で
は、MOSFET105が導通したときにMOSFET
105を流れる電流が大きいので、MOSFET105
の電流容量が大きく設定されなければならない。 この
実施例の半導体装置は、MOSFET105を、並列に
接続された2個のMOSFET105a、105bで構
成することによって、これらの要求に応えるものであ
る。MOSFET105は、2個に限らず必要に応じて
2個以上の互いに並列に接続されたMOSFETで構成
することができる。同一のMOSFETを使用する場合
には、当然ながら並列に接続されるMOSFETの個数
が大きいほど、MOSFET105のオン抵抗は低くな
り、電流容量は大きくなる。
【0078】<11.実施例11>図11は、この発明
の第11の実施例における半導体装置の構成を示す回路
図である。この実施例では、実施例6の半導体装置おい
て、MOSFET105に直列に発光ダイオード304
が接続されている。発光ダイオード304は、MOSF
ET105を順方向に流れる電流、すなわちMOSFE
T105のドレインDからソースSへ向かって流れる電
流が、発光ダイオード304の順方向電流となる向きに
接続されている。
【0079】MOSFET105が導通したときには、
発光ダイオード304にも同時に電流が流れる。すなわ
ち、MOSFET105が導通するときには、発光ダイ
オード304から光が放出される。このため、負荷の短
絡などにより主電流が異常に増加したために、主電流を
制限する機能が働いたことを、発光ダイオード304の
発光によって認識することができる。すなわちこの半導
体装置では、簡単な構成により、装置が正常動作状態に
あるのか、異常動作状態にあるのかを容易に認識するこ
とができる。
【0080】<12.実施例12>上述の各実施例にお
いて、MOSFET105とツェナーダイオード106
を含む回路部分を1つの半導体チップに集積化すること
ができる。回路の一部が集積化されるので、半導体装置
の組立が容易となる。また、MOSFET105とツェ
ナーダイオード106とが1つの半導体チップに集積化
されるために、これら双方の温度特性が互いに相補的で
あるように、再現性良く装置を構成することが可能であ
る。しかも、これら両者が同一半導体基板状に形成され
るので、両者の温度がより均一となる。このため、MO
SFET105をオンするのに必要な電圧VR を、温度
変化に対してより不変に保つことが可能である。
【0081】図12は図7に示した装置の一部を集積化
した装置の回路図である。この装置では、フリーホイー
ルダイオード302、抵抗111、抵抗112およびダ
イオード113を含む回路部分401が集積化されてい
る。一方、抵抗104、抵抗109および抵抗110
は、集積化の対象から外され、集積化回路部分401の
周辺に設置される。集積化回路部分401に含まれる各
回路部品は、半導体装置の様々な定格に対して比較的広
く対応し得る回路部品である。一方、集積化の対象から
除外された抵抗104、抵抗109および抵抗110
は、例えば制御すべき主電流の定格に応じて、その抵抗
値、耐熱特性等を選定する必要がある。この実施例で
は、これらの抵抗が集積化回路部分401の外に個別に
配置され、装置の定格に比較的依存しない回路部品が集
積化されるので、集積化回路部分401を様々な定格の
半導体装置に共通に使用することができる。すなわち、
この実施例の装置は、製造コストを低減し得る利点を有
している。
【0082】<13.実施例13>図13は図10に示
した装置の一部を集積化した装置の回路図である。この
装置では、MOSFET105a、105b、ツェナー
ダイオード106、抵抗111a、111b、抵抗11
2、およびダイオード113が集積化され、集積化回路
部分402を構成している。一方、抵抗104、抵抗1
09、抵抗110は、集積化の対象から外され、集積化
回路部分402の周辺に設置される。この実施例の装置
においても、実施例12と同様に装置の定格に依存する
回路部品が集積化回路部分402の外に個別に配置さ
れ、装置の定格に比較的依存しない回路部品が集積化さ
れるので、製造コストを低減し得る利点がある。
【0083】<14.実施例14> <14-1. 装置の構成>図14は、この発明の第14の実
施例における半導体装置の構成を示す回路図である。こ
の実施例では、2つの接合型電界効果トランジスタ素子
(JFET)を有するカレントミラー回路が使用されて
いる。IGBT102のエミッタEとIGBT101の
エミッタEの間に、JFET114(第1の接合型電界
効果トランジスタ素子)と抵抗116(第1抵抗)との
直列回路が介挿されている。JFET115のドレイン
DはIGBT102のエミッタEに接続され、ソースS
は抵抗116の一端に接続されている。抵抗116の他
の一端は、IGBT101のエミッタEに接続されてい
る。JFET114および抵抗116を流れる電流I1
は、IGBT102のコレクタ電流IC に一致する。J
FET114のゲートGは、ドレインDと短絡されてい
る。
【0084】一方、JFET115(第2の接合型電界
効果トランジスタ素子)は、発光ダイオード303と抵
抗117(第2抵抗)との直列回路を構成している。発
光ダイオード303のアノードは抵抗110を介して、
IGBT101とIGBT102のゲートGに結合され
ている。発光ダイオード303のカソードはJFET1
15のドレインDに接続されている。JFET115の
ソースSは、抵抗117の一端に接続されている。抵抗
117の他の一端は、IGBT101のエミッタEに接
続されている。JFET115のゲートGとJFET1
14のゲートGとは、互いに接続されている。この実施
例では、実施例9と同様にゲート駆動回路210には電
源103の他に逆バイアス電源107が接続されてい
る。
【0085】<14-2. 装置の特徴的な動作>前述のよう
にJFET114とJFET115とは、カレントミラ
ー回路を構成している。しかも、抵抗116と抵抗11
7とによって、これらのJFET114、115には負
帰還がかけられている。このため、JFET115を流
れる電流I2 の大きさは、JFET114および115
の特性には余り依存せずに、専ら抵抗116と抵抗11
7の比と電流I1 とによって定まる。すなわち電流I2
の大きさは常に、抵抗116の抵抗117に対する比
と、電流I1 との積に一致する。従って、JFET11
5には常に、負荷に供給される主電流に比例した電流が
流れる。その電流I2 の大きさには、2つの抵抗11
6、117の抵抗値の精度に応じた、高い精度が保証さ
れる。また、抵抗116、117の抵抗値の温度変化に
伴う変動は小さいので、主電流と電流I2 との関係は温
度に余り依存しない。このため、この実施例の半導体装
置では、過電流を抑制する機能が高い精度で実現され、
かつその機能は温度に余り依存しないという利点があ
る。
【0086】また、実施例9における半導体装置と同様
に、ゲート駆動回路210には電源103の他に逆バイ
アス電源107が接続されているので、IGBT101
をオン状態からオフ状態へ変転させるときの応答が速
く、かつオフ状態が十分に安定して実現する。また、発
光ダイオード303は、JFET115の逆電流を阻止
する機能と、装置の動作状態における異常を報知する機
能との双方の機能を実現している。
【0087】<その他の実施例> (1)以上の実施例の半導体装置では、IGBT10
1、102にnチャネル型IGBTを使用しているが、
この発明ではpチャネル型IGBTを用いることも可能
である。 (2)以上の実施例の半導体装置では、主電流の制御お
よび検出を行う素子として、IGBT101、102を
用いている。しかし、この発明はIGBTに限らず、一
般に絶縁ゲート素子、例えばMOS型電界効果トランジ
スタ素子などを用いた半導体装置にも実施が可能であ
る。
【0088】
【発明の効果】この発明の絶縁ゲート型半導体装置は、
負荷の短絡時などにおいて主電流が過度に上昇したとき
に、トランジスタの働きにより直ちに主電流の上昇を抑
え、つづいてサイリスタの働きで主電流を遮断する。こ
のため、この発明の半導体装置では、過大な主電流を早
い応答速度で制限し、かつゼロ付近まで遮断する効果が
ある(請求項1〜請求項5)。
【0089】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
トランジスタ素子のエミッタ電極に、逆リカバリー時間
の短いダイオードが接続されているので、トランジスタ
の発振による誤動作を防止する効果がある(請求項
2)。
【0090】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
トランジスタ素子のエミッタ電極にツェナーダイオード
が接続されるので、トランジスタ素子のベース電極に供
給される電圧信号に重畳する電気的雑音に対するマージ
ンが高い。このため、この半導体装置は、この電気的雑
音によるトランジスタ素子の誤動作を抑制する効果を有
している。更に、適切な温度特性を有するツェナーダイ
オードを選択することにより、トランジスタ素子のベー
ス電極とエミッタ電極の間の順方向電圧(VBE)の温度
変化による変動を補償することができる。このため、ト
ランジスタ素子が導通する主電流の大きさの温度変化に
伴う変動が抑制される効果がある(請求項3)。
【0091】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
ゲート駆動部が第1の絶縁ゲート素子の第2電流電極の
電位よりも低い電位を出力し得るので、第1の絶縁ゲー
ト素子を十分にかつ高速で遮断させることができる。第
1および第2制御電極とトランジスタおよびサイリスタ
の間にダイオードが設けられているので、第1の絶縁ゲ
ート素子の第2電流電極から第1および第2制御電極へ
向かう逆電流が阻止され、上述の低い電位が第1および
第2制御電極に正しく伝達される効果がある(請求項
4)。
【0092】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
トランジスタ素子が導通状態であることを報知する手段
が設けられるので、主電流が停止する要因を容易に認識
し得る効果がある(請求項5)。
【0093】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子の第6電流電極にツ
ェナーダイオードが直列に接続されているので、MOS
型電界効果トランジスタ素子のオン電圧が、ツェナーダ
イオードのツェナー電圧に相当する分高くなっている。
このため、MOS型電界効果トランジスタ素子の第3制
御電極に供給される電圧信号に重畳する電気的雑音に対
するマージンが高い。すなわちこの半導体装置では、こ
の電気的雑音によるMOS型電界効果トランジスタ素子
の誤動作が抑制される効果がある(請求項6〜請求項1
5)。
【0094】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
ツェナーダイオードにおけるツェナー電圧の温度特性
が、MOS型電界効果トランジスタ素子のゲート閾電圧
の温度特性と相補的であるツェナーダイオードが選択さ
れ、使用される。その結果、MOS型電界効果トランジ
スタ素子のオン電圧の温度依存性が抑制される。このた
めこの半導体装置では、MOS型電界効果トランジスタ
素子の導通を引き起こす主電流の大きさが、温度変化に
伴って余り変動しないという効果がある(請求項7)。
【0095】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
電流検出手段として抵抗が使用される。このため、この
半導体装置では、電流検出手段を簡単に構成することが
でき、装置の構成に要するコストが低廉化されるととも
に、電流を検出するのに要する応答時間が短く、更に電
流検出の精度を容易に高く設定し得るという効果がある
(請求項8、請求項13〜請求項15)。
【0096】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子が複数個並列に接続
されているので、大きな主電流を高速度で調整し得て、
しかも主電流の過大な上昇を十分に抑制することができ
る効果がある(請求項9)。
【0097】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子に直列に発光ダイオ
ードが結合されている。このため、この半導体装置で
は、半導体装置が正常動作または異常動作のいずれの状
態にあるのかを、発光ダイオードの発光により、容易に
認識することができる効果がある(請求項10)。
【0098】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
ゲート駆動部が第1の絶縁ゲート素子の第2電流電極の
電位よりも低い電位を出力し得るので、第1および第2
の絶縁ゲート素子を、十分にかつ高速で遮断させること
ができる効果がある。更に、第1及び第2制御電極とM
OS型電界効果トランジスタ素子との間に第1のダイオ
ードが設けられているので、第1のゲート絶縁素子の第
2電流電極から、MOS型電界効果トランジスタ素子を
介して第1および第2制御電極へ向かう逆電流が阻止さ
れ、上述の低い電位が第1および第2制御電極に正しく
伝達される効果がある(請求項11、請求項12)。
【0099】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子に直列に結合された
第1のダイオードが、発光ダイオードである。このた
め、この半導体装置は、簡単な構成によって逆電流の阻
止と異常動作の報知との双方を実現し得る効果がある
(請求項12)。
【0100】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子の第3制御電極と電
流検出手段の電圧出力端子との間に、第2抵抗が設けら
れているので、装置の発振現象が防止される効果がある
(請求項13〜請求項15)。
【0101】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
第2抵抗に対して並列に第2のダイオードが接続され
る。このため、この半導体装置では、過大な主電流に対
するMOS型電界効果トランジスタ素子の応答が早いの
で、過大な主電流が短時間で抑制される効果がある(請
求項14、請求項15)。
【0102】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
MOS型電界効果トランジスタ素子およびこれに結合し
た回路部分が、1つの半導体チップに集積化されてい
る。このため、半導体装置の組立が簡単であるという効
果がある。また、MOS型電界効果トランジスタ素子と
ツェナーダイオードの温度特性が相補的であるように、
再現性良く構成することができる。加えて、これら両者
の温度がより均一となるので、オン電圧の温度に対する
非依存性が更に良好であるという効果がある。また、第
1抵抗を集積化の対象から除外することができる。この
場合には、同一の集積回路を用いて、第1抵抗を適宜選
択するだけで、半導体装置の多様な設計に対応すること
ができるという効果がある(請求項15)。
【0103】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
第1および第2の接合型電界効果トランジスタ素子と、
第1および第2抵抗とによって負帰還型のカレントミラ
ー回路が構成されている。このため、第2の接合型電界
効果トランジスタ素子には常に、負荷に供給される主電
流に比例した電流が流れる。その比例定数は、第1およ
び第2抵抗の抵抗値の比で定まり、温度変化に伴った変
動も小さい。このため、この発明の半導体装置では、過
電流を抑制する機能が、2つの抵抗の抵抗値の精度に対
応した高い精度で実現され、しかも温度に余り依存しな
いという効果がある(請求項16)。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例における半導体装置の
回路図である。
【図2】第1の実施例の半導体装置に関する実測結果を
示すグラフである。
【図3】第1の実施例の半導体装置と比較すべき回路に
関する実測結果を示すグラフである。
【図4】この発明の第2の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図5】この発明の第3の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図6】この発明の第4の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図7】この発明の第6の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図8】この発明の第8の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図9】この発明の第9の実施例における半導体装置の
構成を示す回路図である。
【図10】この発明の第10の実施例における半導体装
置の構成を示す回路図である。
【図11】この発明の第11の実施例における半導体装
置の構成を示す回路図である。
【図12】この発明の第12の実施例における半導体装
置の構成を示す回路図である。
【図13】この発明の第13の実施例における半導体装
置の構成を示す回路図である。
【図14】この発明の第14の実施例における半導体装
置の構成を示す回路図である。
【図15】従来の絶縁ゲート型半導体装置の構成を示す
ブロック図である。
【符号の説明】
1 IGBT(第1の絶縁ゲート素子) 2 IGBT(第2の絶縁ゲート素子) 3 抵抗 5 トランジスタ(トランジスタ素子) 6 ショットキーバリアダイオード(第1のダイオー
ド) 7 サイリスタ(サイリスタ素子) 9 ゲート駆動回路(ゲート駆動手段) 13 ツェナーダイオード 12 ダイオード(第2のダイオード) 14 発光ダイオード(報知手段) 101 IGBT(第1の絶縁ゲート素子) 102 IGBT(第2の絶縁ゲート素子) 104 抵抗(電流検出手段、第1抵抗) 105 MOSFET(MOS型電界効果トランジスタ
素子) 105a、105b MOSFET(単位MOS型電界
効果トランジスタ素子) 106 ツェナーダイオード 108 ダイオード(第1のダイオード) 112 抵抗(第2抵抗) 113 ダイオード(第2のダイオード) 114 JFET(第1の接合型電界効果トランジスタ
素子) 115 JFET(第2の接合型電界効果トランジスタ
素子) 116 抵抗(第1抵抗) 117 抵抗(第2抵抗) 210 ゲート駆動回路(ゲート駆動手段) 303 発光ダイオード
【手続補正書】
【提出日】平成5年7月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項7
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】図15は、短絡電流遮断機能を有する従来
の絶縁ゲート型半導体装置の例を示すブロック図であ
る。絶縁ゲート素子としてのIGBT1のコレクタCに
は図示しない負荷が接続されており、コレクタCからエ
ミッタEへ流れるコレクタ電流C が、主電流として負
荷へ供給される。このコレクタ電流C は、ゲートGと
エミッタEの間の電圧(ゲート電圧)の大きさによって
制御される。ゲート電圧が大きいほど大きなコレクタ電
C が流れる。ゲート電圧はゲート駆動回路42によ
り調整して供給される。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】この絶縁ゲート型半導体装置には電流トラ
ンス43が設けられており、電流トランス43によって
コレクタ電流C が検出される。検出されたコレクタ電
C の値は、比較回路44において所定の基準値と比
較される。比較回路44は、コレクタ電流C が基準値
を超えたときには所定の信号をゲート駆動回路42へ送
出する。ゲート駆動回路42はこの信号に応答して、I
GBT1を遮断すべく、所定のゲート電圧をゲートGへ
出力する。これにより、負荷の短絡に伴う過大なコレク
タ電流C が遮断され、IGBT1が破壊から保護され
る。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】この発明における絶縁ゲート型半導体装置
では、トランジスタ素子のエミッタ電極にツェナーダイ
オードが接続されるので、トランジスタ素子のオン電圧
が高い。このため、トランジスタ素子のベース電極に供
給される電圧信号に重畳する電気的雑音に対するマージ
ンが高い。すなわちこの半導体装置では、この電気的雑
音によるトランジスタ素子の誤動作が抑制される。ま
た、適切な温度特性を有するツェナーダイオードを選択
することにより、トランジスタ素子のベース電極とエミ
ッタ電極の間の順方向電圧(BE )の温度変化による変
動が補償される。このため、トランジスタ素子の導通を
引き起こす主電流の大きさの温度変化に伴う変動が抑制
される(請求項3)。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0043
【補正方法】変更
【補正内容】
【0043】
【実施例】<1.実施例1> <1-1.装置の構成>図1はこの発明の第1の実施例を示
す回路図である。IGBT1(第1の絶縁ゲート素子)
のコレクタC(第1電流電極)には図示しない負荷が接
続されており、主としてコレクタCからエミッタE(第
2電流電極)へ流れるコレクタ電流C が、主電流とし
て負荷へ供給される。このコレクタ電流C は、ゲート
G(制御電極)とエミッタEの間の電圧であるゲート電
圧の大きさによって制御される。ゲート電圧が大きいほ
ど大きなコレクタ電流C が流れる。ゲート電圧はゲー
ト駆動回路9(ゲート駆動手段)によって調整して供給
される。ゲート駆動回路9の出力端子O とゲートGの
間には抵抗4が介挿されている。ゲート駆動回路9に接
続される電源10は、電源電圧をゲート駆動回路9へ供
給する。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0044
【補正方法】変更
【補正内容】
【0044】IGBT1よりも電流容量の低いIGBT
2(第2の絶縁ゲート素子)が、IGBT1に並列に設
けられている。IGBT1とIGBT2は、コレクタC
同士、及びゲートG同士が互いに接続されている。負荷
へ供給される主電流は、その一部がIGBT2のコレク
タ電流C として、IGBT2へ分流する。IGBT2
のエミッタEとIGBT1のエミッタEの間には抵抗3
が接続されている。IGBT2へ分流した電流は抵抗3
を通過する。このため抵抗3の両端には分流した電流に
比例した電圧が発生する。従って、主電流が大きいほど
抵抗3の両端には高い電圧が発生する。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0046
【補正方法】変更
【補正内容】
【0046】<1-2.装置の動作>主電流が正常動作の範
囲内の低い値である間は、抵抗3の両端に発生する電圧
は十分に低いので、トランジスタ5のベースBとエミッ
タEの間の電圧(BE )はトランジスタ5をオン(導
通)する程には高くなく、またサイリスタ7のゲートと
カソードの間の電圧も、サイリスタ7をオンする程には
高くない。このため、トランジスタ5、サイリスタ7と
もに、オフ(遮断)した状態にある。このとき、ゲート
Gの電位は、ゲート駆動回路9が出力する電位に一致す
る。すなわち、IGBT1及びIGBT2はゲート駆動
回路9の出力電位に応答して動作する。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0047
【補正方法】変更
【補正内容】
【0047】一方、負荷が短絡するなどにより、主電流
が正常動作の範囲を超えて上昇すると、それに伴って抵
抗3の両端の電圧が上昇する。その結果トランジスタ5
のベース・エミッタ間電圧BE がトランジスタ5をオン
する程に高くなり、またサイリスタ7のゲート・カソー
ド間電圧もサイリスタ7をオンする程に高くなる。この
ため、トランジスタ5は直ちにオン状態となり、ゲート
Gの電位をある値まで引き下げる。これに幾分遅れてサ
イリスタ7がオン状態となり、ゲートGをIGBT1の
エミッタEに略等しい電位にまで引き下げるので、IG
BT1及びIGBT2が遮断状態となって最終的には主
電流がゼロになる。これらにより、IGBT1が破壊か
ら保護される。抵抗3の抵抗値は、主電流の正常動作範
囲の上限値の設定に相応して適宜選択される。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0049
【補正方法】変更
【補正内容】
【0049】<1-3.実測データ>図2は、この実施例の
絶縁ゲート型半導体装置に関する実測結果を示すグラフ
である。グラフおいて、縦軸はゲート駆動回路9の出力
端子O とIGBT1のエミッタEとの間の電圧GO
及び主電流(IGBT1のコレクタ電流C に略一致す
る)に対応し、横軸は時間に対応する。この半導体装置
におけるIGBT1のコレクタCとエミッタEの間の電
CE の定格値は600Vであり、実測ではその半分の
300Vを印加している。出力端子電圧GO を、ゼロか
らIGBT1を導通させるのに十分な値である約10V
まで急速に立ち上げると、まずこれに追随してコレクタ
電流C が上昇する。しかしながら、コレクタ電流C
は際限なく上昇するのではなく、トランジスタ5がオン
することによって、100A付近の値に制限される。そ
の後、幾分遅れてサイリスタ7がオンすることによりゲ
ートGとIGBT1のエミッタEの間の電圧G は略ゼ
ロまで引き下げられる。出力端子電圧GO が約9μse
c付近で8Vにまで減少しているのはこのためである。
出力端子電圧GO の減少の幅は、抵抗4とゲート駆動回
路9の出力抵抗との比率を反映している。サイリスタ7
がオンすることにより、IGBT1及びIGBT2が遮
断するので、グラフが示すように主電流はゼロになる。
時間が14μsecに達したときに、出力端子電圧GO
をゼロに戻して測定を終了している。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0050
【補正方法】変更
【補正内容】
【0050】図3はこの実施例の半導体装置からサイリ
スタ7を除去した構成を有する回路に関して、図2にお
けると同様の実測を行った結果を示すグラフである。こ
の場合には、出力端子電圧GO が立ち上がった後に、図
2における結果と同様にトランジスタ5の働きにより、
主電流は約100Aの値に制限される。しかしながら、
出力端子電圧GO がゼロに復帰する7μsecの時点ま
で、主電流は約100Aの値を保持し続ける。すなわ
ち、主電流が正常動作の範囲を超える程に負荷に異常が
生じても、主電流は相当に高い値を保持し続ける。この
ためこの回路構成では、負荷の短絡などの異常時にIG
BT1が破壊に至る危険がある。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0051
【補正方法】変更
【補正内容】
【0051】また、図示を省略するが、図1に示すこの
実施例の半導体装置からサイリスタ7を残してトランジ
スタ5を除去した構成を有する回路では、図2に示す実
測結果から容易に予測されるように、出力端子電圧GO
の立ち上がりから一定時間を経た後には、サイリスタ7
がオンして主電流はゼロまで引き下げられる。しかしな
がら、サイリスタ7がオンするまでの期間において、主
電流を制限する機構がないので、主電流は図2に示す約
100Aよりははるかに高い値にまで暴走する。この暴
走した異常に高い主電流により、IGBT1が破壊に至
る危険がある。また、一定時間の後にはサイリスタ7が
オンすることにより、主電流が異常に高い暴走電流のレ
ベルから急速にゼロに下降する。その結果、負荷が有す
るインダクタンス、あるいは負荷のラインに寄生的に発
生しているインダクタンスにより、IGBT1およびI
GBT2のコレクタ・エミッタ間に高いサージ電圧が発
生する。このサージ電圧が更にIGBT1及びIGBT
2の破壊の原因となる。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0052
【補正方法】変更
【補正内容】
【0052】図1に示すこの実施例の半導体装置では、
トランジスタ5とサイリスタ7の双方を備えているの
で、負荷の短絡時などの主電流が正常動作範囲を超えて
異常に高くなる場合において、主電流の上昇をある限度
に素早く抑制し、しかも一定期間の後にはゼロにまで引
き下げられるので、過大なコレクタ電流C によるIG
BT1の破壊が防止される。また、主電流の際限のない
上昇が抑えられるので、サイリスタ7がオンすることに
伴って発生するサージ電圧が低く抑えられる。このた
め、IGBT1およびIGBT2に過度に高いコレクタ
・エミッタ間電圧 CE が印加されることによるIGBT
1の破壊も防止される。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0053
【補正方法】変更
【補正内容】
【0053】<2.実施例2>図4は、第2の実施例に
おける半導体装置の構成を示す回路図である。この実施
例では、トランジスタ5のエミッタEにショットキーバ
リアダイオード6と直列にツェナーダイオード13が接
続されている。ツェナーダイオード13は、トランジス
タ5のコレクタCからエミッタEへ流れる電流が逆電流
となる方向に設置される。トランジスタ5のベース・エ
ミッタ間電圧BE は温度の変化に伴って変動する。この
ため実施例1の半導体装置では、トランジスタ5がオン
するための抵抗3の両端の間の電圧が変動し、その結果
トランジスタ5がオンする主電流の大きさが変動する。
ツェナーダイオード13の逆電圧(ツェナー電圧)は、
温度の上昇に伴ってベース・エミッタ間電圧BE とは逆
に増加する性質を持っている。したがって、図4に示す
ように、適切なツェナーダイオード13を選択して設置
することにより、トランジスタ5がオンする抵抗3の両
端間の電圧を温度の変化に依存することなく、一定に保
持することができる。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】<3.実施例3>図5は、第3の実施例に
おける半導体装置の構成を示す回路図である。この実施
例では、IGBT1をオフするときに、その応答を速く
するために、IGBT1のゲートGとエミッタEの間に
逆電圧が印加されるように構成される。そのために、ゲ
ート駆動回路9には電源10の他に逆バイアス電源11
が接続される。また、抵抗3およびトランジスタ5を経
由してIGBT1のエミッタEにおける電位がゲートG
の電位を引き上げて、ゲート・エミッタ間電圧G がゼ
ロ付近の値になることを妨げないように、ダイオード1
2(第2のダイオード)が設けられている。ダイオード
12はゲートGと、トランジスタ5のコレクタCおよび
サイリスタ7のアノードとの間に介挿され、IGBT1
のエミッタEから抵抗3、トランジスタ5を介してゲー
トGへ向かう逆電流を阻止する。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0057
【補正方法】変更
【補正内容】
【0057】<6.実施例6> <6-1.装置の構成>図7はこの発明の第6の実施例にお
ける半導体装置の構成を示す回路図である。IGBT1
01(第1の絶縁ゲート素子)のコレクタC(第1電流
電極)には図示しない負荷が接続されており、主として
コレクタCからエミッタE(第2電流電極)へ流れるコ
レクタ電流C が、主電流として負荷へ供給される。こ
のコレクタ電流C は、ゲートG(制御電極)とエミッ
タEの間の電圧であるゲート・エミッタ間電圧G の大
きさによって制御される。ゲート・エミッタ間電圧 G
が大きいほど大きなコレクタ電流C が流れる。ゲート
・エミッタ間電圧G はゲート駆動回路210(ゲート
駆動手段)によって調整して供給される。ゲート駆動回
路210の出力端子O とゲートGの間には抵抗109
が介挿されている。ゲート駆動回路210に接続される
電源103は、電源電圧をゲート駆動回路210へ供給
する。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0058
【補正方法】変更
【補正内容】
【0058】IGBT101よりも電流容量の低いIG
BT102(第2の絶縁ゲート素子)が、IGBT10
1に並列に設けられている。IGBT101とIGBT
102は、コレクタC同士、及びゲートG同士が互いに
接続されている。負荷へ供給される主電流の小部分が、
IGBT102のコレクタ電流C として、IGBT1
02へ分流する。IGBT102のエミッタEとIGB
T101のエミッタEの間には抵抗104が接続されて
いる。IGBT102へ分流した電流は抵抗104を通
過する。このため抵抗104の両端には分流した電流に
比例した電圧 R が発生する。従って、主電流が大きい
ほど抵抗104の両端には高い電圧R が発生する。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0062
【補正方法】変更
【補正内容】
【0062】<6-2.装置の概略動作>MOSFET10
5は、ゲートG1 とソースSの間の電圧であるゲート・
ソース間電圧G1 が、MOSFET105に固有のゲー
ト閾電圧GS(th) より低いときにはオフ状態となり、ゲ
ート閾電圧GS(th) より高い時にはオン状態となる。し
たがって、抵抗104の両端に発生する電圧R が、ツ
ェナーダイオード106に固有のツェナー電圧Vz とM
OSFET105のゲート閾電圧GS(th) との和よりも
低いときには、MOSFET105はオフし、逆に高い
ときにはオンする。主電流が、正常動作の範囲内の低い
値である間は、電圧R はツェナー電圧Vz とゲート閾
電圧GS(th) の和に比べて十分に低い。したがって、M
OSFET105はオフ状態にある。このとき、ゲート
Gの電位は、ゲート駆動回路210が出力する電位に一
致する。すなわち、IGBT101及びIGBT102
はゲート駆動回路210の出力電位に応答して動作す
る。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0063
【補正方法】変更
【補正内容】
【0063】一方、負荷が短絡するなどにより、主電流
が正常動作の範囲を超えて上昇すると、それに伴って電
R が上昇する。電圧R がツェナー電圧Vz とゲー
ト閾電圧GS(th) の和を超えるほどに主電流が高くなる
と、MOSFET105がオン状態となる。その結果、
ゲートGの電位が引き下げられる。これにより、IGB
T101及びIGBT102が遮断状態に近くなって、
主電流の上昇が阻止される。すなわち、この半導体装置
は、電圧R がツェナー電圧Vz とゲート閾電圧
GS(th) の和に一致することに対応する主電流の上限値を
超えて、主電流が上昇するのを防止する。その結果、I
GBT101の過電流による破壊が防止される。抵抗1
04の抵抗値は、正常動作の範囲で設定される主電流の
上限値に相応して、適宜選択される。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0064
【補正方法】変更
【補正内容】
【0064】<6-3.装置の特徴的な動作>抵抗104の
代わりに、IGBT102のコレクタ電流C を検出し
て、コレクタ電流C に対応した電圧を出力する別の電
流検出回路を設けてもよい。しかしながら、抵抗104
で電流検出回路を構成するこの実施例では、半導体装置
を最も簡単にかつ最も低いコストで構成することができ
る。抵抗104は、コレクタ電流C を電圧R に変換
する速度が早い。しかも、抵抗104に精度の高い抵抗
器を選択することにより、コレクタ電流C から電圧
R への変換の精度を容易に高く設定することができる。
すなわち、この実施例は、電流検出回路の精度および高
速応答性に優れ、かつ構成が簡単であるという利点を有
している。
【手続補正20】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0065
【補正方法】変更
【補正内容】
【0065】この半導体装置では、MOSFET105
に直列にツェナーダイオード106が設けられている。
このため、この半導体装置では、ツェナーダイオード1
06のない従来の半導体装置に比べて、MOSFET1
05がオンするに必要な電圧R がツェナー電圧Vz の
分だけ高い。その結果、ゲートG1 に入力される電圧信
号に重畳する電気的雑音によって、MOSFET105
が誤ってオンするという誤動作が発生し難い。すなわち
この半導体装置は、従来装置に比べて高いノイズマージ
ンを有している。
【手続補正21】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0066
【補正方法】変更
【補正内容】
【0066】この実施例では、電圧R をゲートG1 へ
伝達するラインに、抵抗112および抵抗111が介挿
されている。このため、半導体装置の発振が防止され
る。
【手続補正22】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0067
【補正方法】変更
【補正内容】
【0067】この実施例では、更に抵抗112に並列に
ダイオード113が設けられている。ダイオード113
は、電圧R をゲートG1 に伝達する方向がダイオード
113の順方向となる向きに設置されている。このた
め、MOSFET105の動作をオフからオンに転換す
べく、抵抗104が電圧R を送出する際に、電圧R
がゲートG1 に短時間で伝達される。すなわち、ダイオ
ード113はMOSFET105のオフからオンへの変
転を加速する機能を果たしている。これにより、負荷が
短絡した後に主電流が上限値以下に制限されるまでの遅
延時間が短縮される。
【手続補正23】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0068
【補正方法】変更
【補正内容】
【0068】<7.実施例7>実施例6の半導体装置に
おいて、MOSFET105のゲート閾電圧
GS(th) は、温度の変化に伴って変動する。このことは、
主電流の上限値が温度と共に変動し得ることを意味す
る。ところで、ツェナー電圧Vz が様々な温度特性を有
する市販のツェナーダイオードが入手可能である。した
がって、ツェナー電圧Vzの温度依存性とゲート閾電圧
GS(th) の温度依存性とが互いに補償し合うようなツェ
ナーダイオードを選択して、これをツェナーダイオード
106に利用することが可能である。このようにツェナ
ーダイオード106を選定した半導体装置では、MOS
FET105をオンするのに必要な電圧R の高さは温
度に依存せず一定である。すなわち、この半導体装置で
は、主電流の上限値は温度に依存せずに一定となる。
【手続補正24】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0070
【補正方法】変更
【補正内容】
【0070】この実施例では、ゲートGとエミッタEの
間に逆電圧が印加されるように構成されるので、IGB
T101のエミッタEにおける電位が、ツェナーダイオ
ード106およびMOSFET105を経由して、ゲー
トGの電位を引き上げることによって、ゲート・エミッ
タ間電圧G がゼロ付近の値となる恐れがある。このこ
とを防止するために、ダイオード108(第1のダイオ
ード)が設けられている。ダイオード108は、ゲート
GとMOSFET105のドレインDとの間に介挿され
る。また、ダイオード108は、MOSFET105を
流れる順方向電流がダイオード108の順方向電流とな
る方向に介挿される。
【手続補正25】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0077
【補正方法】変更
【補正内容】
【0077】この実施例の半導体装置では、2個のMO
SFET105a、105bが、並列に設けられている
ので、1個のMOSFET105のみが設けられた半導
体装置に比べて、これらの素子がオンしたときのオン抵
抗が低く、しかも電流容量が大きい。インバータ等のス
イッチング素子として使用される絶縁ゲート型半導体装
置では、IGBT101を高速度でオンおよびオフする
必要があるので、ゲート駆動回路210の出力抵抗およ
び抵抗109の抵抗値は低く設定される。特に、大きな
主電流を供給する大型の絶縁ゲート型半導体装置では、
それらの抵抗値は一層低く設定される。このため、高速
度でスイッチング動作する大型の絶縁ゲート型半導体装
置では、MOSFET105のオン抵抗は、抵抗109
等の抵抗値に見合って十分に低くなくてなならない。な
ぜなら、オン抵抗が抵抗109等の抵抗値に比べて十分
に低くなければ、MOSFET105がオンしたとき
に、ゲート・エミッタ間電圧G を十分に引き下げて、
主電流を所定の上限値以下に制限することができなくな
るからである。また、大型の絶縁ゲート型半導体装置で
は、MOSFET105が導通したときにMOSFET
105を流れる電流が大きいので、MOSFET105
の電流容量が大きく設定されなければならない。の実
施例の半導体装置は、MOSFET105を、並列に接
続された2個のMOSFET105a、105bで構成
することによって、これらの要求に応えるものである。
MOSFET105は、2個に限らず必要に応じて2個
以上の互いに並列に接続されたMOSFETで構成する
ことができる。同一のMOSFETを使用する場合に
は、当然ながら並列に接続されるMOSFETの個数が
大きいほど、MOSFET105のオン抵抗は低くな
り、電流容量は大きくなる。
【手続補正26】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0080
【補正方法】変更
【補正内容】
【0080】<12.実施例12>上述の各実施例にお
いて、MOSFET105とツェナーダイオード106
を含む回路部分を1つの半導体チップに集積化すること
ができる。回路の一部が集積化されるので、半導体装置
の組立が容易となる。また、MOSFET105とツェ
ナーダイオード106とが1つの半導体チップに集積化
されるために、これら双方の温度特性が互いに相補的で
あるように、再現性良く装置を構成することが可能であ
る。しかも、これら両者が同一半導体基板状に形成され
るので、両者の温度がより均一となる。このため、MO
SFET105をオンするのに必要な電圧R を、温度
変化に対してより不変に保つことが可能である。
【手続補正27】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0083
【補正方法】変更
【補正内容】
【0083】<14.実施例14> <14-1. 装置の構成>図14は、この発明の第14の実
施例における半導体装置の構成を示す回路図である。こ
の実施例では、2つの接合型電界効果トランジスタ素子
(JFET)を有するカレントミラー回路が使用されて
いる。IGBT102のエミッタEとIGBT101の
エミッタEの間に、JFET114(第1の接合型電界
効果トランジスタ素子)と抵抗116(第1抵抗)との
直列回路が介挿されている。JFET114のドレイン
DはIGBT102のエミッタEに接続され、ソースS
は抵抗116の一端に接続されている。抵抗116の他
の一端は、IGBT101のエミッタEに接続されてい
る。JFET114および抵抗116を流れる電流I1
は、IGBT102のコレクタ電流C に一致する。J
FET114のゲートGは、ドレインDと短絡されてい
る。
【手続補正28】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0090
【補正方法】変更
【補正内容】
【0090】この発明の絶縁ゲート型半導体装置では、
トランジスタ素子のエミッタ電極にツェナーダイオード
が接続されるので、トランジスタ素子のベース電極に供
給される電圧信号に重畳する電気的雑音に対するマージ
ンが高い。このため、この半導体装置は、この電気的雑
音によるトランジスタ素子の誤動作を抑制する効果を有
している。更に、適切な温度特性を有するツェナーダイ
オードを選択することにより、トランジスタ素子のベー
ス電極とエミッタ電極の間の順方向電圧(BE )の温度
変化による変動を補償することができる。このため、ト
ランジスタ素子が導通する主電流の大きさの温度変化に
伴う変動が抑制される効果がある(請求項3)。
【手続補正29】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】変更
【補正内容】
【図7】
【手続補正30】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】
【手続補正31】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】
【手続補正32】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図10
【補正方法】変更
【補正内容】
【図10】
【手続補正33】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図11
【補正方法】変更
【補正内容】
【図11】
【手続補正34】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図12
【補正方法】変更
【補正内容】
【図12】
【手続補正35】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図13
【補正方法】変更
【補正内容】
【図13】
【手続補正36】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図14
【補正方法】変更
【補正内容】
【図14】
フロントページの続き (72)発明者 丸茂 高志 福岡市西区今宿東一丁目1番1号 福菱セ ミコンエンジニアリング株式会社内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁ゲート型半導体装置であって、 (a)第1電流電極と、第2電流電極と、前記第1およ
    び第2電流電極から絶縁された第1制御電極とを有し、
    当該第1制御電極と前記第2電流電極の間に付加される
    第1電圧が大きいほど、当該第1電圧に応答して前記第
    1および第2電流電極の間がより導通した状態となる第
    1の絶縁ゲート素子と、 (b)第3電流電極と、第4電流電極と、前記第3およ
    び第4電流電極から絶縁された第2制御電極とを有し、
    当該第2制御電極と前記第4電流電極の間に付加される
    第2電圧が大きいほど、当該第2電圧に応答して前記第
    3および第4電流電極の間がより導通した状態となり、
    当該第3電流電極と前記第1電流電極とが接続され、当
    該第2制御電極と前記第1制御電極とが接続され、当該
    第4電流電極が前記第2電流電極と結合される第2の絶
    縁ゲート素子と、 (c)前記第2電流電極と前記第4電流電極との間に介
    挿される抵抗と、 (d)出力端子を有し、当該出力端子が前記第1および
    第2制御電極へ結合され、当該出力端子へ調整された第
    3電圧を出力するゲート駆動手段と、 (e)コレクタ電極、エミッタ電極、およびベース電極
    を有し、前記第1および第2制御電極と当該コレクタ電
    極が結合され、前記第4電流電極と当該ベース電極が接
    続され、前記第2電流電極と当該エミッタ電極が結合さ
    れたトランジスタ素子と、 (f)アノード電極、カソード電極、及びゲート電極を
    有し、当該ゲート電極と当該カソード電極の間の電圧が
    一旦所定以上の大きさになると、当該アノード電極と当
    該カソード電極の間が導通し、前記第1及び第2制御電
    極と当該アノード電極が結合され、前記第2電流電極と
    当該カソード電極が接続され、第4電流電極と当該ゲー
    ト電極が結合されたサイリスタ素子と、 を備える絶縁ゲート型半導体装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 (g)前記エミッタ電極と前記第2電流電極の間に、前
    記コレクタ電極から前記エミッタ電極へ流れる電流が順
    方向電流となる向きに介挿された第1のダイオードであ
    って、前記トランジスタ素子における前記エミッタ電極
    と前記ベース電極の間におけるよりも逆リカバリー時間
    が短い第1のダイオード、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 (h)前記エミッタ電極と前記第2電流電極の間に、前
    記コレクタ電極から前記エミッタ電極へ流れる電流が逆
    方向電流となる向きに介挿されたツェナーダイオード、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 前記ゲート駆動手段が、 (d−1)前記調整された電圧として、前記第2電流電
    極の電位よりも低い電位を出力し得るゲート駆動部、 を備え、 (i)前記第1及び第2制御電極と前記コレクタ電極及
    び前記サイリスタ素子の前記アノード電極との間に、前
    記コレクタ電極から前記第1及び第2制御電極へ向かう
    電流を阻止する向きに介挿された第2のダイオード、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 (j)前記トランジスタ素子に結合され、前記トランジ
    スタ素子が導通状態であることを報知する報知手段、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  6. 【請求項6】 絶縁ゲート型半導体装置であって、 (a)第1電流電極と、第2電流電極と、前記第1およ
    び第2電流電極から絶縁された第1制御電極とを有する
    第1の絶縁ゲート素子であって、当該第1制御電極と前
    記第2電流電極の間に付加される第1電圧が大きいほ
    ど、当該第1電圧に応答して前記第1および第2電流電
    極の間がより導通した状態となる第1の絶縁ゲート素子
    と、 (b)第3電流電極と、第4電流電極と、前記第3およ
    び第4電流電極から絶縁された第2制御電極とを有する
    第2の絶縁ゲート素子であって、当該第2制御電極と前
    記第4電流電極の間に付加される第2電圧が大きいほ
    ど、当該第2電圧に応答して前記第3および第4電流電
    極の間がより導通した状態となる第2の絶縁ゲート素子
    であって、当該第3電流電極と前記第1電流電極とが接
    続され、当該第2制御電極と前記第1制御電極とが接続
    され、当該第4電流電極が前記第2電流電極と結合され
    る第2の絶縁ゲート素子と、 (c)電圧出力端子を有し前記第2電流電極と前記第4
    電流電極との間に介挿される電流検出手段であって、前
    記第2の絶縁ゲート素子を通過して前記第3電流電極と
    前記第4電流電極との間を流れる電流を検出する電流検
    出手段であって、前記電流に対応した電圧を前記電圧出
    力端子から出力する電流検出手段と、 (d)出力端子を有し、当該出力端子が前記第1および
    第2制御電極へ結合されたゲート駆動手段であって、調
    整された第3電圧を当該出力端子へ出力するゲート駆動
    手段と、 (e)第5電流電極、第6電流電極、および第3制御電
    極を有するMOS型電界効果トランジスタ素子であっ
    て、当該第5電流電極が前記第1および第2制御電極に
    結合され、当該第3制御電極が前記電圧出力端子に結合
    され、前記第6電流電極が前記第2電流電極に結合され
    たMOS型電界効果トランジスタ素子と、 (f)前記第6電流電極と前記第2電流電極の間に介挿
    されたツェナーダイオードであって、前記MOS型電界
    効果トランジスタ素子を通過して前記第5電流電極と前
    記第6電流電極との間を順方向に流れる電流が、逆方向
    電流となる向きに介挿されたツェナーダイオードと、 を備える絶縁ゲート型半導体装置。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 前記ツェナーダイオードにおけるツェナー電圧が、前記
    MOS型電界効果トランジスタ素子におけるゲート閾電
    圧の温度特性に対して、相補的な温度特性を有する絶縁
    ゲート型半導体装置。
  8. 【請求項8】 請求項6に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 前記電流検出手段が、 (c−1)前記第2電流電極と前記第4電流電極との間
    に介挿される第1抵抗であって、前記第4電流電極に結
    合される当該第1抵抗の端部が、前記電圧出力端子とし
    て機能する第1抵抗、 を備える絶縁ゲート型半導体装置。
  9. 【請求項9】 請求項6に記載の絶縁ゲート型半導体装
    置であって、 前記MOS型電界効果トランジスタ素子が、 (e−1)第7電流電極、第8電流電極、および第4制
    御電極を有する複数の単位MOS型電界効果トランジス
    タ素子を備え、 当該複数の単位MOS型電界効果トランジスタ素子にお
    ける第7電流電極同士、第8電流電極同士、および第4
    制御電極同士が相互に接続され、当該第7電流電極、当
    該第8電流電極、および当該第4制御電極は、それぞれ
    前記第5電流電極、前記第6電流電極、および前記第3
    制御電極として機能する、 絶縁ゲート型半導体装置。
  10. 【請求項10】 請求項6に記載の絶縁ゲート型半導体
    装置であって、 (g)前記MOS型電界効果トランジスタ素子に結合さ
    れた発光ダイオードであって、前記MOS型電界効果ト
    ランジスタ素子を通過して前記第5電流電極と前記第6
    電流電極との間を順方向に流れる電流が、順方向電流と
    なる向きに介挿された発光ダイオード、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  11. 【請求項11】 請求項6に記載の絶縁ゲート型半導体
    装置であって、 前記ゲート駆動手段が、 (d−1)前記調整された第3電圧として、前記第2電
    流電極の電位よりも低い電位に相当する電圧を出力し得
    るゲート駆動部、 を備え、 (g)前記第1及び第2制御電極と前記第5電流電極と
    の間に介挿された第1のダイオードであって、前記MO
    S型電界効果トランジスタ素子を通過して前記第5電流
    電極と前記第6電流電極との間を順方向に流れる電流
    が、順方向電流となる向きに介挿された第1のダイオー
    ド、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の絶縁ゲート型半導
    体装置であって、 前記第1のダイオードが、発光ダイオードである絶縁ゲ
    ート型半導体装置。
  13. 【請求項13】 請求項8に記載の絶縁ゲート型半導体
    装置であって、 (h)前記第3制御電極と前記電圧出力端子との間に介
    挿される第2抵抗、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  14. 【請求項14】 請求項13に記載の絶縁ゲート型半導
    体装置であって、 (i)前記第2抵抗に並列に接続される第2のダイオー
    ドであって、前記第3制御電極と前記電圧出力端子との
    間に介挿される第2のダイオードであって、前記MOS
    型電界効果トランジスタ素子が遮断状態から導通状態へ
    移行するように前記電圧出力端子から出力される電圧
    を、当該第2のダイオードが短絡した状態で、第3制御
    電極へ伝達し得る向きに介挿される第2のダイオード、 を更に備える絶縁ゲート型半導体装置。
  15. 【請求項15】 請求項14に記載の絶縁ゲート型半導
    体装置であって、 少なくとも前記MOS型電界効果トランジスタ素子、前
    記ツェナーダイオード、前記第2抵抗、および前記第2
    のダイオードが、1つの半導体チップに集積化された絶
    縁ゲート型半導体装置。
  16. 【請求項16】 絶縁ゲート型半導体装置であって、 (a)第1電流電極と、第2電流電極と、前記第1およ
    び第2電流電極から絶縁された第1制御電極とを有する
    第1の絶縁ゲート素子であって、当該第1制御電極と前
    記第2電流電極の間に付加される第1電圧が大きいほ
    ど、当該第1電圧に応答して前記第1および第2電流電
    極の間がより導通した状態となる第1の絶縁ゲート素子
    と、 (b)第3電流電極と、第4電流電極と、前記第3およ
    び第4電流電極から絶縁された第2制御電極とを有する
    第2の絶縁ゲート素子であって、当該第2制御電極と前
    記第4電流電極の間に付加される第2電圧が大きいほ
    ど、当該第2電圧に応答して前記第3および第4電流電
    極の間がより導通した状態となる第2の絶縁ゲート素子
    であって、当該第3電流電極と前記第1電流電極とが接
    続され、当該第2制御電極と前記第1制御電極とが接続
    され、当該第4電流電極が前記第2電流電極と結合され
    る第2の絶縁ゲート素子と、 (c)前記第2電流電極と前記第4電流電極との間に介
    挿される第1の接合型電界効果トランジスタ素子であっ
    て、第5電流電極、第6電流電極、および第3制御電極
    を有する第1の接合型電界効果トランジスタ素子であっ
    て、当該第5電流電極が第4電流電極に接続され、当該
    第6電流電極が前記第2電流電極に結合され、当該第3
    制御電極が前記第4電流電極に結合された第1の接合型
    電界効果トランジスタ素子と、 (d)前記第6電流電極と前記第2電流電極との間に介
    挿される第1抵抗と、 (e)出力端子を有し、当該出力端子が前記第1および
    第2制御電極へ結合され、当該出力端子へ調整された第
    3電圧を出力するゲート駆動手段と、 (f)第7電流電極、第8電流電極、および第4制御電
    極を有する第2の接合型電界効果トランジスタ素子であ
    って、当該第7電流電極が前記第1および第2制御電極
    に結合され、当該第4制御電極が前記第3制御電極に結
    合され、前記第8電流電極が前記第2電流電極に結合さ
    れた第2の接合型電界効果トランジスタ素子と、 (g)前記第8電流電極と前記第2電流電極との間に介
    挿される第2抵抗と、 を備える絶縁ゲート型半導体装置。
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