JPH06220202A - ポリマー状ボロシラザン類およびアルミノシラザン類、それらの製造方法およびそれらの使用 - Google Patents
ポリマー状ボロシラザン類およびアルミノシラザン類、それらの製造方法およびそれらの使用Info
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- JPH06220202A JPH06220202A JP5339222A JP33922293A JPH06220202A JP H06220202 A JPH06220202 A JP H06220202A JP 5339222 A JP5339222 A JP 5339222A JP 33922293 A JP33922293 A JP 33922293A JP H06220202 A JPH06220202 A JP H06220202A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポリマー状ボロシラザン類およびアルミノシ
ラザン類、それらの製造方法およびそれらの使用。 【構成】 本発明は、一般式 【化１】 ［式中、Ｌがケイ素またはアルミニウム原子に付いてい
る時のＬは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機アミ
ノ（−ＮＲ）基を意味し、そしてＬがホウ素原子に付い
ている時のＬは、水素原子、ブリッジ−ＮＲ−基の半分
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、４個
の窒素原子がケイ素原子とアルミニウム原子各々に三重
配位しており、そして少なくとも２個の窒素原子と多く
とも１個の水素原子がホウ素原子各々に配位している］
に相当しているポリマー状ボロ−およびアルミノシラザ
ン類、これらのポリマー類の製造方法、並びに高性能の
セラミック材料用前駆体コンパンドとしてのそれらの使
用に関する。
ラザン類、それらの製造方法およびそれらの使用。 【構成】 本発明は、一般式 【化１】 ［式中、Ｌがケイ素またはアルミニウム原子に付いてい
る時のＬは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機アミ
ノ（−ＮＲ）基を意味し、そしてＬがホウ素原子に付い
ている時のＬは、水素原子、ブリッジ−ＮＲ−基の半分
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、４個
の窒素原子がケイ素原子とアルミニウム原子各々に三重
配位しており、そして少なくとも２個の窒素原子と多く
とも１個の水素原子がホウ素原子各々に配位している］
に相当しているポリマー状ボロ−およびアルミノシラザ
ン類、これらのポリマー類の製造方法、並びに高性能の
セラミック材料用前駆体コンパンドとしてのそれらの使
用に関する。
Description
【０００１】本発明は、一般式
【０００２】
【化３】
【０００３】［式中、Ｌは、ケイ素またはアルミニウム
原子に付いている時、ブリッジ（bridging）−ＮＲ−基
の半分または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、そして
Ｌは、ホウ素原子に付いている時、水素、ブリッジ−Ｎ
Ｒ−基の半分または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、
ここで、４個の窒素原子がケイ素原子とアルミニウム原
子各々に三重配位しており、そして少なくとも２個の窒
素原子と多くとも１個の水素原子がホウ素原子各々に配
位している］に相当しているポリマー状ボロおよびアル
ミノシラザン類、これらのポリマー類の製造方法、並び
に高性能のセラミック材料用前駆体コンパンドとしての
それらの使用に関する。
原子に付いている時、ブリッジ（bridging）−ＮＲ−基
の半分または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、そして
Ｌは、ホウ素原子に付いている時、水素、ブリッジ−Ｎ
Ｒ−基の半分または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、
ここで、４個の窒素原子がケイ素原子とアルミニウム原
子各々に三重配位しており、そして少なくとも２個の窒
素原子と多くとも１個の水素原子がホウ素原子各々に配
位している］に相当しているポリマー状ボロおよびアル
ミノシラザン類、これらのポリマー類の製造方法、並び
に高性能のセラミック材料用前駆体コンパンドとしての
それらの使用に関する。
【０００４】熱分解して窒化系（nitridic）および炭窒
化系（carbonitric）セラミック材料に変換され得るプ
レセラミックポリマー類に対する興味が近年進展してき
ている。実施されている研究は、主に元素の純粋な窒化
物／炭窒化物、例えばＳｉ3Ｎ4、ＡｌＮ、ＢＮまたはＳ
ｉ3Ｎ4・ＳｉＣ用前駆体の合成に集中している。
化系（carbonitric）セラミック材料に変換され得るプ
レセラミックポリマー類に対する興味が近年進展してき
ている。実施されている研究は、主に元素の純粋な窒化
物／炭窒化物、例えばＳｉ3Ｎ4、ＡｌＮ、ＢＮまたはＳ
ｉ3Ｎ4・ＳｉＣ用前駆体の合成に集中している。
【０００５】窒化ケイ素は、基本的に、それが有する強
度および高温耐性から、ひどい摩耗を受ける部品のため
の高性能材料、例えばターボチャージャー類、タービン
類または燃焼チャンバ用ライニング類に非常に適切であ
る。この材料が有する特定的な特性は、混合セラミック
類を製造することによって、後の使用にとって最適にさ
れ得る。従って、Ruh他［J. Am. Ceram. Soc. 1981、 6
4、 415］は、純粋な窒化ケイ素よりも高い耐熱衝撃性を
示す窒化ホウ素−ケイ素の混合セラミックを報告してい
るが、その強度は低下している。他方、窒化アルミニウ
ムは、窒化ケイ素に比べて本質的に改良された熱伝導性
を示す［Ceram. Bull. 1990、 69、 1801］。改良された
摩耗特性を有するＳｉ／Ａｌ／Ｎセラミック層の説明が
JP-A 63256 587に与えられている。
度および高温耐性から、ひどい摩耗を受ける部品のため
の高性能材料、例えばターボチャージャー類、タービン
類または燃焼チャンバ用ライニング類に非常に適切であ
る。この材料が有する特定的な特性は、混合セラミック
類を製造することによって、後の使用にとって最適にさ
れ得る。従って、Ruh他［J. Am. Ceram. Soc. 1981、 6
4、 415］は、純粋な窒化ケイ素よりも高い耐熱衝撃性を
示す窒化ホウ素−ケイ素の混合セラミックを報告してい
るが、その強度は低下している。他方、窒化アルミニウ
ムは、窒化ケイ素に比べて本質的に改良された熱伝導性
を示す［Ceram. Bull. 1990、 69、 1801］。改良された
摩耗特性を有するＳｉ／Ａｌ／Ｎセラミック層の説明が
JP-A 63256 587に与えられている。
【０００６】複合および混合セラミックは通常粉末技術
で製造されている。関係した元素の窒化物を注意深く粉
砕した後、焼結が行われている。これらの成分は、１７
５０℃で熱プレスした後でさえも別々の相としてその材
料の中に残っている、と言うのは、共有窒化物に関する
拡散定数はその高圧下でも無視できる程であるからであ
る。従って、これらの出発材料は注意深く均一化されて
いるにも拘らず、これらの主要粒子がランダムに分布し
ていることが原因となる不均一性が顕微鏡的に存在して
おり、そしてこれが部分的に、これらの複合体が示す低
い強度の原因となっている。この材料が示す特性に関す
るもう１つの劣化は、如何なる場合にも存在している酸
化物不純物に加えて、存在している粉砕粉じんおよび添
加された焼結助剤のいずれかによる、遊離体の汚染が原
因となるものである。このことはそれ自身、亀裂がゆっ
くりと成長すること、熱衝撃に対する抵抗力が低いこ
と、および高温強度が低下することなどの欠点を表して
いる。
で製造されている。関係した元素の窒化物を注意深く粉
砕した後、焼結が行われている。これらの成分は、１７
５０℃で熱プレスした後でさえも別々の相としてその材
料の中に残っている、と言うのは、共有窒化物に関する
拡散定数はその高圧下でも無視できる程であるからであ
る。従って、これらの出発材料は注意深く均一化されて
いるにも拘らず、これらの主要粒子がランダムに分布し
ていることが原因となる不均一性が顕微鏡的に存在して
おり、そしてこれが部分的に、これらの複合体が示す低
い強度の原因となっている。この材料が示す特性に関す
るもう１つの劣化は、如何なる場合にも存在している酸
化物不純物に加えて、存在している粉砕粉じんおよび添
加された焼結助剤のいずれかによる、遊離体の汚染が原
因となるものである。このことはそれ自身、亀裂がゆっ
くりと成長すること、熱衝撃に対する抵抗力が低いこ
と、および高温強度が低下することなどの欠点を表して
いる。
【０００７】上記セラミック類の均一性を改良し得る方
法が、EP-A-389 084およびEP-A-0 424 082の中に記述さ
れている。この改良は、官能Ｓｉ−Ｈおよび／またはＳ
ｉ−Ｎ基を含んでいる可溶ポリマー状シラザン類と可溶
有機ホウ素化合物とを反応させることで実施されてい
る。両方の著者共、熱分解させることで窒化ホウ素−ケ
イ素または炭窒化ホウ素セラミックを生じさせることが
可能な可溶ポリボロシラザンを得ている。このような方
法は、勿論、この反応中にブロックとして残存するポリ
マー状シラザン遊離体を用いていることから、このセラ
ミック内にホウ素を完全に均一に分布させるものではな
い。
法が、EP-A-389 084およびEP-A-0 424 082の中に記述さ
れている。この改良は、官能Ｓｉ−Ｈおよび／またはＳ
ｉ−Ｎ基を含んでいる可溶ポリマー状シラザン類と可溶
有機ホウ素化合物とを反応させることで実施されてい
る。両方の著者共、熱分解させることで窒化ホウ素−ケ
イ素または炭窒化ホウ素セラミックを生じさせることが
可能な可溶ポリボロシラザンを得ている。このような方
法は、勿論、この反応中にブロックとして残存するポリ
マー状シラザン遊離体を用いていることから、このセラ
ミック内にホウ素を完全に均一に分布させるものではな
い。
【０００８】本発明の１つの目的は、高収率で簡潔に製
造され得る新規なポリマー状ポリアルミノもしくはポリ
ボロシラザン類、並びにＳｉ、Ａｌ、Ｎ、ＣまたはＳ
ｉ、Ｂ、Ｎ、Ｃのみを含んでいる窒化系もしくは炭窒化
系セラミックの製造方法を提供することにある。これら
のポリマー類は、このＳｉ／Ａｌ比またはＳｉ／Ｂ比を
幅広い範囲内で変化させ得ることでその得られる材料の
特性をそれの意図した使用の注文に合うように作ること
を可能にするものでなくてはならないと共に、これら
は、熱分解されて窒化系もしくは炭窒化系セラミック材
料を生じることができるものでなくてはならない。更
に、これらのポリマー類は、元素類の均一な分布を有し
ていなくてはならない。
造され得る新規なポリマー状ポリアルミノもしくはポリ
ボロシラザン類、並びにＳｉ、Ａｌ、Ｎ、ＣまたはＳ
ｉ、Ｂ、Ｎ、Ｃのみを含んでいる窒化系もしくは炭窒化
系セラミックの製造方法を提供することにある。これら
のポリマー類は、このＳｉ／Ａｌ比またはＳｉ／Ｂ比を
幅広い範囲内で変化させ得ることでその得られる材料の
特性をそれの意図した使用の注文に合うように作ること
を可能にするものでなくてはならないと共に、これら
は、熱分解されて窒化系もしくは炭窒化系セラミック材
料を生じることができるものでなくてはならない。更
に、これらのポリマー類は、元素類の均一な分布を有し
ていなくてはならない。
【０００９】これらの要求は、本発明の主題を構成して
いる下記のポリマー類によって満たされる。これらは、
下記の一般構造式
いる下記のポリマー類によって満たされる。これらは、
下記の一般構造式
【００１０】
【化４】
【００１１】［式中、Ｌは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素
原子各々が有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル）を有していることを特徴と
する４個の窒素原子がＳｉまたはＡｌ原子各々に配位し
ており、そしてｘは、５以上の値を表す］に相当してい
るポリマー状アルミノシラザン類を含んでいる。
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素
原子各々が有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル）を有していることを特徴と
する４個の窒素原子がＳｉまたはＡｌ原子各々に配位し
ており、そしてｘは、５以上の値を表す］に相当してい
るポリマー状アルミノシラザン類を含んでいる。
【００１２】用語（Ａｌ、Ｓｉ）は、これらのアルミニ
ウム原子がケイ素原子で置き換えられていてもよいか或
はそれの逆も可能であることを示している。
ウム原子がケイ素原子で置き換えられていてもよいか或
はそれの逆も可能であることを示している。
【００１３】本発明は更に、下記の一般構造式
【００１４】
【化５】
【００１５】［式中、Ｌは、ホウ素原子に付いている
時、水素原子、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機ア
ミノ（−ＮＲ）基を意味し、そしてＬは、ケイ素原子に
付いている時、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機ア
ミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が有
機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルまた
はフェニル）を有していることを特徴とする、４個の窒
素原子がＳｉ原子各々に三重配位しており、そして少な
くとも２個の窒素原子と多くとも１個の水素原子がＢ原
子各々に配位しており、そしてｘは、５以上の値を表
す］に相当しているポリマー状ボロシラザン類に関す
る。
時、水素原子、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機ア
ミノ（−ＮＲ）基を意味し、そしてＬは、ケイ素原子に
付いている時、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機ア
ミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が有
機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルまた
はフェニル）を有していることを特徴とする、４個の窒
素原子がＳｉ原子各々に三重配位しており、そして少な
くとも２個の窒素原子と多くとも１個の水素原子がＢ原
子各々に配位しており、そしてｘは、５以上の値を表
す］に相当しているポリマー状ボロシラザン類に関す
る。
【００１６】用語（Ｂ、Ｓｉ）は、これらのホウ素原子
がケイ素原子で置き換えられていてもよいか或はそれの
逆も可能であることを示している。
がケイ素原子で置き換えられていてもよいか或はそれの
逆も可能であることを示している。
【００１７】好適な具体例において、本発明に従うボロ
−およびアルミノシラザン類は＜２０ｐｐｍの塩化物含
有量を有している。
−およびアルミノシラザン類は＜２０ｐｐｍの塩化物含
有量を有している。
【００１８】本発明はまた、本発明に従うポリマー状ボ
ロ−およびアルミノシラザン類の製造方法にも関する。
ロ−およびアルミノシラザン類の製造方法にも関する。
【００１９】これらのポリマー状ボロシラザン類の製造
では、式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アル
キル、ビニルまたはフェニル］で表されるテトラキスオ
ルガノアミノシランとＢＨ3とを有機溶媒中でＨ2を除去
しながら縮合させ、ここで、この用いるホウ化水素は、
複合的に（complexly）結合しているＢＨ3＊Ｙであり、
ここで、Ｙはルイス塩基、例えばＳ（ＣＨ3）2、Ｎ（Ｃ
Ｈ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（ＣＨ3）3、Ａ
ｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）2、Ｏ（Ｃ2
Ｈ5）2またはＣＮＣＨ3であってもよい。
では、式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アル
キル、ビニルまたはフェニル］で表されるテトラキスオ
ルガノアミノシランとＢＨ3とを有機溶媒中でＨ2を除去
しながら縮合させ、ここで、この用いるホウ化水素は、
複合的に（complexly）結合しているＢＨ3＊Ｙであり、
ここで、Ｙはルイス塩基、例えばＳ（ＣＨ3）2、Ｎ（Ｃ
Ｈ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（ＣＨ3）3、Ａ
ｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）2、Ｏ（Ｃ2
Ｈ5）2またはＣＮＣＨ3であってもよい。
【００２０】該ポリマー状アルミノシラザン類の製造で
は、式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル］で表されるテトラキス−オ
ルガノアミノ−シランとＡｌＨ3とを有機溶媒中でＨ2を
除去しながら縮合させ、ここで、この用いるＡｌＨ
3は、ポリマー状（ＡｌＨ2）x＊Ｙまたは複合的に結合
しているＡｌＨ3＊Ｙであり、ここで、Ｙはルイス塩
基、例えばＳ（ＣＨ3）2、Ｎ（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ
（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（ＣＨ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロ
フラン、Ｏ（ＣＨ3）2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2またはＣＮＣＨ3
であってもよい。
は、式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル］で表されるテトラキス−オ
ルガノアミノ−シランとＡｌＨ3とを有機溶媒中でＨ2を
除去しながら縮合させ、ここで、この用いるＡｌＨ
3は、ポリマー状（ＡｌＨ2）x＊Ｙまたは複合的に結合
しているＡｌＨ3＊Ｙであり、ここで、Ｙはルイス塩
基、例えばＳ（ＣＨ3）2、Ｎ（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ
（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（ＣＨ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロ
フラン、Ｏ（ＣＨ3）2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2またはＣＮＣＨ3
であってもよい。
【００２１】好適な具体例において、この反応は、非プ
ロトン溶媒、例えばトルエン、Ｃ5−Ｃ8−アルカン類、
第三級アミン類またはエーテル中、最初に−４０℃の最
大温度、そしてその後２０から１５０℃の温度で実施さ
れる。シラザンとアラン（alane）またはホウ化水素と
のモル比は、Ｓｉ／Ｂ，Ａｌ＞１の幅広い範囲、好適に
は２０：１から１：１のＳｉ／Ｂ，Ａｌの範囲内で変化
させ得る。Ｈ2を除去しながらこの反応を行い、所望の
Ｓｉ−Ｎ−Ａｌ／Ｂ結合の連結と共に終結する。
ロトン溶媒、例えばトルエン、Ｃ5−Ｃ8−アルカン類、
第三級アミン類またはエーテル中、最初に−４０℃の最
大温度、そしてその後２０から１５０℃の温度で実施さ
れる。シラザンとアラン（alane）またはホウ化水素と
のモル比は、Ｓｉ／Ｂ，Ａｌ＞１の幅広い範囲、好適に
は２０：１から１：１のＳｉ／Ｂ，Ａｌの範囲内で変化
させ得る。Ｈ2を除去しながらこの反応を行い、所望の
Ｓｉ−Ｎ−Ａｌ／Ｂ結合の連結と共に終結する。
【００２２】本発明に従うポリマー類は、通常の有機溶
媒に可溶であり、＞８００ｇ／モルのモル質量を有して
いる。
媒に可溶であり、＞８００ｇ／モルのモル質量を有して
いる。
【００２３】これらのポリマー類に直接、溶液中の種々
の成形工程、例えば繊維を生じさせるための紡績、フィ
ルムを生じさせるための延伸、並びに種々のコーティン
グ方法（ディップコーティング、スピンコーティング）
によるコーティング物の製造を受けさせてもよい。
の成形工程、例えば繊維を生じさせるための紡績、フィ
ルムを生じさせるための延伸、並びに種々のコーティン
グ方法（ディップコーティング、スピンコーティング）
によるコーティング物の製造を受けさせてもよい。
【００２４】この溶液が示す粘度は、この溶液中のポリ
マーを濃縮することによって幅広い範囲で変化し、そし
てその特性を、その後の加工で所望される最適さにする
ことができる。
マーを濃縮することによって幅広い範囲で変化し、そし
てその特性を、その後の加工で所望される最適さにする
ことができる。
【００２５】粉末の製造では、その溶媒を好適には真空
下で除去する。他の通常の乾燥方法もまた適切である。
下で除去する。他の通常の乾燥方法もまた適切である。
【００２６】従って、本発明はまた、６００から２００
０℃の温度の不活性もしくはＮＨ3含有雰囲気中で熱分
解させることによる、システムＳｉ／Ａｌ／Ｎ／Ｃまた
はＳｉ／Ｂ／Ｎ／Ｃにおけるセラミック粉末、繊維、フ
ィルムまたはコーティング物の製造にも関する。
０℃の温度の不活性もしくはＮＨ3含有雰囲気中で熱分
解させることによる、システムＳｉ／Ａｌ／Ｎ／Ｃまた
はＳｉ／Ｂ／Ｎ／Ｃにおけるセラミック粉末、繊維、フ
ィルムまたはコーティング物の製造にも関する。
【００２７】好適な具体例において、純粋に窒化系の材
料を合成する目的で、８００から１１００℃の温度のＮ
Ｈ3流れの中で該ポリマー類を熱分解させた後、１４０
０から１７００℃の温度の窒素雰囲気中で焼成すること
で、残存している水素を除去する。炭窒化系材料の合成
では、その最初の焼成段階をＮ2流の中で実施する。電
子顕微鏡写真により、元素の分布が少なくとも０．５μ
ｍの横寸法（lateraldimension）にまで下がっている完
全な均一性を示していることを確認する。
料を合成する目的で、８００から１１００℃の温度のＮ
Ｈ3流れの中で該ポリマー類を熱分解させた後、１４０
０から１７００℃の温度の窒素雰囲気中で焼成すること
で、残存している水素を除去する。炭窒化系材料の合成
では、その最初の焼成段階をＮ2流の中で実施する。電
子顕微鏡写真により、元素の分布が少なくとも０．５μ
ｍの横寸法（lateraldimension）にまで下がっている完
全な均一性を示していることを確認する。
【００２８】実施例を用いて以下に本発明を記述する
が、これらは制限するものとして見なされるべきではな
い。
が、これらは制限するものとして見なされるべきではな
い。
【００２９】
【実施例】実施例１ ２：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
製造 ジエチレングリシド−ジメチルエーテル（ジグライム）
中のＡｌＨ3エーテラートとＳｉ（ＮＨＣＨ3）4（ＴＭ
ＡＳ）との縮合方程式
製造 ジエチレングリシド−ジメチルエーテル（ジグライム）
中のＡｌＨ3エーテラートとＳｉ（ＮＨＣＨ3）4（ＴＭ
ＡＳ）との縮合方程式
【００３０】
【化６】
【００３１】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００３２】反応混合物：５ｇのＡｌＨ3＊０．３Ｅｔ2
Ｏ＝ ９５．８ミリモル ２８．３ｇのＴＭＡＳ ＝２９２．６ミリモル Ｎａ上で脱水したジグライム５００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー（bubble counter）、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライア
イスが入っているジュワーびん、アルゴン用入り口方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのジグライム中５ｇの水素化アルミニウムエーテラ
ートの懸濁液に、−７８℃で撹拌しながら、３００ｍＬ
のジグライム中２８．３ｇのＴＭＡＳを滴下する。この
反応混合物を１２時間放置して室温にまで温めた後、更
に２４時間撹拌する。次に、これを１８０℃で３時間還
流させる。真空下で溶媒を取り出す。
Ｏ＝ ９５．８ミリモル ２８．３ｇのＴＭＡＳ ＝２９２．６ミリモル Ｎａ上で脱水したジグライム５００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー（bubble counter）、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライア
イスが入っているジュワーびん、アルゴン用入り口方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのジグライム中５ｇの水素化アルミニウムエーテラ
ートの懸濁液に、−７８℃で撹拌しながら、３００ｍＬ
のジグライム中２８．３ｇのＴＭＡＳを滴下する。この
反応混合物を１２時間放置して室温にまで温めた後、更
に２４時間撹拌する。次に、これを１８０℃で３時間還
流させる。真空下で溶媒を取り出す。
【００３３】結果：白っぽい黄色の可溶アルミノシラザ
ンポリマーが２９．８ｇ（８９％）分析 ： 赤外スペクトル（ＩＲ）：
ンポリマーが２９．８ｇ（８９％）分析 ： 赤外スペクトル（ＩＲ）：
【００３４】
【化７】
【００３５】粉末回折図（ＸＲＤ）： 非晶質 エネルギー分散Ｘ線分析（ＥＤＸ）： 均質ポリマー、Ａｌ−Ｓｉ比１：２実施例２ ２：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
熱分解 方程式
熱分解 方程式
【００３６】
【化８】
【００３７】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００３８】反応混合物：実施例１で得られるポリマー
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間熱分解させる。
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間熱分解させる。
【００３９】結果：明るい灰色の非晶質粉末が３．２ｇ
得られる。これは６４％のセラミック収率に相当してい
る。
得られる。これは６４％のセラミック収率に相当してい
る。
【００４０】分析：
【００４１】
【化９】
【００４２】ＸＲＤ：非晶質 ＥＤＸ：少なくとも０．５μｍの分解能に至る元素の均
一な分布。
一な分布。
【００４３】実施例３ １：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
製造 ＮＥｔ3中のＡｌＨ3＊２ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4
（ＴＭＡＳ）との縮合方程式
製造 ＮＥｔ3中のＡｌＨ3＊２ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4
（ＴＭＡＳ）との縮合方程式
【００４４】
【化１０】
【００４５】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００４６】反応混合物：５ｇのＡｌＨ3＊２ＮＭｅ3＝
３３７ミリモル ５ｇのＴＭＡＳ ＝３３７ミリモル ＫＯＨ上で脱水したトリエチルアミン４００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている４００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン用入り口実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのトリエチルアミン中５ｇの水素化アルミニウム／
トリメチルアミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しなが
ら、２００ｍＬのトリエチルアミン中５ｇのＴＭＡＳを
滴下する。この反応混合物を１２時間放置して室温にま
で温めた後、更に６時間撹拌する。真空下で溶媒を取り
出す。
３３７ミリモル ５ｇのＴＭＡＳ ＝３３７ミリモル ＫＯＨ上で脱水したトリエチルアミン４００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている４００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン用入り口実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのトリエチルアミン中５ｇの水素化アルミニウム／
トリメチルアミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しなが
ら、２００ｍＬのトリエチルアミン中５ｇのＴＭＡＳを
滴下する。この反応混合物を１２時間放置して室温にま
で温めた後、更に６時間撹拌する。真空下で溶媒を取り
出す。
【００４７】結果：白色の可溶アルミノシラザンポリマ
ーが５．５ｇ（９３％の収率）分析 ：
ーが５．５ｇ（９３％の収率）分析 ：
【００４８】
【化１１】
【００４９】ＸＲＤ：非晶質 ＥＤＸ：均質ポリマー、Ａｌ−Ｓｉ比１：１実施例４ １：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
熱分解 方程式
熱分解 方程式
【００５０】
【化１２】
【００５１】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００５２】反応混合物：実施例３で得られるポリマー
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間重合させる。
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間重合させる。
【００５３】結果：白色の非晶質粉末が３．４ｇ得られ
る。これは６８％のセラミック収率に相当している。
る。これは６８％のセラミック収率に相当している。
【００５４】分析：
【００５５】
【化１３】
【００５６】ＸＲＤ：非晶質 ＥＤＸ：少なくとも０．５μｍの分解能に至る元素の均
一な分布。
一な分布。
【００５７】実施例５ ４：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
製造 トルエン中のＡｌＨ3＊２ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4
（ＴＭＡＳ）との縮合方程式
製造 トルエン中のＡｌＨ3＊２ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4
（ＴＭＡＳ）との縮合方程式
【００５８】
【化１４】
【００５９】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００６０】反応混合物：２．５ｇのＡｌＨ3＊２ＮＭ
ｅ3＝１６９ミリモル １０ｇのＴＭＡＳ ＝６７４ミリモル ＫＯＨ上で脱水したトルエン４００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン用入り口実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのトルエン中２．５ｇの水素化アルミニウム／トリ
メチルアミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しながら、
２００ｍＬのトルエン中１０ｇのＴＭＡＳを滴下する。
この反応混合物を１２時間放置して室温にまで温めた
後、更に６時間撹拌する。真空下で溶媒を取り出す。
ｅ3＝１６９ミリモル １０ｇのＴＭＡＳ ＝６７４ミリモル ＫＯＨ上で脱水したトルエン４００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン用入り口実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのトルエン中２．５ｇの水素化アルミニウム／トリ
メチルアミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しながら、
２００ｍＬのトルエン中１０ｇのＴＭＡＳを滴下する。
この反応混合物を１２時間放置して室温にまで温めた
後、更に６時間撹拌する。真空下で溶媒を取り出す。
【００６１】結果：無色の可溶アルミノシラザンポリマ
ーが１１．２ｇ（９５％の収率）分析 ：
ーが１１．２ｇ（９５％の収率）分析 ：
【００６２】
【化１５】
【００６３】ＸＲＤ：非晶質 ＥＤＸ：少なくとも０．５μｍの分解能に至る均質ポリ
マー、Ｓｉ／Ａｌ比４：１。
マー、Ｓｉ／Ａｌ比４：１。
【００６４】実施例６ ４：１のＳｉ／Ａｌ比を有するポリアルミノシラザンの
熱分解 方程式
熱分解 方程式
【００６５】
【化１６】
【００６６】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００６７】反応混合物：実施例５で得られるポリマー
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃の窒素流の中で１２時間熱分
解させる。
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃の窒素流の中で１２時間熱分
解させる。
【００６８】結果：白色の非晶質粉末が３．２ｇ得られ
る。これは６４％のセラミック収率に相当している。
る。これは６４％のセラミック収率に相当している。
【００６９】分析：
【００７０】
【化１７】
【００７１】ＸＲＤ：非晶質 ＥＤＸ：少なくとも０．５μｍの分解能に至る元素の均
一な分布。
一な分布。
【００７２】実施例７ ２：１のＳｉ／Ｂ比を有するポリボロシラザンの製造 トルエン中のＢＨ3とＴＭＡＳとの縮合方程式
【００７３】
【化１８】
【００７４】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００７５】反応混合物： １．４１ｇのＢＨ3＊ＮＭｅ3＝１９．４ミリモル ２２．９６ｇのＴＭＡＳ ＝１５５．２ミリモル Ｎａ上で脱水したトルエン５００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている２５０ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、アルゴン入り口、磁気撹拌機実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。４００
ｍＬのトルエン中２２．９６ｇのＴＭＡＳに、室温で撹
拌しながら３０分かけて、１００ｍＬのトルエン中１．
４１ｇのホウ化水素−トリメチルアミン錯体の溶液を滴
下する。撹拌を室温で２４時間継続した後、この反応混
合物を３時間還流させる。真空下で溶媒を取り出す。
が備わっている２５０ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、アルゴン入り口、磁気撹拌機実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。４００
ｍＬのトルエン中２２．９６ｇのＴＭＡＳに、室温で撹
拌しながら３０分かけて、１００ｍＬのトルエン中１．
４１ｇのホウ化水素−トリメチルアミン錯体の溶液を滴
下する。撹拌を室温で２４時間継続した後、この反応混
合物を３時間還流させる。真空下で溶媒を取り出す。
【００７６】結果：白色の可溶ボロシラザンポリマーが
１７．４ｇ（９４％の収率）分析 ：
１７．４ｇ（９４％の収率）分析 ：
【００７７】
【化１９】
【００７８】ＸＲＤ：非晶質実施例８ ２：１のＳｉ／Ｂ比を有するポリボロシラザンの熱分解 方程式
【００７９】
【化２０】
【００８０】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００８１】反応混合物：実施例７で得られるポリマー
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間熱分解させる。
の５ｇ実験方法 このポリマーを１０００℃のアンモニア流の中で１２時
間熱分解させる。
【００８２】結果：白色の非晶質粉末が２．７ｇ得られ
る。これは５４％のセラミック収率に相当している。
る。これは５４％のセラミック収率に相当している。
【００８３】分析：
【００８４】
【化２１】
【００８５】ＸＲＤ：非晶質実施例９ １：１のＳｉ／Ｂ比を有するポリボロシラザンの製造 ＴＨＦ中のＢＨ3＊ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4（ＴＭ
ＡＳ）との縮合方程式
ＡＳ）との縮合方程式
【００８６】
【化２２】
【００８７】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００８８】反応混合物： ２．４５ｇのＢＨ3＊ＮＭｅ3＝３３７ミリモル ５ｇのＴＭＡＳ ＝３３７ミリモル Ｎａ上で脱水したＴＨＦの４００ｍＬ実験用装置 ：１０００ｍＬの３つ口フラスコ、圧力調整
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン入り口。
が備わっている５００ｍＬの滴下漏斗、バブルカウンタ
ー、磁気撹拌機、ＥｔＯＨドライアイスが入っているジ
ュワーびん、アルゴン入り口。
【００８９】実験方法 この装置を加熱しそしてアルゴンで溢れさせる。２００
ｍＬのＴＨＦ中２．４５ｇのホウ化水素／トリメチルア
ミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しながら、２００ｍ
ＬのＴＨＦ中５ｇのＴＭＡＳを滴下する。この反応混合
物を１２時間放置して室温にまで温めた後、撹拌を更に
６時間継続する。真空下で溶媒を取り出す。
ｍＬのＴＨＦ中２．４５ｇのホウ化水素／トリメチルア
ミン錯体の溶液に、−７８℃で撹拌しながら、２００ｍ
ＬのＴＨＦ中５ｇのＴＭＡＳを滴下する。この反応混合
物を１２時間放置して室温にまで温めた後、撹拌を更に
６時間継続する。真空下で溶媒を取り出す。
【００９０】結果：白色の可溶ボロシラザンポリマーが
５．１ｇ（９６％の収率）分析 ：
５．１ｇ（９６％の収率）分析 ：
【００９１】
【化２３】
【００９２】ＸＲＤ：非晶質実施例１０ ＢＨ3＊ＮＭｅ3とＳｉ（ＮＨＣＨ3）4（ＴＭＡＳ）との
縮合生成物の熱分解 ：方程式 ：
縮合生成物の熱分解 ：方程式 ：
【００９３】
【化２４】
【００９４】Ｌは、ブリッジ−ＮＣＨ3−基の半分また
はメチルアミノ基を意味している。
はメチルアミノ基を意味している。
【００９５】反応混合物：実施例９で得られるポリマー
の５ｇ実験方法 ：このポリマーを１０００℃のアンモニア流の
中で１２時間熱分解させる。
の５ｇ実験方法 ：このポリマーを１０００℃のアンモニア流の
中で１２時間熱分解させる。
【００９６】結果：白色の非晶質粉末が３．０ｇ得られ
る。これは６０％のセラミック収率に相当している。
る。これは６０％のセラミック収率に相当している。
【００９７】分析：
【００９８】
【化２５】
【００９９】ＸＲＤ：非晶質 本発明の特徴および態様は以下のとうりである。
【０１００】１．一般構造式
【０１０１】
【化２６】
【０１０２】［式中、Ｌは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素
原子各々が有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル）を有していることを特徴と
する４個の窒素原子がＳｉまたはＡｌ原子各々に配位し
ており、そしてｘは、５以上の値を表す］に相当してい
るポリマー状アルミノシラザン類。
または有機アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素
原子各々が有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキ
ル、ビニルまたはフェニル）を有していることを特徴と
する４個の窒素原子がＳｉまたはＡｌ原子各々に配位し
ており、そしてｘは、５以上の値を表す］に相当してい
るポリマー状アルミノシラザン類。
【０１０３】２．該アルミノシラザン類が＜２０ｐｐｍ
の塩化物含有量を有していることを特徴とする、第１項
記載のポリマー状アルミノシラザン類。
の塩化物含有量を有していることを特徴とする、第１項
記載のポリマー状アルミノシラザン類。
【０１０４】３．一般構造式
【０１０５】
【化２７】
【０１０６】［式中、Ｌがケイ素原子に付いている時の
Ｌは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機アミノ（−
ＮＲ）基を意味し、そしてＬがホウ素原子に付いている
時のＬは、水素、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機
アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が
有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルま
たはフェニル）を有していることを特徴とする、４個の
窒素原子がＳｉ原子各々に三重配位しており、そして少
なくとも２個の窒素原子と多くとも１個の水素原子がＢ
原子各々に配位しており、そしてｘは、５以上の値を表
す］に相当しているポリマー状ボロシラザン類。
Ｌは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機アミノ（−
ＮＲ）基を意味し、そしてＬがホウ素原子に付いている
時のＬは、水素、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機
アミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が
有機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルま
たはフェニル）を有していることを特徴とする、４個の
窒素原子がＳｉ原子各々に三重配位しており、そして少
なくとも２個の窒素原子と多くとも１個の水素原子がＢ
原子各々に配位しており、そしてｘは、５以上の値を表
す］に相当しているポリマー状ボロシラザン類。
【０１０７】４．該ボロシラザン類が＜２０ｐｐｍの塩
化物含有量を有していることを特徴とする、第３項記載
のポリマー状ボロシラザン類。
化物含有量を有していることを特徴とする、第３項記載
のポリマー状ボロシラザン類。
【０１０８】５．式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−
Ｃ6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテ
トラキスオルガノアミノシランとＡｌＨ3成分とを有機
溶媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、第１項記載ポ
リマー状アルミノシラザン類の製造方法。
Ｃ6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテ
トラキスオルガノアミノシランとＡｌＨ3成分とを有機
溶媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、第１項記載ポ
リマー状アルミノシラザン類の製造方法。
【０１０９】６．用いるＡｌＨ3成分が式ＡｌＨ3＊Ｙ
［式中、Ｙはルイス塩基である］で表される化合物であ
る第５項記載の方法。
［式中、Ｙはルイス塩基である］で表される化合物であ
る第５項記載の方法。
【０１１０】７．式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−
Ｃ6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテ
トラキスオルガノアミノ−シランとＢＨ3成分とを有機
溶媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、第３項記載ポ
リマー状ボロシラザン類の製造方法。
Ｃ6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテ
トラキスオルガノアミノ−シランとＢＨ3成分とを有機
溶媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、第３項記載ポ
リマー状ボロシラザン類の製造方法。
【０１１１】８．用いるＢＨ3成分が複合的に結合して
いるホウ化水素成分ＢＨ3＊Ｙ［式中、Ｙはルイス塩基
である］である第７項記載の方法。
いるホウ化水素成分ＢＨ3＊Ｙ［式中、Ｙはルイス塩基
である］である第７項記載の方法。
【０１１２】９．上記ポリマー状アルミノシラザン類を
６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活
性雰囲気中で熱分解させることを含む、第１項記載ポリ
マー状アルミノシラザン類の使用方法。
６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活
性雰囲気中で熱分解させることを含む、第１項記載ポリ
マー状アルミノシラザン類の使用方法。
【０１１３】１０．上記ポリマー状アルミノシラザン類
を６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不
活性雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミッ
ク繊維またはセラミックコーティング物を生じさせるこ
とを含み、ここで、上記セラミック繊維またはセラミッ
クコーティング物が本質的にＳｉ、Ａｌ、ＮおよびＣ原
子を含んでいる、第１項記載ポリマー状アルミノシラザ
ン類の使用方法。
を６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不
活性雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミッ
ク繊維またはセラミックコーティング物を生じさせるこ
とを含み、ここで、上記セラミック繊維またはセラミッ
クコーティング物が本質的にＳｉ、Ａｌ、ＮおよびＣ原
子を含んでいる、第１項記載ポリマー状アルミノシラザ
ン類の使用方法。
【０１１４】１１．上記ルイス塩基がＳ（ＣＨ3）2、Ｎ
（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（Ｃ
Ｈ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）
2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2およびＣＮＣＨ3から成る群から選択
される少なくとも１種の化合物である第６項の方法。
（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（Ｃ
Ｈ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）
2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2およびＣＮＣＨ3から成る群から選択
される少なくとも１種の化合物である第６項の方法。
【０１１５】１２．上記ルイス塩基がＳ（ＣＨ3）2、Ｎ
（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（Ｃ
Ｈ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）
2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2およびＣＮＣＨ3から成る群から選択
される少なくとも１種の化合物である第８項の方法。
（ＣＨ3）3、Ｃ5Ｈ5Ｎ、Ｓ（Ｃ2Ｈ5）2、Ｐ（Ｃ
Ｈ3）3、ＡｓＰｈ3、テトラヒドロフラン、Ｏ（ＣＨ3）
2、Ｏ（Ｃ2Ｈ5）2およびＣＮＣＨ3から成る群から選択
される少なくとも１種の化合物である第８項の方法。
【０１１６】１３．上記ポリマー状ボロシラザン類を６
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることを含む、第３項記載ポリマ
ー状ボロシラザン類の使用方法。
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることを含む、第３項記載ポリマ
ー状ボロシラザン類の使用方法。
【０１１７】１４．上記ポリマー状アルミノシラザン類
を６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不
活性雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミッ
ク繊維またはセラミックコーティング物を生じさせるこ
とを含む、第１項のポリマー状アルミノシラザン類の使
用方法。
を６００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不
活性雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミッ
ク繊維またはセラミックコーティング物を生じさせるこ
とを含む、第１項のポリマー状アルミノシラザン類の使
用方法。
【０１１８】１５．上記ポリマー状ボロシラザン類を６
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミック繊
維またはセラミックコーティング物を生じさせることを
含む、第３項のポリマー状ボロシラザン類の使用方法。
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミック繊
維またはセラミックコーティング物を生じさせることを
含む、第３項のポリマー状ボロシラザン類の使用方法。
【０１１９】１６．上記ポリマー状ボロシラザン類を６
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることで、本質的にＳｉ、Ａｌ、
ＮおよびＣ原子を含んでいるセラミック繊維またはセラ
ミックコーティング物を生じさせることを含む、第３項
のポリマー状ボロシラザン類の使用方法。
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることで、本質的にＳｉ、Ａｌ、
ＮおよびＣ原子を含んでいるセラミック繊維またはセラ
ミックコーティング物を生じさせることを含む、第３項
のポリマー状ボロシラザン類の使用方法。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｄ０１Ｆ 9/10 Ｚ 7199−3Ｂ
Claims (9)
- 【請求項１】 一般構造式 【化１】 ［式中、Ｌは、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機ア
ミノ（−ＮＲ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が有
機基Ｒ（ここで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルまた
はフェニル）を有していることを特徴とする４個の窒素
原子がＳｉまたはＡｌ原子各々に配位しており、そして
ｘは、５以上の値を表す］に相当しているポリマー状ア
ルミノシラザン類。 - 【請求項２】 一般構造式 【化２】 ［式中、Ｌがケイ素原子に付いている時のＬは、ブリッ
ジ−ＮＲ−基の半分または有機アミノ（−ＮＲ）基を意
味し、そしてＬがホウ素原子に付いている時のＬは、水
素、ブリッジ−ＮＲ−基の半分または有機アミノ（−Ｎ
Ｒ）基を意味し、ここで、窒素原子各々が有機基Ｒ（こ
こで、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ6−アルキル、ビニルまたはフェニ
ル）を有していることを特徴とする、４個の窒素原子が
Ｓｉ原子各々に三重配位しており、そして少なくとも２
個の窒素原子と多くとも１個の水素原子がＢ原子各々に
配位しており、そしてｘは、５以上の値を表す］に相当
しているポリマー状ボロシラザン類。 - 【請求項３】 式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ
6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテト
ラキスオルガノアミノシランとＡｌＨ3成分とを有機溶
媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、請求項１記載の
ポリマー状アルミノシラザン類の製造方法。 - 【請求項４】 式Ｓｉ（ＮＨＲ）4［式中、Ｒ＝Ｃ1−Ｃ
6−アルキル、ビニルまたはフェニル］で表されるテト
ラキスオルガノアミノ−シランとＢＨ3成分とを有機溶
媒中でＨ2を除去しながら縮合させる、請求項２記載の
ポリマー状ボロシラザン類の製造方法。 - 【請求項５】 上記ポリマー状アルミノシラザン類を６
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることを含む、請求項１記載ポリ
マー状アルミノシラザン類の使用方法。 - 【請求項６】 上記ポリマー状ボロシラザン類を６００
から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性雰囲
気中で熱分解させることを含む、請求項２記載のポリマ
ー状ボロシラザン類の使用方法。 - 【請求項７】 上記ポリマー状アルミノシラザン類を６
００から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性
雰囲気中で熱分解させることで、基質上にセラミック繊
維またはセラミックコーティング物を生じさせることを
含む、請求項１記載のポリマー状アルミノシラザン類の
使用方法。 - 【請求項８】 上記ポリマー状ボロシラザン類を６００
から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性雰囲
気中で熱分解させることで、基質上にセラミック繊維ま
たはセラミックコーティング物を生じさせることを含
む、請求項２記載のポリマー状ボロシラザン類の使用方
法。 - 【請求項９】 上記ポリマー状ボロシラザン類を６００
から２０００℃の温度のＮ2またはＮＨ3含有不活性雰囲
気中で熱分解させることで、本質的にＳｉ、Ａｌ、Ｎお
よびＣ原子を含んでいるセラミック繊維またはセラミッ
クコーティング物を生じさせることを含む、請求項２記
載のポリマー状ボロシラザン類の使用方法。
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