JPH0638458B2 - チツプキヤリアとその製造方法 - Google Patents

チツプキヤリアとその製造方法

Info

Publication number
JPH0638458B2
JPH0638458B2 JP60202643A JP20264385A JPH0638458B2 JP H0638458 B2 JPH0638458 B2 JP H0638458B2 JP 60202643 A JP60202643 A JP 60202643A JP 20264385 A JP20264385 A JP 20264385A JP H0638458 B2 JPH0638458 B2 JP H0638458B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic substrate
lsi chip
chip
cap
chip carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60202643A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6262545A (ja
Inventor
幸雄 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60202643A priority Critical patent/JPH0638458B2/ja
Publication of JPS6262545A publication Critical patent/JPS6262545A/ja
Publication of JPH0638458B2 publication Critical patent/JPH0638458B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W95/00Packaging processes not covered by the other groups of this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W76/00Containers; Fillings or auxiliary members therefor; Seals
    • H10W76/60Seals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/60Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
    • H10W70/67Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
    • H10W70/68Shapes or dispositions thereof
    • H10W70/682Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07551Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/754Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、チップキャリアとその製造方法、特に、電子
装置等に使用され入出力パッド付きセラミック基板にL
SIチップをフェイスダウンで実装するチップキャリア
とその製造方法に関する。
〔従来の技術〕
従来のチップキャリアは第2図に示すように、セラミッ
ク基板21上の金属層22にLSIチップ23を固着
し、ワイヤ24でLSIチップ23と基板21上のパッ
ド25に電気的に接続し、キャップ26を封止している
(例えば特開昭57−126151公報)。
〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、このような上述した従来のチップキャリ
アでは、LSIチップがフェイスアップ実装のために、
上にヒートシンク等の放熱部品を付けても放熱効果が少
なく、下にはチップキャリアを乗せる基板が来るので放
熱部品は取り付けられなく、消費電力の多いLSIチッ
プの実装には適しないという欠点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
上述の課題を解決するために、本発明のチップキャリア
は、LSIチップと、内面に前記LSIチップのリード
と接続されるリード用パッドが形成され外面に前記パッ
ドと接続された突起状のパッドが形成され側面に封止の
ための金属層が形成されたセラミック基板と、前記LS
Iチップと前記セラミック基板の間に設けられ前記LS
Iチップを支持するスペーサと、前記セラミック基板が
挿入され前記セラミック基板の前記金属層に接続される
ことにより前記LSIチップを封止し前記LSIチップ
と接続されるキャップとを含む。
さらに、本発明のチップキャリアの製造方法は、前記L
SIチップと前記キャップとの接続と前記キャップと前
記セラミック基板との接続とを、Au/Sn(80wt
%)で同時に行うことにより、このチップキャリアを製
造する。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
第1図に示すチップキャリアは、セラミック基板1の内
面にはリード用パッド2が、外面には突起状パッド3
が、側面には金属層4が、各々設けてあり、リード用パ
ッド2と突起状パッド3はセラミック基板1内で接続さ
れている。スペーサ5はゴム状のもの(例えばシリコー
ンゴム)で、接着剤6(例えばシリコーン系)でセラミ
ック基板1に付けられている。LSIチップ7はフェイ
スダウンでスペーサ5上に接着剤6で付けられ、LSI
チップ7のリード8はセラミック基板1上のリード用パ
ッド2に接続されている。キャップ9はLSIチップ7
にAu/Sn10(80/20wt%)で付けられ、セラミック基板1
の金属層4にもAu/Sn10(80/20wt%)で付けられてい
る。
キャップ9はCu/MoやBeOなど熱伝導率の良いものを用
いることによりキャップ9上に付けられるヒートシンク
等の放熱部品にLSIチップ7で発生する熱を効率よく
伝えられる。スペーサ5はゴム状のものを用いることに
より、スペーサ5やセラミック基板1の凹凸やLSIチ
ップ7とセラミック基板1と傾きにLSIチップ7の回
路面(スペーサ5側の面)へのキズを防止している。
次に、第1図に示すチップキャリアの製造手順について
説明する。
初めに、スペーサ5をセラミック基板1に接着剤6で付
ける。
次に、スペーサ5上にLSIチップ7フェイスダウン実
装で接着剤6により付ける。そして、LSIチップ7の
リード8をセラミック基板1上のリード用パッド2に付
ける(例えば、半田付けや熱圧着ボンディング)。
さらに、LSIチップ7とキャップ9との間に板状のAu
/Snをはさみ、かつ金属層4の周囲にもAu/Snを置い
て、キャップ9とセラミック基板1とを押せながら加熱
することで、LSIチップ7はキャップ9に半田付けさ
れ、かつ封止されて完成する。
スペーサ5は先にLSIチップ7に付けてもセラミック
基板1に付けても良い。
Au/Snはキャップ9かまたはLSIチップ7、金属層4
かまたはキャップ9、の各々の一方または両方に予備半
田しても良い。
〔発明の効果〕
本発明のチップキャリアとその製造方法は、LSIチップ
とキャップとの接続と封止をAu/Snにより同時に行うこ
とにより、放熱性ならびに気密性を向上できるという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面、第2図は従来
の一例を示す断面図である。 1,21……セラミック基板、2……リード用パッド、
3……突起状パッド、4……金属層、5……スペーサ、
6……接着剤、7,23……LSIチップ、8……リー
ド、9,26……キャップ、10……Au/Sn、22……
金属層、24……ワイヤー、25……パッド。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】LSIチップと、 内面に前記LSIチップのリードと接続されるリード用
    パッドが形成され外面に前記パッドと接続された突起状
    のパッドが形成され側面に封止のための金属層が形成さ
    れたセラミック基板と、 前記LSIチップと前記セラミック基板の間に設けられ
    前記LSIチップを支持するスペーサと、 前記セラミック基板が挿入され内側面が前記セラミック
    基板の前記金属層に接続されることにより前記LSIチ
    ップを封止し前記LSIチップと接続されるキャップと
    を含むことを特徴とするチップキャリア。
  2. 【請求項2】前記LSIチップと前記キャップとの接続
    と前記キャップと前記セラミック基板との接続とを、A
    u/Sn(80wt%)で同時に行うことを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載のチップキャリアの製造方
    法。
JP60202643A 1985-09-12 1985-09-12 チツプキヤリアとその製造方法 Expired - Lifetime JPH0638458B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60202643A JPH0638458B2 (ja) 1985-09-12 1985-09-12 チツプキヤリアとその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60202643A JPH0638458B2 (ja) 1985-09-12 1985-09-12 チツプキヤリアとその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6262545A JPS6262545A (ja) 1987-03-19
JPH0638458B2 true JPH0638458B2 (ja) 1994-05-18

Family

ID=16460737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60202643A Expired - Lifetime JPH0638458B2 (ja) 1985-09-12 1985-09-12 チツプキヤリアとその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0638458B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6421945A (en) * 1987-07-16 1989-01-25 Toshiba Corp Electronic element mounting module
JPH01150343A (ja) * 1987-12-07 1989-06-13 Nec Corp チップキャリア用キャップ
CA2021682C (en) * 1989-07-21 1995-01-03 Yukio Yamaguchi Chip-carrier with alpha ray shield
US5264726A (en) * 1989-07-21 1993-11-23 Nec Corporation Chip-carrier
JP2827684B2 (ja) * 1992-03-17 1998-11-25 日本電気株式会社 半導体装置
JP3400427B2 (ja) * 2000-11-28 2003-04-28 株式会社東芝 電子部品ユニット及び電子部品ユニットを実装した印刷配線板装置
CN113035788B (zh) * 2019-12-25 2025-03-14 台湾积体电路制造股份有限公司 封装结构及其制作方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5961148A (ja) * 1982-09-30 1984-04-07 Hitachi Ltd セラミツク基板の製造方法
JPS6076148A (ja) * 1983-10-03 1985-04-30 Nec Corp チツプキヤリヤ
JPS6076149A (ja) * 1983-10-03 1985-04-30 Nec Corp チツプキヤリヤ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6262545A (ja) 1987-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59141249A (ja) 電力チツプ・パツケ−ジ
JPS6376444A (ja) チツプキヤリア
JPS61166051A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH04164361A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JP2956786B2 (ja) 合成ハイブリッド半導体ストラクチャ
JPS62202548A (ja) 半導体装置
JPH0638458B2 (ja) チツプキヤリアとその製造方法
JPH0418694B2 (ja)
JP2590521B2 (ja) チップキャリア
JPH07176664A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH07263618A (ja) 混成集積回路装置
JPS59219942A (ja) チツプキヤリア
JPH1197569A (ja) 半導体パッケージ
JPH0529484A (ja) Icチツプの実装構造
JPS6313337A (ja) 半導体素子の実装方法
JP2504465B2 (ja) 半導体装置
JP2715974B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH10214934A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH027469Y2 (ja)
JPH0448768A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH01173747A (ja) 樹脂封止形半導体装置
JPS63276258A (ja) 半導体集積回路装置
JPS60206673A (ja) サ−マルヘツド
JPH02205056A (ja) 集積回路パッケージ
JP2000216306A (ja) 半導体装置