JPH0638458B2 - チツプキヤリアとその製造方法 - Google Patents
チツプキヤリアとその製造方法Info
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- JPH0638458B2 JPH0638458B2 JP60202643A JP20264385A JPH0638458B2 JP H0638458 B2 JPH0638458 B2 JP H0638458B2 JP 60202643 A JP60202643 A JP 60202643A JP 20264385 A JP20264385 A JP 20264385A JP H0638458 B2 JPH0638458 B2 JP H0638458B2
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- ceramic substrate
- lsi chip
- chip
- cap
- chip carrier
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W76/00—Containers; Fillings or auxiliary members therefor; Seals
- H10W76/60—Seals
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
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- H—ELECTRICITY
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07551—Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
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-
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、チップキャリアとその製造方法、特に、電子
装置等に使用され入出力パッド付きセラミック基板にL
SIチップをフェイスダウンで実装するチップキャリア
とその製造方法に関する。
装置等に使用され入出力パッド付きセラミック基板にL
SIチップをフェイスダウンで実装するチップキャリア
とその製造方法に関する。
従来のチップキャリアは第2図に示すように、セラミッ
ク基板21上の金属層22にLSIチップ23を固着
し、ワイヤ24でLSIチップ23と基板21上のパッ
ド25に電気的に接続し、キャップ26を封止している
(例えば特開昭57−126151公報)。
ク基板21上の金属層22にLSIチップ23を固着
し、ワイヤ24でLSIチップ23と基板21上のパッ
ド25に電気的に接続し、キャップ26を封止している
(例えば特開昭57−126151公報)。
〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、このような上述した従来のチップキャリ
アでは、LSIチップがフェイスアップ実装のために、
上にヒートシンク等の放熱部品を付けても放熱効果が少
なく、下にはチップキャリアを乗せる基板が来るので放
熱部品は取り付けられなく、消費電力の多いLSIチッ
プの実装には適しないという欠点がある。
アでは、LSIチップがフェイスアップ実装のために、
上にヒートシンク等の放熱部品を付けても放熱効果が少
なく、下にはチップキャリアを乗せる基板が来るので放
熱部品は取り付けられなく、消費電力の多いLSIチッ
プの実装には適しないという欠点がある。
上述の課題を解決するために、本発明のチップキャリア
は、LSIチップと、内面に前記LSIチップのリード
と接続されるリード用パッドが形成され外面に前記パッ
ドと接続された突起状のパッドが形成され側面に封止の
ための金属層が形成されたセラミック基板と、前記LS
Iチップと前記セラミック基板の間に設けられ前記LS
Iチップを支持するスペーサと、前記セラミック基板が
挿入され前記セラミック基板の前記金属層に接続される
ことにより前記LSIチップを封止し前記LSIチップ
と接続されるキャップとを含む。
は、LSIチップと、内面に前記LSIチップのリード
と接続されるリード用パッドが形成され外面に前記パッ
ドと接続された突起状のパッドが形成され側面に封止の
ための金属層が形成されたセラミック基板と、前記LS
Iチップと前記セラミック基板の間に設けられ前記LS
Iチップを支持するスペーサと、前記セラミック基板が
挿入され前記セラミック基板の前記金属層に接続される
ことにより前記LSIチップを封止し前記LSIチップ
と接続されるキャップとを含む。
さらに、本発明のチップキャリアの製造方法は、前記L
SIチップと前記キャップとの接続と前記キャップと前
記セラミック基板との接続とを、Au/Sn(80wt
%)で同時に行うことにより、このチップキャリアを製
造する。
SIチップと前記キャップとの接続と前記キャップと前
記セラミック基板との接続とを、Au/Sn(80wt
%)で同時に行うことにより、このチップキャリアを製
造する。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
第1図に示すチップキャリアは、セラミック基板1の内
面にはリード用パッド2が、外面には突起状パッド3
が、側面には金属層4が、各々設けてあり、リード用パ
ッド2と突起状パッド3はセラミック基板1内で接続さ
れている。スペーサ5はゴム状のもの(例えばシリコー
ンゴム)で、接着剤6(例えばシリコーン系)でセラミ
ック基板1に付けられている。LSIチップ7はフェイ
スダウンでスペーサ5上に接着剤6で付けられ、LSI
チップ7のリード8はセラミック基板1上のリード用パ
ッド2に接続されている。キャップ9はLSIチップ7
にAu/Sn10(80/20wt%)で付けられ、セラミック基板1
の金属層4にもAu/Sn10(80/20wt%)で付けられてい
る。
面にはリード用パッド2が、外面には突起状パッド3
が、側面には金属層4が、各々設けてあり、リード用パ
ッド2と突起状パッド3はセラミック基板1内で接続さ
れている。スペーサ5はゴム状のもの(例えばシリコー
ンゴム)で、接着剤6(例えばシリコーン系)でセラミ
ック基板1に付けられている。LSIチップ7はフェイ
スダウンでスペーサ5上に接着剤6で付けられ、LSI
チップ7のリード8はセラミック基板1上のリード用パ
ッド2に接続されている。キャップ9はLSIチップ7
にAu/Sn10(80/20wt%)で付けられ、セラミック基板1
の金属層4にもAu/Sn10(80/20wt%)で付けられてい
る。
キャップ9はCu/MoやBeOなど熱伝導率の良いものを用
いることによりキャップ9上に付けられるヒートシンク
等の放熱部品にLSIチップ7で発生する熱を効率よく
伝えられる。スペーサ5はゴム状のものを用いることに
より、スペーサ5やセラミック基板1の凹凸やLSIチ
ップ7とセラミック基板1と傾きにLSIチップ7の回
路面(スペーサ5側の面)へのキズを防止している。
いることによりキャップ9上に付けられるヒートシンク
等の放熱部品にLSIチップ7で発生する熱を効率よく
伝えられる。スペーサ5はゴム状のものを用いることに
より、スペーサ5やセラミック基板1の凹凸やLSIチ
ップ7とセラミック基板1と傾きにLSIチップ7の回
路面(スペーサ5側の面)へのキズを防止している。
次に、第1図に示すチップキャリアの製造手順について
説明する。
説明する。
初めに、スペーサ5をセラミック基板1に接着剤6で付
ける。
ける。
次に、スペーサ5上にLSIチップ7フェイスダウン実
装で接着剤6により付ける。そして、LSIチップ7の
リード8をセラミック基板1上のリード用パッド2に付
ける(例えば、半田付けや熱圧着ボンディング)。
装で接着剤6により付ける。そして、LSIチップ7の
リード8をセラミック基板1上のリード用パッド2に付
ける(例えば、半田付けや熱圧着ボンディング)。
さらに、LSIチップ7とキャップ9との間に板状のAu
/Snをはさみ、かつ金属層4の周囲にもAu/Snを置い
て、キャップ9とセラミック基板1とを押せながら加熱
することで、LSIチップ7はキャップ9に半田付けさ
れ、かつ封止されて完成する。
/Snをはさみ、かつ金属層4の周囲にもAu/Snを置い
て、キャップ9とセラミック基板1とを押せながら加熱
することで、LSIチップ7はキャップ9に半田付けさ
れ、かつ封止されて完成する。
スペーサ5は先にLSIチップ7に付けてもセラミック
基板1に付けても良い。
基板1に付けても良い。
Au/Snはキャップ9かまたはLSIチップ7、金属層4
かまたはキャップ9、の各々の一方または両方に予備半
田しても良い。
かまたはキャップ9、の各々の一方または両方に予備半
田しても良い。
本発明のチップキャリアとその製造方法は、LSIチップ
とキャップとの接続と封止をAu/Snにより同時に行うこ
とにより、放熱性ならびに気密性を向上できるという効
果がある。
とキャップとの接続と封止をAu/Snにより同時に行うこ
とにより、放熱性ならびに気密性を向上できるという効
果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面、第2図は従来
の一例を示す断面図である。 1,21……セラミック基板、2……リード用パッド、
3……突起状パッド、4……金属層、5……スペーサ、
6……接着剤、7,23……LSIチップ、8……リー
ド、9,26……キャップ、10……Au/Sn、22……
金属層、24……ワイヤー、25……パッド。
の一例を示す断面図である。 1,21……セラミック基板、2……リード用パッド、
3……突起状パッド、4……金属層、5……スペーサ、
6……接着剤、7,23……LSIチップ、8……リー
ド、9,26……キャップ、10……Au/Sn、22……
金属層、24……ワイヤー、25……パッド。
Claims (2)
- 【請求項1】LSIチップと、 内面に前記LSIチップのリードと接続されるリード用
パッドが形成され外面に前記パッドと接続された突起状
のパッドが形成され側面に封止のための金属層が形成さ
れたセラミック基板と、 前記LSIチップと前記セラミック基板の間に設けられ
前記LSIチップを支持するスペーサと、 前記セラミック基板が挿入され内側面が前記セラミック
基板の前記金属層に接続されることにより前記LSIチ
ップを封止し前記LSIチップと接続されるキャップと
を含むことを特徴とするチップキャリア。 - 【請求項2】前記LSIチップと前記キャップとの接続
と前記キャップと前記セラミック基板との接続とを、A
u/Sn(80wt%)で同時に行うことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のチップキャリアの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202643A JPH0638458B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | チツプキヤリアとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202643A JPH0638458B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | チツプキヤリアとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262545A JPS6262545A (ja) | 1987-03-19 |
| JPH0638458B2 true JPH0638458B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=16460737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60202643A Expired - Lifetime JPH0638458B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | チツプキヤリアとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638458B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6421945A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-25 | Toshiba Corp | Electronic element mounting module |
| JPH01150343A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-06-13 | Nec Corp | チップキャリア用キャップ |
| CA2021682C (en) * | 1989-07-21 | 1995-01-03 | Yukio Yamaguchi | Chip-carrier with alpha ray shield |
| US5264726A (en) * | 1989-07-21 | 1993-11-23 | Nec Corporation | Chip-carrier |
| JP2827684B2 (ja) * | 1992-03-17 | 1998-11-25 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
| JP3400427B2 (ja) * | 2000-11-28 | 2003-04-28 | 株式会社東芝 | 電子部品ユニット及び電子部品ユニットを実装した印刷配線板装置 |
| CN113035788B (zh) * | 2019-12-25 | 2025-03-14 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 封装结构及其制作方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961148A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Hitachi Ltd | セラミツク基板の製造方法 |
| JPS6076148A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | Nec Corp | チツプキヤリヤ |
| JPS6076149A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | Nec Corp | チツプキヤリヤ |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP60202643A patent/JPH0638458B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6262545A (ja) | 1987-03-19 |
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