JPH064514B2 - 窒化珪素質焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体の製造方法Info
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- JPH064514B2 JPH064514B2 JP2093984A JP9398490A JPH064514B2 JP H064514 B2 JPH064514 B2 JP H064514B2 JP 2093984 A JP2093984 A JP 2093984A JP 9398490 A JP9398490 A JP 9398490A JP H064514 B2 JPH064514 B2 JP H064514B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、靭性および高温強度の優れた高密度窒化珪素
質焼結体の製造方法に関するものである。
質焼結体の製造方法に関するものである。
従来の技術 窒化珪素は共有結合性の強い物質であり、強度、硬度、
耐熱性、化学的安定性等において優れた特性を有するこ
とから、構造部材、特に熱機関として、例えばガスター
ビンエンジン部材等への適用が検討されている。エンジ
ンの高効率化に伴い、1400℃以上の温度での利用が期待
されているが、この条件下において使用可能な高強度か
つ高靭性の材料が望まれている。
耐熱性、化学的安定性等において優れた特性を有するこ
とから、構造部材、特に熱機関として、例えばガスター
ビンエンジン部材等への適用が検討されている。エンジ
ンの高効率化に伴い、1400℃以上の温度での利用が期待
されているが、この条件下において使用可能な高強度か
つ高靭性の材料が望まれている。
窒化珪素は単味では焼結が困難であるため、一般に種々
の添加物を加えて焼結されている。例えば酸化イットリ
ウム（Y2O3）と酸化アルミニウム（Al2O3）を添加した
系では、耐熱衝撃性においては優れたものが得られてい
るが、耐熱性、機械的強度、靭性に劣っている場合があ
った。
の添加物を加えて焼結されている。例えば酸化イットリ
ウム（Y2O3）と酸化アルミニウム（Al2O3）を添加した
系では、耐熱衝撃性においては優れたものが得られてい
るが、耐熱性、機械的強度、靭性に劣っている場合があ
った。
耐熱性を向上させることを目的として、特開昭62−2028
64公報に開示されている酸化ジルコニウム（ZrO2）＋酸
化イットリウム（Y2O3）＋酸化珪素（SiO2）を添加し、
焼結体中にZrO2を析出させた窒化珪素焼結体が試みられ
ており、高温強度の向上等に効果が認められることが知
られている。
64公報に開示されている酸化ジルコニウム（ZrO2）＋酸
化イットリウム（Y2O3）＋酸化珪素（SiO2）を添加し、
焼結体中にZrO2を析出させた窒化珪素焼結体が試みられ
ており、高温強度の向上等に効果が認められることが知
られている。
また、特開昭62−246865公報に開示されている希土類酸
化物、ZrO2を含む焼結体で、粒界相にＪ相（Si2N2O・2Y2
O3）固溶体が存在する窒化珪素質焼結体が試みられてお
り、耐熱性、耐酸化性、静的疲労特性の向上に効果が認
められることが知られている。
化物、ZrO2を含む焼結体で、粒界相にＪ相（Si2N2O・2Y2
O3）固溶体が存在する窒化珪素質焼結体が試みられてお
り、耐熱性、耐酸化性、静的疲労特性の向上に効果が認
められることが知られている。
発明が解決しようとする課題 ところが、上記材料では、高温強度、耐酸化性は優れる
ものの、高温強度を維持したまま靭性を飛躍的に改善す
るには至っていないため、より厳しい使用環境下、特に
高温燃焼炎中において粒子の衝突等の生じる構造部材へ
適用するに当たっては、信頼性に欠ける等の問題点があ
った。従って、高温強度の向上に加えて靭性の向上した
ものが望まれる。
ものの、高温強度を維持したまま靭性を飛躍的に改善す
るには至っていないため、より厳しい使用環境下、特に
高温燃焼炎中において粒子の衝突等の生じる構造部材へ
適用するに当たっては、信頼性に欠ける等の問題点があ
った。従って、高温強度の向上に加えて靭性の向上した
ものが望まれる。
本発明は上記の如き課題を解決するために行われたもの
である。本発明の目的は、特に高い靭性を有し、かつ高
温酸化性雰囲気下であっても機械的強度の低下が小さい
等の耐熱性を有する窒化珪素質焼結体の製造方法を提供
することにある。
である。本発明の目的は、特に高い靭性を有し、かつ高
温酸化性雰囲気下であっても機械的強度の低下が小さい
等の耐熱性を有する窒化珪素質焼結体の製造方法を提供
することにある。
課題を解決するための手段 本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法は、酸化イットリ
ウム（Y2O3）５〜15重量％、珪化ジルコニウム（ZrS
i2）０．１〜５重量％及び残部が窒化珪素（Si3N4）か
らなり、Y2O3とZrSi2の重量比の範囲が、３≦Y2O3／ZrS
i2≦１５である混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガス
を含む雰囲気中にて1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa以
上の圧力にて加圧焼結し、降温過程あるいは再加熱処理
により粒界相としてY5N(SiO4)3相あるいはY4.67(SiO4)3
O相を生成させることを特徴とするものである。ここ
で、Y5N(SiO4)3相およびY4.67(SiO4)3O相は高融点の結
晶相である。
ウム（Y2O3）５〜15重量％、珪化ジルコニウム（ZrS
i2）０．１〜５重量％及び残部が窒化珪素（Si3N4）か
らなり、Y2O3とZrSi2の重量比の範囲が、３≦Y2O3／ZrS
i2≦１５である混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガス
を含む雰囲気中にて1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa以
上の圧力にて加圧焼結し、降温過程あるいは再加熱処理
により粒界相としてY5N(SiO4)3相あるいはY4.67(SiO4)3
O相を生成させることを特徴とするものである。ここ
で、Y5N(SiO4)3相およびY4.67(SiO4)3O相は高融点の結
晶相である。
本発明においては、焼結助剤としてY2O3を用いるが、Y2
O3は、Si3N4の焼結時にα相からβ相への結晶相転移を
その融液中で促進させる機能を持ち、更にSi3N4の柱状
相の成長を助長することにより高温強度及び靭性を向上
させる。また、本発明においては、Y2O3は焼結降温過程
もしくは再加熱処理によりSi3N4と反応し、Y5N(SiO4)3
相もしくはY4.67(SiO4)3O相を生成する。
O3は、Si3N4の焼結時にα相からβ相への結晶相転移を
その融液中で促進させる機能を持ち、更にSi3N4の柱状
相の成長を助長することにより高温強度及び靭性を向上
させる。また、本発明においては、Y2O3は焼結降温過程
もしくは再加熱処理によりSi3N4と反応し、Y5N(SiO4)3
相もしくはY4.67(SiO4)3O相を生成する。
Y2O3の添加量が、15重量％を超えると得られた焼結体の
高温での機械的強度および耐酸化性が低下するので、15
重量％以下であることが好ましい。また５重量％より少
ないと融液が不十分で十分な緻密化がなされないため好
ましくない。従ってその添加量としては、５〜15重量％
の範囲であることが望ましいが、特に十分に高い機械的
強度、靭性を得るためには８〜10重量％の範囲であるこ
とがより好ましい。
高温での機械的強度および耐酸化性が低下するので、15
重量％以下であることが好ましい。また５重量％より少
ないと融液が不十分で十分な緻密化がなされないため好
ましくない。従ってその添加量としては、５〜15重量％
の範囲であることが望ましいが、特に十分に高い機械的
強度、靭性を得るためには８〜10重量％の範囲であるこ
とがより好ましい。
ZrSi2は、焼結時に上記Y2O3とSi3N4粉末中に不可避的に
含まれる二酸化珪素（SiO2）とで形成する融液中で、Si
3N4がα相からβ相へ転移する際の核として作用すると
考えられ、結晶相転移を促進すると共に材料の均質化に
寄与すると考えられる。
含まれる二酸化珪素（SiO2）とで形成する融液中で、Si
3N4がα相からβ相へ転移する際の核として作用すると
考えられ、結晶相転移を促進すると共に材料の均質化に
寄与すると考えられる。
また、ZrSi2を添加すると焼結過程で生成する柱状相の
アスペクト比（長軸と短軸の比）が大きくなり、かつ短
軸の径が大きくなる性質を有するため靭性の向上が図ら
れる。更に、ZrSi2は焼結の冷却過程において高融点で
あるZrO2もしくはZr化合物として焼結体の粒界相に析出
すると考えられ、優れた高温特性を得ることが期待され
る。
アスペクト比（長軸と短軸の比）が大きくなり、かつ短
軸の径が大きくなる性質を有するため靭性の向上が図ら
れる。更に、ZrSi2は焼結の冷却過程において高融点で
あるZrO2もしくはZr化合物として焼結体の粒界相に析出
すると考えられ、優れた高温特性を得ることが期待され
る。
本発明では焼結助剤としてZrSi2が０．１〜５重量％含
まれるが、５重量％より多く添加すると高温での機械的
強度が低下し、また０．１重量％より少ないと十分なア
スペクト比が得られない。
まれるが、５重量％より多く添加すると高温での機械的
強度が低下し、また０．１重量％より少ないと十分なア
スペクト比が得られない。
また、本発明では焼結助剤としてY2O3とZrSi2を同時に
添加するが、高い高温強度および靭性を同時に達成する
ためには、Y2O3と、ZrSi2の重量の比が３〜15の範囲で
あることが特に好ましい。15より大きい場合は緻密な焼
結体が得にくく、３より小さいと大気中高温強度および
耐酸化性が劣化する。
添加するが、高い高温強度および靭性を同時に達成する
ためには、Y2O3と、ZrSi2の重量の比が３〜15の範囲で
あることが特に好ましい。15より大きい場合は緻密な焼
結体が得にくく、３より小さいと大気中高温強度および
耐酸化性が劣化する。
また、この範囲以内の重量比で本発明の条件にて焼結さ
れた焼結体の粒界には、高融点のZr化合物と共に、融点
が高く、高温まで比較的安定な粒界結晶相であるY5N(Si
O4)3相あるいはY4.67(SiO4)3O相が存在しており高い高
温強度が得られる。
れた焼結体の粒界には、高融点のZr化合物と共に、融点
が高く、高温まで比較的安定な粒界結晶相であるY5N(Si
O4)3相あるいはY4.67(SiO4)3O相が存在しており高い高
温強度が得られる。
本発明において使用されるSi3N4粉末は、α型の結晶構
造をもつSi3N4粉末が焼結性の点から好ましいが、β型
あるいは非晶質Si3N4粉末が含まれていてもかまわな
い。焼結時に十分に高い嵩密度とするためには、平均粒
径２μｍ以下の微粒子であることが好ましい。焼結助剤
として添加するY2O3、ZrSi2も均質かつ高密度の焼結体
を得るためには平均粒径が５μｍ以下の微粒子であるこ
とが好ましい。
造をもつSi3N4粉末が焼結性の点から好ましいが、β型
あるいは非晶質Si3N4粉末が含まれていてもかまわな
い。焼結時に十分に高い嵩密度とするためには、平均粒
径２μｍ以下の微粒子であることが好ましい。焼結助剤
として添加するY2O3、ZrSi2も均質かつ高密度の焼結体
を得るためには平均粒径が５μｍ以下の微粒子であるこ
とが好ましい。
本発明方法においては、これらの各成分の混合はアセト
ンもしくはエタノール等の溶媒を用い、Si3N4もしくはS
iCのポット及びボールを用いて遊星型混合機で行なう。
このように調整された混合粉末を加圧成形し、所定の形
状の成形体とする。
ンもしくはエタノール等の溶媒を用い、Si3N4もしくはS
iCのポット及びボールを用いて遊星型混合機で行なう。
このように調整された混合粉末を加圧成形し、所定の形
状の成形体とする。
この成形体を窒素ガスを含む雰囲気中にて1800〜2000℃
の温度範囲で、4MPa以上の圧力にて加圧焼結し、焼結体
を得る。焼結方法としては、ホットプレス焼結法、ガス
圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法を用いることが可能
であり、更に一種もしくは複数の焼結法を組み合わせる
ことも可能である。
の温度範囲で、4MPa以上の圧力にて加圧焼結し、焼結体
を得る。焼結方法としては、ホットプレス焼結法、ガス
圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法を用いることが可能
であり、更に一種もしくは複数の焼結法を組み合わせる
ことも可能である。
焼結時の雰囲気はSi3N4の高温での分解を抑制するため
に、窒素ガスを含む雰囲気であることが好ましい。Si3N
4は窒素ガス１気圧下では約1800℃以上で分解が生じる
ため、窒素ガス圧を焼結温度におけるSi3N4の臨界分解
圧力以上に設定することが好ましい。
に、窒素ガスを含む雰囲気であることが好ましい。Si3N
4は窒素ガス１気圧下では約1800℃以上で分解が生じる
ため、窒素ガス圧を焼結温度におけるSi3N4の臨界分解
圧力以上に設定することが好ましい。
焼結は1800〜2000℃の温度範囲にて行われるが、1800℃
以下ではSi3N4のβ粒の成長が不十分であり高い靭性が
得られず、2000℃以上ではSi3N4の分解が著しい。また
焼結の際には、焼結助剤からなる液相中にSi3N4が溶解
し再析出することで結晶相転移が生じると共に、緻密化
し焼結が進行するが、この溶解・再析出過程で、融液中
へのSi3N4の固溶限界があるため、30分以上の保持が好
ましい。
以下ではSi3N4のβ粒の成長が不十分であり高い靭性が
得られず、2000℃以上ではSi3N4の分解が著しい。また
焼結の際には、焼結助剤からなる液相中にSi3N4が溶解
し再析出することで結晶相転移が生じると共に、緻密化
し焼結が進行するが、この溶解・再析出過程で、融液中
へのSi3N4の固溶限界があるため、30分以上の保持が好
ましい。
また、粒界相としてY5N(SiO4)3相もしくはY4.67(SiO4)3
O相を存在させるためには、焼結の降温過程に５℃毎分
以下の降温速度で冷却するか、あるいは焼結後、窒素を
含む雰囲気中にて1300〜1400℃、２時間保持程度の再加
熱処理を行うことが好ましい。降温過程でY5N(SiO4)3も
しくはY4.67(SiO4)3O相を存在させる場合の降温速度は
５℃毎分以下が好ましいが、さらに望ましくは２℃毎分
以下である。降温速度が５℃毎分より速い場合は、Y5N
(SiO4)3相もしくはY4.67(SiO4)3O相が十分生成しない。
O相を存在させるためには、焼結の降温過程に５℃毎分
以下の降温速度で冷却するか、あるいは焼結後、窒素を
含む雰囲気中にて1300〜1400℃、２時間保持程度の再加
熱処理を行うことが好ましい。降温過程でY5N(SiO4)3も
しくはY4.67(SiO4)3O相を存在させる場合の降温速度は
５℃毎分以下が好ましいが、さらに望ましくは２℃毎分
以下である。降温速度が５℃毎分より速い場合は、Y5N
(SiO4)3相もしくはY4.67(SiO4)3O相が十分生成しない。
また、再加熱処理の際の温度が1300℃以下、1400℃以上
の場合も同様にY5N(SiO4)3相及びY4.67(SiO4)3O相が十
分に生成しない。
の場合も同様にY5N(SiO4)3相及びY4.67(SiO4)3O相が十
分に生成しない。
また、焼結の際には4MPa以上の圧力による加圧を行う
が、加圧方法としては型を用いた一軸プレス法、あるい
はガス圧による等方静水圧プレス方法などを用いること
ができる。十分緻密な焼結体を得るためには4MPaより高
い圧力で焼結することが好ましく、10MPa以上が特に好
ましい。
が、加圧方法としては型を用いた一軸プレス法、あるい
はガス圧による等方静水圧プレス方法などを用いること
ができる。十分緻密な焼結体を得るためには4MPaより高
い圧力で焼結することが好ましく、10MPa以上が特に好
ましい。
本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法は、Y2O3５〜15重
量％、ZrSi2 0.1〜５重量％及び残部が窒化珪素（Si3N
4）からなり、Y2O3とZrSi2の重量比の範囲が、３≦Y2O3
／ZrSi2≦15である混合粉末を成形し、該成形体を窒素
ガスを含む雰囲気中で1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa
以上の圧力にて加圧焼結し、５℃毎分以下の速度で降
温、あるいは焼結降温後1300〜1400℃の温度範囲で再加
熱処理するものであるが、これらの条件の組み合わせに
より本課題が達成された。
量％、ZrSi2 0.1〜５重量％及び残部が窒化珪素（Si3N
4）からなり、Y2O3とZrSi2の重量比の範囲が、３≦Y2O3
／ZrSi2≦15である混合粉末を成形し、該成形体を窒素
ガスを含む雰囲気中で1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa
以上の圧力にて加圧焼結し、５℃毎分以下の速度で降
温、あるいは焼結降温後1300〜1400℃の温度範囲で再加
熱処理するものであるが、これらの条件の組み合わせに
より本課題が達成された。
作用 本発明により得られる焼結体は、Si3N4の平均結晶粒度
が１〜５μｍ程度と大きく、かつアスペクト比の大きい
粒状結晶が絡み合った組織を呈し、また粒界に高融点の
Zr化合物が析出しており、さらに粒界結晶相として融点
が高く高温まで比較的安定なY5N(SiO4)3相あるいはY
4.67(SiO4)3O相が存在することにより、靭性値ＫICが８
MPam1/2以上の高靭性でかつ抗析強さが大気中1400℃に
て500MPa以上の高強度を有する。
が１〜５μｍ程度と大きく、かつアスペクト比の大きい
粒状結晶が絡み合った組織を呈し、また粒界に高融点の
Zr化合物が析出しており、さらに粒界結晶相として融点
が高く高温まで比較的安定なY5N(SiO4)3相あるいはY
4.67(SiO4)3O相が存在することにより、靭性値ＫICが８
MPam1/2以上の高靭性でかつ抗析強さが大気中1400℃に
て500MPa以上の高強度を有する。
特に高い靭性および抗折強度を有する焼結体を得るため
には、ホットプレス法を用いることが好ましい。後述す
る実施例に示されているようにＫICが12MPam1/2極めて
高い焼結体、もしくは1400℃における抗折強さが750MPa
を示す焼結体が得られている。また複雑形状の焼結体を
得るためには、ガス圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法
を用いることが好ましいが、特に高い特性を有する焼結
体を得るためには熱間静水圧プレス焼結法を用いること
が望ましい。
には、ホットプレス法を用いることが好ましい。後述す
る実施例に示されているようにＫICが12MPam1/2極めて
高い焼結体、もしくは1400℃における抗折強さが750MPa
を示す焼結体が得られている。また複雑形状の焼結体を
得るためには、ガス圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法
を用いることが好ましいが、特に高い特性を有する焼結
体を得るためには熱間静水圧プレス焼結法を用いること
が望ましい。
後述する実施例に示されているようにＫICが９．６MPam
1/2と高い焼結体で、1400℃における抗折強さが710MPa
と高い焼結体が得られている。
1/2と高い焼結体で、1400℃における抗折強さが710MPa
と高い焼結体が得られている。
次に本発明の実施例を比較例と共に説明する。
実施例 実施例１ Si3N4（平均粒径０．５μｍ、α化率97％以上）にY2O3
粉末（平均粒径０．３μｍ）、及びZrSi2粉末（平均粒
径２μｍ）を第１表に示す所定量（重量％）添加し、溶
媒としてアセトンを用いてSi3 4製ボールミルで24時間混
練した。
粉末（平均粒径０．３μｍ）、及びZrSi2粉末（平均粒
径２μｍ）を第１表に示す所定量（重量％）添加し、溶
媒としてアセトンを用いてSi3 4製ボールミルで24時間混
練した。
次いで得られた混合粉末を乾燥後ホットプレス焼結し
た。ホットプレス条件は黒鉛ダイス中にて窒素ガス雰囲
気中、40ＭＰａの圧力下で保持時間２時間とし、降温速
度は５℃毎分とした。
た。ホットプレス条件は黒鉛ダイス中にて窒素ガス雰囲
気中、40ＭＰａの圧力下で保持時間２時間とし、降温速
度は５℃毎分とした。
本発明により得られた各焼結体の特性を焼結助剤の添加
量、ホットプレス温度と共に第１表に示す。強度につい
ては、JIS R1601に準拠し室温及び大気中1400℃にて３
点曲げ試験を行い抗折強さとして測定した。靭性につい
ては室温にてJIS R1607のSEPB（Single Edge Pre-crack
ed Beam）法により破壊靭性値ＫICを測定した。また、
焼結体の結晶相はＸ線回折法を用いて分析した。
量、ホットプレス温度と共に第１表に示す。強度につい
ては、JIS R1601に準拠し室温及び大気中1400℃にて３
点曲げ試験を行い抗折強さとして測定した。靭性につい
ては室温にてJIS R1607のSEPB（Single Edge Pre-crack
ed Beam）法により破壊靭性値ＫICを測定した。また、
焼結体の結晶相はＸ線回折法を用いて分析した。
第１表に示すように、本発明の実施例によるものは靭
性、抗折強さ共に優れるが、比較例に該当する試料では
本発明の実施例と比べて靭性及び高温抗折強さが劣るこ
とが確認された。本発明の場合、何れもY5N(SiO4)3相あ
るいはY4.67(SiO4)3O相が存在しており、またZr化合物
が存在していた。
性、抗折強さ共に優れるが、比較例に該当する試料では
本発明の実施例と比べて靭性及び高温抗折強さが劣るこ
とが確認された。本発明の場合、何れもY5N(SiO4)3相あ
るいはY4.67(SiO4)3O相が存在しており、またZr化合物
が存在していた。
実施例２ 前記実施例１と同様に混合粉末を作製し、成形後、ガス
圧焼結もしくは熱間静水圧プレス焼結を行った。成形条
件としては金型１軸成形圧100MPa、冷間静水圧による加
圧700MPaとし、50mm×50mm×10mmの板状体を得た。ガス
圧焼結の場合は、窒素ガス雰囲気中4MPaの気圧下で、温
度2000℃、保持時間２時間の条件で行った。また、熱間
静水圧プレス焼結の場合は、窒素ガス雰囲気中100MPaの
気圧下で、温度1800℃、保持時間１時間の条件で行っ
た。ガス圧焼結もしくは熱間静水圧プレス焼結にて得ら
れた焼結体に、焼結降温後、温度1400℃で２時間保持の
再加熱処理を窒素ガス雰囲気中大気圧下にて施した。
圧焼結もしくは熱間静水圧プレス焼結を行った。成形条
件としては金型１軸成形圧100MPa、冷間静水圧による加
圧700MPaとし、50mm×50mm×10mmの板状体を得た。ガス
圧焼結の場合は、窒素ガス雰囲気中4MPaの気圧下で、温
度2000℃、保持時間２時間の条件で行った。また、熱間
静水圧プレス焼結の場合は、窒素ガス雰囲気中100MPaの
気圧下で、温度1800℃、保持時間１時間の条件で行っ
た。ガス圧焼結もしくは熱間静水圧プレス焼結にて得ら
れた焼結体に、焼結降温後、温度1400℃で２時間保持の
再加熱処理を窒素ガス雰囲気中大気圧下にて施した。
実施例１と同様に焼結体の特性を焼結助剤の添加量、焼
結条件と共に第２表に示す。実施例１同様、本発明によ
る焼結体の特性は靭性、抗折強さ共に優れるが、比較例
に該当する試料では本発明の実施例と比べて靭性及び高
温抗折強さが劣ることが確認された。実施例１同様、本
発明による焼結体には、Zr化合物とともにY5N(SiO4)3相
あるいはY4.67(SiO4)3O相が存在しいた。
結条件と共に第２表に示す。実施例１同様、本発明によ
る焼結体の特性は靭性、抗折強さ共に優れるが、比較例
に該当する試料では本発明の実施例と比べて靭性及び高
温抗折強さが劣ることが確認された。実施例１同様、本
発明による焼結体には、Zr化合物とともにY5N(SiO4)3相
あるいはY4.67(SiO4)3O相が存在しいた。
発明の効果 本発明によれば、上記の如く耐熱性を十分に備えた窒化
珪素質焼結体において、靭性及び機械的強度をより優れ
たもとのすることが可能となった。このことにより信頼
性の非常に優れた窒化珪素質焼結体の作製が可能とな
り、その工業的有用性は非常に大きい。
珪素質焼結体において、靭性及び機械的強度をより優れ
たもとのすることが可能となった。このことにより信頼
性の非常に優れた窒化珪素質焼結体の作製が可能とな
り、その工業的有用性は非常に大きい。
Claims (2)
- 【請求項１】酸化イットリウム（Y2O3）５〜15重量％、
珪化ジルコニウム（ZrSi2）０．１〜５重量％及び残部
が窒化珪素（Si3N4）からなり、Y2O3とZrSi2の重量比の
範囲が、 ３≦Y2O3／ZrSi2≦15 である混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガスを含む雰
囲気中にて1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa以上の圧力
にて加圧焼結し、５℃毎分以下の速度で降温することを
特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。 - 【請求項２】酸化イットリウム（Y2O3）５〜15重量％、
珪化ジルコニウム（ZrSi2）０．１〜５重量％及び残部
が窒化珪素（Si3N4）からなり、Y2O3とZrSi2の重量比の
範囲が、 ３≦Y2O3／ZrSi2≦15 である混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガスを含む雰
囲気中にて1800〜2000℃の温度範囲で、4MPa以上の圧力
にて加圧焼結し降温した後、1300〜1400℃の温度範囲で
再加熱処理することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093984A JPH064514B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093984A JPH064514B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295860A JPH03295860A (ja) | 1991-12-26 |
| JPH064514B2 true JPH064514B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=14097672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2093984A Expired - Lifetime JPH064514B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064514B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03199166A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-30 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体の製法 |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP2093984A patent/JPH064514B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03295860A (ja) | 1991-12-26 |
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