JPH0689113A - 回転機器の停止制御装置 - Google Patents

回転機器の停止制御装置

Info

Publication number
JPH0689113A
JPH0689113A JP23870292A JP23870292A JPH0689113A JP H0689113 A JPH0689113 A JP H0689113A JP 23870292 A JP23870292 A JP 23870292A JP 23870292 A JP23870292 A JP 23870292A JP H0689113 A JPH0689113 A JP H0689113A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating
reference point
point mark
rotation speed
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23870292A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyoshi Kawasaki
勝義 川崎
Teruhiko Fujisaki
輝彦 藤崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP23870292A priority Critical patent/JPH0689113A/ja
Publication of JPH0689113A publication Critical patent/JPH0689113A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作動中の回転機器を任意に設定した基準位置
に停止させる。 【構成】 エアスピンドル2に配設したロータリエンコ
ーダ3によって、回転機器の回転数nを測定し、回転数
nが任意に設定した基準値以下となったとき、かつ、回
転機器のワーク上に配設した切欠きK1をフォトセンサ
Fで検出したときに、切換弁Vを作動させて回転機器の
ワーク上に配設した切欠きK2に対向する位置に配設し
たシリンダSを駆動することにより、ロッドRが作動し
て切欠きK2に挿入され、ワークが停止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、エアスピンドルを用い
た回転機器の停止制御を行う回転機器の停止制御装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】スピンドルがエアベアリングに支持され
たエアスピンドルを備えたディスク関連の製造装置,原
盤カッティング装置及び検査装置等の回転機器では、回
転機器を停止させる場合には、手動又は自動により、回
転停止指令を入力すると、モータが回転停止動に入り、
やがて停止するが、エアベアリングを使用している場合
には、その回転損失は少なく、一般に大きな慣性モーメ
ントを持っているので、瞬時に停止することができず、
回転が徐々に遅くなって、やがて停止するようになって
いる。
【0003】このとき、回転体に取り付けられた、例え
ば磁気ディスク等の円板状のワークは、モータの回転に
伴い動作するようになされているため、モータの停止と
同時に停止することになり、したがって、ワーク上の任
意の基準点は、停止する度に、異なる位置に停止するよ
うになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の回転機器の停止方法では、例えば、コンパクト・デ
ィスクの原盤カッティングや、フライングハイトテスト
等を行う場合のように、作業開始時には常時ワーク上の
任意の基準点から作業を行う必要があって、回転機器を
作動して作業を行い、一端停止させ、再度回転機器を作
動させて作業を行うというように、作動と停止を繰り返
しながら、作業を行う場合には、回転機器を停止させた
ときに、ワーク上の基準点が毎回異なる位置で停止する
ので、再度作動させるときに、手動又は、自動によっ
て、ワーク上の基準点を作業開始位置まで、移動させる
必要があり、作業の効率が非常に悪いという未解決の課
題があった。
【0005】そこで、この発明は、上記従来の未解決の
課題に着目してなされたものであり、回転機器が常に一
定の位置に停止することのできる回転機器の停止制御装
置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係わる回転機器の停止制御装置は、エアベ
アリングで回転自在に保持された回転体を回転駆動する
ようにした回転機器において、前記回転体の回転数を検
出する回転数検出手段と、前記回転体に配設された基準
点マーク及び係合部を有する回転部材と、該回転部材の
基準点マークを検出する基準点マーク検出手段と、前記
回転部材に形成された係合部に係合する係止部材を有す
るアクチュエータと、前記回転数検出手段の回転数検出
値が設定値以下となり、且つ前記基準点マーク検出手段
で基準点マークを検出したときに前記アクチュエータを
作動させて係止部材を前記回転部材の係合部に係合させ
る制御手段とを備えることを特徴としている。
【0007】
【作用】本発明においては、基準点マーク及び係合部を
有する回転部材を回転体と一体に取り付け、回転数検出
手段により検出した回転体の回転数が設定値以下とな
り、かつ、基準点マーク検出手段により基準点マークを
検出したときに、回転部材に取り付けられた係合部に係
合するアクチュエータを作動させて、係止部材を回転部
材に係合させることにより、任意の位置に回転体を停止
させる。
【0008】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図1は、本発明の一実施例を示す概略構成図で
ある。図1において、1は例えば、コンパクト・ディス
ク関連の製造及び検査装置等の回転機器であって、図2
(b)に示すように、先端部に円板等のワークWを装着
保持するとともに、電動モータM等の回転駆動源によっ
て回転駆動されるエアスピンドル2を有し、エアスピン
ドル2は、エアベアリング2Aによって回転自在に保持
され、ワークWは、エアスピンドル2と同期して回転す
るようになされている。そして、エアスピンドル2に
は、ロータリエンコーダ3が取り付けられており、この
ロータリエンコーダ3から、回転速度に比例した周波数
の互いに90度の位相差を有する回転パルス信号A及び
Bが出力される。
【0009】ワークWには、図2(a)に示すように、
切欠きK1と切欠きK2とが配設されており、切欠きK
1に対向する位置に、ワークWの位相を検出することが
可能な、例えばフォトセンサFが配設されている。そし
て、切欠きK1とフォトセンサFとが対向したとき、切
欠きK2と対向する位置に例えばバネ付き単動シリンダ
等のシリンダSが配設されている。なお、切欠きK2は
テーパ状になっているものとする。
【0010】シリンダSには、2位置3ポート電磁切換
弁等の切換弁Vが接続され、これにより、シリンダSを
駆動制御している。ここで、切欠きK1が基準点マーク
に対応し、切欠きK2が係合部に対応し、フォトセンサ
Fが基準点マーク検出手段に対応し、シリンダSがアク
チュエータに対応している。そして、ロータリエンコー
ダ3が制御手段に対応している。
【0011】図1において、ロータリエンコーダ3から
出力された回転パルス信号A及びBは、互いに90度の
位相差を有しており、これらの回転パルス信号A及びB
は、波形処理部4に出力される。波形処理部4では、ロ
ータリエンコーダ3から入力した回転パルス信号A及び
BをUP/DOWNパルス信号に変換し、UP/DOW
Nカウンタ5に出力する。UP/DOWNカウンタ5で
は、このUP/DOWNパルス信号をカウントし、カウ
ント数をラッチ回路6に出力する。
【0012】ラッチ回路6は、無安定マルチバイブレー
タ等の定パルス発生部9から任意に設定した、定周期パ
ルス信号f0を入力し、定周期パルス信号f0をラッチ
及びリセット信号として、エアスピンドル2、すなわ
ち、ワークWの回転数nを測定し、比較回路7に出力す
る。比較回路7では、ラッチ回路6から入力した回転数
nと予め任意に設定した回転数の基準値h0とを比較
し、回転数nが基準値h0よりも小さくなった時、微速
信号αを論理積回路8に出力する。
【0013】ここで、任意に設定した回転数の基準値h
0は、フォトセンサFで、切欠きK1を検出してからシ
リンダSのロッドRが作動し、切欠きK2に挿入される
ことが可能な充分低い回転数とする。論理積回路8で
は、比較回路7からの微速信号α及びフォトセンサFか
らの同相信号βとを入力し、両方の信号を入力した時点
で、切換弁Vに作動信号θを出力する。
【0014】ここで、フォトセンサFは、切欠きK1の
位相をチェックし、同相となったとき同相信号βを論理
積回路8に出力するものとする。切換弁Vは、論理積回
路8から作動信号θを入力し、作動信号θをタイミング
信号として、シリンダSを駆動してロッドRを作動す
る。この状態で、手動又は、自動によって、エアスピン
ドル2が回転する回転機器に回転停止指令が入力された
場合には、まず、ロータリエンコーダ3から回転パルス
信号A及びBが波形処理部4に出力され、UP/DOW
Nパルス信号に変換されてUP/DOWNカウンタ5に
出力される。そして、UP/DOWNカウンタ5では、
入力したUP/DOWNパルス信号をカウントして、カ
ウント数をラッチ回路6に出力し、ラッチ回路6では、
定パルス発生部9から定周期パルス信号f0を入力し、
これをラッチ及びリセット信号として、エアスピンドル
2の回転数を測定し、比較回路7に出力する。そして、
比較回路7で、予め任意に設定した回転数の基準値h0
と回転数とを比較して、回転数が基準値h0以下となっ
たとき論理積回路に微速信号αを出力する。
【0015】そして、切欠きK1とフォトセンサFとが
対向したとき、同相信号βが論理積回路8に出力され、
論理積回路8で、同相信号βを入力したとき、これをタ
イミング信号として作動信号θを切換弁Vに出力し、こ
れによってシリンダSが駆動されてロッドRが作動し、
ワークW上の切欠きK2に挿入されて、ワークWは停止
する。
【0016】したがって、上記実施例によれば、エアス
ピンドル2の回転数を測定し、エアスピンドル2の回転
数が任意に設定した基準値h0よりも小さくなり、か
つ、切欠きK1の位相がフォトセンサFと同相となった
とき、シリンダSを作動させて、回転体のワークW上に
設けた切欠きK2にロッドRを挿入することによって、
確実に、回転体を任意の位置に停止させることができ
る。
【0017】なお、上記実施例では、制御手段として、
電子機器によりコントローラCを構成して、停止制御を
行ったが、マイクロコンピュータ等によって、停止制御
を行うことも可能である。この場合のマイクロコンピュ
ータの処理手順を図3のフローチャートに示す。先ず、
手動、又は、自動により回転停止命令が回転機器1に入
力されると、電動モータMは、回転停止動に入り、それ
と同時にロータリエンコーダ3では、エアスピンドル2
の回転数nの測定を開始する(ステップS1)。次い
で、ステップS2で、測定した回転数nと予め設定した
回転数の基準値h0とを比較し、回転数nが基準値h0
よりも大きい場合には、ステップS1へ戻って、回転数
nが基準値h0以下になるまで、ステップS1及びステ
ップS2を繰り返し、回転数nが基準値h0以下となっ
たとき、ステップS3に移行する。
【0018】ステップS3では、フォトセンサFからの
同相信号βを入力したか否かを判定し、入力しなけれ
ば、ステップS3で入力待ちし、フォトセンサFからの
同相信号βを入力したとき、ステップS4に移行して、
同相信号βをタイミング信号として、作動信号θを切換
弁Vに出力する。これにより、シリンダSが作動してロ
ッドRがワークW上の切欠きK2に挿入され、ワークW
は、切欠きK2とロッドRとが対向する位置に停止す
る。
【0019】なお、上記実施例においては、基準点マー
クとして切欠きK1を、基準点マーク検出手段としてフ
ォトセンサを配設したが、基準点マークは円板の外周縁
に形成した切欠き、円板の上面又は下面に形成した光反
射板、円板に取付けた永久磁石等の磁性体を含み、基準
点マーク検出手段は、基準点マークに対応するフォトイ
ンタラプタ、反射型フォトセンサ、ホール素子等の磁気
センサ等を適用することができる。
【0020】さらに、円板に形成した係合部としては、
外周縁の切欠きのほか、突起、上下に貫通する孔等を適
用することもでき、アクチュエータとしても半径方向に
進退するロッドを有するシリンダ、上下方向に進退する
ロッドを有するシリンダ、電磁ソレノイドを有するプラ
ンジャ等を適用することも可能である。
【0021】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係わる
回転機器の停止制御装置によれば、回転数検出手段によ
り、回転体の回転数を検出し、回転数が設定値以下にな
り、かつ、基準点マーク検出手段により、回転体に配設
された基準点マークを検出したときに、回転体に配設さ
れた係合部に係合する係止部材を有するアクチュエータ
を作動させて係止部材を係合部に係合させることによ
り、確実に、回転体を任意の定位置に停止させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による回転機器の停止制御装置の一実施
例を示す概略構成図である。
【図2】回転機器の概略構成図である。
【図3】本発明による回転機器の停止制御をマイクロコ
ンピュータで行う場合の処理手順を示すフローチャート
である。
【符号の説明】
1 回転機器 2 エアスピンドル 2A エアベアリング 3 ロータリエンコーダ 4 波形処理部 5 UP/DOWNカウンタ 6 ラッチ回路 7 比較回路 8 論理積回路 9 定パルス発生部 F フォトセンサ K1 切欠き K2 切欠き M 電動モータ R ロッド S シリンダ V 切換弁 W ワーク

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エアベアリングで回転自在に保持された
    回転体を回転駆動するようにした回転機器において、前
    記回転体の回転数を検出する回転数検出手段と、前記回
    転体に配設された基準点マーク及び係合部を有する回転
    部材と、該回転部材の基準点マークを検出する基準点マ
    ーク検出手段と、前記回転部材に形成された係合部に係
    合する係止部材を有するアクチュエータと、前記回転数
    検出手段の回転数検出値が設定値以下となり、且つ前記
    基準点マーク検出手段で基準点マークを検出したときに
    前記アクチュエータを作動させて係止部材を前記回転部
    材の係合部に係合させる制御手段とを備えたことを特徴
    とする回転機器の停止制御装置。
JP23870292A 1992-09-07 1992-09-07 回転機器の停止制御装置 Pending JPH0689113A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23870292A JPH0689113A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 回転機器の停止制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23870292A JPH0689113A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 回転機器の停止制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0689113A true JPH0689113A (ja) 1994-03-29

Family

ID=17034022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23870292A Pending JPH0689113A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 回転機器の停止制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0689113A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256358B1 (ko) * 2011-10-13 2013-04-25 주식회사 알피에스 스토퍼가 장착된 웨이퍼 다이싱용 에어베어링 스핀들

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256358B1 (ko) * 2011-10-13 2013-04-25 주식회사 알피에스 스토퍼가 장착된 웨이퍼 다이싱용 에어베어링 스핀들

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6258865B2 (ja)
US4013933A (en) Needle position detector for industrial type sewing machines
JPH0689113A (ja) 回転機器の停止制御装置
EP0447561B1 (en) Method of controlling rotations of main shafts
JP2518297B2 (ja) 主軸回転位置制御方法
JPS61134801A (ja) 位置決め制御装置
JP2541809B2 (ja) エンコ−ダ欠相検出装置
US5319288A (en) Main spindle rotation control method
JP3480860B2 (ja) 外乱追従式位置決め制御方法
JP2740953B2 (ja) 主軸定位置停止制御装置
KR0148912B1 (ko) 이송모터제어장치
JP2721113B2 (ja) アースオーガ用モータの回転停止位置制御装置
JPH01268471A (ja) モータにより駆動される移動体の減速距離検出方法
JPH0260691A (ja) 工業用ミシンの制動制御装置
JPH0239041Y2 (ja)
JP2515443B2 (ja) エンコ−ダ出力パルスの欠相検知装置
JPH04361787A (ja) 工業用ミシンの位置制御装置
JPH03260789A (ja) 紙葉類計数機
JPH0740209B2 (ja) ロボットアームの原点サーチ方法
JPH04283048A (ja) 主軸位置決め装置
JP2562885B2 (ja) 不釣合点位置決め方法とその方法に用いる装置
JPH0444320Y2 (ja)
JPH0296811A (ja) 速度制御方法及び装置
JPS607283B2 (ja) 定位置停止制御装置
JPH0766006B2 (ja) 回転停止制御装置