JPH07129910A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH07129910A JPH07129910A JP29451293A JP29451293A JPH07129910A JP H07129910 A JPH07129910 A JP H07129910A JP 29451293 A JP29451293 A JP 29451293A JP 29451293 A JP29451293 A JP 29451293A JP H07129910 A JPH07129910 A JP H07129910A
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- magnetic
- gap
- track width
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ヘッドのトラック幅寸制御が鏡面研磨に
依存せず磁気コア基板の接合後の溝加工によって高精度
に仕上げることができるトラック幅精度の高い磁気ヘッ
ド及びその製造方法を提供する。 【構成】 磁気ヘッドを製造するには、少なくとも一方
のフェライトよりなる磁気コアブロック19,20の突
合わせ面に巻線溝17を形成し、これら磁気コアブロッ
ク19,20同士をギャップ接合した後、磁気記録媒体
と摺接する媒体摺動面となる面にこれら磁気コアブロッ
ク19,20の突合わせ面と略直交又はアジマス角を持
って且つ少なくとも巻線溝17に達する溝23を、各溝
23間に残存する媒体摺動面の幅をトラック幅Twとな
るように形成して、各溝23位置で切断することにより
各ヘッドチップとする。
依存せず磁気コア基板の接合後の溝加工によって高精度
に仕上げることができるトラック幅精度の高い磁気ヘッ
ド及びその製造方法を提供する。 【構成】 磁気ヘッドを製造するには、少なくとも一方
のフェライトよりなる磁気コアブロック19,20の突
合わせ面に巻線溝17を形成し、これら磁気コアブロッ
ク19,20同士をギャップ接合した後、磁気記録媒体
と摺接する媒体摺動面となる面にこれら磁気コアブロッ
ク19,20の突合わせ面と略直交又はアジマス角を持
って且つ少なくとも巻線溝17に達する溝23を、各溝
23間に残存する媒体摺動面の幅をトラック幅Twとな
るように形成して、各溝23位置で切断することにより
各ヘッドチップとする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ(VTR)等に使用される磁気ヘッド及びその製
造方法に関する。
コーダ(VTR)等に使用される磁気ヘッド及びその製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、VTRの高画質化に伴い磁気ヘッ
ドの高出力化が要求されている。また、記録密度の向上
と共にトラック幅、ギャップ長が狭くなり要求寸法精度
も厳しくなってきている。
ドの高出力化が要求されている。また、記録密度の向上
と共にトラック幅、ギャップ長が狭くなり要求寸法精度
も厳しくなってきている。
【0003】従来、磁気ヘッドのトラック幅を制御する
方法は、図10及び図11に示すように2種類に大別さ
れる。その一つは、図10に示すように、フェライトよ
りなる磁気コア半体101,102の突合わせ面にフロ
ントからバック部に亘って平面略半円弧状をなすトラッ
ク幅規制溝103,104を形成し、これらトラック幅
規制溝103,104内に融着ガラス105を充填せし
めてギャップ接合を行って磁気ギャップgを形成し、上
記トラック幅規制溝103,104によりトラック幅T
wを規制する。
方法は、図10及び図11に示すように2種類に大別さ
れる。その一つは、図10に示すように、フェライトよ
りなる磁気コア半体101,102の突合わせ面にフロ
ントからバック部に亘って平面略半円弧状をなすトラッ
ク幅規制溝103,104を形成し、これらトラック幅
規制溝103,104内に融着ガラス105を充填せし
めてギャップ接合を行って磁気ギャップgを形成し、上
記トラック幅規制溝103,104によりトラック幅T
wを規制する。
【0004】もう一つは、図11に示すように、磁気ギ
ャップg部の両端にテープ対接面から巻線溝106に至
るフロント部分にのみトラック幅規制溝103,104
を形成し、これらトラック幅規制103,104によっ
てトラック幅Twを制御する。
ャップg部の両端にテープ対接面から巻線溝106に至
るフロント部分にのみトラック幅規制溝103,104
を形成し、これらトラック幅規制103,104によっ
てトラック幅Twを制御する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記した双方のタイプ
ともトラック幅Twを制御する方法としては、接合する
前の磁気コア半体107に、予め図12に示すような適
当な角度θを持たせたトラック幅規制溝108を入れて
おき、所定のトラック幅寸法が得られるまで例えばX−
X線までギャップ面109の鏡面研磨を行う方法が採用
されている。
ともトラック幅Twを制御する方法としては、接合する
前の磁気コア半体107に、予め図12に示すような適
当な角度θを持たせたトラック幅規制溝108を入れて
おき、所定のトラック幅寸法が得られるまで例えばX−
X線までギャップ面109の鏡面研磨を行う方法が採用
されている。
【0006】しかしこの方法では、磁気コア半体107
の反り等によって全てのトラックの研磨が均等に進行し
ない為、研磨途中でトラック幅を測定しつつ全てのトラ
ックが同一寸法となるよう、一部に荷重をかける等の方
法で調節を行う必要がある。かかる工程は非常に作業効
率が悪く、また、トラック幅の寸法制御が容易でないた
め、寸法精度の確保も非常に困難である。
の反り等によって全てのトラックの研磨が均等に進行し
ない為、研磨途中でトラック幅を測定しつつ全てのトラ
ックが同一寸法となるよう、一部に荷重をかける等の方
法で調節を行う必要がある。かかる工程は非常に作業効
率が悪く、また、トラック幅の寸法制御が容易でないた
め、寸法精度の確保も非常に困難である。
【0007】一方、特性面ではトラック位置合わせの際
に生じるトラックずれによるサイドイレーズ、トラック
幅規制溝部でのクロストークといった問題を引き起こ
す。その他、ガラス部の段差や脱落によるテープ粉落
ち、テープへの傷付け等、媒体への悪影響も発生してい
る。さらに、ガラスの透過性が悪い場合、磁気ギャップ
のデプスの確認に困難をきたす。
に生じるトラックずれによるサイドイレーズ、トラック
幅規制溝部でのクロストークといった問題を引き起こ
す。その他、ガラス部の段差や脱落によるテープ粉落
ち、テープへの傷付け等、媒体への悪影響も発生してい
る。さらに、ガラスの透過性が悪い場合、磁気ギャップ
のデプスの確認に困難をきたす。
【0008】そこで本発明は、かかる従来の技術的な課
題を解消するべく提案されたものであって、磁気ヘッド
のトラック幅寸法制御が鏡面研磨に依存せず磁気コア基
板の接合後の溝加工によって高精度に仕上げることがで
きるトラック幅寸法精度の高い磁気ヘッド及びその製造
方法を提供することを目的とする。
題を解消するべく提案されたものであって、磁気ヘッド
のトラック幅寸法制御が鏡面研磨に依存せず磁気コア基
板の接合後の溝加工によって高精度に仕上げることがで
きるトラック幅寸法精度の高い磁気ヘッド及びその製造
方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対のフェラ
イトよりなる磁気コア基板がギャップ接合されて当該磁
気コア基板同士の突合わせ面間に磁気ギャップが形成さ
れてなる磁気ヘッドにおいて、上記磁気ギャップのトラ
ック幅方向における両端部にそれぞれ形成された段差部
によって、該磁気ギャップのトラック幅を規制すること
により、上述の課題を解決する。
イトよりなる磁気コア基板がギャップ接合されて当該磁
気コア基板同士の突合わせ面間に磁気ギャップが形成さ
れてなる磁気ヘッドにおいて、上記磁気ギャップのトラ
ック幅方向における両端部にそれぞれ形成された段差部
によって、該磁気ギャップのトラック幅を規制すること
により、上述の課題を解決する。
【0010】また、本発明に係る磁気ヘッドにおいて
は、磁気コア基板の突合わせ面に金属磁性膜を設けても
よく、その金属磁性膜を磁気ギャップと平行に配しても
よい。さらに、ギャップ接合を低温熱拡散接合としても
構わない。
は、磁気コア基板の突合わせ面に金属磁性膜を設けても
よく、その金属磁性膜を磁気ギャップと平行に配しても
よい。さらに、ギャップ接合を低温熱拡散接合としても
構わない。
【0011】一方、磁気ヘッドを製造するには、少なく
とも一方のフェライトよりなる磁気コアブロックの突合
わせ面に巻線溝を形成し、これら磁気コアブロック同士
をギャップ接合した後、磁気記録媒体と摺接する媒体摺
動面となる面にこれら磁気コアブロックの突合わせ面と
略直交又はアジマス角を持って且つ少なくとも巻線溝に
達する溝を、各溝間に残存する媒体摺動面の幅をトラッ
ク幅となるように形成して、各溝位置で切断することに
より各ヘッドチップとする。
とも一方のフェライトよりなる磁気コアブロックの突合
わせ面に巻線溝を形成し、これら磁気コアブロック同士
をギャップ接合した後、磁気記録媒体と摺接する媒体摺
動面となる面にこれら磁気コアブロックの突合わせ面と
略直交又はアジマス角を持って且つ少なくとも巻線溝に
達する溝を、各溝間に残存する媒体摺動面の幅をトラッ
ク幅となるように形成して、各溝位置で切断することに
より各ヘッドチップとする。
【0012】上記工程のうち巻線溝を形成した後、少な
くとも一方の磁気コアブロックの突合わせ面に金属磁性
膜を成膜する工程を入れる。さらに、ギャップ接合を低
温熱拡散接合してもよい。
くとも一方の磁気コアブロックの突合わせ面に金属磁性
膜を成膜する工程を入れる。さらに、ギャップ接合を低
温熱拡散接合してもよい。
【0013】
【作用】本発明に係る磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップのトラック幅方向における両端部にそれぞれ形成さ
れた段差部により、該磁気ギャップのトラック幅を規制
するようにしているので、鏡面研磨によるものと異なり
トラック幅精度が高く、しかもトラック位置ずれがなく
なる。したがって、サイドイレーズやクロストーク等の
発生が抑制される。
ップのトラック幅方向における両端部にそれぞれ形成さ
れた段差部により、該磁気ギャップのトラック幅を規制
するようにしているので、鏡面研磨によるものと異なり
トラック幅精度が高く、しかもトラック位置ずれがなく
なる。したがって、サイドイレーズやクロストーク等の
発生が抑制される。
【0014】一方、磁気ヘッドを製造するに当たって
は、磁気コアブロック同士をギャップ接合した後、媒体
摺動面となる面に砥石加工による溝を形成してトラック
幅を規制するようにしているので、鏡面研磨工程でトラ
ック幅を規制する必要が省ける。
は、磁気コアブロック同士をギャップ接合した後、媒体
摺動面となる面に砥石加工による溝を形成してトラック
幅を規制するようにしているので、鏡面研磨工程でトラ
ック幅を規制する必要が省ける。
【0015】また、ストレート溝加工であるのでトラッ
ク幅の制御が平面的に行う鏡面研磨に比べて比較的容易
に制御可能となり、高精度なトラック幅寸法を持つ磁気
ヘッドが得られる。さらに、この方法によれば、ギャッ
プ接合した後にトラック幅出しを行うために、トラック
ずれの発生は皆無でありサイドイレーズの問題も生じな
い。
ク幅の制御が平面的に行う鏡面研磨に比べて比較的容易
に制御可能となり、高精度なトラック幅寸法を持つ磁気
ヘッドが得られる。さらに、この方法によれば、ギャッ
プ接合した後にトラック幅出しを行うために、トラック
ずれの発生は皆無でありサイドイレーズの問題も生じな
い。
【0016】最終的なヘッド形状では媒体摺動面にトラ
ック幅規制溝がなくなることから、当該トラック幅規制
溝部でのクロストークの発生もなくなる。また、媒体摺
動面上ガラスがないため、ガラス部の段差や脱落による
媒体への悪影響が妨げ良好な摺動性が得られる。さら
に、本発明方法で得られた磁気ヘッドにおいては、デプ
ス部を直視できるため、デプス長の確認も容易に行え
る。
ック幅規制溝がなくなることから、当該トラック幅規制
溝部でのクロストークの発生もなくなる。また、媒体摺
動面上ガラスがないため、ガラス部の段差や脱落による
媒体への悪影響が妨げ良好な摺動性が得られる。さら
に、本発明方法で得られた磁気ヘッドにおいては、デプ
ス部を直視できるため、デプス長の確認も容易に行え
る。
【0017】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら説明する。実施 例1 本実施例の磁気ヘッドは、フェライトコアのみによって
閉磁路を構成するようにした,いわゆるフェライトヘッ
ドの例である。
いて図面を参照しながら説明する。実施 例1 本実施例の磁気ヘッドは、フェライトコアのみによって
閉磁路を構成するようにした,いわゆるフェライトヘッ
ドの例である。
【0018】かかる磁気ヘッドは、図6に示すように、
一対の磁気コア基板1,2を有し、これら磁気コア基板
1,2がギャップ接合されることにより、当該突合わせ
面1a,2aに記録再生ギャップとして機能する磁気ギ
ャップgを形成するようになっている。
一対の磁気コア基板1,2を有し、これら磁気コア基板
1,2がギャップ接合されることにより、当該突合わせ
面1a,2aに記録再生ギャップとして機能する磁気ギ
ャップgを形成するようになっている。
【0019】上記磁気コア基板1,2は、酸化物磁性材
料よりなるフェライトからなるもので磁路を構成する。
かかる磁気コア基板1,2には、相対向する突合わせ面
1a,2aに磁気ギャップgのデプスを規制する巻線溝
3,4とガラス溝5,6が形成されている。
料よりなるフェライトからなるもので磁路を構成する。
かかる磁気コア基板1,2には、相対向する突合わせ面
1a,2aに磁気ギャップgのデプスを規制する巻線溝
3,4とガラス溝5,6が形成されている。
【0020】巻線溝3,4は、磁気コア基板1,2の突
合わせ面1a,2aに対して傾斜して設けられる傾斜面
3a,4aと、該突合わせ面1a,2aと平行な巻線巻
装面3b,4bと、該突合わせ面1a,2aと垂直な面
3c,4cを有した溝として形成されている。
合わせ面1a,2aに対して傾斜して設けられる傾斜面
3a,4aと、該突合わせ面1a,2aと平行な巻線巻
装面3b,4bと、該突合わせ面1a,2aと垂直な面
3c,4cを有した溝として形成されている。
【0021】上記傾斜面3a,4aは、磁気ギャップg
のデプスを規制する役目をすると共に、巻線溝3,4部
でのリークを回避する役目をする。また、巻線巻装面3
b,4bは、巻線を巻装させる役目をし、必要に応じた
巻線数が巻装し得るに足る長さに形成されている。な
お、上記相対向する傾斜面3a,4aで挟まれる領域に
は、磁気コア基板1,2同士の接合強度を確保するため
の融着ガラス8が充填されている。
のデプスを規制する役目をすると共に、巻線溝3,4部
でのリークを回避する役目をする。また、巻線巻装面3
b,4bは、巻線を巻装させる役目をし、必要に応じた
巻線数が巻装し得るに足る長さに形成されている。な
お、上記相対向する傾斜面3a,4aで挟まれる領域に
は、磁気コア基板1,2同士の接合強度を確保するため
の融着ガラス8が充填されている。
【0022】上記ガラス溝5,6は、磁気ギャップgが
呈する磁気記録媒体と摺接する媒体摺動面7とは反対側
のバック側に設けられている。かかるガラス溝5,6
は、その溝内に融着ガラス8を充填させてこれら磁気コ
ア基板1,2同士を強固に固定させる役目をする。
呈する磁気記録媒体と摺接する媒体摺動面7とは反対側
のバック側に設けられている。かかるガラス溝5,6
は、その溝内に融着ガラス8を充填させてこれら磁気コ
ア基板1,2同士を強固に固定させる役目をする。
【0023】一方、磁気コア基板1,2の突合わせ面1
a,2aと反対側の側面1b,2bには、上記巻線巻装
面3b,3bと相対向する位置に巻線補助溝9,10が
形成されている。かかる巻線補助溝9,10は、巻線巻
装面3b,4bに巻装される巻線の巻装状態を良好なも
のとなすための補助的溝として断面略コ字状をなす溝と
して形成されている。
a,2aと反対側の側面1b,2bには、上記巻線巻装
面3b,3bと相対向する位置に巻線補助溝9,10が
形成されている。かかる巻線補助溝9,10は、巻線巻
装面3b,4bに巻装される巻線の巻装状態を良好なも
のとなすための補助的溝として断面略コ字状をなす溝と
して形成されている。
【0024】そして特に、本実施例の磁気ヘッドにおい
ては、磁気ギャップgのトラック幅方向における両端部
にそれぞれ段差部11,12が形成されている。かかる
段差部11,12は、円弧状とされる媒体摺動面7を所
定幅に残存させるように、磁気ギャップgのトラック幅
方向における両端部に少なくともギャップデプスよりも
深く且つ磁気ギャップgと直交する又は所定のアジマス
角を持ったストレート溝として形成されることにより、
該磁気ギャップgのトラック幅Twを規制するようにな
っている。
ては、磁気ギャップgのトラック幅方向における両端部
にそれぞれ段差部11,12が形成されている。かかる
段差部11,12は、円弧状とされる媒体摺動面7を所
定幅に残存させるように、磁気ギャップgのトラック幅
方向における両端部に少なくともギャップデプスよりも
深く且つ磁気ギャップgと直交する又は所定のアジマス
角を持ったストレート溝として形成されることにより、
該磁気ギャップgのトラック幅Twを規制するようにな
っている。
【0025】つまり、本実施例の磁気ヘッドでは、磁気
ギャップgのトラック幅Twを、当該磁気ギャップgの
トラック幅方向における両端部に設けた段差部11,1
2によって規制する構成とされている。したがって、媒
体摺動面7には、トラック幅を規制する溝がなく、また
融着ガラス8も露出しないようになっている。
ギャップgのトラック幅Twを、当該磁気ギャップgの
トラック幅方向における両端部に設けた段差部11,1
2によって規制する構成とされている。したがって、媒
体摺動面7には、トラック幅を規制する溝がなく、また
融着ガラス8も露出しないようになっている。
【0026】上記のように媒体摺動面7にトラック幅規
制溝や融着ガラスが存在しない構造とすると、溝部での
クロストークの発生が防止できると共に、ガラス部の段
差や脱落によるテープの粉落ち、テープへの傷付き等、
媒体への悪影響を回避することができる。また、かかる
段差部11,12は、磁気ギャップgのデプスよりも深
い位置まで形成されているので、ギャップデプスの確認
を目視により判断することができ、その確認も容易に行
える。
制溝や融着ガラスが存在しない構造とすると、溝部での
クロストークの発生が防止できると共に、ガラス部の段
差や脱落によるテープの粉落ち、テープへの傷付き等、
媒体への悪影響を回避することができる。また、かかる
段差部11,12は、磁気ギャップgのデプスよりも深
い位置まで形成されているので、ギャップデプスの確認
を目視により判断することができ、その確認も容易に行
える。
【0027】なお、上記の例では、磁気コア基板1,2
同士を融着ガラス8により接合一体化したが、これら磁
気コア基板1,2の接合を低温熱拡散接合によって接合
するようにしてもよい。低温熱拡散接合は、例えば磁気
コア基板1,2の突合わせ面1a,2aにそれぞれAu
等の如き金属膜を成膜し、これら金属膜同士を突合わせ
所定の圧力を加えながら低温の熱を加え、当該金属の熱
拡散により接合させる手法である。
同士を融着ガラス8により接合一体化したが、これら磁
気コア基板1,2の接合を低温熱拡散接合によって接合
するようにしてもよい。低温熱拡散接合は、例えば磁気
コア基板1,2の突合わせ面1a,2aにそれぞれAu
等の如き金属膜を成膜し、これら金属膜同士を突合わせ
所定の圧力を加えながら低温の熱を加え、当該金属の熱
拡散により接合させる手法である。
【0028】低温熱拡散接合によれば、金属膜同士の熱
拡散により磁気コア基板1,2同士を接合一体化できる
ため、融着条件等の面で取扱いが面倒な融着ガラスを不
要とすることができる。
拡散により磁気コア基板1,2同士を接合一体化できる
ため、融着条件等の面で取扱いが面倒な融着ガラスを不
要とすることができる。
【0029】この他、図7に示すように、トラック幅T
w部分を除いた部分である両段差部11,12にバック
側にへ亘る円弧状の溝13を形成し、その溝13を埋め
尽くすように融着ガラス8を充填するようにしてもよ
い。かかる構成とすることにより、融着ガラス8の充填
量が増え、これら磁気コア基板1,2同士の接合強度が
一層高まる。
w部分を除いた部分である両段差部11,12にバック
側にへ亘る円弧状の溝13を形成し、その溝13を埋め
尽くすように融着ガラス8を充填するようにしてもよ
い。かかる構成とすることにより、融着ガラス8の充填
量が増え、これら磁気コア基板1,2同士の接合強度が
一層高まる。
【0030】実施例2 この実施例の磁気ヘッドは、先の実施例1の磁気ヘッド
における各磁気コア基板1,2の突合わせ面1a,2a
にそれぞれ金属磁性膜14,15を成膜した、いわゆる
メタルインギャップヘッド(MIGヘッド)の例であ
る。
における各磁気コア基板1,2の突合わせ面1a,2a
にそれぞれ金属磁性膜14,15を成膜した、いわゆる
メタルインギャップヘッド(MIGヘッド)の例であ
る。
【0031】かかる磁気ヘッドは、金属磁性膜14,1
5を主コアとしフェライトを補助コアとするようにした
他は、実施例1の磁気ヘッドと全く同じ構成である。し
たがって、実施例1と同じ部材には同一の符号を付する
と共に、その説明も省略するものとする。
5を主コアとしフェライトを補助コアとするようにした
他は、実施例1の磁気ヘッドと全く同じ構成である。し
たがって、実施例1と同じ部材には同一の符号を付する
と共に、その説明も省略するものとする。
【0032】この磁気ヘッドでは、媒体摺動面7におい
て金属磁性膜14,15が磁気ギャップgと平行に配さ
れ、これら金属磁性膜14,15の突合わせ面間に磁気
ギャップgが形成されている。金属磁性膜14,15
は、巻線溝3,4及びガラス溝5,6を含めて媒体摺動
面7からバック面に亘って連続した膜として形成されて
いる。
て金属磁性膜14,15が磁気ギャップgと平行に配さ
れ、これら金属磁性膜14,15の突合わせ面間に磁気
ギャップgが形成されている。金属磁性膜14,15
は、巻線溝3,4及びガラス溝5,6を含めて媒体摺動
面7からバック面に亘って連続した膜として形成されて
いる。
【0033】上記金属磁性膜14,15には、例えば、
従来より公知の高飽和磁束密度且つ軟磁気特性に優れた
強磁性金属材料が使用され、結晶質、非晶質を問わな
い。例示するならば、Fe系合金、Fe−Ni系合金、
Fe−C系合金、Fe−Al−Si系合金、Fe−Ga
−Si系合金、Fe−Al−Ge系合金、Fe−Ga−
Ge系合金、Fe−Si−Ge系合金、Fe−Co−S
i系合金、Fe−Ru−Ga−Si系合金、Fe−Co
−Si−Al系合金等の結晶質材や、Co−Zr−N
b、Co−Zr−Nb−Ta、Co−Zr−Pd−M
o、Co−Zr−Pd−Ru等のアモルファス合金が挙
げられる。
従来より公知の高飽和磁束密度且つ軟磁気特性に優れた
強磁性金属材料が使用され、結晶質、非晶質を問わな
い。例示するならば、Fe系合金、Fe−Ni系合金、
Fe−C系合金、Fe−Al−Si系合金、Fe−Ga
−Si系合金、Fe−Al−Ge系合金、Fe−Ga−
Ge系合金、Fe−Si−Ge系合金、Fe−Co−S
i系合金、Fe−Ru−Ga−Si系合金、Fe−Co
−Si−Al系合金等の結晶質材や、Co−Zr−N
b、Co−Zr−Nb−Ta、Co−Zr−Pd−M
o、Co−Zr−Pd−Ru等のアモルファス合金が挙
げられる。
【0034】もちろん、一般に使用されるアモルファス
合金(例えばFe,Ni,Coのうち1以上の元素と、
P,C,B,Siのうち1以上の元素とからなる合金、
またこれを主成分としたAl,Be,Sn,In,M
o,W,Ti,Mn,Cr,Hf,Nb等を含んだ合金
等のメタルーメタロイド系、或いはCo−Zr,Co−
Hf等の遷移元素を主成分とする合金、またはこれらに
希土類元素を添加した合金等のメタルーメタル系アモル
ファス合金)等も使用可能である。
合金(例えばFe,Ni,Coのうち1以上の元素と、
P,C,B,Siのうち1以上の元素とからなる合金、
またこれを主成分としたAl,Be,Sn,In,M
o,W,Ti,Mn,Cr,Hf,Nb等を含んだ合金
等のメタルーメタロイド系、或いはCo−Zr,Co−
Hf等の遷移元素を主成分とする合金、またはこれらに
希土類元素を添加した合金等のメタルーメタル系アモル
ファス合金)等も使用可能である。
【0035】また、上記金属磁性膜14,15は単層の
膜であってもよいが、高周波領域での渦電流損失を低減
させるために、薄膜の金属磁性層と非磁性絶縁層を交互
に積層してなる積層膜構造としてもよい。この場合、非
磁性絶縁層には、例えばSiO2 ,Ta2 O5 ,Al2
O3 ,ZrO2 ,Si3 N4 等の如き材料よりなる膜が
使用できる。
膜であってもよいが、高周波領域での渦電流損失を低減
させるために、薄膜の金属磁性層と非磁性絶縁層を交互
に積層してなる積層膜構造としてもよい。この場合、非
磁性絶縁層には、例えばSiO2 ,Ta2 O5 ,Al2
O3 ,ZrO2 ,Si3 N4 等の如き材料よりなる膜が
使用できる。
【0036】以上のようにして構成されたメタルインギ
ャップヘッドでは、フェライトコアに加えて強磁性材料
である金属磁性膜14,15を主コアとしているので、
ヘッド出力が向上し、メタルテープ等の高保持力を有す
る磁気記録媒体に対しても良好に記録再生することがで
きる。特に、メタルインギャップヘッドでは、ギャップ
接合を融着ガラス8ではなく、Au等による低温熱拡散
接合とすれば、金属磁性膜14,15として磁気特性に
優れたアモルファス合金膜を使用することができ、さら
に高出力化を図れる。低温熱拡散接合は融着ガラスに比
べて低温でギャップ接合できるからである。
ャップヘッドでは、フェライトコアに加えて強磁性材料
である金属磁性膜14,15を主コアとしているので、
ヘッド出力が向上し、メタルテープ等の高保持力を有す
る磁気記録媒体に対しても良好に記録再生することがで
きる。特に、メタルインギャップヘッドでは、ギャップ
接合を融着ガラス8ではなく、Au等による低温熱拡散
接合とすれば、金属磁性膜14,15として磁気特性に
優れたアモルファス合金膜を使用することができ、さら
に高出力化を図れる。低温熱拡散接合は融着ガラスに比
べて低温でギャップ接合できるからである。
【0037】なお、このメタルインギャップヘッドにお
いても実施例1の図7のヘッドのように、トラック幅T
w部分を除いた部分である両段差部11,12にバック
側へ亘る円弧状の溝13を形成し、その溝13を埋め尽
くすように融着ガラス8を充填して、磁気コア基板1,
2同士の接合強度を高めるようにしてもよい。
いても実施例1の図7のヘッドのように、トラック幅T
w部分を除いた部分である両段差部11,12にバック
側へ亘る円弧状の溝13を形成し、その溝13を埋め尽
くすように融着ガラス8を充填して、磁気コア基板1,
2同士の接合強度を高めるようにしてもよい。
【0038】実施例3 実施例3では、図6に示したフェライトのみからなる磁
気ヘッドの製造方法について説明する。
気ヘッドの製造方法について説明する。
【0039】先ず、図1に示すように、フェライトから
なる平板状の磁気ヘッド用コア基板16を作製する。か
かる磁気ヘッド用コア基板16には、例えばMn−Zn
フェライトやNi−Znフェライト等の酸化物磁性材料
からなる基板が使用できる。本実施例ではMn−Znフ
ェライト基板を使した。
なる平板状の磁気ヘッド用コア基板16を作製する。か
かる磁気ヘッド用コア基板16には、例えばMn−Zn
フェライトやNi−Znフェライト等の酸化物磁性材料
からなる基板が使用できる。本実施例ではMn−Znフ
ェライト基板を使した。
【0040】次に、上記磁気ヘッド用コア基板16の磁
気ギャップ形成面となる主面16aに、図2に示すよう
に巻線溝17とガラス溝18を交互に所定ピッチで複数
形成する。巻線溝17とガラス溝18は、互いに平行と
なるように形成する。
気ギャップ形成面となる主面16aに、図2に示すよう
に巻線溝17とガラス溝18を交互に所定ピッチで複数
形成する。巻線溝17とガラス溝18は、互いに平行と
なるように形成する。
【0041】次いで、上記磁気ヘッド用コア基板16の
主面16aを鏡面研磨した後、スライシングして2分す
ることにより、図3に示す如き一対の磁気コアブロック
19,20を作製する。なお、メタルインギャップヘッ
ドの場合は、ここで磁気コアブロック19,20の巻線
溝17等が形成される突合わせ面となるギャップ形成面
19a,20aに、センダスト等の金属磁性材料をスッ
パタする。
主面16aを鏡面研磨した後、スライシングして2分す
ることにより、図3に示す如き一対の磁気コアブロック
19,20を作製する。なお、メタルインギャップヘッ
ドの場合は、ここで磁気コアブロック19,20の巻線
溝17等が形成される突合わせ面となるギャップ形成面
19a,20aに、センダスト等の金属磁性材料をスッ
パタする。
【0042】次に、各磁気コアブロック19,20のギ
ャップ形成面19a,20aにSiO2 等の非磁性材料
からなるギャップ膜(図示は省略する。)を成膜する。
ギャップ膜は、作製する磁気ヘッドのギャップ長の半
分になるように、それぞれのギャップ形成面19a,2
0aに成膜する。
ャップ形成面19a,20aにSiO2 等の非磁性材料
からなるギャップ膜(図示は省略する。)を成膜する。
ギャップ膜は、作製する磁気ヘッドのギャップ長の半
分になるように、それぞれのギャップ形成面19a,2
0aに成膜する。
【0043】しかる後、図4に示すように、これら磁気
コアブロック19,20同士を突き合わせた後、相対向
する巻線溝17とガラス溝18内にそれぞれガラス棒
(図示は省略する。)を挿入して溶融せしめる。この結
果、上記ガラス棒が溶けて、当該融着ガラス21によっ
て磁気コアブロック19,20が接合一体されて磁気コ
アブロック22を得る。
コアブロック19,20同士を突き合わせた後、相対向
する巻線溝17とガラス溝18内にそれぞれガラス棒
(図示は省略する。)を挿入して溶融せしめる。この結
果、上記ガラス棒が溶けて、当該融着ガラス21によっ
て磁気コアブロック19,20が接合一体されて磁気コ
アブロック22を得る。
【0044】なお、上記磁気コアブロック19,20を
ギャップ接合するには、上記ガラス融着の他に、金属の
拡散を応用した低温熱拡散接合を用いても構わない。
ギャップ接合するには、上記ガラス融着の他に、金属の
拡散を応用した低温熱拡散接合を用いても構わない。
【0045】次に、磁気コアブロック21の媒体摺動面
となる面22aに円筒研磨を施す。次いで、図5に示す
ように、その研磨した円筒状をなす面に砥石研磨によ
り、突き合わせ面と直交する方向にストレート溝23
を、各溝23間に残存する媒体摺動面の幅がトラック幅
Twとなるように形成する。
となる面22aに円筒研磨を施す。次いで、図5に示す
ように、その研磨した円筒状をなす面に砥石研磨によ
り、突き合わせ面と直交する方向にストレート溝23
を、各溝23間に残存する媒体摺動面の幅がトラック幅
Twとなるように形成する。
【0046】なお、磁気ギャップgにアジマス角を付与
する場合には、磁気コアブロック19,20の突き合わ
せ面に対してアジマス角分だけ傾けて溝23を形成す
る。
する場合には、磁気コアブロック19,20の突き合わ
せ面に対してアジマス角分だけ傾けて溝23を形成す
る。
【0047】そして、図5中点線で示す各溝23位置で
切断することにより、各ヘッドチップに切り出す。例え
ば、図5中線a−b及びc−dで示す位置でスライジン
グする。しかる後、各ヘッドッチップを所定の形状に整
えることにより、図6に示すような磁気ヘッドが完成す
る。
切断することにより、各ヘッドチップに切り出す。例え
ば、図5中線a−b及びc−dで示す位置でスライジン
グする。しかる後、各ヘッドッチップを所定の形状に整
えることにより、図6に示すような磁気ヘッドが完成す
る。
【0048】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る磁気ヘッドにおいては、磁気ギャップのトラッ
ク幅方向における両端部にそれぞれ形成した段差部によ
り、該磁気ギャップのトラック幅を規制しているので、
鏡面研磨によるものと異なりトラック幅精度を高精度な
ものとすることができると共に、トラック位置ずれを無
くすことができる。したがって、サイドイレーズやクロ
ストーク等の発生を抑制することができ、高密度記録媒
体に対しても良好に記録再生することができる。
明に係る磁気ヘッドにおいては、磁気ギャップのトラッ
ク幅方向における両端部にそれぞれ形成した段差部によ
り、該磁気ギャップのトラック幅を規制しているので、
鏡面研磨によるものと異なりトラック幅精度を高精度な
ものとすることができると共に、トラック位置ずれを無
くすことができる。したがって、サイドイレーズやクロ
ストーク等の発生を抑制することができ、高密度記録媒
体に対しても良好に記録再生することができる。
【0049】一方、本発明の磁気ヘッドの製造方法にお
いては、磁気コアブロック同士をギャップ接合した後、
媒体摺動面となる面に砥石加工によるストレート溝を形
成してトラック幅を規制するようにしているので、鏡面
研磨工程でトラック幅を規制する必要が省けると共に、
トラック幅制御が鏡面研磨に比べて容易に制御でき、高
精度なトラック幅寸法を持つ磁気ヘッドを得ることがで
きる。
いては、磁気コアブロック同士をギャップ接合した後、
媒体摺動面となる面に砥石加工によるストレート溝を形
成してトラック幅を規制するようにしているので、鏡面
研磨工程でトラック幅を規制する必要が省けると共に、
トラック幅制御が鏡面研磨に比べて容易に制御でき、高
精度なトラック幅寸法を持つ磁気ヘッドを得ることがで
きる。
【0050】さらに、本発明の方法によれば、ギャップ
接合した後にトラック幅出しを行うため、トラックずれ
の発生は皆無でありサイドイレーズの問題も生じない。
また、最終的なヘッド形状では媒体摺動面にトラック幅
規制溝及びガラスが存在しないことから、当該トラック
幅規制溝部でのクロストークの発生が防止されると共
に、ガラス部の段差や脱落による媒体への悪影響が妨
げ、良好な摺動特性を得ることができる。また、本発明
方法で得られた磁気ヘッドにおいては、デプス部を直視
できるため、デプス長の確認も容易に行える。
接合した後にトラック幅出しを行うため、トラックずれ
の発生は皆無でありサイドイレーズの問題も生じない。
また、最終的なヘッド形状では媒体摺動面にトラック幅
規制溝及びガラスが存在しないことから、当該トラック
幅規制溝部でのクロストークの発生が防止されると共
に、ガラス部の段差や脱落による媒体への悪影響が妨
げ、良好な摺動特性を得ることができる。また、本発明
方法で得られた磁気ヘッドにおいては、デプス部を直視
できるため、デプス長の確認も容易に行える。
【図1】実施例1の磁気ヘッドを順次作製する工程を示
すもので、磁気ヘッド用コア基板を示す斜視図である。
すもので、磁気ヘッド用コア基板を示す斜視図である。
【図2】実施例1の磁気ヘッドを順次作製する工程を示
すもので、巻線溝、ガラス溝を形成する工程を示す斜視
図である。
すもので、巻線溝、ガラス溝を形成する工程を示す斜視
図である。
【図3】実施例1の磁気ヘッドを順次作製する工程を示
すもので、接合する前の磁気コアブロックを示す斜視図
である。
すもので、接合する前の磁気コアブロックを示す斜視図
である。
【図4】実施例1の磁気ヘッドを順次作製する工程を示
すもので、ガラス融着によって接合された磁気コアブッ
ロクを示す斜視図である。
すもので、ガラス融着によって接合された磁気コアブッ
ロクを示す斜視図である。
【図5】実施例1の磁気ヘッドを順次作製する工程を示
すもので、摺動面の円筒研磨を行う工程とトラック幅を
制御するための溝入れ工程を示す斜視図である。
すもので、摺動面の円筒研磨を行う工程とトラック幅を
制御するための溝入れ工程を示す斜視図である。
【図6】実施例1のフェライト単体からなる磁気ヘッド
の斜視図である。
の斜視図である。
【図7】実施例1のフェライト単体からなる磁気ヘッド
の他の例を示すもので、トラック幅以外の部分に溝を形
成した磁気ヘッドの斜視図である。
の他の例を示すもので、トラック幅以外の部分に溝を形
成した磁気ヘッドの斜視図である。
【図8】実施例2のメタルインギャップ型の磁気ヘッド
の斜視図である。
の斜視図である。
【図9】実施例2のメタルインギャップ型の磁気ヘッド
の他の例を示すもので、トラック幅以外の部分に溝を形
成した磁気ヘッドの斜視図である。
の他の例を示すもので、トラック幅以外の部分に溝を形
成した磁気ヘッドの斜視図である。
【図10】従来のフェライト単体からなる磁気ヘッドの
斜視図である。
斜視図である。
【図11】従来のフェライト単体からなる磁気ヘッドの
他の例を示す斜視図である。
他の例を示す斜視図である。
【図12】平面研磨によってトラック幅出しを行う方法
を示す要部拡大断面図である。
を示す要部拡大断面図である。
1,2・・・磁気コア基板 3,4・・・巻線溝 5,6・・・ガラス溝 7・・・媒体摺動面 8・・・融着ガラス 9,10・・・巻線補助溝 11,12・・・段差部 14,15・・・金属磁性膜 19,20・・・磁気コアブロック
Claims (7)
- 【請求項1】 一対のフェライトよりなる磁気コア基板
がギャップ接合されて当該磁気コア基板同士の突合わせ
面間に磁気ギャップが形成されてなる磁気ヘッドにおい
て、 上記磁気ギャップのトラック幅方向における両端部にそ
れぞれ形成された段差部により、該磁気ギャップのトラ
ック幅が規制されたことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項2】 少なくとも一方の磁気コア基板の突合わ
せ面に金属磁性膜が形成されていることを特徴とする請
求項1記載の磁気ヘッド。 - 【請求項3】 金属磁性膜が磁気ギャップと平行である
ことを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド。 - 【請求項4】 ギャップ接合を低温熱拡散接合としてな
る請求項1〜3のうちいずれか1記載の磁気ヘッド。 - 【請求項5】 少なくとも一方のフェライトよりなる磁
気コアブロックの突合わせ面に巻線溝を形成し、これら
磁気コアブロック同士をギャップ接合した後、磁気記録
媒体と摺接する媒体摺動面となる面にこれら磁気コアブ
ロックの突合わせ面と略直交又はアジマス角を持って且
つ少なくとも巻線溝に達する溝を、各溝間に残存する媒
体摺動面の幅がトラック幅となるように形成して、各溝
位置で切断することにより各ヘッドチップとすることを
特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項6】 巻線溝を形成した後、少なくとも一方の
磁気コアブロックの突合わせ面に金属磁性膜を成膜する
ことを特徴とする請求項5記載の磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項7】 ギャップ接合を低温熱拡散接合とするこ
とを特徴とする請求項5又は6記載の磁気ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29451293A JPH07129910A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29451293A JPH07129910A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07129910A true JPH07129910A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17808743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29451293A Pending JPH07129910A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07129910A (ja) |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP29451293A patent/JPH07129910A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030603 |