JPH07142529A - 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法 - Google Patents

電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法

Info

Publication number
JPH07142529A
JPH07142529A JP5288958A JP28895893A JPH07142529A JP H07142529 A JPH07142529 A JP H07142529A JP 5288958 A JP5288958 A JP 5288958A JP 28895893 A JP28895893 A JP 28895893A JP H07142529 A JPH07142529 A JP H07142529A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
heater block
lead
block body
pressing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5288958A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Kurato
健二 蔵藤
Hiroshi Kameda
寛 亀田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP5288958A priority Critical patent/JPH07142529A/ja
Publication of JPH07142529A publication Critical patent/JPH07142529A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • H10W72/07178Means for aligning
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 リードフレームにおけるリード端子の押さえ
込み固定状態を安定させ、ワイヤボンディングにおける
信頼性を向上する。 【構成】 リードフレームAにおける半導体素子を搭載
するアイランド部A1と、前記半導体素子と接続する複
数のリード端子A2と、に対して当接することにより加
熱するためのヒータブロック体1と、該ヒータブロック
体に向かって下動し、各前記リード端子に当接する押さ
え体5と、を備えてなる押さえ装置において、前記リー
ドフレームを前記ヒータブロック体上に載置するとき、
各前記リード端子の先端部に対向する突起部4を、前記
ヒータブロック体上に形成したことを特徴とする電子部
品用リードフレームの押さえ装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、IC又はトラジンスタ
ー等の電子部品の製造に際して使用するリードフレーム
において、このリードフレームにおける、半導体素子を
搭載したアイランド部と、複数本の各リード端子との間
を、細い金属線にてワイヤーボンディングする等の場合
に、リードフレームにおけるアイランド部及び各リード
端子を、リードフレームを載せたヒータブロック体に対
して押さえ込むための押さえ装置およびこれを用いたリ
ード押さえ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、リードフレームにおいて、その
アイランド部に搭載した半導体素子と各リード端子との
間のワイヤーボンディング等を行うに際しては、例え
ば、特開昭55ー71051号公報等に記載されている
ように、抜き窓を備えた押さえ体にて、リードフレーム
における各リード端子を、当該リードフレームを載せた
ヒータブロック体の上面に対して押さえ込み、この押さ
え込み状態で、前記押さえ体における抜き窓内におい
て、前記ワイヤーボンディングをすることが行われる。
【0003】ところが、取り扱うリードフレームが、成
形用打ち抜き金型を用いて加工されたものである場合に
は、図7および図8に示すような、リードフレームAの
アイランド部A1を各リード端子A2より適宜寸法だけ
低くするようにしたダウンセット型を例にとると、前記
した押さえ体21による押さえ込みに際して、以下に述
べるような問題が発生するのであった。
【0004】すなわち、従来、ダウンセット型リードフ
レームAを取り扱う場合には、図9に示すように、ヒー
タブロック体22として、上面に、リードフレームAに
おけるダウンセットのアイランド部A1が嵌まる凹所2
3と、前記アイランド部A1に対する少なくとも一対の
吊りリードA3が嵌まる凹み溝24とを設けたヒータブ
ロック体22を使用し、このヒータブロック体22の上
面に、前記ダウンセット型リードフレームAを、そのア
イランド部A1が凹所23内に、各吊りリードA3に凹
み溝24内に各々嵌まるように載せた後、抜き窓25を
備えた押さえ体21の下降動によって、図10に示すよ
うに、各吊りリードA3を、押さえ体21にて下向きに
押さえることによって、この吊りリードA3にて支持す
るアイランド部A1を、ヒータブロック体22における
凹所23の底面に対して密着・固定すると同時に、前記
リードフレームAにおける各リード端子A2を前記ヒー
タブロック体22の上面に対して押さえ込み固定するこ
とが行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記リ
ードフレームAにおける各リード端子A2は、これを打
ち抜き加工により形成される際に生じる塑性変形によ
り、その断面における下面形状が、図11および図12
に示すように、先端部分A21で平坦状であるものの、
それ以外の部分で先端部分A21よりも厚さが大きく、
且つ、略中央に頂角部A22を有する角状となっている
ので、前記ヒータブロック体22の上面に対して押さえ
込み固定される際に、ヒータブロック体22との接触部
が、前記頂角部A22となることから、図13に示すよ
うに、先端部分A21がヒータブロック体22から浮い
た状態となる等、固定状態が非常に不安定となるため、
ワイヤボンディング時にリード端子A2にかかる荷重が
一定しなかったり、ボンディング位置にばらつきが生じ
たりする等により、ワイヤボンディングにおける信頼性
が著しく低下していた。
【0006】本発明は、以上のような状況下で考え出さ
れたもので、リードフレームにおけるリード端子の押さ
え込み固定状態を安定させ、ワイヤボンディングにおけ
る信頼性を向上することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、リードフレームにおける半導体素子を搭
載するアイランド部と、前記半導体素子と接続する複数
のリード端子と、に対して当接することにより加熱する
ためのヒータブロック体と、該ヒータブロック体に向か
って下動し、各前記リード端子に当接する押さえ体と、
を備えてなる押さえ装置において、前記リードフレーム
を前記ヒータブロック体上に載置するとき、各前記リー
ド端子の先端部に対向する突起部を、前記ヒータブロッ
ク体上に形成したことを特徴とする電子部品用リードフ
レームの押さえ装置を提供するものである。
【0008】また、本発明は、更に、半導体素子を搭載
するアイランド部と、前記半導体素子と接続する複数の
リード端子と、を有するリードフレームを、各前記リー
ド端子の先端部を、ヒータブロック体上に形成した突起
部と対向するように載置し、ヒータブロック体に対して
下動する押さえ体により、各前記リード端子を押さえる
ことを特徴とする電子部品用リードフレームの押さえ方
法を提供し得る。
【0009】本発明の突起部は、その形状について、凸
状、階段状、湾曲状または傾斜状等のものを広く含んで
いる。
【0010】
【作用および効果】本発明によれば、リードフレームに
おける半導体素子と各リード端子とを、ワイヤーとして
の金属線を介して電気的に接続するワイヤーボンディン
グに際して、各リード端子は、ワイヤーをボンディング
される部位であるその先端部がヒータブロック体上に形
成した突起部に確実に当接するように載置され、この状
態で押さえ体によりヒータブロック体上に押さえられ固
定されるので、該ヒータブロック体上における固定状態
が非常に安定し、常に一定したボンディング荷重で、同
一のボンディング位置に、ワイヤーボンディングされる
ため、ワイヤボンディングにおける信頼性は著しく向上
し得る。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1乃至図6を参
照しつつ説明する。図1乃至図3は、半導体素子Bを搭
載するアイランド部A1を、各リード端子A2より適宜
寸法だけ低くするようにしたダウンセット型のリードフ
レームAを用いた場合を例にとった、第一の実施例を示
す。
【0012】この図において符号1は、内部に図示しな
い加熱ヒータを備えたヒータブロック体を示し、このヒ
ータブロック体1の上面には、当該上面に前記したダウ
ンセット型のリードフレームAを載せたとき、リードフ
レームAにおけるアイランド部A1が嵌まる凹所2と、
アイランド部A1に対する各吊りリードA3が嵌まる凹
み溝3とが刻設され、この凹所2の外周縁に沿って一定
幅および一定高さを有する階段状の突起部4が、リード
フレームAにおけるリード端子A2と当接する位置に、
凹み溝3を基準に対向して二箇所に形成されている。
【0013】本実施例での上記突起部4は、その形状を
階段状としているが、これに限定するものでなく、凹所
2から外側にいくにしたがって高さが低くなる傾斜状等
としてもよい。また、上記突起部4の形成箇所は、これ
を限定されるものでなく、各リード端子A2と当接する
箇所に形成していれば、それぞれの箇所に多数個形成し
てもよい。
【0014】また、符号5は、前記ヒータブロック体1
の上方に上下動するように配設した板状の押さえ体を示
し、この押さえ体5には、内部においてワイヤーボンデ
ィング作業を行うための抜き窓6が穿設され、且つ、こ
の押さえ体5の下面には、押さえ突起部7が、前記抜き
窓6の全周囲を囲うように、一体的に造形され、押さえ
体5をヒータブロック体1に向かって下降動したとき、
この押圧部7によって、前記リードフレームAにおける
各リード端子A2をヒータブロック体1の上面に対して
一斉に押さえ込み固定するように構成されている。
【0015】この構成において、図4に示すように、押
さえ体5をヒータブロック体1に向かって下降動するこ
とにより、リードフレームAにおける各リード端子A2
を、押さえ体5の下面における押圧部7にて、ヒータブ
ロック体1の上面に対して直接的に押さえ込み固定する
ことができる。このとき、リードフレームAにおける各
リード端子A2は、図5に示すように、ワイヤーをボン
ディングされる部位であるその先端部が、ヒータブロッ
ク体1上に形成した突起部4に確実に当接するように載
置され、この状態で押さえ体5によりヒータブロック体
1上に押さえられ固定されるのである。このため、該ヒ
ータブロック体1上におけるリード端子A2の固定状態
は非常に安定するので、リード端子A2にかかるワイヤ
ーのボンディング荷重は、常に一定するとともに、同一
のボンディング位置においてワイヤーボンディングされ
るため、ワイヤボンディングにおける信頼性は、著しく
向上し得るのである。
【0016】上記突起部は、図6(a)乃至図6(d)
に示すような、凸状、階段状、湾曲状または傾斜状の形
状、もしくは、これらの組み合わせであっても、本発明
の効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の押さえ装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の押さえ装置を示すI−I視拡大断面図
である。
【図3】本発明の押さえ装置を示すII−II視拡大断
面図である。
【図4】本発明の押さえ装置を用いてダウンセット型リ
ードフレームにおける各リード端子を押さえ固定してい
る様子を説明する説明図である。
【図5】本発明の押さえ装置を用いてダウンセット型リ
ードフレームにおける各リード端子を押さえ固定してい
る様子を説明する説明図である。
【図6】本発明の押さえ装置に係る突起部の変形例を示
す要部断面図である。
【図7】ダウンセット型リードフレームの平面図であ
る。
【図8】ダウンセット型リードフレームの要部断面図で
ある。
【図9】従来における押さえ装置を示す斜視図である。
【図10】従来における押さえ装置を用いてダウンセッ
ト型リードフレームにおける各リード端子を押さえ固定
している様子を示すIV−IV視拡大断面図である。
【図11】従来におけるダウンセット型リードフレーム
のリード端子を示す要部斜視図である。
【図12】従来におけるダウンセット型リードフレーム
のリード端子を示すV−V視拡大断面図である。
【図13】従来におけるダウンセット型リードフレーム
のリード端子を押さえ固定している様子を示す要部断面
図である。
【符号の説明】
A リードフレーム A1 アイランド部 A2 リード端子 A3 吊りリード 1 ヒータブロック体 2 凹所 3 凹み溝 4 突起部 5 押さえ体 6 抜き窓 7 押圧部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームにおける半導体素子を搭
    載するアイランド部と、前記半導体素子と接続する複数
    のリード端子と、に対して当接することにより加熱する
    ためのヒータブロック体と、 該ヒータブロック体に向かって下動し、各前記リード端
    子に当接する押さえ体と、を備えてなる押さえ装置にお
    いて、 前記リードフレームを前記ヒータブロック体上に載置す
    るとき、各前記リード端子の先端部に対向する突起部
    を、前記ヒータブロック体上に形成したことを特徴とす
    る電子部品用リードフレームの押さえ装置。
  2. 【請求項2】 半導体素子を搭載するアイランド部と、
    前記半導体素子と接続する複数のリード端子と、を有す
    るリードフレームを、 各前記リード端子の先端部を、ヒータブロック体上に形
    成した突起部と対向するように載置し、 ヒータブロック体に対して下動する押さえ体により、各
    前記リード端子を押さえることを特徴とする電子部品用
    リードフレームの押さえ方法。
JP5288958A 1993-11-18 1993-11-18 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法 Pending JPH07142529A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5288958A JPH07142529A (ja) 1993-11-18 1993-11-18 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5288958A JPH07142529A (ja) 1993-11-18 1993-11-18 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07142529A true JPH07142529A (ja) 1995-06-02

Family

ID=17737007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5288958A Pending JPH07142529A (ja) 1993-11-18 1993-11-18 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07142529A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100475130B1 (ko) * 2000-07-11 2005-03-08 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지 제조 공정용 히터블록
JP2007520092A (ja) * 2004-01-29 2007-07-19 コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電子装置及び電子装置のボンディング方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100475130B1 (ko) * 2000-07-11 2005-03-08 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지 제조 공정용 히터블록
JP2007520092A (ja) * 2004-01-29 2007-07-19 コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電子装置及び電子装置のボンディング方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07142529A (ja) 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法
US5522133A (en) Coining method for bonding pad surface
JPH10116943A (ja) ヒートシンク付きステム及びその製造方法
JPH07142528A (ja) 電子部品用リードフレームの押さえ装置およびこれを用いた押さえ方法
JP3258450B2 (ja) 電子部品用リードフレームの押さえ装置
JPH09330999A (ja) リード変形防止パッケージ
JP3424184B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH07245322A (ja) 電子部品用リードフレームの押さえ方法
KR20020090328A (ko) 리드 프레임의 제조 방법, 리드 프레임, 및 반도체 장치
JPH11297918A (ja) リードフレーム及び半導体装置及び半導体装置の製造方法
JPH03228339A (ja) ボンディングツール
JP2565115B2 (ja) 集積回路パッケージ
JPS5812453Y2 (ja) 半導体装置のリ−ドフレ−ム構体
JP2687775B2 (ja) Tabテープ
JP3954074B2 (ja) 半導体チップ取付用ケース
JPS61236146A (ja) リ−ド成形機
JPH03206647A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH05291454A (ja) リードフレームの製造方法
JPH0729836U (ja) 半導体装置
JPH11126864A (ja) 半導体装置
JPH03241767A (ja) リードフレームの製造方法
JPS6347272B2 (ja)
KR19980078729A (ko) 패키지용 리드프레임
JPH03102860A (ja) 集積回路パッケージ
JPH02240954A (ja) 半導体装置用リードフレーム