JPH0717149Y2 - コレツト - Google Patents
コレツトInfo
- Publication number
- JPH0717149Y2 JPH0717149Y2 JP1987130615U JP13061587U JPH0717149Y2 JP H0717149 Y2 JPH0717149 Y2 JP H0717149Y2 JP 1987130615 U JP1987130615 U JP 1987130615U JP 13061587 U JP13061587 U JP 13061587U JP H0717149 Y2 JPH0717149 Y2 JP H0717149Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collet
- pellet
- vacuum suction
- tip
- pellets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体装置の製造過程において、ウェーハを
所定の分割線に沿って分割して形成される多数のペレッ
トをピックアップするコレットに関する。
所定の分割線に沿って分割して形成される多数のペレッ
トをピックアップするコレットに関する。
半導体装置の製造過程において、ウェーハに設けられて
いる分割線に沿って分割し形成されるペレットを、個別
にピックアップし、基板上のペレット取付位置に移し替
えることが行なわれる。一般に、ペレットを個別にピッ
クアップする方法としては、次のような方法がある。す
なわち、ウェーハシート上に形成された多数のペレット
の中の１個を、位置決め装置により位置決めし、コレッ
トをそのペレット上に降下させ、真空吸着によりペレッ
トを保持する。次に、ウェーハシート下方から突き上げ
針によりそのペレットを突き上げることで、ペレットを
ウェハシートから離脱させる。この時、ペレットは、真
空吸着によると共に、コレット周囲のテーパー部によっ
ても保持される。
いる分割線に沿って分割し形成されるペレットを、個別
にピックアップし、基板上のペレット取付位置に移し替
えることが行なわれる。一般に、ペレットを個別にピッ
クアップする方法としては、次のような方法がある。す
なわち、ウェーハシート上に形成された多数のペレット
の中の１個を、位置決め装置により位置決めし、コレッ
トをそのペレット上に降下させ、真空吸着によりペレッ
トを保持する。次に、ウェーハシート下方から突き上げ
針によりそのペレットを突き上げることで、ペレットを
ウェハシートから離脱させる。この時、ペレットは、真
空吸着によると共に、コレット周囲のテーパー部によっ
ても保持される。
上記のようなペレットピックアップの際、ペレットの位
置決めがわずかでもずれた場合、コレットのテーパー部
のエッジ（角部）とペレットの角が当たってしまい、ペ
レットに損傷を与えてしまう。そこでコレットのテーパ
ー部の角部に切欠きを設けることで、ペレット損傷を低
減してきた。しかし、ペレットが回転してずれていた場
合、コレットの切欠き部とペレットのエッジが当たり、
ペレットが損傷してしまうという欠点があった。
置決めがわずかでもずれた場合、コレットのテーパー部
のエッジ（角部）とペレットの角が当たってしまい、ペ
レットに損傷を与えてしまう。そこでコレットのテーパ
ー部の角部に切欠きを設けることで、ペレット損傷を低
減してきた。しかし、ペレットが回転してずれていた場
合、コレットの切欠き部とペレットのエッジが当たり、
ペレットが損傷してしまうという欠点があった。
上記問題点に対し本考案では、コレットテーパー部の内
側のエッジを曲面としている。
側のエッジを曲面としている。
つぎに本考案を実施例により説明する。
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は第１図を
下方より見た下面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で
ある。これらの図において、コレット１は、外周部にテ
ーパー部2,2,2,2,…を有し、中心に真空吸着孔３が設け
られている。しかして、各テーパー部２の内側のエッジ
2aは曲面となっている。
下方より見た下面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で
ある。これらの図において、コレット１は、外周部にテ
ーパー部2,2,2,2,…を有し、中心に真空吸着孔３が設け
られている。しかして、各テーパー部２の内側のエッジ
2aは曲面となっている。
以上説明したように本考案は、コレットのテーパー部の
内側のエッジを曲面とすることにより、ペレット位置決
めが回転方向にずれたとしてもペレット損傷を低減で
き、歩留が向上できる効果がある。
内側のエッジを曲面とすることにより、ペレット位置決
めが回転方向にずれたとしてもペレット損傷を低減で
き、歩留が向上できる効果がある。
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は第１図の
下方より見た下面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で
ある。 １……コレット、２……テーパー部、３……真空吸引
孔。
下方より見た下面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で
ある。 １……コレット、２……テーパー部、３……真空吸引
孔。
Claims (1)
- 【請求項１】先端部の四辺に設けられたテーパー部と、
先端部の中央に設けられた真空吸着孔と、先端部の四隅
に設けられた切欠き部を有し、位置決めされたペレット
を真空吸着により前記テーパー部で保持してピックアッ
プするコレットにおいて、前記切欠き部における前記テ
ーパー部の水平断面形状における前記真空吸着孔側エッ
ジを曲面にしたことを特徴とするコレット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987130615U JPH0717149Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | コレツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987130615U JPH0717149Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | コレツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6435749U JPS6435749U (ja) | 1989-03-03 |
| JPH0717149Y2 true JPH0717149Y2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=31385944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987130615U Expired - Lifetime JPH0717149Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | コレツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717149Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5010561A (ja) * | 1973-05-25 | 1975-02-03 | ||
| JPS5955031A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Fujitsu Ltd | 真空コレツト |
| JPS59169044U (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-12 | 富士通株式会社 | 半導体チツプ吸着用ノズル |
-
1987
- 1987-08-26 JP JP1987130615U patent/JPH0717149Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6435749U (ja) | 1989-03-03 |
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