JPH07180072A - エッチング加工部品の製造方法 - Google Patents
エッチング加工部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH07180072A JPH07180072A JP28414594A JP28414594A JPH07180072A JP H07180072 A JPH07180072 A JP H07180072A JP 28414594 A JP28414594 A JP 28414594A JP 28414594 A JP28414594 A JP 28414594A JP H07180072 A JPH07180072 A JP H07180072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- carbon content
- etched
- nickel
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 エッチング速度が飛躍的に向上し、アラビ発
生が防止されたエッチング加工部品の製造方法を提供す
る。 【構成】 冷間圧延によって製造される板厚０．０２０
〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッチ
ング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材中
の炭素含有量が０．０１％以下のエッチング加工用素材
の表面にレジストパターンを形成し、次いで、前記エッ
チング加工用素材をエッチングするに際して、前記炭素
含有量が０．０２％のエッチング加工用素材をエッチン
グする場合と比較して２５〜３０％速いエッチング速度
で前記エッチング加工用素材のエッチングを行うように
したことを特徴とする、エッチング加工部品の製造方
法。
生が防止されたエッチング加工部品の製造方法を提供す
る。 【構成】 冷間圧延によって製造される板厚０．０２０
〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッチ
ング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材中
の炭素含有量が０．０１％以下のエッチング加工用素材
の表面にレジストパターンを形成し、次いで、前記エッ
チング加工用素材をエッチングするに際して、前記炭素
含有量が０．０２％のエッチング加工用素材をエッチン
グする場合と比較して２５〜３０％速いエッチング速度
で前記エッチング加工用素材のエッチングを行うように
したことを特徴とする、エッチング加工部品の製造方
法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエッチング加工用素材に
係り、更に詳しくはＩＣ用リードフレーム等のエッチン
グ加工部品の製造方法に関する。
係り、更に詳しくはＩＣ用リードフレーム等のエッチン
グ加工部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ用リードフレームの多くは板厚０．
１０〜０．３０ｍｍの４２合金と呼ばれる４２％−ニッ
ケル−鉄合金をプレス打ち抜き加工、あるいはエッチン
グ加工によって製造されている。また、表示管等の各種
電子部品用素材として５０％ニッケル−鉄合金や５２％
ニッケル−鉄合金等のニッケル−鉄合金が用いられてい
る。
１０〜０．３０ｍｍの４２合金と呼ばれる４２％−ニッ
ケル−鉄合金をプレス打ち抜き加工、あるいはエッチン
グ加工によって製造されている。また、表示管等の各種
電子部品用素材として５０％ニッケル−鉄合金や５２％
ニッケル−鉄合金等のニッケル−鉄合金が用いられてい
る。
【０００３】しかしながら、ニッケル−鉄合金よりなる
素材をエッチング加工する場合、比較的長いエッチング
時間を要し、特に細かいパターンをエッチング加工する
ときにエッチング時間が長くなることから、フォトレジ
ストと素材の密着力が低下し、エッチングによって形成
される製品の加工部の直線性等が損なわれるという問題
があった。
素材をエッチング加工する場合、比較的長いエッチング
時間を要し、特に細かいパターンをエッチング加工する
ときにエッチング時間が長くなることから、フォトレジ
ストと素材の密着力が低下し、エッチングによって形成
される製品の加工部の直線性等が損なわれるという問題
があった。
【０００４】また、エッチングによって形成される断面
がアラビと呼ばれる状態になり、ガサツキが生じてしま
うという問題があった。
がアラビと呼ばれる状態になり、ガサツキが生じてしま
うという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
の従来の欠点を解消したエッチング加工部品を提供する
ことにある。
の従来の欠点を解消したエッチング加工部品を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記の問題点
を解決すべく研究の結果、素材中の炭素含有量を０．０
１％以下にすることにより、初期の目的を達成し得るこ
とを見いだし、かかる知見に基づいて本発明を完成した
ものである。
を解決すべく研究の結果、素材中の炭素含有量を０．０
１％以下にすることにより、初期の目的を達成し得るこ
とを見いだし、かかる知見に基づいて本発明を完成した
ものである。
【０００７】すなわち、本発明の第１の態様に係るエッ
チング加工部品の製造方法は、冷間圧延によって製造さ
れる板厚０．０２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ
合金よりなるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材
であって、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下のエ
ッチング加工用素材の表面にレジストパターンを形成
し、次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングす
るに際して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング
加工用素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０
％速いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエ
ッチングを行うようにしたことを特徴とするものであ
る。
チング加工部品の製造方法は、冷間圧延によって製造さ
れる板厚０．０２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ
合金よりなるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材
であって、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下のエ
ッチング加工用素材の表面にレジストパターンを形成
し、次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングす
るに際して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング
加工用素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０
％速いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエ
ッチングを行うようにしたことを特徴とするものであ
る。
【０００８】更に、本発明の第２の態様に係るエッチン
グ加工部品の製造方法は、冷間圧延によって製造される
板厚０．０２０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金
よりなるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であ
って、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下のエッチ
ング加工用素材の表面にレジストパターンを形成し、次
いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに際
して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング加工用
素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０％速い
エッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチン
グを行うようにしたことを特徴とするものである。
グ加工部品の製造方法は、冷間圧延によって製造される
板厚０．０２０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金
よりなるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であ
って、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下のエッチ
ング加工用素材の表面にレジストパターンを形成し、次
いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに際
して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング加工用
素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０％速い
エッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチン
グを行うようにしたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】しかして本発明において炭素含有量を０．０１
％以下にすることによりエッチング速度は早められると
ともにアラビが解消されるものである。
％以下にすることによりエッチング速度は早められると
ともにアラビが解消されるものである。
【００１０】ニッケル−鉄合金のエッチング速度はニッ
ケル含有量によって変わり、ニッケル含有量が少ないほ
ど早くなる傾向はあるが、ニッケル含有量が５０％以下
のニッケル−鉄合金について調べた結果、複数のニッケ
ル含有量が異なるニッケル−鉄合金について炭素含有量
が０．０１％以下のときエッチング速度が早いという共
通の現象が認められた。
ケル含有量によって変わり、ニッケル含有量が少ないほ
ど早くなる傾向はあるが、ニッケル含有量が５０％以下
のニッケル−鉄合金について調べた結果、複数のニッケ
ル含有量が異なるニッケル−鉄合金について炭素含有量
が０．０１％以下のときエッチング速度が早いという共
通の現象が認められた。
【００１１】なお、上記のようなエッチング加工用素材
は、通常、所定の板厚に加工するために、熱間圧延、冷
間圧延、焼鈍等の工程が繰り返して行われるが、特に冷
間圧延はＩＣ用リードフレームやシャドウマスク等のエ
ッチング加工用素材に必須の工程である。また、これら
のエッチング加工用素材としては、一般に０．０２０〜
０．４０ｍｍの範囲の板厚に加工され、所定のエッチン
グが施される。板厚が０．０２０ｍｍ未満では、素材形
状の維持、強度の点からエッチング加工用素材として不
利であり、一方、板厚が０．４０ｍｍを超えるとエッチ
ング時間が増大し、レジストの強度も不足して寸法精度
が勢い悪くなるので好ましくない。
は、通常、所定の板厚に加工するために、熱間圧延、冷
間圧延、焼鈍等の工程が繰り返して行われるが、特に冷
間圧延はＩＣ用リードフレームやシャドウマスク等のエ
ッチング加工用素材に必須の工程である。また、これら
のエッチング加工用素材としては、一般に０．０２０〜
０．４０ｍｍの範囲の板厚に加工され、所定のエッチン
グが施される。板厚が０．０２０ｍｍ未満では、素材形
状の維持、強度の点からエッチング加工用素材として不
利であり、一方、板厚が０．４０ｍｍを超えるとエッチ
ング時間が増大し、レジストの強度も不足して寸法精度
が勢い悪くなるので好ましくない。
【００１２】図１は４２％ニッケル−鉄合金について求
めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を示す。
めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を示す。
【００１３】この図から明らかなように炭素含有量が
０．０２％のときのエッチング速度を１とすると０．０
１％以下の炭素含有量のときには１．２５〜１．３０と
炭素含有量が０．０２％の場合に比して２５％〜３０％
早くなる。
０．０２％のときのエッチング速度を１とすると０．０
１％以下の炭素含有量のときには１．２５〜１．３０と
炭素含有量が０．０２％の場合に比して２５％〜３０％
早くなる。
【００１４】また、図２は、３６％ニッケル−鉄合金に
ついて求めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を
示す。
ついて求めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を
示す。
【００１５】３６％ニッケル−鉄合金についても４２％
ニッケル−鉄合金の場合も同様に炭素含有量が０．０１
％以下のときにエッチング速度が早くなっている。
ニッケル−鉄合金の場合も同様に炭素含有量が０．０１
％以下のときにエッチング速度が早くなっている。
【００１６】
【実施例】板厚０．１５ｍｍのＮｉ％；４１．５％、Ｃ
％；０．００７％であるニッケル−鉄合金よりなる素材
の両面に１００ピンのリードフレームのレジストパター
ンを設け、液温７０℃の４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液
を用い、２．０Ｋｇ／ｃｍ2 のスプレイ圧で両面からス
プレイエッチングして、製品を得た。比較例 板厚０．１５ｍｍのＮｉ％；４１．８％、Ｃ％；０．０
２３％であるニッケル−鉄合金よりなる素材に対して実
施例と同様にしてレジスト製版したのち、液温７０℃の
４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液を用い、２．０Ｋｇ／ｃ
ｍ2 のスプレイ圧で両面からスプレイエッチングし、製
品を得た。
％；０．００７％であるニッケル−鉄合金よりなる素材
の両面に１００ピンのリードフレームのレジストパター
ンを設け、液温７０℃の４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液
を用い、２．０Ｋｇ／ｃｍ2 のスプレイ圧で両面からス
プレイエッチングして、製品を得た。比較例 板厚０．１５ｍｍのＮｉ％；４１．８％、Ｃ％；０．０
２３％であるニッケル−鉄合金よりなる素材に対して実
施例と同様にしてレジスト製版したのち、液温７０℃の
４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液を用い、２．０Ｋｇ／ｃ
ｍ2 のスプレイ圧で両面からスプレイエッチングし、製
品を得た。
【００１７】表１に実施例および比較例の結果を示す。
【００１８】 表 １ Ｎｉ％ Ｃ ％ エッチング速度 エッチング状態 実施例 ４１．５ ０．００７ １．２５ 良好 比較例 ４１．８ ０．０２３ １．０ アラビ有り （注） エッチング速度は炭素含有量が０．０２３％の
素材をエッチングした時所定の寸法に達するまでの速度
を１としたものである。
素材をエッチングした時所定の寸法に達するまでの速度
を１としたものである。
【００１９】表１に示すように本願発明によるものは従
来のものよりも早く、精度良く、エッチング加工するこ
とができ、また、アラビは見られなかった。図３は上記
比較例におけるエッチング断面部のＳＥＭ写真（４００
倍）であり、図４は上記実施例における同様の写真であ
る。この写真から比較例においてはエッチング断面にア
ラビが認められ、実施例においてはアラビが存在しない
ことが確認できる。
来のものよりも早く、精度良く、エッチング加工するこ
とができ、また、アラビは見られなかった。図３は上記
比較例におけるエッチング断面部のＳＥＭ写真（４００
倍）であり、図４は上記実施例における同様の写真であ
る。この写真から比較例においてはエッチング断面にア
ラビが認められ、実施例においてはアラビが存在しない
ことが確認できる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳記した通り、本発明の方法によれ
ば早く、精度良くエッチング加工することができ、アラ
ビは見られず、品質の良いエッチング製品を製造するこ
とができる。
ば早く、精度良くエッチング加工することができ、アラ
ビは見られず、品質の良いエッチング製品を製造するこ
とができる。
【図１】４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金について求めた炭素量に
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
【図２】３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金について求めた炭素量に
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
【図３】比較例におけるエッチング断面部の金属組織の
ＳＥＭ写真（４００倍）。
ＳＥＭ写真（４００倍）。
【図４】実施例におけるエッチング断面部の金属組織の
ＳＥＭ写真（４００倍）。
ＳＥＭ写真（４００倍）。
Claims (2)
- 【請求項１】冷間圧延によって製造される板厚０．０２
０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッ
チング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材
中の炭素含有量が０．０１％以下のエッチング加工用素
材の表面にレジストパターンを形成し、 次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに
際して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング加工
用素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０％速
いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチ
ングを行うようにしたことを特徴とする、エッチング加
工部品の製造方法。 - 【請求項２】冷間圧延によって製造される板厚０．０２
０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッ
チング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材
中の炭素含有量が０．０１％以下のエッチング加工用素
材の表面にレジストパターンを形成し、 次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに
際して、前記炭素含有量が０．０２％のエッチング加工
用素材をエッチングする場合と比較して２５〜３０％速
いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチ
ングを行うようにしたことを特徴とする、エッチング加
工部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28414594A JPH07180072A (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | エッチング加工部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28414594A JPH07180072A (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | エッチング加工部品の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20477684A Division JPS6182453A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | エツチング加工用素材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07180072A true JPH07180072A (ja) | 1995-07-18 |
Family
ID=17674757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28414594A Pending JPH07180072A (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | エッチング加工部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07180072A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033337A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-20 | Nisshin Steel Co Ltd | 電子部品用高Νｉ−Ｆｅ合金 |
| JPS6164853A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Toshiba Corp | 管内部品用素材とその製造方法 |
| JPS61117856A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ヒ−トシンク |
-
1994
- 1994-10-25 JP JP28414594A patent/JPH07180072A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033337A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-20 | Nisshin Steel Co Ltd | 電子部品用高Νｉ−Ｆｅ合金 |
| JPS6164853A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Toshiba Corp | 管内部品用素材とその製造方法 |
| JPS61117856A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ヒ−トシンク |
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