JPH09118959A - エッチング加工用素材 - Google Patents
エッチング加工用素材Info
- Publication number
- JPH09118959A JPH09118959A JP23808196A JP23808196A JPH09118959A JP H09118959 A JPH09118959 A JP H09118959A JP 23808196 A JP23808196 A JP 23808196A JP 23808196 A JP23808196 A JP 23808196A JP H09118959 A JPH09118959 A JP H09118959A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- alloy
- nickel
- carbon content
- stock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング速度が飛躍的に向上し、アラビ発
生が防止されたエッチング加工用素材を提供すること。 【解決手段】 冷間圧延によって製造される板厚０．０
２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金または３６
％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッチング加工用のニッケル
−鉄合金素材であって、該素材中の炭素含有量が０．０
１％以下であることを特徴とする、ＩＣ用リードフレー
ム、シャドウマスクなどのエッチング加工用素材。
生が防止されたエッチング加工用素材を提供すること。 【解決手段】 冷間圧延によって製造される板厚０．０
２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金または３６
％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッチング加工用のニッケル
−鉄合金素材であって、該素材中の炭素含有量が０．０
１％以下であることを特徴とする、ＩＣ用リードフレー
ム、シャドウマスクなどのエッチング加工用素材。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はエッチング加工用素
材に係り、特に、ＩＣ用リードフレーム、シャドウマス
クなどのエッチング加工用素材に関する。
材に係り、特に、ＩＣ用リードフレーム、シャドウマス
クなどのエッチング加工用素材に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ用リードフレームの多くは板厚０．
１０〜０．３０ｍｍの４２合金と呼ばれる４２％−ニッ
ケル−鉄合金をプレス打ち抜き加工、あるいはエッチン
グ加工によって製造されている。また、表示管等の各種
電子部品用素材として５０％ニッケル−鉄合金や５２％
ニッケル−鉄合金等のニッケル−鉄合金が用いられてい
る。
１０〜０．３０ｍｍの４２合金と呼ばれる４２％−ニッ
ケル−鉄合金をプレス打ち抜き加工、あるいはエッチン
グ加工によって製造されている。また、表示管等の各種
電子部品用素材として５０％ニッケル−鉄合金や５２％
ニッケル−鉄合金等のニッケル−鉄合金が用いられてい
る。
【０００３】しかしながら、ニッケル−鉄合金よりなる
素材をエッチング加工する場合、比較的長いエッチング
時間を要し、特に細かいパターンをエッチング加工する
ときにエッチング時間が長くなることから、フォトレジ
ストと素材の密着力が低下し、エッチングによって形成
される製品の加工部の直線性等が損なわれるという問題
があった。
素材をエッチング加工する場合、比較的長いエッチング
時間を要し、特に細かいパターンをエッチング加工する
ときにエッチング時間が長くなることから、フォトレジ
ストと素材の密着力が低下し、エッチングによって形成
される製品の加工部の直線性等が損なわれるという問題
があった。
【０００４】また、エッチングによって形成される断面
がアラビと呼ばれる状態になり、ガサツキが生じてしま
うという問題があった。
がアラビと呼ばれる状態になり、ガサツキが生じてしま
うという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、上記の従来の欠点を解消したエッチング加工用素材
を提供することにある。
は、上記の従来の欠点を解消したエッチング加工用素材
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記の問題点
を解決すべく研究したの結果、素材中の炭素含有量を
０．０１％以下に制限することにより、初期の目的を達
成し得ることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を
完成したものである。
を解決すべく研究したの結果、素材中の炭素含有量を
０．０１％以下に制限することにより、初期の目的を達
成し得ることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を
完成したものである。
【０００７】すなわち、本発明の第１の態様に係るエッ
チング加工用素材は、冷間圧延によって製造される板厚
０．０２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金より
なるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であっ
て、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下であること
を特徴とするものである。
チング加工用素材は、冷間圧延によって製造される板厚
０．０２０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金より
なるエッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であっ
て、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下であること
を特徴とするものである。
【０００８】更に、本発明の第２の態様に係るエッチン
グ加工用素材は、冷間圧延によって製造される板厚０．
０２０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなる
エッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該
素材中の炭素含有量が０．０１％以下であることを特徴
とするものである。ここで、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金およ
び３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金というのは、たとえばＭｉｌｉ
ｔａｒｙ規格（ＭＩＬ−Ｉ−２３０１１Ｃ（１９７４年
３月２９日）「ＡＬＬＯＹＳ ＦＯＲ ＳＥＡＬＩＮＧ
ＴＯ ＧＬＡＳＳＥＳ ＡＮＤＣＥＲＡＭＩＣＳ」
（Ｔａｂｌｅ II Ｃｌａｓｓ５、Ｃｌａｓｓ７参照）
で規定される公知のいわゆる４２％合金、３６％合金を
意味し、具体的には、４２％程度のＮｉを含有する、あ
るいは３６％程度のＮｉを含有するＮｉ−Ｆｅ合金を意
味する。
グ加工用素材は、冷間圧延によって製造される板厚０．
０２０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなる
エッチング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該
素材中の炭素含有量が０．０１％以下であることを特徴
とするものである。ここで、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金およ
び３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金というのは、たとえばＭｉｌｉ
ｔａｒｙ規格（ＭＩＬ−Ｉ−２３０１１Ｃ（１９７４年
３月２９日）「ＡＬＬＯＹＳ ＦＯＲ ＳＥＡＬＩＮＧ
ＴＯ ＧＬＡＳＳＥＳ ＡＮＤＣＥＲＡＭＩＣＳ」
（Ｔａｂｌｅ II Ｃｌａｓｓ５、Ｃｌａｓｓ７参照）
で規定される公知のいわゆる４２％合金、３６％合金を
意味し、具体的には、４２％程度のＮｉを含有する、あ
るいは３６％程度のＮｉを含有するＮｉ−Ｆｅ合金を意
味する。
【０００９】
【作用】しかして本発明において炭素含有量を０．０１
％以下にすることによりエッチング速度は早められると
ともにアラビが解消されるものである。
％以下にすることによりエッチング速度は早められると
ともにアラビが解消されるものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】ニッケル−鉄合金のエッチング速
度はニッケル含有量によって変わり、ニッケル含有量が
少ないほど早くなる傾向はあるが、ニッケル含有量が５
０％以下のニッケル−鉄合金について調べた結果、複数
のニッケル含有量が異なるニッケル−鉄合金について炭
素含有量が０．０１％以下のときエッチング速度が早い
という共通の現象が認められた。
度はニッケル含有量によって変わり、ニッケル含有量が
少ないほど早くなる傾向はあるが、ニッケル含有量が５
０％以下のニッケル−鉄合金について調べた結果、複数
のニッケル含有量が異なるニッケル−鉄合金について炭
素含有量が０．０１％以下のときエッチング速度が早い
という共通の現象が認められた。
【００１１】なお、上記のようなエッチング加工用素材
は、通常、所定の板厚に加工するために、熱間圧延、冷
間圧延、焼鈍等の工程が繰り返して行われるが、特に冷
間圧延はＩＣ用リードフレームやシャドウマスク等のエ
ッチング加工用素材に必須の工程である。また、これら
のエッチング加工用素材としては、一般に０．０２０〜
０．４０ｍｍの範囲の板厚に加工され、所定のエッチン
グが施される。板厚が０．０２０ｍｍ未満では、素材形
状の維持、強度の点からエッチング加工用素材として不
利であり、一方、板厚が０．４０ｍｍを超えるとエッチ
ング時間が増大し、レジストの強度も不足して寸法精度
が勢い悪くなるので好ましくない。
は、通常、所定の板厚に加工するために、熱間圧延、冷
間圧延、焼鈍等の工程が繰り返して行われるが、特に冷
間圧延はＩＣ用リードフレームやシャドウマスク等のエ
ッチング加工用素材に必須の工程である。また、これら
のエッチング加工用素材としては、一般に０．０２０〜
０．４０ｍｍの範囲の板厚に加工され、所定のエッチン
グが施される。板厚が０．０２０ｍｍ未満では、素材形
状の維持、強度の点からエッチング加工用素材として不
利であり、一方、板厚が０．４０ｍｍを超えるとエッチ
ング時間が増大し、レジストの強度も不足して寸法精度
が勢い悪くなるので好ましくない。
【００１２】図１は４２％ニッケル−鉄合金について求
めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を示す。
めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を示す。
【００１３】この図から明らかなように炭素含有量が
０．０２％のときのエッチング速度を１とすると０．０
１％以下の炭素含有量のときには１．２５〜１．３０と
炭素含有量が０．０２％の場合に比して２５％〜３０％
速くなる。
０．０２％のときのエッチング速度を１とすると０．０
１％以下の炭素含有量のときには１．２５〜１．３０と
炭素含有量が０．０２％の場合に比して２５％〜３０％
速くなる。
【００１４】また、図２は、３６％ニッケル−鉄合金に
ついて求めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を
示す。
ついて求めた炭素含有量によるエッチング速度の変化を
示す。
【００１５】３６％ニッケル−鉄合金についても４２％
ニッケル−鉄合金の場合も同様に炭素含有量が０．０１
％以下のときにエッチング速度が早くなっている。
ニッケル−鉄合金の場合も同様に炭素含有量が０．０１
％以下のときにエッチング速度が早くなっている。
【００１６】
【実施例】板厚０．１５ｍｍのＮｉ％；４１．５％、Ｃ
％；０．００７％であるニッケル−鉄合金よりなる素材
の両面に１００ピンのリードフレームのレジストパター
ンを設け、液温７０℃の４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液
を用い、２．０Ｋｇ／ｃｍ2 のスプレイ圧で両面からス
プレイエッチングして、製品を得た。
％；０．００７％であるニッケル−鉄合金よりなる素材
の両面に１００ピンのリードフレームのレジストパター
ンを設け、液温７０℃の４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液
を用い、２．０Ｋｇ／ｃｍ2 のスプレイ圧で両面からス
プレイエッチングして、製品を得た。
【００１７】比較例 板厚０．１５ｍｍのＮｉ％；４１．８％、Ｃ％；０．０
２３％であるニッケル−鉄合金よりなる素材に対して実
施例と同様にしてレジスト製版したのち、液温７０℃の
４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液を用い、２．０Ｋｇ／ｃ
ｍ2 のスプレイ圧で両面からスプレイエッチングし、製
品を得た。
２３％であるニッケル−鉄合金よりなる素材に対して実
施例と同様にしてレジスト製版したのち、液温７０℃の
４８°Ｂ′ｅＦｅＣｌ３腐食液を用い、２．０Ｋｇ／ｃ
ｍ2 のスプレイ圧で両面からスプレイエッチングし、製
品を得た。
【００１８】表１に実施例および比較例の結果を示す。 表 １ Ｎｉ％ Ｃ ％ エッチング速度 エッチング状態 実施例 ４１．５ ０．００７ １．２５ 良好 比較例 ４１．８ ０．０２３ １．０ アラビ有り （注） エッチング速度は炭素含有量が０．０２３％の素材をエッチングした時 所定の寸法に達するまでの速度を１としたものである。
【００１９】表１に示すように本願発明によるものは従
来のものよりも早く、精度良く、エッチング加工するこ
とができ、また、アラビは見られなかった。
来のものよりも早く、精度良く、エッチング加工するこ
とができ、また、アラビは見られなかった。
【００２０】
【発明の効果】以上詳記した通り、本発明の素材によれ
ば速く、しかも精度良くエッチング加工することがで
き、アラビの発生を防止して、高品質のエッチング製品
を得ることができる。
ば速く、しかも精度良くエッチング加工することがで
き、アラビの発生を防止して、高品質のエッチング製品
を得ることができる。
【図１】４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金について求めた炭素量に
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
【図２】３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金について求めた炭素量に
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
よるエッチング速度の変化を示すグラフ。
Claims (2)
- 【請求項１】冷間圧延によって製造される板厚０．０２
０〜０．４０ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッ
チング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材
中の炭素含有量が０．０１％以下であることを特徴とす
る、ＩＣ用リードフレーム、シャドウマスクなどのエッ
チング加工用素材。 - 【請求項２】冷間圧延によって製造される板厚０．０２
０〜０．４０ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるエッ
チング加工用のニッケル−鉄合金素材であって、該素材
中の炭素含有量が０．０１％以下であることを特徴とす
る、ＩＣ用リードフレーム、シャドウマスクなどのエッ
チング加工用素材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23808196A JPH09118959A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | エッチング加工用素材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23808196A JPH09118959A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | エッチング加工用素材 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59204776A Division JPS6182453A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | エツチング加工用素材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09118959A true JPH09118959A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=17024883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23808196A Pending JPH09118959A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | エッチング加工用素材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09118959A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144157A (ja) * | 1984-08-09 | 1986-03-03 | Nippon Mining Co Ltd | プレス打抜き性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
-
1996
- 1996-09-09 JP JP23808196A patent/JPH09118959A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144157A (ja) * | 1984-08-09 | 1986-03-03 | Nippon Mining Co Ltd | プレス打抜き性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
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