JPH0765371A

JPH0765371A - 磁気記録媒体の製造装置

Info

Publication number: JPH0765371A
Application number: JP21249793A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Kitaori; 典之北折; Osamu Yoshida; 修吉田; Hirohide Mizunoya; 博英水野谷; Akira Shiga; 章志賀
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1993-08-27
Filing date: 1993-08-27
Publication date: 1995-03-10

Abstract

(57)【要約】【目的】金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に際して装
置内の蒸発磁性粒子による汚染を効果的に防ぐことが出
来、従って磁気記録媒体の製造能率が高く、又、磁性金
属の蒸発条件が突発的に変化するといったことも防止で
き、磁性粒子の蒸着量が均一で、高性能な磁気記録媒体
を提供できる技術を提案することである。【構成】磁性材料を入れる容器と、この容器内に入れ
られた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸発手段
により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体と、前
記容器と支持体との間に配設された防着材とを具備して
なる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着材には
磁石が設けられてなる磁気記録媒体の製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。

【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図５のように構成されているものが
一般的である。尚、図５中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。

【０００４】ところで、このようにして蒸発する磁性粒
子のうちＰＥＴフィルム２３に蒸着せず、周囲に付着・
堆積するものもあり、これは装置の汚染を引き起こすこ
とになり、決して好ましいものではない。この為、目的
とするＰＥＴフィルム２３以外の方向に飛散する磁性粒
子を積極的に付着させ、装置の汚染を防ぐ防着材２７が
設けられている。

【０００５】しかしながら、防着材２７を設けたものに
あっては、これによる新たな問題が起きることも有っ
た。すなわち、蒸発する磁性粒子を防着材２７に積極的
に付着させ、その周囲が出来るだけ汚染され難いように
したことによって、防着材２７には蒸発磁性粒子の堆積
が進むようになってしまったのである。そして、堆積が
進み過ぎ、重くなり過ぎると、これが崩落してしまい、
落下時の衝撃によって磁性粒子の粉が舞い上がり、装置
内が広範囲にわたって汚染されてしまうことが有った。

【０００６】かつ、崩落磁性粒子がルツボ２５内にも落
下し、ルツボ２５内の温度などの条件が一時的に大きく
変化し、蒸発状態が大きく変化してしまい、ＰＥＴフィ
ルム２３への蒸着具合が一時的に大きく変化し、均一な
磁性膜が構成されず、不良品が形成されてしまうといっ
た致命的な欠陥も引き起こされることの有ることが判っ
て来た。

【０００７】又、ルツボ２４内の磁性粒子を蒸発させる
電子銃の部分に入り込んでしまうと、電子ビームが遮ら
れることもあり、ルツボ２４内の条件が一時的に大きく
変化し、蒸発状態が大きく変化してしまい、均一な磁性
膜が構成されず、不良品が形成されてしまうといった致
命的な欠陥も引き起こされることの有ることも判って来
た。

【０００８】

【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行った結果、すなわち防着材は周囲の汚染対策
上から欠くことが出来ないものであることの観点から検
討を鋭意押し進めて行った結果、防着材を磁石で構成あ
るいは磁石を配設しておけば、磁性粒子を防着材に引磁
しておくことが出来、従って磁性粒子の堆積量が多くな
っても崩落はなくなり、堆積磁性粒子の落下による粉の
舞い上がりで装置内が広範囲にわたって汚染されてしま
うといった欠点をなくすことが出来、かつ、堆積磁性粒
子がルツボ内に落下し、ルツボ内の温度などの条件が一
時的に大きく変化し、蒸発状態が大きく変化してしまう
といった欠点をなくすことが出来、かつ、電子銃の部分
に入り込むといったこともなくすことが出来、磁性薄膜
の形成が綺麗に出来、高性能な磁気記録媒体を歩留り良
く製造できることに気付いたのである。

【０００９】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、本発明の目的は、金属薄膜型の磁気記
録媒体の製造に際して装置内の蒸発磁性粒子による汚染
を効果的に防ぐことが出来、従って磁気記録媒体の製造
能率が高く、又、磁性金属の蒸発条件が突発的に変化す
るといったことも防止でき、磁性粒子の蒸着量が均一
で、高性能な磁気記録媒体を提供できる技術を提案する
ことである。

【００１０】この本発明の目的は、磁性材料を入れる容
器と、この容器内に入れられた磁性材料を蒸発させる蒸
発手段と、この蒸発手段により蒸発させられた磁性粒子
が堆積する支持体と、前記容器と支持体との間に配設さ
れた防着材とを具備してなる磁気記録媒体の製造装置で
あって、前記防着材には磁石が設けられてなることを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置によって達成される。

【００１１】又、磁性材料を入れる容器と、この容器内
に入れられた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸
発手段により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体
と、前記容器と支持体との間に配設された防着材とを具
備してなる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着
材が磁石で構成されてなることを特徴とする請求項１の
磁気記録媒体の製造装置によって達成される。

【００１２】尚、上記の発明において、防着材を移動可
能、例えば回転させたり、あるいは長手方向に走行させ
たりすることが出来るように構成し、一定量の磁性粒子
が堆積すると所定長さ移動させ、磁性粒子が堆積してい
ない防着材の部分が容器（磁性材料充填容器）に対応し
て位置するようにさせれば、堆積磁性粒子の崩落による
汚染を完全に解決できるようになる。

【００１３】尚、装置に設けられる全ての防着材に磁石
を設けなくとも済むものである。すなわち、蒸発した磁
性粒子の堆積が少ない部分には、装置が長時間にわたっ
て連続運転されても、堆積物が崩落するといった恐れは
ないから、このような部分には磁石を設けなくても良
い。以下、具体的な実施例を挙げて説明する。

【００１４】

【実施例】

〔実施例１〕図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の概略図である。同図中、１は冷却キャン、２ａは
支持体３の供給側ロール、２ｂは支持体３の巻取側ロー
ル、４は永久磁石で構成された回転円板構造の防着板、
５はルツボ、６は磁性金属、７は真空容器である。尚、
防着板４は、ルツボ５の真上に対応して設けられたもの
である。

【００１５】支持体３は非磁性のものであり、この支持
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ₂等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。

【００１６】ルツボ５に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。

【００１７】上記のように構成させた装置において、真
空容器７内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加
熱などによりルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μｍ厚さ
磁性金属６を蒸着させることによって金属薄膜型の磁気
記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際して、
蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによって
磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層を
形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化膜か
ら構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであり、
この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場合も
あり、このような時には強制酸化の手段を講じなくても
良い場合がある。

【００１８】ところで、蒸着工程（成膜工程）におい
て、磁性粒子の蒸発流は支持体３側のみでなく、その他
の方向にも拡がるのであるが、この拡がった蒸発磁性粒
子は防着板４に付着することになる。そして、支持体３
は停止しているのではなく、走行しているから、一定量
以上の付着・堆積はないものの、防着板４は停止してい
ることから、そのままの状態が続くと堆積量は増える一
方である。

【００１９】ここで、従来にあっては、防着板への堆積
量が限度を越えると、重みに耐えかねて堆積磁性粒子は
落下し、種々の問題が引き起こされていたのである。し
かしながら、本発明にあっては、防着板４が磁石で構成
されているから、今までの堆積量の限度を大幅に越える
ようなことがあっても、磁石で磁性粒子が引磁されてい
るから、崩落するようなことはなく、真空容器７内が磁
性粒子によって汚染されることを効果的に防ぐことが出
来、又、堆積物がルツボ５内に落ち、磁性金属の蒸発条
件が突発的に変化するといったことも防止でき、磁性粒
子の蒸着量が均一で、高性能な磁気記録媒体を能率良く
製造できるようになる。

【００２０】尚、堆積量が所定量を越えることが観察さ
れると、防着板４を所定の角度だけ回転させ、磁性粒子
が堆積していない部分がルツボ５に対応して位置するよ
うにする。つまり、図示していないステッピングモータ
をオンにし、防着板４を所定の角度だけ回転させるよう
にしている。すなわち、防着板４を磁石で構成させてい
るから、堆積磁性粒子が多くなっても崩落することはな
くなった訳であるが、この崩落を完璧になくす為、堆積
量が所定量を越えることが観察されると、防着板４を所
定の角度だけ回転させ、磁性粒子が堆積していない部分
がルツボ５に対応して位置させるようにしたのである。
尚、この防着板４の回転動作は、防着板４に付着・堆積
した磁性粒子の厚さを検出する、例えば発光・受光素子
からなる検出手段（図示せず）を設けておき、この検出
手段により防着板４に付着・堆積した磁性粒子の量が検
出されると、この検出信号を比較手段に入力し、比較手
段に記憶させている基準値と比較して、基準値よりも小
さい場合にはそのまま、基準値と等しい場合、あるいは
基準値よりも大きい場合には、ステッピングモータのス
イッチをオンとするようにしておけば極めて便利であ
る。

【００２１】この後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そ
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布
し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
そして、フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：
ＦＯＭＢＬＩＮＺＤＩＡＣカルボキシル基変性、日
本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナー
ト、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．１％とな
るよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥
後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に塗布し、７０
℃で乾燥させる。

【００２２】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。尚、８も防着板であるが、この防着板８
は蒸発した磁性粒子の堆積が少ない部分に設けられてい
るものであるから、防着板８は、従来と同様なもので良
い。〔実施例２〕前記実施例にあっては、防着板を一枚の回
転円板で構成したものであったが、図２に示す如く、軸
芯に複数枚の磁石板を配設しておき、先ず、一番上の磁
石板４ａを所定の位置に位置させ、この磁石板４ａを防
着板のように作用させ、そして磁石板４ａに一定量の磁
性粒子が堆積したならば、その下にある磁石板４ｂを所
定の位置に位置させ、この磁石板４ｂを防着板のように
作用させ、そして磁石板４ｂに一定量の磁性粒子が堆積
したならば、その下にある磁石板４ｃを所定の位置に位
置させ、この磁石板４ｃを防着板のように作用させとい
った如くに構成したものである。

【００２３】その他の構成については、第１実施例のも
のと同様であるから、詳細な説明は省略する。すなわ
ち、防着材が積層状の複数枚の磁石板であるに過ぎず、
前記実施例の場合と同様な特長が奏される。〔実施例３〕本実施例は、図３に示す如く、防着板１４
を粉末磁石が練り込まれた長尺状のテープで構成し、こ
れを供給側ロール（図示せず）と巻取側ロールとの間に
懸架し、一定以上の厚さに磁性粒子が堆積すると、巻取
側ロールを駆動して一定長さ走行させ、磁性粒子が堆積
していない部分をルツボ５に対応させるように構成させ
ても良い。

【００２４】又、図３のように支持体３の走行方向に対
して交差する方向に防着板１４を走行させているが、図
４に示す如く、支持体３の走行方向に沿って防着板１４
を走行させるように構成し、途中で反転走行させるよう
に構成させても良い。そして、本実施例にあっても、防
着板１４を磁石で構成させているから、前記実施例の場
合と同様な特長が奏される。

【００２５】〔実施例４〕前記実施例３までにあって
は、防着板を永久磁石で構成した場合であったが、防着
板に永久磁石や電磁石を配設するようにしても良い。そ
して、このような構成であっても、同様な特長が奏され
る。

【００２６】

【効果】本発明によれば、均一な膜厚の磁性層を歩留り
良く製造できる。特に、目的とする支持体以外の方向に
飛散する磁性粒子を付着・堆積させ、装置内の汚染を防
止する為に設けた防着板から、堆積磁性粒子が崩落し、
これによる装置内の汚染、磁性金属の蒸発量の変動、引
いては磁性膜の厚さの変動といった事故をなくすことが
出来、高性能な磁気記録媒体を低コストで提供できるよ
うになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の第１実
施例の概略説明図

【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の第２実
施例の概略要部説明図

【図３】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の第３実
施例の概略要部説明図

【図４】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の第４実
施例の概略要部説明図

【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図

【符号の説明】

１冷却キャン２ａ供給側ロール２ｂ巻取側ロール３支持体４防着板（回転板）５ルツボ６磁性金属７真空容器４ａ，４ｂ，４ｃ防着板（積層状の複数枚の板）１４防着板（長尺状のテープ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者志賀章栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性材料を入れる容器と、この容器内に
入れられた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸発
手段により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体
と、前記容器と支持体との間に配設された防着材とを具
備してなる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着
材には磁石が設けられてなることを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置。
【請求項２】磁性材料を入れる容器と、この容器内に
入れられた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸発
手段により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体
と、前記容器と支持体との間に配設された防着材とを具
備してなる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着
材が磁石で構成されてなることを特徴とする請求項１の
磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】防着材が移動可能に構成されてなること
を特徴とする請求項１または請求項２の磁気記録媒体の
製造装置。