JPH0765373A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH0765373A JPH0765373A JP21249193A JP21249193A JPH0765373A JP H0765373 A JPH0765373 A JP H0765373A JP 21249193 A JP21249193 A JP 21249193A JP 21249193 A JP21249193 A JP 21249193A JP H0765373 A JPH0765373 A JP H0765373A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 綺麗に磁性膜が形成される技術を提供するこ
とである。 【構成】 飛来する磁性材料を支持体に堆積させること
により磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であっ
て、前記支持体がガイドされるロールを太鼓形状に構成
してなる磁気記録媒体の製造装置。
とである。 【構成】 飛来する磁性材料を支持体に堆積させること
により磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であっ
て、前記支持体がガイドされるロールを太鼓形状に構成
してなる磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図３のように構成されているものが
一般的である。尚、図３中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空容器である。そして、真空容器２６内を所定の真空
度のものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４
内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対
して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させること
によって磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図３のように構成されているものが
一般的である。尚、図３中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空容器である。そして、真空容器２６内を所定の真空
度のものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４
内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対
して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させること
によって磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】しかしながら、このような蒸着装置を用い
ての磁性膜の形成に際して蒸着ムラといった問題の有る
ことが判って来た。
ての磁性膜の形成に際して蒸着ムラといった問題の有る
ことが判って来た。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行くうちに、蒸着ムラの問題はＰＥＴフィルム
２３にあることが判って来た。すなわち、キャンロール
２１に案内されているＰＥＴフィルム２３は１〜５ｋｇ
／巾程度のテンションが加わって供給側ロール２２ａか
ら巻取側ロール２２ｂに走行しているのであるが、キャ
ンロール２１に添接している時にキャンロール２１の軸
芯方向に交差する方向（ＰＥＴフィルム２３の長手方
向）に沿って筋状の皺が形成されていることに気付いた
のである。そして、この筋状の皺が形成されている所に
磁性金属２５の蒸発粒子が飛来し、堆積（蒸着）する
と、前記の皺がそのまま転写されるように成膜されてし
まい、蒸着ムラが起きるのであろうとの推察がなされ
た。
められて行くうちに、蒸着ムラの問題はＰＥＴフィルム
２３にあることが判って来た。すなわち、キャンロール
２１に案内されているＰＥＴフィルム２３は１〜５ｋｇ
／巾程度のテンションが加わって供給側ロール２２ａか
ら巻取側ロール２２ｂに走行しているのであるが、キャ
ンロール２１に添接している時にキャンロール２１の軸
芯方向に交差する方向（ＰＥＴフィルム２３の長手方
向）に沿って筋状の皺が形成されていることに気付いた
のである。そして、この筋状の皺が形成されている所に
磁性金属２５の蒸発粒子が飛来し、堆積（蒸着）する
と、前記の皺がそのまま転写されるように成膜されてし
まい、蒸着ムラが起きるのであろうとの推察がなされ
た。
【０００６】ところで、この皺の原因についての更なる
研究を押し進めて行くうちに、磁性金属粒子の蒸着を行
わせていない時には皺の発生が殆ど認められないことに
気付くに至った。そして、このような知見に基づいての
研究が一層押し進められて行った結果、皺は、堆積磁性
金属からの熱や蒸発源からの輻射熱などがキャンロール
２１に添接しているＰＥＴフィルム２３に作用する結果
であろうかとの啓示を得るに至った。
研究を押し進めて行くうちに、磁性金属粒子の蒸着を行
わせていない時には皺の発生が殆ど認められないことに
気付くに至った。そして、このような知見に基づいての
研究が一層押し進められて行った結果、皺は、堆積磁性
金属からの熱や蒸発源からの輻射熱などがキャンロール
２１に添接しているＰＥＴフィルム２３に作用する結果
であろうかとの啓示を得るに至った。
【０００７】そこで、熱によって皺が起きるのであると
したならば、この熱による影響をなくしてやれば良いで
あろうと考えたのである。例えば、ＰＥＴフィルム２３
をキャンロール２１に一層密着させ、放熱効率を高めて
やれば、特に皺が起きている中央部分のＰＥＴフィルム
２３をキャンロール２１に一層密着させ、放熱効率を高
めてやれば良いであろうと考えた。そして、このような
考えを基にして、キャンロール２１を太鼓形状のように
構成し、この太鼓形状のキャンロールに添接されている
支持体に対して磁性金属を蒸着させた処、これは蒸着ム
ラが起きていなかったのである。
したならば、この熱による影響をなくしてやれば良いで
あろうと考えたのである。例えば、ＰＥＴフィルム２３
をキャンロール２１に一層密着させ、放熱効率を高めて
やれば、特に皺が起きている中央部分のＰＥＴフィルム
２３をキャンロール２１に一層密着させ、放熱効率を高
めてやれば良いであろうと考えた。そして、このような
考えを基にして、キャンロール２１を太鼓形状のように
構成し、この太鼓形状のキャンロールに添接されている
支持体に対して磁性金属を蒸着させた処、これは蒸着ム
ラが起きていなかったのである。
【０００８】このような知見に基づいて本発明が達成さ
れたものであり、本発明の目的は綺麗に磁性膜が形成さ
れる技術を提供することである。この本発明の目的は、
飛来する磁性材料を支持体に堆積させることにより磁性
膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、前記支
持体がガイドされるロールを太鼓形状に構成してなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置によって達成さ
れる。
れたものであり、本発明の目的は綺麗に磁性膜が形成さ
れる技術を提供することである。この本発明の目的は、
飛来する磁性材料を支持体に堆積させることにより磁性
膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、前記支
持体がガイドされるロールを太鼓形状に構成してなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置によって達成さ
れる。
【０００９】尚、前記のロールはキャンロールであっ
て、このキャンロールが、その周側形状は長さ１０ｃｍ
に対して１〜２ｍｍ程度の傾きを有する太鼓形状、特に
キャンロール中央部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍ
ｍ、キャンロール中央部から１０ｃｍ離れた位置におけ
る半径ｒ2 が約９８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２
ｍｍの太鼓形状であることが好ましい。
て、このキャンロールが、その周側形状は長さ１０ｃｍ
に対して１〜２ｍｍ程度の傾きを有する太鼓形状、特に
キャンロール中央部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍ
ｍ、キャンロール中央部から１０ｃｍ離れた位置におけ
る半径ｒ2 が約９８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２
ｍｍの太鼓形状であることが好ましい。
【００１０】
【実施例】図１及び図２は本発明に係る磁気記録媒体の
製造装置の一実施例を示すもので、図１は全体の概略
図、図２は要部（キャンロール）の斜視図である。各図
中、１は冷却キャンロール、２ａは供給側ロール、２ｂ
は巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリ
アミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネー
ト、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロー
ス系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、
ガラスやセラミック等の無機系材料、アルミニウム合金
などの金属材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２０
０ｍｍ程度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出さ
れ、キャンロール１に沿って巻き回され、そして巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行くようになっている。
製造装置の一実施例を示すもので、図１は全体の概略
図、図２は要部（キャンロール）の斜視図である。各図
中、１は冷却キャンロール、２ａは供給側ロール、２ｂ
は巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリ
アミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネー
ト、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロー
ス系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、
ガラスやセラミック等の無機系材料、アルミニウム合金
などの金属材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２０
０ｍｍ程度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出さ
れ、キャンロール１に沿って巻き回され、そして巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行くようになっている。
【００１１】キャンロール１は、図２から判る通り、太
鼓形状に構成されている。特に、中央部における半径ｒ
1 は約１００〜１０００ｍｍ、例えば１２５ｍｍ、キャ
ンロール中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ
2 は約９８〜９９９ｍｍ、例えば１２３．５ｍｍ、ｒ1
−ｒ2 が１．５ｍｍの太鼓形状となるように構成されて
いる。すなわち、キャンロール１は、一見すると円柱状
のようではあるが、厳密に観察すると太鼓のように中央
部で膨らんだような形状に設計されている。尚、キャン
ロール１の軸芯方向における長さＬは約１００〜１００
０ｍｍといったように支持体３の幅に約１ｍｍ程度以上
の余裕を持たせられている。
鼓形状に構成されている。特に、中央部における半径ｒ
1 は約１００〜１０００ｍｍ、例えば１２５ｍｍ、キャ
ンロール中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ
2 は約９８〜９９９ｍｍ、例えば１２３．５ｍｍ、ｒ1
−ｒ2 が１．５ｍｍの太鼓形状となるように構成されて
いる。すなわち、キャンロール１は、一見すると円柱状
のようではあるが、厳密に観察すると太鼓のように中央
部で膨らんだような形状に設計されている。尚、キャン
ロール１の軸芯方向における長さＬは約１００〜１００
０ｍｍといったように支持体３の幅に約１ｍｍ程度以上
の余裕を持たせられている。
【００１２】非磁性の支持体３の表面には、磁性層（磁
性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート層が
設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗すこ
とにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜
の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗
さを適度なものとして走行性を改善する為、例えばＳｉ
Ｏ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．１μ
ｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が構成
されている。
性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート層が
設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗すこ
とにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜
の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗
さを適度なものとして走行性を改善する為、例えばＳｉ
Ｏ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．１μ
ｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が構成
されている。
【００１３】４はルツボであり、このルツボ４内には、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
【００１４】尚、ルツボ４の構成材料としては、例えば
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、Ｂ4 Ｃ製のルツボ、あるい
は炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボであ
り、磁性金属５が入れられるルツボ４の内側壁はリアス
式海岸のように多数の鋭角状の凹部が形成されているも
のである。
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、Ｂ4 Ｃ製のルツボ、あるい
は炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボであ
り、磁性金属５が入れられるルツボ４の内側壁はリアス
式海岸のように多数の鋭角状の凹部が形成されているも
のである。
【００１５】６は真空容器である。上記のように構成さ
せた装置において、真空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度のものに排気した後、抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ４内の磁性金
属５を溶融、蒸発させ、キャンロール１に添接されてい
るＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μ
ｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜型
の磁気記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際
して、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることに
よって磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保
護層を形成するようにすることが好ましい。但し、この
酸化膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度のもの
であり、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成され
る場合もあり、このような時には強制酸化の手段を講じ
なくても良い場合がある。
せた装置において、真空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度のものに排気した後、抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ４内の磁性金
属５を溶融、蒸発させ、キャンロール１に添接されてい
るＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μ
ｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜型
の磁気記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際
して、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることに
よって磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保
護層を形成するようにすることが好ましい。但し、この
酸化膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度のもの
であり、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成され
る場合もあり、このような時には強制酸化の手段を講じ
なくても良い場合がある。
【００１６】ところで、支持体３は太鼓型のキャンロー
ル１に添接されていたことから、磁性金属５の堆積時
に、支持体３には皺が形成されていなかった。従って、
従来の円柱状のキャンロール１に添接させていた場合の
ような磁性膜が綺麗に出来ないといった問題はなく、つ
まり蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成され、記録
・再生特性に優れた磁気記録媒体が得られるようにな
る。
ル１に添接されていたことから、磁性金属５の堆積時
に、支持体３には皺が形成されていなかった。従って、
従来の円柱状のキャンロール１に添接させていた場合の
ような磁性膜が綺麗に出来ないといった問題はなく、つ
まり蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成され、記録
・再生特性に優れた磁気記録媒体が得られるようにな
る。
【００１７】このようにして、蒸着ムラのない磁性薄膜
が構成された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール
２ｂを取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブ
ラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーと
からなるバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用
の塗料をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側
の支持体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバッ
クコート層を設ける。
が構成された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール
２ｂを取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブ
ラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーと
からなるバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用
の塗料をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側
の支持体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバッ
クコート層を設ける。
【００１８】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１９】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。
って磁気テープなどが得られる。
【００２０】
【効果】本発明によれば、磁性膜が綺麗に形成され、高
性能な磁気記録媒体が得られる。
性能な磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の実施例
の概略説明図
の概略説明図
【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の実施例
の要部の斜視図
の要部の斜視図
【図３】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ 磁性金属
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 飛来する磁性材料を支持体に堆積させる
ことにより磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置で
あって、前記支持体がガイドされるロールを太鼓形状に
構成してなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。 - 【請求項２】 ロールがキャンロールであり、このキャ
ンロールの周側形状が長さ１０ｃｍに対して１〜２ｍｍ
程度の傾きを有する太鼓形状であることを特徴とする請
求項１の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項３】 ロールがキャンロールであり、このキャ
ンロール中央部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍｍ、
キャンロール中央部から１０ｃｍ離れた位置における半
径ｒ2 が約９８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２ｍｍ
の太鼓形状であることを特徴とする請求項１または請求
項２の磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21249193A JPH0765373A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21249193A JPH0765373A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765373A true JPH0765373A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16623539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21249193A Pending JPH0765373A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765373A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006336029A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Fts Corporation:Kk | 連続スパッタ装置および連続スパッタ方法 |
| WO2010122742A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| JP2013237896A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法 |
| JP2014105393A (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-09 | Aixtron Se | 帯状基板の処理装置および方法 |
| JP2017128754A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 住友金属鉱山株式会社 | キャンロールと真空成膜装置および長尺体の成膜方法 |
| JP2019157276A (ja) * | 2019-04-22 | 2019-09-19 | 住友金属鉱山株式会社 | キャンロールと真空成膜装置および長尺体の成膜方法 |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP21249193A patent/JPH0765373A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006336029A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Fts Corporation:Kk | 連続スパッタ装置および連続スパッタ方法 |
| WO2010122742A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| CN102378826A (zh) * | 2009-04-22 | 2012-03-14 | 松下电器产业株式会社 | 薄膜形成装置及薄膜形成方法 |
| JPWO2010122742A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2012-10-25 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| JP2013237896A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法 |
| JP2014105393A (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-09 | Aixtron Se | 帯状基板の処理装置および方法 |
| JP2017128754A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 住友金属鉱山株式会社 | キャンロールと真空成膜装置および長尺体の成膜方法 |
| JP2019157276A (ja) * | 2019-04-22 | 2019-09-19 | 住友金属鉱山株式会社 | キャンロールと真空成膜装置および長尺体の成膜方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0765373A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0762535A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH07243032A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH0773460A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0762536A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH0773461A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPH06101029A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH07243041A (ja) | 成膜方法及びその装置 | |
| JPH0785472A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0841642A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH07238378A (ja) | 金属系薄膜体の製造装置 | |
| JPH0773462A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPH07320263A (ja) | 金属系薄膜体の製造装置 | |
| JPH06101031A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 | |
| JPH07238377A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH07238375A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH10105942A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0765371A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH07238376A (ja) | 金属系薄膜体の製造方法及びその装置 | |
| JPH07320264A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 | |
| JPH0765368A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH06101030A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 | |
| JPH0773463A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 | |
| JPH07331438A (ja) | 金属膜体の製造装置 | |
| JPH0793751A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |