JPH0785472A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0785472A JPH0785472A JP23196893A JP23196893A JPH0785472A JP H0785472 A JPH0785472 A JP H0785472A JP 23196893 A JP23196893 A JP 23196893A JP 23196893 A JP23196893 A JP 23196893A JP H0785472 A JPH0785472 A JP H0785472A
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- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ルツボ内部の磁性金属の冷却を迅速に行うこ
とが出来、磁性金属を無駄にすることなく、かつ、金属
薄膜型の磁気記録媒体の生産効率が高い技術を提供する
ことである。 【構成】 容器に入れられた金属磁性材料を蒸発させ、
支持体に堆積させることにより金属磁性膜を構成する磁
気記録媒体の製造装置であって、前記容器内の金属磁性
材料に冷却された金属磁性材料を接触させる機構を具備
した磁気記録媒体の製造装置。
とが出来、磁性金属を無駄にすることなく、かつ、金属
薄膜型の磁気記録媒体の生産効率が高い技術を提供する
ことである。 【構成】 容器に入れられた金属磁性材料を蒸発させ、
支持体に堆積させることにより金属磁性膜を構成する磁
気記録媒体の製造装置であって、前記容器内の金属磁性
材料に冷却された金属磁性材料を接触させる機構を具備
した磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】しかしながら、このような蒸着装置を用い
ての磁気記録媒体の工業的生産効率に一層の向上が求め
られている。
ての磁気記録媒体の工業的生産効率に一層の向上が求め
られている。
【０００５】
【発明の開示】前記の要望に対する検討が鋭意押し進め
られて行くうちに、磁気記録媒体の生産効率が低いの
は、例えば磁性金属の補給に際してのように蒸着作業に
一時停止を要する場合、ルツボ２４が水冷機構によって
冷却されるようにはなっているものの、ルツボ２４の冷
却よりも内部の磁性金属の冷却に時間が掛かり、この為
に一時停止に必要以上の時間が掛かっていることに気付
いた。
られて行くうちに、磁気記録媒体の生産効率が低いの
は、例えば磁性金属の補給に際してのように蒸着作業に
一時停止を要する場合、ルツボ２４が水冷機構によって
冷却されるようにはなっているものの、ルツボ２４の冷
却よりも内部の磁性金属の冷却に時間が掛かり、この為
に一時停止に必要以上の時間が掛かっていることに気付
いた。
【０００６】尚、ルツボ２４内の磁性金属が充分に冷却
されることなく、真空容器２６内の真空度を低下（大気
下に開放）させたならば、磁性金属は酸化してしまい、
使用できなくなり、無駄なものとなってしまう。このよ
うな観点から本発明がなされたものであり、本発明の目
的は、ルツボ内部の磁性金属の冷却を迅速に行うことが
出来、磁性金属を無駄にすることなく、かつ、金属薄膜
型の磁気記録媒体の生産効率が高い技術を提供すること
である。
されることなく、真空容器２６内の真空度を低下（大気
下に開放）させたならば、磁性金属は酸化してしまい、
使用できなくなり、無駄なものとなってしまう。このよ
うな観点から本発明がなされたものであり、本発明の目
的は、ルツボ内部の磁性金属の冷却を迅速に行うことが
出来、磁性金属を無駄にすることなく、かつ、金属薄膜
型の磁気記録媒体の生産効率が高い技術を提供すること
である。
【０００７】この本発明の目的は、容器に入れられた金
属磁性材料を蒸発させ、支持体に堆積させることにより
金属磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であっ
て、前記容器内の金属磁性材料に冷却された金属磁性材
料を接触させる機構を具備したことを特徴とする磁気記
録媒体の製造装置によって達成される。尚、冷却された
金属磁性材料は容器内の金属磁性材料と同一組成のもの
であることが好ましい。
属磁性材料を蒸発させ、支持体に堆積させることにより
金属磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であっ
て、前記容器内の金属磁性材料に冷却された金属磁性材
料を接触させる機構を具備したことを特徴とする磁気記
録媒体の製造装置によって達成される。尚、冷却された
金属磁性材料は容器内の金属磁性材料と同一組成のもの
であることが好ましい。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明に係る磁気記録媒体の製造装
置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却キ
ャン、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであ
り、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料か
らなる非磁性の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出
され、冷却キャン１に沿って巻き回され、そして巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行くようになっている。
置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却キ
ャン、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであ
り、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料か
らなる非磁性の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出
され、冷却キャン１に沿って巻き回され、そして巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行くようになっている。
【０００９】尚、非磁性の支持体３の表面には、磁性層
（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート
層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗
すことにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性
薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．
１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が
構成されている。
（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート
層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗
すことにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性
薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．
１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が
構成されている。
【００１０】４はルツボであり、このルツボ４内には、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
【００１１】尚、ルツボ４の構成材料としては、例えば
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、Ｂ4 Ｃ製のルツボ、あるい
は炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボであ
る。
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、Ｂ4 Ｃ製のルツボ、あるい
は炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボであ
る。
【００１２】６は真空容器、７は真空容器６外に設けら
れた容器中に充填されている液体窒素、８は液体窒素に
浸けられ、これによって冷却されている熱伝導性が高い
金属、例えば銅塊であり、この銅塊８は真空容器６を構
成する壁の一部となっている。すなわち、銅塊８は、図
１に示すように、真空容器６の底面に嵌合して配設され
ており、その上端部８ａはルツボ４より下方の位置にあ
って、蒸着作業に支障が起きないように成っている。
又、銅塊８の下端部８ｂは液体窒素７によって冷却さ
れ、銅塊８全体が冷却されるように構成されている。
尚、真空容器６の真空状態を保持する為に、銅塊８と真
空容器６との間にはＯリング９が設けられている。
れた容器中に充填されている液体窒素、８は液体窒素に
浸けられ、これによって冷却されている熱伝導性が高い
金属、例えば銅塊であり、この銅塊８は真空容器６を構
成する壁の一部となっている。すなわち、銅塊８は、図
１に示すように、真空容器６の底面に嵌合して配設され
ており、その上端部８ａはルツボ４より下方の位置にあ
って、蒸着作業に支障が起きないように成っている。
又、銅塊８の下端部８ｂは液体窒素７によって冷却さ
れ、銅塊８全体が冷却されるように構成されている。
尚、真空容器６の真空状態を保持する為に、銅塊８と真
空容器６との間にはＯリング９が設けられている。
【００１３】１０は、ルツボ４内の磁性金属５と同じ組
成の磁性金属からなる冷却部材である。冷却部材１０
は、リニアモータ１１とモータ１２とにより、ルツボ４
と銅塊８の上端部８ａとの間を移動できるようになって
いる。尚、リニアモータ１１の内部は図示の如くに構成
されていて、各コイルにより上下の移動がスムーズに行
えるようになっている。そして、蒸着作業中にあって
は、上端部８ａに接触していて冷却され、蒸着作業を停
止した際には、冷却された冷却部材１０が、図１中、リ
ニアモータにより先ず垂直に上昇し、次にモータ１２に
よりリニアモータと共に冷却部材を回転移動させ、ルツ
ボの真上にて停止させ、リニアモータにより垂直に降下
させ、溶融している磁性金属５に接触して溶融磁性金属
５を急冷し、表面が急速に冷却固化されるように構成さ
れている。
成の磁性金属からなる冷却部材である。冷却部材１０
は、リニアモータ１１とモータ１２とにより、ルツボ４
と銅塊８の上端部８ａとの間を移動できるようになって
いる。尚、リニアモータ１１の内部は図示の如くに構成
されていて、各コイルにより上下の移動がスムーズに行
えるようになっている。そして、蒸着作業中にあって
は、上端部８ａに接触していて冷却され、蒸着作業を停
止した際には、冷却された冷却部材１０が、図１中、リ
ニアモータにより先ず垂直に上昇し、次にモータ１２に
よりリニアモータと共に冷却部材を回転移動させ、ルツ
ボの真上にて停止させ、リニアモータにより垂直に降下
させ、溶融している磁性金属５に接触して溶融磁性金属
５を急冷し、表面が急速に冷却固化されるように構成さ
れている。
【００１４】上記のように構成させた装置において、真
空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加
熱などによりルツボ４内の磁性金属５を溶融、蒸発さ
せ、ＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１
μｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜
型の磁気記録媒体が製造される。磁性薄膜の形成に際し
て、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによ
って磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護
層を形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化
膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであ
り、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場
合もあり、このような時には強制酸化の手段を講じなく
ても良い場合がある。
空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加
熱などによりルツボ４内の磁性金属５を溶融、蒸発さ
せ、ＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１
μｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜
型の磁気記録媒体が製造される。磁性薄膜の形成に際し
て、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによ
って磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護
層を形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化
膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであ
り、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場
合もあり、このような時には強制酸化の手段を講じなく
ても良い場合がある。
【００１５】このようにして、磁性薄膜が構成された支
持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出
し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩
化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバイ
ンダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイ
レクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持体３面
上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を
設ける。
持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出
し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩
化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバイ
ンダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイ
レクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持体３面
上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を
設ける。
【００１６】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面側
に塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面側
に塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１７】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。ところで、何らかの理
由により上記の蒸着作業を停止する場合には、ルツボ４
内の磁性金属５の溶融、蒸発を停止させる訳であるが、
この際、直ちに冷却されている冷却部材１０を溶融磁性
金属５に接触させれば、溶融磁性金属５は表面が急速に
冷却固化する。
って磁気テープなどが得られる。ところで、何らかの理
由により上記の蒸着作業を停止する場合には、ルツボ４
内の磁性金属５の溶融、蒸発を停止させる訳であるが、
この際、直ちに冷却されている冷却部材１０を溶融磁性
金属５に接触させれば、溶融磁性金属５は表面が急速に
冷却固化する。
【００１８】このようにすれば、真空容器６を大気下に
開放しても、ルツボ４内の磁性金属の酸化は起き難く、
かつ、真空容器６の開放がスピーディに行えるようにな
る。すなわち、ルツボ内部の磁性金属を無駄にすること
なく、かつ、金属薄膜型の磁気記録媒体の生産効率が高
いものとなる。
開放しても、ルツボ４内の磁性金属の酸化は起き難く、
かつ、真空容器６の開放がスピーディに行えるようにな
る。すなわち、ルツボ内部の磁性金属を無駄にすること
なく、かつ、金属薄膜型の磁気記録媒体の生産効率が高
いものとなる。
【００１９】
【効果】本発明によれば、磁性金属を無駄にすることな
く、かつ、金属薄膜型の磁気記録媒体を効率良く生産で
きる。
く、かつ、金属薄膜型の磁気記録媒体を効率良く生産で
きる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャン ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ４ ルツボ ５ 磁性金属 ６ 真空容器 ７ 液体窒素 ８ 銅塊 １０ 冷却部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 容器に入れられた金属磁性材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属磁性膜を構成す
る磁気記録媒体の製造装置であって、前記容器内の金属
磁性材料に冷却された金属磁性材料を接触させる機構を
具備したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 冷却された金属磁性材料は容器内の金属
磁性材料と同一組成のものであることを特徴とする請求
項１の磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196893A JPH0785472A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196893A JPH0785472A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785472A true JPH0785472A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16931877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23196893A Pending JPH0785472A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785472A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010040947A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 真空処理装置 |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP23196893A patent/JPH0785472A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010040947A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 真空処理装置 |
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