JPH07320263A - 金属系薄膜体の製造装置 - Google Patents
金属系薄膜体の製造装置Info
- Publication number
- JPH07320263A JPH07320263A JP10879594A JP10879594A JPH07320263A JP H07320263 A JPH07320263 A JP H07320263A JP 10879594 A JP10879594 A JP 10879594A JP 10879594 A JP10879594 A JP 10879594A JP H07320263 A JPH07320263 A JP H07320263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- thin film
- metal material
- evaporation source
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産性の向上が図れる蒸着効率の高い金属系
薄膜の製造装置を提供することである。 【構成】 金属系薄膜体を製造する装置であって、金属
材料蒸発源と、この金属材料蒸発源に対応して設けられ
た複数の案内手段とを具備してなり、前記各々の案内手
段に沿って走行させられる支持体の各々に前記金属材料
蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう構成してなる金属
系薄膜体の製造装置。
薄膜の製造装置を提供することである。 【構成】 金属系薄膜体を製造する装置であって、金属
材料蒸発源と、この金属材料蒸発源に対応して設けられ
た複数の案内手段とを具備してなり、前記各々の案内手
段に沿って走行させられる支持体の各々に前記金属材料
蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう構成してなる金属
系薄膜体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。
【０００３】そして、この種の磁気記録媒体は磁性体の
充填密度が高いことから、高密度記録に適したものであ
る。このような乾式メッキ手段による磁気記録媒体の製
造装置は、図５のように構成された斜方入射方式のもの
が一般的である。尚、図５中、２０は冷却キャンロー
ル、２１ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルム２２の供給ロール、２１ｂはＰＥＴフィルム２２
の巻取ロール、２３は遮蔽板、２４はルツボ、２５は磁
性金属であり、これらのものは真空容器内に収納されて
いる。
充填密度が高いことから、高密度記録に適したものであ
る。このような乾式メッキ手段による磁気記録媒体の製
造装置は、図５のように構成された斜方入射方式のもの
が一般的である。尚、図５中、２０は冷却キャンロー
ル、２１ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルム２２の供給ロール、２１ｂはＰＥＴフィルム２２
の巻取ロール、２３は遮蔽板、２４はルツボ、２５は磁
性金属であり、これらのものは真空容器内に収納されて
いる。
【０００４】そして、真空容器内を所定真空度のものと
なるよう排気した後、電子銃２６を作動させてルツボ２
４内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２２に
対して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、こ
の後巻取ロール２１ｂに巻取られ、更にこの後カッティ
ング等の工程を経て磁気テープ等が作製されているので
ある。
なるよう排気した後、電子銃２６を作動させてルツボ２
４内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２２に
対して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、こ
の後巻取ロール２１ｂに巻取られ、更にこの後カッティ
ング等の工程を経て磁気テープ等が作製されているので
ある。
【０００５】しかしながら、このような斜方入射蒸着方
式の装置では、角度γに相当する範囲内の蒸発粒子しか
支持体表面に堆積せず、全蒸発量に対する割合、いわゆ
る蒸着効率は低く、生産性が非常に悪いといった問題が
あり、その改善が待たれている。
式の装置では、角度γに相当する範囲内の蒸発粒子しか
支持体表面に堆積せず、全蒸発量に対する割合、いわゆ
る蒸着効率は低く、生産性が非常に悪いといった問題が
あり、その改善が待たれている。
【０００６】
【発明の開示】本発明の目的は、生産性の向上が図れる
蒸着効率の高い金属系薄膜の製造装置を提供することで
ある。この本発明の目的は、金属系薄膜体を製造する装
置であって、金属材料蒸発源と、この金属材料蒸発源に
対応して設けられた複数の案内手段とを具備してなり、
前記各々の案内手段に沿って走行させられる支持体の各
々に前記金属材料蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう
構成してなることを特徴とする金属系薄膜体の製造装置
によって達成される。
蒸着効率の高い金属系薄膜の製造装置を提供することで
ある。この本発明の目的は、金属系薄膜体を製造する装
置であって、金属材料蒸発源と、この金属材料蒸発源に
対応して設けられた複数の案内手段とを具備してなり、
前記各々の案内手段に沿って走行させられる支持体の各
々に前記金属材料蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう
構成してなることを特徴とする金属系薄膜体の製造装置
によって達成される。
【０００７】尚、この本発明においては、金属材料蒸発
源に対応して設けられた複数個の冷却用ロールと、前記
各々の冷却用ロールに沿って走行する支持体の供給ロー
ル及び巻取ロールとを具備してなり、前記各々の冷却用
ロールに沿って走行させられる支持体の各々に前記金属
材料蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう構成させるこ
とが出来る。又、金属材料蒸発源に対応して設けられた
複数個の冷却用平板状体と、前記各々の冷却用平板状体
に沿って走行する支持体の供給ロール及び巻取ロールと
を具備してなり、前記各々の冷却用平板状体に沿って走
行させられる支持体の各々に前記金属材料蒸発源からの
蒸発粒子が蒸着するよう構成させることも出来る。
源に対応して設けられた複数個の冷却用ロールと、前記
各々の冷却用ロールに沿って走行する支持体の供給ロー
ル及び巻取ロールとを具備してなり、前記各々の冷却用
ロールに沿って走行させられる支持体の各々に前記金属
材料蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう構成させるこ
とが出来る。又、金属材料蒸発源に対応して設けられた
複数個の冷却用平板状体と、前記各々の冷却用平板状体
に沿って走行する支持体の供給ロール及び巻取ロールと
を具備してなり、前記各々の冷却用平板状体に沿って走
行させられる支持体の各々に前記金属材料蒸発源からの
蒸発粒子が蒸着するよう構成させることも出来る。
【０００８】すなわち、本発明の金属系薄膜体の製造装
置では、一つの金属材料蒸発源に対して複数の支持体を
対面させ、これら複数の支持体に金属材料が蒸着するよ
う構成してなるので、ルツボから蒸発する磁性金属は大
きな面積で支持体に捉えられるようになり、これによっ
て全蒸発量に比べて支持体上に堆積するものの割合が大
幅に増大し、蒸着効率が高まり、金属材料の無駄を低減
することが出来、生産性の向上に極めて大きな効果を発
揮するようになる。
置では、一つの金属材料蒸発源に対して複数の支持体を
対面させ、これら複数の支持体に金属材料が蒸着するよ
う構成してなるので、ルツボから蒸発する磁性金属は大
きな面積で支持体に捉えられるようになり、これによっ
て全蒸発量に比べて支持体上に堆積するものの割合が大
幅に増大し、蒸着効率が高まり、金属材料の無駄を低減
することが出来、生産性の向上に極めて大きな効果を発
揮するようになる。
【０００９】又、真空容器の内壁に磁性金属が付着する
量も相対的に少なくなり、汚染をそれだけ少なく出来、
クリーニング回数も少なくて済み、連続運転を長く出
来、この点からも生産性が向上する。
量も相対的に少なくなり、汚染をそれだけ少なく出来、
クリーニング回数も少なくて済み、連続運転を長く出
来、この点からも生産性が向上する。
【００１０】
【実施例】図１〜図３は本発明に係る磁気記録媒体の製
造装置の第１実施例を示すもので、図１は装置の要部側
面図、図２は装置の要部正面図、図３は装置の要部平面
図である。図１〜図３中、１ａ〜１ｄは冷却用ロールで
あり、図３に示す如く略十字状に配置されている。特
に、冷却用ロール１ａ，１ｂについては近接した状態
で、又、冷却用ロール１ｃ，１ｄについては冷却用ロー
ル１ａ，１ｂを挟み込むようにして設けられており、蒸
着空間の有効利用が図られている。
造装置の第１実施例を示すもので、図１は装置の要部側
面図、図２は装置の要部正面図、図３は装置の要部平面
図である。図１〜図３中、１ａ〜１ｄは冷却用ロールで
あり、図３に示す如く略十字状に配置されている。特
に、冷却用ロール１ａ，１ｂについては近接した状態
で、又、冷却用ロール１ｃ，１ｄについては冷却用ロー
ル１ａ，１ｂを挟み込むようにして設けられており、蒸
着空間の有効利用が図られている。
【００１１】２ａ〜２ｄはそれぞれ冷却用ロール１ａ〜
１ｄに対応した防着板、３はルツボ、４は磁性金属、５
は供給ロール（図示せず）から引出され、冷却用ロール
１ａ〜１ｄを経て巻取ロール（図示せず）に巻取られる
支持体であり、これらのものは真空容器内に収納されて
いる。尚、支持体５は非磁性のものであり、この支持体
５はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金等の金属材料が用
いられる。そして、支持体５の面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
１ｄに対応した防着板、３はルツボ、４は磁性金属、５
は供給ロール（図示せず）から引出され、冷却用ロール
１ａ〜１ｄを経て巻取ロール（図示せず）に巻取られる
支持体であり、これらのものは真空容器内に収納されて
いる。尚、支持体５は非磁性のものであり、この支持体
５はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金等の金属材料が用
いられる。そして、支持体５の面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
【００１２】ルツボ３に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
【００１３】上記のように構成した装置を用い、すなわ
ち真空容器内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２
×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃（図示
せず）によりルツボ３内の磁性金属４を加熱・蒸発さ
せ、四方向から供給されるＰＥＴフィルム等の支持体５
に対して０．０４〜２μｍ厚さに磁性金属４を蒸着させ
ることによって磁性薄膜が形成される。
ち真空容器内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２
×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃（図示
せず）によりルツボ３内の磁性金属４を加熱・蒸発さ
せ、四方向から供給されるＰＥＴフィルム等の支持体５
に対して０．０４〜２μｍ厚さに磁性金属４を蒸着させ
ることによって磁性薄膜が形成される。
【００１４】この際、冷却用ロール１ａ，１ｂについて
は、図１に示す如く、角度αに相当する量の磁性金属が
冷却用ロール１ａ，１ｂ上で支持体５に蒸着し、又、こ
れと同時に冷却用ロール１ｃ，１ｄについては、図２に
示す如く、角度βに相当する量の磁性金属が冷却用ロー
ル１ｃ，１ｄ上で支持体５に蒸着するようになり、ルツ
ボ３内に収納された磁性金属４が効率良く蒸着するよう
になる。
は、図１に示す如く、角度αに相当する量の磁性金属が
冷却用ロール１ａ，１ｂ上で支持体５に蒸着し、又、こ
れと同時に冷却用ロール１ｃ，１ｄについては、図２に
示す如く、角度βに相当する量の磁性金属が冷却用ロー
ル１ｃ，１ｄ上で支持体５に蒸着するようになり、ルツ
ボ３内に収納された磁性金属４が効率良く蒸着するよう
になる。
【００１５】尚、この磁性薄膜の形成に際しては、ノズ
ルから酸素ガスが磁性金属４の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。この
後、巻取ロールを取り出し、そして平均粒径２０ｎｍの
カーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレ
ポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてなるバッ
クコート用の塗料をダイレクトグラビア法により磁性層
とは反対側の支持体５に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍ
のバックコート層を設ける。
ルから酸素ガスが磁性金属４の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。この
後、巻取ロールを取り出し、そして平均粒径２０ｎｍの
カーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレ
ポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてなるバッ
クコート用の塗料をダイレクトグラビア法により磁性層
とは反対側の支持体５に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍ
のバックコート層を設ける。
【００１６】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、１００℃で乾燥させ、更に所定の幅にスリット
し、磁気テープ等にする。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、１００℃で乾燥させ、更に所定の幅にスリット
し、磁気テープ等にする。
【００１７】上述した如く、本発明の装置では、磁性金
属を一つのルツボから同時に複数の支持体に蒸着させる
ようにしたので、支持体に堆積せずに浪費される磁性金
属の割合を大幅に低減することが出来、すなわち蒸着効
率を格段に向上させることが可能で、これによって製造
コストは一層低廉なものとなる。かつ、真空容器の内壁
に磁性金属が付着する量も相対的に少なくなり、汚染を
それだけ少なく出来、クリーニング回数も少なくて済
み、連続運転を長く出来、この点からも生産性が向上す
る。
属を一つのルツボから同時に複数の支持体に蒸着させる
ようにしたので、支持体に堆積せずに浪費される磁性金
属の割合を大幅に低減することが出来、すなわち蒸着効
率を格段に向上させることが可能で、これによって製造
コストは一層低廉なものとなる。かつ、真空容器の内壁
に磁性金属が付着する量も相対的に少なくなり、汚染を
それだけ少なく出来、クリーニング回数も少なくて済
み、連続運転を長く出来、この点からも生産性が向上す
る。
【００１８】図４は本発明の磁気記録媒体の製造装置の
第２実施例に係るもので、装置の要部側面図である。同
図中、１０ａ，１０ｂはローラ、１１はローラ１０ａ，
１０ｂに掛けられた冷却用エンドレスベルトであり、こ
の冷却用エンドレスベルト１１は第１実施例における冷
却用ロールと同様の位置関係で、ルツボの上方に防着板
を挟んで計四箇所に設けられており、特に末広がりとな
るような勾配で配置されている。
第２実施例に係るもので、装置の要部側面図である。同
図中、１０ａ，１０ｂはローラ、１１はローラ１０ａ，
１０ｂに掛けられた冷却用エンドレスベルトであり、こ
の冷却用エンドレスベルト１１は第１実施例における冷
却用ロールと同様の位置関係で、ルツボの上方に防着板
を挟んで計四箇所に設けられており、特に末広がりとな
るような勾配で配置されている。
【００１９】１２は供給ロール（図示せず）から引出さ
れ、冷却用エンドレスベルト１１を経て巻取ロール（図
示せず）に巻取られる支持体である。この第２実施例の
装置にあっても、ルツボから蒸発した磁性金属が平板状
の冷却用エンドレスベルト１１上で四方向から送られる
支持体１２の表面に蒸着するようになっており、従って
蒸発した磁性金属の蒸着面積が極めて大きなものとなる
ので、蒸着効率が高まり、生産性が飛躍的に向上するよ
うになる。
れ、冷却用エンドレスベルト１１を経て巻取ロール（図
示せず）に巻取られる支持体である。この第２実施例の
装置にあっても、ルツボから蒸発した磁性金属が平板状
の冷却用エンドレスベルト１１上で四方向から送られる
支持体１２の表面に蒸着するようになっており、従って
蒸発した磁性金属の蒸着面積が極めて大きなものとなる
ので、蒸着効率が高まり、生産性が飛躍的に向上するよ
うになる。
【００２０】尚、本実施例では、ルツボ上に四本の支持
体を配置したものについて説明したが、支持体の配置形
態はこれに限定されることは無く、その他にも様々な配
置が可能である。
体を配置したものについて説明したが、支持体の配置形
態はこれに限定されることは無く、その他にも様々な配
置が可能である。
【００２１】
【効果】本発明によれば、磁性材料の蒸着効率が高く、
生産性の大幅な向上が図れる。
生産性の大幅な向上が図れる。
【図１】磁気記録媒体の製造装置の要部側面図
【図２】磁気記録媒体の製造装置の要部正面図
【図３】磁気記録媒体の製造装置の要部平面図
【図４】磁気記録媒体の製造装置の他実施例に係る要部
側面図
側面図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置に係る概略側明
図
図
１ａ〜１ｄ 冷却用ロール ２ａ〜２ｄ 防着板 ３ ルツボ ４ 磁性金属 ５ 支持体 １０ａ，１０ｂ ローラ １１ 冷却用エンドレスベルト １２ 支持体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 金属系薄膜体を製造する装置であって、
金属材料蒸発源と、この金属材料蒸発源に対応して設け
られた複数の案内手段とを具備してなり、前記各々の案
内手段に沿って走行させられる支持体の各々に前記金属
材料蒸発源からの蒸発粒子が蒸着するよう構成してなる
ことを特徴とする金属系薄膜体の製造装置。 - 【請求項２】 金属材料蒸発源に対応して設けられた複
数個の冷却用ロールと、前記各々の冷却用ロールに沿っ
て走行する支持体の供給ロール及び巻取ロールとを具備
してなり、前記各々の冷却用ロールに沿って走行させら
れる支持体の各々に前記金属材料蒸発源からの蒸発粒子
が蒸着するよう構成してなることを特徴とする請求項１
の金属系薄膜体の製造装置。 - 【請求項３】 金属材料蒸発源に対応して設けられた複
数個の冷却用平板状体と、前記各々の冷却用平板状体に
沿って走行する支持体の供給ロール及び巻取ロールとを
具備してなり、前記各々の冷却用平板状体に沿って走行
させられる支持体の各々に前記金属材料蒸発源からの蒸
発粒子が蒸着するよう構成してなることを特徴とする請
求項１の金属系薄膜体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879594A JPH07320263A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 金属系薄膜体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879594A JPH07320263A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 金属系薄膜体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07320263A true JPH07320263A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14493683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10879594A Pending JPH07320263A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 金属系薄膜体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07320263A (ja) |
-
1994
- 1994-05-23 JP JP10879594A patent/JPH07320263A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0588366A1 (en) | Magnetic recording medium manufacturing method and manufacturing apparatus and magnetic recording medium | |
| JPH07320263A (ja) | 金属系薄膜体の製造装置 | |
| JPH0765373A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| US4546725A (en) | Apparatus for manufacturing magnetic recording media | |
| JPH08100258A (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
| JPH04155623A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
| JPH07238378A (ja) | 金属系薄膜体の製造装置 | |
| JPH07243032A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH0773461A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPH0762536A (ja) | 成膜装置 | |
| JP2668953B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH07243042A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH0841642A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH10105942A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07331438A (ja) | 金属膜体の製造装置 | |
| JPH10105941A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62102421A (ja) | 基板用フイルム及び薄膜形成方法 | |
| JPH0785467A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPS6043915B2 (ja) | 真空蒸着方法 | |
| JPH06333225A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPH10105944A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH08102068A (ja) | 金属膜の成膜方法及びその装置 | |
| JPH07244841A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに製造装置 | |
| JPH07192259A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0786033A (ja) | 薄膜及びその形成方法 |