JPH0773461A - 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法及びその装置Info
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- JPH0773461A JPH0773461A JP22099293A JP22099293A JPH0773461A JP H0773461 A JPH0773461 A JP H0773461A JP 22099293 A JP22099293 A JP 22099293A JP 22099293 A JP22099293 A JP 22099293A JP H0773461 A JPH0773461 A JP H0773461A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造歩留り良く
提供することを目的とする。 【構成】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法で
あって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金属磁
性薄膜を形成した後、金属磁性薄膜が形成された磁気記
録媒体に帯電している電荷を除電する磁気記録媒体の製
造方法。
提供することを目的とする。 【構成】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法で
あって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金属磁
性薄膜を形成した後、金属磁性薄膜が形成された磁気記
録媒体に帯電している電荷を除電する磁気記録媒体の製
造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法及びその装置に関するものである。
法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、この後巻取
側ロール２２ｂに巻き取られ、そしてこの後カッティン
グなどの工程を経て磁気テープなどが作製されているの
である。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、この後巻取
側ロール２２ｂに巻き取られ、そしてこの後カッティン
グなどの工程を経て磁気テープなどが作製されているの
である。
【０００４】しかしながら、このような製造工程におい
て、巻取側ロール２２ｂの巻取作業に支障が起き、例え
ば巻き乱れが起きたり、皺が出来たりし、これに起因し
て磁性薄膜の形成が上手く行えなくなることがあり、改
善が待たれている。
て、巻取側ロール２２ｂの巻取作業に支障が起き、例え
ば巻き乱れが起きたり、皺が出来たりし、これに起因し
て磁性薄膜の形成が上手く行えなくなることがあり、改
善が待たれている。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する検討を鋭意押し進
めて行くうちに、蒸発磁性粒子が堆積した後のＰＥＴフ
ィルム２３には電子が過剰に帯電していることが判り、
これによってＰＥＴフィルム２３の走行性が低下するの
であろうとの知見を得るに至った。
めて行くうちに、蒸発磁性粒子が堆積した後のＰＥＴフ
ィルム２３には電子が過剰に帯電していることが判り、
これによってＰＥＴフィルム２３の走行性が低下するの
であろうとの知見を得るに至った。
【０００６】すなわち、電子銃によってルツボ２４内の
磁性金属２５を蒸発させていることから、磁性粒子の堆
積に伴って電子も帯電することになり、ＰＥＴフィルム
２３が静電気を帯びることになるので、これによってＰ
ＥＴフィルム２３の走行性が低下するのであることが判
って来たのである。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造歩留り良く提供することを目的とする。
磁性金属２５を蒸発させていることから、磁性粒子の堆
積に伴って電子も帯電することになり、ＰＥＴフィルム
２３が静電気を帯びることになるので、これによってＰ
ＥＴフィルム２３の走行性が低下するのであることが判
って来たのである。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造歩留り良く提供することを目的とする。
【０００７】この本発明の目的は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造する方法であって、非磁性の支持体上に磁
性材料を堆積して金属磁性薄膜を形成した後、金属磁性
薄膜が形成された磁気記録媒体に帯電している電荷を除
電することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっ
て達成される。又、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造す
る方法であって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積し
て金属磁性薄膜を形成した後、水蒸気雰囲気下に置くこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成さ
れる。
録媒体を製造する方法であって、非磁性の支持体上に磁
性材料を堆積して金属磁性薄膜を形成した後、金属磁性
薄膜が形成された磁気記録媒体に帯電している電荷を除
電することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっ
て達成される。又、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造す
る方法であって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積し
て金属磁性薄膜を形成した後、水蒸気雰囲気下に置くこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成さ
れる。
【０００８】尚、この磁気記録媒体の製造方法におい
て、磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を巻き取るま
での間に水蒸気雰囲気下に置くことが好ましい。又、金
属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、非磁
性の支持体上に金属磁性薄膜を形成する金属磁性薄膜形
成手段と、金属磁性薄膜が形成された磁気記録媒体に帯
電している電荷の除電手段とを備えてなることを特徴と
する磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
て、磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を巻き取るま
での間に水蒸気雰囲気下に置くことが好ましい。又、金
属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、非磁
性の支持体上に金属磁性薄膜を形成する金属磁性薄膜形
成手段と、金属磁性薄膜が形成された磁気記録媒体に帯
電している電荷の除電手段とを備えてなることを特徴と
する磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
【０００９】又、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、水蒸気発生手段と、金属
磁性薄膜の形成された非磁性の支持体を前記水蒸気発生
手段による水蒸気雰囲気中を走行させる走行手段とを備
えてなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置によ
って達成される。
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、水蒸気発生手段と、金属
磁性薄膜の形成された非磁性の支持体を前記水蒸気発生
手段による水蒸気雰囲気中を走行させる走行手段とを備
えてなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置によ
って達成される。
【００１０】又、非磁性の支持体の供給手段及び巻取手
段と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路におい
て設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、前記金属磁性薄膜形成手段
と巻取手段との間に設けられた水蒸気発生手段と、前記
非磁性の支持体を供給手段から水蒸気発生手段による水
蒸気雰囲気中を経由して巻取手段に至る走行経路を走行
させる走行手段とを備えてなることを特徴とする磁気記
録媒体の製造装置によって達成される。
段と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路におい
て設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、前記金属磁性薄膜形成手段
と巻取手段との間に設けられた水蒸気発生手段と、前記
非磁性の支持体を供給手段から水蒸気発生手段による水
蒸気雰囲気中を経由して巻取手段に至る走行経路を走行
させる走行手段とを備えてなることを特徴とする磁気記
録媒体の製造装置によって達成される。
【００１１】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００１２】
〔実施例１〕図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却
キャン、２ａは非磁性の支持体３の供給側ロール、２ｂ
は支持体３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、
６は磁性金属、７は電子銃、８は真空容器である。尚、
真空容器８内を高真空度のものにする為の真空ポンプは
図示していない。
装置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却
キャン、２ａは非磁性の支持体３の供給側ロール、２ｂ
は支持体３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、
６は磁性金属、７は電子銃、８は真空容器である。尚、
真空容器８内を高真空度のものにする為の真空ポンプは
図示していない。
【００１３】支持体３は非磁性のものであり、この支持
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
【００１４】ルツボ５に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
【００１５】９は水蒸気発生器であり、この水蒸気発生
器９によって発生せしめられた水蒸気は真空容器８に設
けられた仕切壁で構成された水蒸気室１０内を満たし、
この状態が保持されるように構成されている。尚、真空
容器８内を高真空度のものにする為に、真空容器８には
真空ポンプが接続されているのと同様、電荷を帯びた水
蒸気が水蒸気室１０内に充満しないように排気手段が接
続されている。つまり、電荷を帯びていない水蒸気によ
って水蒸気室１０内が常に満たされているように構成さ
れている。
器９によって発生せしめられた水蒸気は真空容器８に設
けられた仕切壁で構成された水蒸気室１０内を満たし、
この状態が保持されるように構成されている。尚、真空
容器８内を高真空度のものにする為に、真空容器８には
真空ポンプが接続されているのと同様、電荷を帯びた水
蒸気が水蒸気室１０内に充満しないように排気手段が接
続されている。つまり、電荷を帯びていない水蒸気によ
って水蒸気室１０内が常に満たされているように構成さ
れている。
【００１６】１１は水蒸気室１０に隣接して設けられた
乾燥室であり、水蒸気室１０内を通過することによって
付着した水分を除去する為のものである。つまり、低圧
条件に保持しておくことによって、乾燥室１１に入って
来た支持体３に付着している水分を真空乾燥させて除去
するようにしたものである。１２はガイドローラであ
り、真空容器８内における供給側ロール２ａから冷却キ
ャン１に添接され、この後水蒸気室１０内、乾燥室１１
内を経て巻取側ロール２ｂに至る所定のパス路に設けら
れたものである。
乾燥室であり、水蒸気室１０内を通過することによって
付着した水分を除去する為のものである。つまり、低圧
条件に保持しておくことによって、乾燥室１１に入って
来た支持体３に付着している水分を真空乾燥させて除去
するようにしたものである。１２はガイドローラであ
り、真空容器８内における供給側ロール２ａから冷却キ
ャン１に添接され、この後水蒸気室１０内、乾燥室１１
内を経て巻取側ロール２ｂに至る所定のパス路に設けら
れたものである。
【００１７】上記のように構成させた装置において、真
空容器８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×
１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃７により
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体３に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属６を
蒸着させることによって金属薄膜型の磁気記録媒体が製
造される。
空容器８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×
１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃７により
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体３に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属６を
蒸着させることによって金属薄膜型の磁気記録媒体が製
造される。
【００１８】尚、この磁性薄膜の形成に際しては、ノズ
ルから酸素ガスが磁性金属６の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。このよ
うにして磁性薄膜が形成され、そして酸化処理が施さ
れ、巻取側ロール２ｂに巻き取られる途中の過程におい
て、支持体３は１０-2Ｔｏｒｒ程度の水蒸気で満たされ
ている水蒸気室１０内を通過する。この為、支持体３に
電子が帯電していたとしても、この電荷は水蒸気室１０
内の水蒸気によって除電されるようになり、電荷の帯電
による走行特性の低下はなくなり、支持体３は供給側ロ
ール２ａから冷却キャン１を経て巻取側ロール２ｂに良
好に巻き取られるようになる。そして、支持体３の走行
特性が良好であるから、金属磁性薄膜の形成が良好に行
われ、製造歩留り良く磁気記録媒体の原反が得られるよ
うになる。
ルから酸素ガスが磁性金属６の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。このよ
うにして磁性薄膜が形成され、そして酸化処理が施さ
れ、巻取側ロール２ｂに巻き取られる途中の過程におい
て、支持体３は１０-2Ｔｏｒｒ程度の水蒸気で満たされ
ている水蒸気室１０内を通過する。この為、支持体３に
電子が帯電していたとしても、この電荷は水蒸気室１０
内の水蒸気によって除電されるようになり、電荷の帯電
による走行特性の低下はなくなり、支持体３は供給側ロ
ール２ａから冷却キャン１を経て巻取側ロール２ｂに良
好に巻き取られるようになる。そして、支持体３の走行
特性が良好であるから、金属磁性薄膜の形成が良好に行
われ、製造歩留り良く磁気記録媒体の原反が得られるよ
うになる。
【００１９】この後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そ
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布
し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
そして、フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：
ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日
本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナー
ト、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．１％とな
るよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥
後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に塗布し、１０
０℃で乾燥させる。
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布
し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
そして、フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：
ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日
本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナー
ト、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．１％とな
るよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥
後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に塗布し、１０
０℃で乾燥させる。
【００２０】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。
プなどにする。
【００２１】
【効果】本発明によれば、高性能な磁気記録媒体が製造
歩留り良く得られる。
歩留り良く得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
【符号の説明】 １ 冷却キャン ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ ルツボ ６ 磁性金属 ７ 電子銃 ８ 真空容器 ９ 水蒸気発生器 １０ 水蒸気室 １１ 乾燥室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方
法であって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金
属磁性薄膜を形成した後、金属磁性薄膜が形成された磁
気記録媒体に帯電している電荷を除電することを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方
法であって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金
属磁性薄膜を形成した後、水蒸気雰囲気下に置くことを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】 磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を
巻き取るまでの間に水蒸気雰囲気下に置くことを特徴と
する請求項２の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装
置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜が形成された
磁気記録媒体に帯電している電荷の除電手段とを備えて
なることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項５】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装
置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、水蒸気発生手段と、金属磁
性薄膜の形成された非磁性の支持体を前記水蒸気発生手
段による水蒸気雰囲気中を走行させる走行手段とを備え
てなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項６】 非磁性の支持体の供給手段及び巻取手段
と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路において
設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成する
金属磁性薄膜形成手段と、前記金属磁性薄膜形成手段と
巻取手段との間に設けられた水蒸気発生手段と、前記非
磁性の支持体を供給手段から水蒸気発生手段による水蒸
気雰囲気中を経由して巻取手段に至る走行経路を走行さ
せる走行手段とを備えてなることを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22099293A JPH0773461A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22099293A JPH0773461A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773461A true JPH0773461A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16759777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22099293A Pending JPH0773461A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773461A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006348338A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
-
1993
- 1993-09-06 JP JP22099293A patent/JPH0773461A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006348338A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
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