JPH0793279B2 - 炉芯管開閉装置 - Google Patents
炉芯管開閉装置Info
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- JPH0793279B2 JPH0793279B2 JP1254665A JP25466589A JPH0793279B2 JP H0793279 B2 JPH0793279 B2 JP H0793279B2 JP 1254665 A JP1254665 A JP 1254665A JP 25466589 A JP25466589 A JP 25466589A JP H0793279 B2 JPH0793279 B2 JP H0793279B2
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- Japan
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- fork
- core tube
- furnace core
- opening
- lid
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0441—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3311—Horizontal transfer of a batch of workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0431—Apparatus for thermal treatment
- H10P72/0434—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置の製造の際、特に半導体ウェハ酸
化拡散工程で用いられる炉芯管の開口端面を開閉する炉
芯管開閉装置に関する。
化拡散工程で用いられる炉芯管の開口端面を開閉する炉
芯管開閉装置に関する。
（従来の技術） 上記炉芯管においては、フォークを挿入したままこの開
口端面を閉塞する必要があるため、フォーク挿入時と非
挿入時の２つの態様で炉芯管の開口端面の開閉を行うこ
とができるようにした炉芯管開閉装置が一般に備えられ
ている。
口端面を閉塞する必要があるため、フォーク挿入時と非
挿入時の２つの態様で炉芯管の開口端面の開閉を行うこ
とができるようにした炉芯管開閉装置が一般に備えられ
ている。
従来の一般的な上記炉芯管開閉装置を第８図及び第９図
に示す。
に示す。
即ち、円筒状の炉芯管１の前方には、円板状で内部にフ
ォーク２の外形に適合するフォーク挿入部３′ａ及びこ
の挿入部３′ａに側端縁から連続したフォーク通過用の
連通部３′ｂを設けた石英板製等のフォーク挿入時用蓋
体３′と、中実円板状で石英板製等のフォーク非挿入時
用蓋体４とが備えられているとともに、この両蓋体
３′,4は夫々移動機構5,5を介して、互いに独立して揺
動及び前後動自在に構成されている。
ォーク２の外形に適合するフォーク挿入部３′ａ及びこ
の挿入部３′ａに側端縁から連続したフォーク通過用の
連通部３′ｂを設けた石英板製等のフォーク挿入時用蓋
体３′と、中実円板状で石英板製等のフォーク非挿入時
用蓋体４とが備えられているとともに、この両蓋体
３′,4は夫々移動機構5,5を介して、互いに独立して揺
動及び前後動自在に構成されている。
この各移動機構５は、回転軸６と、この回転軸６を歯車
7,8を介して回転させるモータ９と、上記回転軸６及び
モータ９を支持したベース10と、このベース10をラック
ギア11及びピニオンギア12を介して前後動させるモータ
13とから構成され、上記各回転軸６の先端には、上記蓋
体３′または４の一方がその一端の突出部において取付
けられ、これにより回転軸６の回転に伴って蓋体３′ま
たは４が炉芯管１の軸心方向に揺動し、ベース10の前後
動に伴う回転軸６の前後動によって蓋体３′または４が
前後動するようなされていた。
7,8を介して回転させるモータ９と、上記回転軸６及び
モータ９を支持したベース10と、このベース10をラック
ギア11及びピニオンギア12を介して前後動させるモータ
13とから構成され、上記各回転軸６の先端には、上記蓋
体３′または４の一方がその一端の突出部において取付
けられ、これにより回転軸６の回転に伴って蓋体３′ま
たは４が炉芯管１の軸心方向に揺動し、ベース10の前後
動に伴う回転軸６の前後動によって蓋体３′または４が
前後動するようなされていた。
そして、フォーク２の挿入時には、炉芯管１の内部にフ
ォーク２を挿通させた状態で、一方の回転軸６を回転さ
せることによりフォーク挿入時用蓋体３′を炉芯管１の
方向に揺動させ、この蓋体３′の中心と炉芯管１の軸心
とを一致させる。この時、フォーク２はフォーク挿入時
用蓋体３′の連通部３′ｂ内を通過してフォーク挿入部
３′ａ内に位置することになる。次に、この蓋体３′を
炉芯管１の方向に前進させ、この炉芯管１の端面にフォ
ーク挿入時用蓋体３′を当接させることにより、炉芯管
１の開口端面をこの蓋体３′で閉じる。
ォーク２を挿通させた状態で、一方の回転軸６を回転さ
せることによりフォーク挿入時用蓋体３′を炉芯管１の
方向に揺動させ、この蓋体３′の中心と炉芯管１の軸心
とを一致させる。この時、フォーク２はフォーク挿入時
用蓋体３′の連通部３′ｂ内を通過してフォーク挿入部
３′ａ内に位置することになる。次に、この蓋体３′を
炉芯管１の方向に前進させ、この炉芯管１の端面にフォ
ーク挿入時用蓋体３′を当接させることにより、炉芯管
１の開口端面をこの蓋体３′で閉じる。
一方、フォーク非挿入時には、他方の回転軸６を炉芯管
１の方向に回転させることによりフォーク非挿入時用蓋
体４を揺動させ、この蓋体４の中心と炉芯管１の軸心と
を一致させる。そして、更にこの蓋体４を炉芯管１の方
向に前進させ、この炉芯管１の端面にフォーク非挿入時
用蓋体４を当接させることにより、炉芯管１の開口端面
をこの蓋体４で閉じるようにしたものであった。
１の方向に回転させることによりフォーク非挿入時用蓋
体４を揺動させ、この蓋体４の中心と炉芯管１の軸心と
を一致させる。そして、更にこの蓋体４を炉芯管１の方
向に前進させ、この炉芯管１の端面にフォーク非挿入時
用蓋体４を当接させることにより、炉芯管１の開口端面
をこの蓋体４で閉じるようにしたものであった。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来例においては、フォーク挿入時
に炉芯管１の開口端面をフォーク挿入時用蓋体３′で塞
ぐものであるが、この蓋体３′には、フォーク２の外形
に合わせたフォーク挿入部３′ａの他にこの挿入部３′
ａに連続するフォーク通過用の連通部３′ｂが設けられ
ていたため、外から冷気や塵埃がこの連通部３′ｂを通
して炉芯管１の内部へ侵入してしまい、炉内の温度分布
が損なわれてしまうばかりでなく、半導体ウェハ等に塵
埃が付着して歩留まりを低下させてしまうことがあると
いった問題点があった。
に炉芯管１の開口端面をフォーク挿入時用蓋体３′で塞
ぐものであるが、この蓋体３′には、フォーク２の外形
に合わせたフォーク挿入部３′ａの他にこの挿入部３′
ａに連続するフォーク通過用の連通部３′ｂが設けられ
ていたため、外から冷気や塵埃がこの連通部３′ｂを通
して炉芯管１の内部へ侵入してしまい、炉内の温度分布
が損なわれてしまうばかりでなく、半導体ウェハ等に塵
埃が付着して歩留まりを低下させてしまうことがあると
いった問題点があった。
本発明は上記に鑑み、フォークの挿入時に炉芯管内への
冷気や塵埃の侵入を極力防止して、炉芯管内の温度分布
のより均一性を維持するとともに、半導体ウェハ等への
塵埃の付着を防止して歩留まりの向上を図ったものを提
供することを目的とする。
冷気や塵埃の侵入を極力防止して、炉芯管内の温度分布
のより均一性を維持するとともに、半導体ウェハ等への
塵埃の付着を防止して歩留まりの向上を図ったものを提
供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明における炉芯開閉装
置は、円筒状の炉芯管の開口端面をフォーク挿入部が形
成されたフォーク挿入時用蓋体または中実円板状のフォ
ーク非挿入時用蓋体で塞ぐようにした炉芯管開閉装置に
おいて、前記フォーク挿入時用蓋体と前記フォーク非挿
入時用蓋体とをそれぞれ、前記炉芯管の軸線に平行に延
び前記軸線方向へ前後動自在な回転軸の回りに揺動自在
にし、前記フォーク挿入時用蓋体を中心で２分割した一
対の開閉扉で構成し、前記各開閉扉を前記軸線方向と垂
直な方向へ延び前記回転軸と一体的に前後動する支持軸
の回りに開閉自在にするとともに、この各開閉扉の当接
端面に夫々切欠き部を設け、開閉扉を閉じた時にこの２
つの切欠き部でフォークの外形に合致したフォーク挿入
部を形成するようにしたものである。
置は、円筒状の炉芯管の開口端面をフォーク挿入部が形
成されたフォーク挿入時用蓋体または中実円板状のフォ
ーク非挿入時用蓋体で塞ぐようにした炉芯管開閉装置に
おいて、前記フォーク挿入時用蓋体と前記フォーク非挿
入時用蓋体とをそれぞれ、前記炉芯管の軸線に平行に延
び前記軸線方向へ前後動自在な回転軸の回りに揺動自在
にし、前記フォーク挿入時用蓋体を中心で２分割した一
対の開閉扉で構成し、前記各開閉扉を前記軸線方向と垂
直な方向へ延び前記回転軸と一体的に前後動する支持軸
の回りに開閉自在にするとともに、この各開閉扉の当接
端面に夫々切欠き部を設け、開閉扉を閉じた時にこの２
つの切欠き部でフォークの外形に合致したフォーク挿入
部を形成するようにしたものである。
（作用） 上記のように構成した本発明によれば、フォーク挿入時
に、先ずフォーク挿入時用蓋体を炉芯管の方向に揺動さ
せて炉芯管の前方に位置させるとともに、フォーク挿入
時用蓋体を構成する開閉扉を開いた状態にしておいてフ
ォークを炉芯管の内部に挿通させ、しかる後、開閉扉を
閉じてフォークが該開閉扉の両切欠き部で形成されるフ
ォーク挿通部を通過した状態となしてフォーク挿入時用
蓋体を炉芯管の方向に前進させることにより、炉芯管の
開口部をフォーク挿入時用蓋体で塞ぐことができる。こ
れによって、このフォーク挿入時用蓋体にフォーク挿通
用の連通部を設ける必要をなくするとともに、フォーク
の全周を最少間隔で遮るようにすることができる。
に、先ずフォーク挿入時用蓋体を炉芯管の方向に揺動さ
せて炉芯管の前方に位置させるとともに、フォーク挿入
時用蓋体を構成する開閉扉を開いた状態にしておいてフ
ォークを炉芯管の内部に挿通させ、しかる後、開閉扉を
閉じてフォークが該開閉扉の両切欠き部で形成されるフ
ォーク挿通部を通過した状態となしてフォーク挿入時用
蓋体を炉芯管の方向に前進させることにより、炉芯管の
開口部をフォーク挿入時用蓋体で塞ぐことができる。こ
れによって、このフォーク挿入時用蓋体にフォーク挿通
用の連通部を設ける必要をなくするとともに、フォーク
の全周を最少間隔で遮るようにすることができる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第７図を参照して
説明する。
説明する。
円筒状の炉芯管１の前方には、内部にフォーク２の外形
に適合するフォーク挿入部3aを設けた石英板製等のフォ
ーク挿入時用蓋体３と、中実円板状で石英板製等のフォ
ーク非挿入時用蓋体４とが備えられている。
に適合するフォーク挿入部3aを設けた石英板製等のフォ
ーク挿入時用蓋体３と、中実円板状で石英板製等のフォ
ーク非挿入時用蓋体４とが備えられている。
このフォーク挿入時用蓋体３は、中央で２分割した一対
の開閉扉14,14で構成され、この開閉扉14,14は、その外
側端部上面の一ケ所において扉開閉機構15,15を介して
夫々回転自在に連結棒16に保持されている。
の開閉扉14,14で構成され、この開閉扉14,14は、その外
側端部上面の一ケ所において扉開閉機構15,15を介して
夫々回転自在に連結棒16に保持されている。
即ち、この各扉開閉機構15は、第３図に詳細に示すよう
に、上記連結棒16にブラッケト17を介して取付けたモー
タ18と、このモータ18にこれと一体に回転するよう上端
を連結するととも連結棒16の内部を軸受19,19を介して
回転自在に挿通させた支持軸20と、この支持軸20の下端
を回転不能に連結するとともに開閉扉14の表面に固着し
たブロック21とから主に構成されている。
に、上記連結棒16にブラッケト17を介して取付けたモー
タ18と、このモータ18にこれと一体に回転するよう上端
を連結するととも連結棒16の内部を軸受19,19を介して
回転自在に挿通させた支持軸20と、この支持軸20の下端
を回転不能に連結するとともに開閉扉14の表面に固着し
たブロック21とから主に構成されている。
これにより、モータ18の回転に伴って支持軸20が回転
し、この支持軸20の回転によってブロック21を介して開
閉扉14が互いに前方に90°回転して開閉するようなされ
ている。
し、この支持軸20の回転によってブロック21を介して開
閉扉14が互いに前方に90°回転して開閉するようなされ
ている。
また、上記支持軸20には、この回転を検知するための回
転角検知板22が固着されているとともに、この検知板22
の周縁を挾むようにリミットスイッチ23,23が90°のず
らした位置で配置されている。そして、上記検知板22に
は、スリット22aが設けられ、支持軸20、ひいては回転
角検知板22が90°回転したことを、このスリットを介し
てリミットスイッチ23,23で検知するよう構成されてい
る。
転角検知板22が固着されているとともに、この検知板22
の周縁を挾むようにリミットスイッチ23,23が90°のず
らした位置で配置されている。そして、上記検知板22に
は、スリット22aが設けられ、支持軸20、ひいては回転
角検知板22が90°回転したことを、このスリットを介し
てリミットスイッチ23,23で検知するよう構成されてい
る。
更に上記各開閉扉14の他の開閉扉14との当接面には、半
円状の切欠き部14a,14aが夫々が設けられ、この開閉扉1
4,14が閉じた時に、この２つの切欠き部14a,14aで、フ
ォーク２の外形に合致した円状のフォーク挿入部3aが形
成され、しかもこのフォーク２の外周面とフォーク挿入
部3aの内周面との間に最少隙間部24（第６図）が設けら
れるようなされている。
円状の切欠き部14a,14aが夫々が設けられ、この開閉扉1
4,14が閉じた時に、この２つの切欠き部14a,14aで、フ
ォーク２の外形に合致した円状のフォーク挿入部3aが形
成され、しかもこのフォーク２の外周面とフォーク挿入
部3aの内周面との間に最少隙間部24（第６図）が設けら
れるようなされている。
これにより、フォーク挿入時に、第４図及び第５図に示
すように、先ずフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１の前
方に位置させるとともに、フォーク挿入時用蓋体３を構
成する開閉扉14,14を開いた状態にしておいてフォーク
２を炉芯管１の内部に挿通させ、しかる後、第６図及び
第７図に示すように、開閉扉14,14を閉じてフォーク２
が該開閉扉14,14の両切欠き部14a,14aで形成されるフォ
ーク挿通部3aを通過した状態となし、この状態でフォー
ク挿入時用蓋体３を炉芯管１の方向に前進させることに
より、炉芯管１の開口部をこの蓋体３で塞ぎ、これによ
って、このフォーク挿入時用蓋体３にフォーク挿通用の
連通部を設ける必要をなくするとともに、フォーク２の
全周を最少間隔（最少隙間部24）で遮ることができよう
なされている。
すように、先ずフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１の前
方に位置させるとともに、フォーク挿入時用蓋体３を構
成する開閉扉14,14を開いた状態にしておいてフォーク
２を炉芯管１の内部に挿通させ、しかる後、第６図及び
第７図に示すように、開閉扉14,14を閉じてフォーク２
が該開閉扉14,14の両切欠き部14a,14aで形成されるフォ
ーク挿通部3aを通過した状態となし、この状態でフォー
ク挿入時用蓋体３を炉芯管１の方向に前進させることに
より、炉芯管１の開口部をこの蓋体３で塞ぎ、これによ
って、このフォーク挿入時用蓋体３にフォーク挿通用の
連通部を設ける必要をなくするとともに、フォーク２の
全周を最少間隔（最少隙間部24）で遮ることができよう
なされている。
上記フォーク挿入時用蓋体３及びフォーク非挿入時用蓋
体４は、夫々移動機構5,5を介して、互いに独立して揺
動及び前後動自在に構成されている。
体４は、夫々移動機構5,5を介して、互いに独立して揺
動及び前後動自在に構成されている。
この各移動機構５は、回転軸６と、この回転軸６を歯車
7,8を介して回転させるモータ９と、上記回転軸６及び
モータ９を支持したベース10と、このベース10をラック
ギア11及びピニオンギア12を介して前後動させるモータ
13とから構成され、上記一方の回転軸６の先端には、上
記連結棒15の端部が固着され、他方の回転軸６の先端に
は、フォーク非挿入時用蓋体４が突出部を介して固着さ
れている。
7,8を介して回転させるモータ９と、上記回転軸６及び
モータ９を支持したベース10と、このベース10をラック
ギア11及びピニオンギア12を介して前後動させるモータ
13とから構成され、上記一方の回転軸６の先端には、上
記連結棒15の端部が固着され、他方の回転軸６の先端に
は、フォーク非挿入時用蓋体４が突出部を介して固着さ
れている。
これにより回転軸６の回転に伴って蓋体３または４が炉
芯管１の軸心方向に揺動し、ベース10の前後動に伴う回
転軸６の前後動によって蓋体３または４が前後動するよ
うなされている。
芯管１の軸心方向に揺動し、ベース10の前後動に伴う回
転軸６の前後動によって蓋体３または４が前後動するよ
うなされている。
次に上記実施例の具体的な動きについて、半導体ウェハ
の酸化拡散処理を例にとって第４図乃至第７図により説
明する。
の酸化拡散処理を例にとって第４図乃至第７図により説
明する。
先ず、被処理物（半導体ウェハ）25を収納したボート26
等をフォーク２の先端部で保持して炉芯管１の内部に供
給する場合は次のようにして行う。
等をフォーク２の先端部で保持して炉芯管１の内部に供
給する場合は次のようにして行う。
即ち、フォーク挿入時用蓋体３をこの中心が炉芯管１の
軸心に一致するまで揺動させた後、フォーク挿入時用蓋
体３を構成する開閉扉14,14を開いておき、この状態
で、ボート26を保持したフォーク２を炉芯管１の内部に
導く（第４図及び第５図）。そして、開閉扉14,14を閉
じ、この閉じた状態でフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管
１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接させ
てこの開口端面を塞ぐ（第６図及び第７図）。
軸心に一致するまで揺動させた後、フォーク挿入時用蓋
体３を構成する開閉扉14,14を開いておき、この状態
で、ボート26を保持したフォーク２を炉芯管１の内部に
導く（第４図及び第５図）。そして、開閉扉14,14を閉
じ、この閉じた状態でフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管
１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接させ
てこの開口端面を塞ぐ（第６図及び第７図）。
しかる後、フォーク２を更に奥に挿入し、フォーク２、
ひいては被処理物25が所定の位置に達した時にこれを停
止させる。そして、フォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１
から後退させて開閉扉14,14を開き、この開閉扉14,14が
開いた状態で、フォーク２を下降させて被処理物25を収
納したボート26を炉芯管１内に着地させてフォーク２を
ボート26から引き抜く。
ひいては被処理物25が所定の位置に達した時にこれを停
止させる。そして、フォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１
から後退させて開閉扉14,14を開き、この開閉扉14,14が
開いた状態で、フォーク２を下降させて被処理物25を収
納したボート26を炉芯管１内に着地させてフォーク２を
ボート26から引き抜く。
次に、上記と同様にして炉芯管１の開口端面をフォーク
挿入時用蓋体３で塞ぎ、この状態でフォーク２を炉芯管
１から完全に抜き取る。しかる後、フォーク挿入時用蓋
体３を炉芯管１から後退させ、この軸心から遠さかる方
向に揺動させる。
挿入時用蓋体３で塞ぎ、この状態でフォーク２を炉芯管
１から完全に抜き取る。しかる後、フォーク挿入時用蓋
体３を炉芯管１から後退させ、この軸心から遠さかる方
向に揺動させる。
そして、フォーク非挿入時用蓋体４をこの中心が炉芯管
１の軸心に一致するまで揺動させた後、この蓋体４を炉
芯管１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接
させて、ここを密封状態で塞ぐのである。
１の軸心に一致するまで揺動させた後、この蓋体４を炉
芯管１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接
させて、ここを密封状態で塞ぐのである。
次に、炉芯管１の内部に供給し、この内部で酸化拡散工
程等の処理を施した被処理物25を収納したボート26等を
炉芯管１から搬出するには、次のようにして行う。
程等の処理を施した被処理物25を収納したボート26等を
炉芯管１から搬出するには、次のようにして行う。
先ず、フォーク非挿入時用蓋体４を炉芯管１から後退さ
せた後、この軸心から遠ざかる方向に揺動させる。
せた後、この軸心から遠ざかる方向に揺動させる。
そして、フォーク挿入時用蓋体３をこの中心が炉芯管１
の軸心に一致するまで揺動させた後、フォーク挿入時用
蓋体３を構成する開閉扉14,14を開いておいて、フォー
ク２を炉芯管１の内部に導き、開閉扉14,14を閉じる。
この閉じた状態でフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１の
方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接させてこ
の開口端面を塞ぎ、しかる後、フォーク２を更に奥に挿
入する。
の軸心に一致するまで揺動させた後、フォーク挿入時用
蓋体３を構成する開閉扉14,14を開いておいて、フォー
ク２を炉芯管１の内部に導き、開閉扉14,14を閉じる。
この閉じた状態でフォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１の
方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接させてこ
の開口端面を塞ぎ、しかる後、フォーク２を更に奥に挿
入する。
そして、フォーク２が所定の位置に達した時にこれを停
止させ、フォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１から後退さ
せて開閉扉14,14を開く。この開閉扉14,14が開いた状態
で、フォーク２によるボート26の掬い上げ動作を行っ
て、ボート26をフォーク２で保持する。
止させ、フォーク挿入時用蓋体３を炉芯管１から後退さ
せて開閉扉14,14を開く。この開閉扉14,14が開いた状態
で、フォーク２によるボート26の掬い上げ動作を行っ
て、ボート26をフォーク２で保持する。
次に、上記と同様にして炉芯管１の開口端面をフォーク
挿入時用蓋体３で塞ぎ、この状態でフォーク２を後退さ
せ、ボート26が炉芯口位置まで移動した時にこれを停止
させる。そして、上記と同様に開閉扉14,14を後方に移
動させた後、これを開き、この状態でボートを引き抜
く。しかる後、フォーク挿入時用蓋体３を閉じ、この閉
じた状態で、炉芯管１の軸心から遠さかる方向に揺動さ
せる。
挿入時用蓋体３で塞ぎ、この状態でフォーク２を後退さ
せ、ボート26が炉芯口位置まで移動した時にこれを停止
させる。そして、上記と同様に開閉扉14,14を後方に移
動させた後、これを開き、この状態でボートを引き抜
く。しかる後、フォーク挿入時用蓋体３を閉じ、この閉
じた状態で、炉芯管１の軸心から遠さかる方向に揺動さ
せる。
そして、フォーク非挿入時用蓋体４をこの中心が炉芯管
１の軸心に一致するまで揺動させた後、この蓋体４を炉
芯管１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接
させて、ここを密封状態で塞ぐのである。
１の軸心に一致するまで揺動させた後、この蓋体４を炉
芯管１の方向に前進させ、これを炉芯管１の端面に当接
させて、ここを密封状態で塞ぐのである。
本発明は上記のような構成であるので、フォーク挿入時
に炉芯管の開口端面をフォーク挿入時用蓋体で塞ぐこと
ができ、しかもこのフォーク挿入時用蓋体にフォーク挿
通用の連通部を設ける必要がないばかりでなく、フォー
クの全周を最少間隔で遮るようにすることができる。
に炉芯管の開口端面をフォーク挿入時用蓋体で塞ぐこと
ができ、しかもこのフォーク挿入時用蓋体にフォーク挿
通用の連通部を設ける必要がないばかりでなく、フォー
クの全周を最少間隔で遮るようにすることができる。
これにより、炉芯管の内部に外からの冷気や塵埃が侵入
してしまいことを極力防止して、炉内の温度分布をより
均一に保持するとともに、半導体ウェハ等の被処理物に
塵埃が付着してしまうことを防止して、この歩留まりを
著しく向上させることができる。
してしまいことを極力防止して、炉内の温度分布をより
均一に保持するとともに、半導体ウェハ等の被処理物に
塵埃が付着してしまうことを防止して、この歩留まりを
著しく向上させることができる。
更に、フォークの状態によっては、これが炉芯管の中央
に位置しないときがあるが、このような場合に、開閉蓋
の切欠き部の位置をこのフォークの挿入位置に合わせれ
上下に調整することにより、容易にこれに対処するよう
にすることができるといった効果がある。
に位置しないときがあるが、このような場合に、開閉蓋
の切欠き部の位置をこのフォークの挿入位置に合わせれ
上下に調整することにより、容易にこれに対処するよう
にすることができるといった効果がある。
第１図乃至第７図は本発明の一実施例を示し、第１図は
正面図、第２図は平面図、第３図（ａ）は扉開閉機構を
拡大して示す要部拡大図、同図（ｂ）は回転角検知板を
示す平面図、第４図は開閉扉を開いた状態で炉芯管の前
方に位置させた状態を示す正面図、第５図はその側面
図、第６図は開閉扉を閉じた状態を示す正面図、第７図
はその側面図、第８図及び第９図は従来例を示し、第８
図は平面図、第９図は正面図である。 １……炉芯管、２……フォーク、３……フォーク挿入時
用蓋体、3a……フォーク挿入部、４……フォーク非挿入
時用蓋体、５……移動機構、６……回転軸、14……開閉
扉、14a……切欠き部、15……扉開閉機構、20……支持
軸、25……被処理物（半導体ウェハ）。
正面図、第２図は平面図、第３図（ａ）は扉開閉機構を
拡大して示す要部拡大図、同図（ｂ）は回転角検知板を
示す平面図、第４図は開閉扉を開いた状態で炉芯管の前
方に位置させた状態を示す正面図、第５図はその側面
図、第６図は開閉扉を閉じた状態を示す正面図、第７図
はその側面図、第８図及び第９図は従来例を示し、第８
図は平面図、第９図は正面図である。 １……炉芯管、２……フォーク、３……フォーク挿入時
用蓋体、3a……フォーク挿入部、４……フォーク非挿入
時用蓋体、５……移動機構、６……回転軸、14……開閉
扉、14a……切欠き部、15……扉開閉機構、20……支持
軸、25……被処理物（半導体ウェハ）。
Claims (1)
- 【請求項１】円筒状の炉芯管の開口端面をフォーク挿入
部が形成されたフォーク挿入時用蓋体または中実円板状
のフォーク非挿入時用蓋体で塞ぐようにした炉芯管開閉
装置において、 前記フォーク挿入時用蓋体と前記フォーク非挿入時用蓋
体とをそれぞれ、前記炉芯管の軸線に平行に延び前記軸
線方向へ前後動自在な回転軸の回りに揺動自在にし、 前記フォーク挿入時用蓋体を中央で２分割した一対の開
閉扉で構成し、前記各開閉扉を前記軸線方向と垂直な方
向へ延び前記回転軸と一体的に前後動する支持軸の回り
に開閉自在にするとともに、この各開閉扉の当接端面に
夫々切欠き部を設け、開閉扉を閉じた時にこの２つの切
欠き部でフォークの外形に合致したフォーク挿入部を形
成するようにしたことを特徴とする炉芯管開閉装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1254665A JPH0793279B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 炉芯管開閉装置 |
| KR1019900015286A KR910007079A (ko) | 1989-09-29 | 1990-09-26 | 반응관 개폐장치 |
| US07/588,722 US5092080A (en) | 1989-09-29 | 1990-09-27 | Apparatus for opening and closing core tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1254665A JPH0793279B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 炉芯管開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116823A JPH03116823A (ja) | 1991-05-17 |
| JPH0793279B2 true JPH0793279B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=17268165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1254665A Expired - Lifetime JPH0793279B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 炉芯管開閉装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5092080A (ja) |
| JP (1) | JPH0793279B2 (ja) |
| KR (1) | KR910007079A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718265A (en) * | 1995-02-24 | 1998-02-17 | Emco Wheaton Fleet Fueling, Corp. | Cap and shield assembly |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5844835U (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-25 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置 |
| JPS58122723A (ja) * | 1982-01-18 | 1983-07-21 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの加熱処理装置 |
| JPS58207626A (ja) * | 1982-05-28 | 1983-12-03 | Hitachi Ltd | 半導体処理装置 |
| JPS63285926A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Toshiba Corp | 半導体拡散炉 |
| JP2628068B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1997-07-09 | 日本電信電話株式会社 | 半導体製造装置における熱処理炉用キヤツプの構造 |
| JPS6446921A (en) * | 1988-07-29 | 1989-02-21 | Sony Corp | Heat treatment furnace |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP1254665A patent/JPH0793279B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-09-26 KR KR1019900015286A patent/KR910007079A/ko not_active Abandoned
- 1990-09-27 US US07/588,722 patent/US5092080A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5092080A (en) | 1992-03-03 |
| JPH03116823A (ja) | 1991-05-17 |
| KR910007079A (ko) | 1991-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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