JPH0798860A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高性能な磁気記録媒体を効率良く得ることが
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する磁気記録媒体の製造
装置であって、前記容器内の浮遊物が付着する付着手段
と、この付着手段を前記容器の内壁に沿って移動させる
第１の移動手段と、前記付着手段を前記容器の内外の所
定の位置に移動させる第２の移動手段とを具備する磁気
記録媒体の製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。

【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。

【０００４】このような蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図６のように構成されているものが一般的
である。尚、図６中、２１は冷却キャン、２２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、２４は遮蔽
板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は電子銃、２
８は真空容器である。すなわち、真空容器２８内を所定
の真空度のものに排気した後、電子銃２７を作動させて
ルツボ２５内の磁性合金２６を蒸発させ、ＰＥＴフィル
ムに対して磁性合金２６を堆積（蒸着）させることによ
って磁気記録媒体が製造されている。

【０００５】ところで、このような蒸着作業を続けてい
くと、磁性合金２６などの一部が酸化されたカスが、溶
湯上に浮遊し始める。この浮遊物は融点が高く、電子ビ
ームが照射されても容易に融解せず、非常に高い温度に
加熱されてしまう。そして、この加熱された浮遊物に溶
湯が触れると、触れた部分で急激に蒸発が起こり、液滴
が飛散する。この液滴はスプラッシュと呼ばれ、支持体
上に付着して突起異物となり、正常な記録・再生を妨げ
る原因となっている。

【０００６】又、カスが多くなって来ると、蒸発部分が
カスによって覆われてしまい、正常な蒸発が妨げられ、
欠陥がある磁性膜が形成されてしまうと言った問題も起
きる。

【０００７】

【発明の開示】本発明の目的は、高性能な磁気記録媒体
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する磁
気記録媒体の製造装置であって、前記容器内の浮遊物が
付着する付着手段と、この付着手段を前記容器の内壁に
沿って移動させる第１の移動手段と、前記付着手段を前
記容器の内外の所定の位置に移動させる第２の移動手段
とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置
によって達成される。

【０００８】尚、前記付着手段は、融点が高いセラミッ
クスで構成されていることが好ましく、例えばＣｒ₂ Ｏ
₃ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 、ＢＮ、Ｂ₄ Ｃ₃ 、ＳｉＣ
などで構成されているものが好ましい。又、前記付着手
段をピン状、特に多孔質ピン状に構成させていることが
好ましい。

【０００９】又、前記付着手段を自転させる自転手段を
具備していることが好ましい。又、前記付着手段を交換
する交換手段を具備していることが好ましい。そして、
上記のように構成させた本発明によれば、浮遊物（カ
ス）が付着手段に付着して効果的に除去されるので、ス
プラッシュが発生せず、かつ、磁性材料の蒸発がカスに
より妨げられることがなくなる。従って、高性能な磁気
記録媒体が生産効率良く得られ、低コストで磁気記録媒
体が得られる。

【００１０】以下、実施例を挙げて説明する。

【００１１】

【実施例】図１〜図５は本発明の一実施例を示す図であ
り、図１は磁気記録媒体の製造装置（蒸着装置）全体の
概略図、図２、図３は要部の斜視図、図４、図５は要部
の概略断面図である。各図中、１は冷却キャン、２はＰ
ＥＴフィルムなどの非磁性の支持体、３ａは支持体２の
供給側ロール、３ｂは支持体３の巻取側ロール、４は遮
蔽板、５はＣｏ−Ｎｉ磁性合金、６は電子銃、７は真空
容器、８はルツボである。尚、これらの部分の構成は、
既に周知であるから詳細な説明は省略する。

【００１２】９は耐熱性に優れたセラミックス材料で構
成された多孔質ピンであり、図２に示す如く、その形状
は直径が数ｍｍ程度の円柱状に形成されている。又、ピ
ン９の上端部には、ピン９を後述する移動回転装置１１
に装着する為の磁性金属１０が設けられている。１１は
ピン９をルツボ８内で移動、回転させる移動回転装置で
あり、図３に示す如く、支柱部１１ａとアーム部１１ｂ
とから構成されている。

【００１３】支柱部１１ａの下部には、図４に示す如
く、モータ（図示せず）で回転するタイヤ１１ｃと、支
柱部１１ａを支える補助タイヤ１１ｄとが設けられてい
る。そして、タイヤ１１ｃがルツボ８の周りに沿って引
かれたレール１２を挟みながら回転することにより、移
動回転装置１１がレール１２上を移動するように構成さ
れている。又、支柱部１１ａの中央部には、伸縮機構１
１ｅが設けられ、支柱部１１ａが上下に伸縮するように
構成されている。

【００１４】そして、支柱部１１ａの上部とアーム部１
１ｂの端部とは、回転機構１１ｆを介して連結されてお
り、回転機構１１ｆによりアーム部１１ｂが回転するよ
うに構成されている。尚、アーム部１１ｂの中央部に
は、伸縮機構１１ｇが設けられ、アーム部１１ｂが前後
に伸縮するよう構成されている。又、アーム部１１ｂの
先端部には、図５に示す如く、ピン９を装着する為の電
磁石１１ｈが設けられており、電磁石１１ｈに流れる電
流を制御して磁性金属１０を吸着し、ピン９を装着でき
るように構成されている。更に、電磁石１１ｈは、モタ
ー（図示せず）で回転できるようになっており、ピン９
を装着した電磁石１１ｈを回転させることにより、ピン
９が自転するようになっている。

【００１５】尚、移動回転装置１１の各動作は、外部に
ある制御部（図示せず）により制御される。１３は未使
用ピン９を収容する収容ホルダーであり、未使用ピン９
を一本ずつ立てて収容できように構成されている。１４
は使用済ピン９を収容する廃棄ホルダーであり、収容ホ
ルダー１３の横に配設されている。

【００１６】次に、このように構成させた製造装置を用
いて磁気記録媒体を製造する工程を説明する。 ステップ１ まず、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃６を作動させてルツボ８内の磁性合金５を蒸
発させ、支持体３に対して磁性合金５を斜め蒸着させ
る。そして、蒸着作業が続けられると、磁性合金５など
の一部が酸化されたカスが浮遊し始め、この浮遊物がル
ツボ８の内壁に集まりだす。

【００１７】ステップ２ すると、アーム部１１ｂが、回転機構１１ｆにより収容
ホルダー１３側に回転する。更に、アーム部１１ｂが、
伸縮機構１１ｇにより未使用ピン９の頭上に対応する位
置まで伸びる。 ステップ３ 支柱部１１ａが伸縮機構１１ｅにより縮み、アーム部１
１ｂが未使用ピン９まで下降する。続いて、電磁石１１
ｈが磁性金属１０を吸着し、未使用ピン９を装着する。
そして、支柱部１１ａが伸縮機構１１ｅにより伸び、ア
ーム部１１ｂが上昇して未使用ピン９を収容ホルダー１
３から取り出す。この後、アーム部１１ｂが、回転機構
１１ｆによりルツボ８側に回転する。

【００１８】ステップ４ 支柱部１１ａ及びアーム部１１ｂは、伸縮機構１１ｅ，
１１ｇにより伸縮し、未使用ピン９がルツボ８の内壁に
沿うように溶湯内に入れられる。 ステップ５ 溶湯内に入った未使用ピン９は、電磁石１１ｈの回転に
より自転し始めると共に、移動回転装置１１がレール１
２上を移動することにより、ルツボ８の内壁に沿って公
転し始める。

【００１９】ステップ６ ルツボ８の内壁に集まっている浮遊物は、回転している
ピン９に付着されていく。 ステップ７ 予め設定された時間が経過すると、ピン９の回転が停止
し、移動回転装置１１が廃棄ホルダー１４の傍まで移動
し、停止する。

【００２０】ステップ８ 支柱部１１ａが伸縮機構１１ｅにより伸び、使用済ピン
９は溶湯内から出される。更に、アーム部１１ｂが、回
転機構１１ｇにより廃棄ホルダー１４側に回転する。 ステップ９ アーム部１１ｂが、伸縮機構１１ｇにより廃棄ホルダー
１４上まで伸びる。そして、電磁石１１ｈの電流がＯＦ
Ｆされ、使用済ピン９は廃棄ホルダー１４に落とされ
る。

【００２１】以下、蒸着作業中に、ステップ２〜ステッ
プ９までを繰り返し行う。このようにして、磁性合金５
の溶湯に浮かんでいるカスは効果的に除去されるから、
磁性膜を綺麗に、かつ、効率良く形成できるようにな
り、高品質な磁気記録媒体が歩留り良く製造される。

【００２２】

【効果】本発明によれば、カスが効果的に除去されるの
で、スプラッシュが起きず、又、蒸発を妨げられことが
ない。従って、効率良く成膜が行われ、高性能な磁気記
録媒体を低コストで提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置全体の概
略図

【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の斜
視図

【図３】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の斜
視図

【図４】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の概
略断面図

【図５】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の概
略断面図

【図６】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図

【符号の説明】

１ 冷却キャン ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ 磁性合金 ６ 電子銃 ７ 真空容器 ８ ルツボ ９ ピン １１ 移動回転装置 １３ 収容ホルダー １４ 廃棄ホルダー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に
   堆積させることにより金属膜を構成する磁気記録媒体の
   製造装置であって、 前記容器内の浮遊物が付着する付着手段と、この付着手
   段を前記容器の内壁に沿って移動させる第１の移動手段
   と、前記付着手段を前記容器の内外の所定の位置に移動
   させる第２の移動手段とを具備することを特徴とする磁
   気記録媒体の製造装置。
2. 【請求項２】 付着手段がセラミックスで構成されてい
   ることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製造装
   置。
3. 【請求項３】 付着手段がピン状に構成されていること
   を特徴とする請求項１または請求項２の磁気記録媒体の
   製造装置。
4. 【請求項４】 付着手段を自転させる自転手段を具備し
   ていることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製造
   装置。
5. 【請求項５】 付着手段を交換する交換手段を具備して
   いることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製造装
   置。