JPH083496B2 - プローバー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はポジショナー取付台を多層構造し、ウェハー
内の任意の時点をウェハーの広い領域にわたってプロー
ビングすること、又、針を多面体面上に設置し、多面体
周辺から面に向うウェハーを移動させ、立体的にプロー
ビングし、ウェハー処理枚数を向上させることに関す
る。

従来の技術 従来、ポジショナー取付台は１枚であり、マニュアル
プローバーの場合は通常マニピュレータが４〜５ケ且
つ、針の移動範囲も10平方ミリメートル程度のものがあ
る。

オートプローバーの場合は、１枚のプローブカードを
使用し、１チップごとにプロービングするものがある。

発明が解決しようとする課題 １層のポジショナー取付台から成るプローバーでは、
装着できるポジショナー，マニピュレータに制限があり
且つ、針の移動範囲にも制限があるため、プロービング
できるパターン数が限られる。更に、プローバーガード
を用いるとリーク，ノイズの問題が生じる。

又、ウェハーに対し針を近づける形式では、ウェハー
処理枚数に制限があり（通常１枚）大量処理に不向きで
ある。

本発明は以上のような従来のプローバーの諸欠点に鑑
みてなされたもので、より精度良く大量にウェハーを処
理するプローバーを提供することを目的としている。

課題を解決するための手段 本発明は、多面体の面上に針を設けウェハーを針に向
けて移動することを特徴とする積層型プローバー及び立
体型プローバーである。

作用 多面体の面上に針を設け、ウェハーを針に向けて移動
させ針と接触させることにより一度に多数枚のウェハー
をプロービングすることができる。

実施例 以下に本発明の一実施例について図面とともに説明す
る。

第１図は、積層型プローバーの全面から見た場合の断
面図であり、グローバルボード２−A,2−B,2−Ｃが固定
柱３に装着されていてる。各グローバルボード２−A,2
−B,2−Ｃは、固定柱３上のストッパー４間を上下移動
することにより、ウェハーステージ５上のウェハー６を
プロービングする。各グローバルボード２−A,2−B,2−
Ｃは、独立に移動できるため、必要なウェハー６上の地
点のみをプロービングすることができる。グローバルボ
ード２−A,2−B,2−Ｃには、ポジショナー７及びマニピ
ュレータ８が装着されており、１つのマニピュレータ８
の先にローカルボード９を装着することにより、固定さ
れたパターンのプロービングを容易にする。

第２図は、積層型プローバーを上面から見た図であり
上層のグローバルボード２−Ａの開口半径を小さくする
ことにより、マニピュレータどおしの接触を防ぐ構造と
なっている。

又、各層ごとに、ポジショナー７の位置をずらせるこ
とによりマニピュレータどおしの接触を防ぐことができ
る。

第３図は、針11を立方体箱12に露出させ、外部からウ
ェハー13−Ａ〜13−Ｆを吸着装置14−Ａ〜14−Ｆで吸着
しながら針11の方向に移動させプロービングするもので
ある。このとき、立方体箱12の面は６面あるので一度に
６枚のウェハー13−Ａ〜13−Ｆのプロービングを行うこ
とができる。

発明の効果 本発明は、多面体表面に針を露出させ、ウェハーを針
の方向に移動させプロービングすることにより、多数枚
のウェハーのプロービング処理を可能にするものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例における積層型プローバー
の断面図、第２図は同プローバーの上面図、第３図は本
発明の一実施例における立体型プローバーの外観図であ
る。 １……積層型プローバー、２……グローバルボード、３
……固定柱、４……ストッパー、５……ローカルボー
ド、６……ウェハー、７……ポジショナー、８……マニ
ピュレータ、９……小型プローブカード。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多面体の表面に前記多面体の内部から外部
   方向に向いて形成された針と、ウエハーを前記多面体周
   辺から前記針に対して垂直に移動させるとともに前記ウ
   エハと前記針とを接触させる手段とを有するプローバ
   ー。
2. 【請求項２】多面体の複数の面に針を形成し、同時に複
   数枚のウエハーをプロービングすることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のプローバー。