JPH0916959A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0916959A JPH0916959A JP16530795A JP16530795A JPH0916959A JP H0916959 A JPH0916959 A JP H0916959A JP 16530795 A JP16530795 A JP 16530795A JP 16530795 A JP16530795 A JP 16530795A JP H0916959 A JPH0916959 A JP H0916959A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- vacuum
- thin film
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 非磁性支持体６の一主面に、真空蒸着法によ
り金属磁性薄膜を成膜するに際し、蒸着中の成膜室１内
の真空度を３×１０-2〜５×１０-2Ｐａに制御する。 【効果】 真空度を適正に制御しながら金属磁性薄膜の
成膜を行うと、保存によるプラス（＋）方向へのカッピ
ングの変化を抑制することができ、磁気ヘッドとの当た
り特性に優れた磁気記録媒体となる。したがって、本発
明を適用すると、十分な電磁変換特性を発揮できる磁気
記録媒体を製造することが可能となる。
り金属磁性薄膜を成膜するに際し、蒸着中の成膜室１内
の真空度を３×１０-2〜５×１０-2Ｐａに制御する。 【効果】 真空度を適正に制御しながら金属磁性薄膜の
成膜を行うと、保存によるプラス（＋）方向へのカッピ
ングの変化を抑制することができ、磁気ヘッドとの当た
り特性に優れた磁気記録媒体となる。したがって、本発
明を適用すると、十分な電磁変換特性を発揮できる磁気
記録媒体を製造することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体の製造方法に関する。
型の磁気記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に、酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等
の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機結合剤中に分散させた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。
性支持体上に、酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等
の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機結合剤中に分散させた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。
【０００３】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。
【０００４】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできるた
め、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、
磁性層中に非磁性材である結合剤を混入する必要が無い
ため、磁性材料の充填密度を高めることができることな
ど、数々の利点を有している。
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできるた
め、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、
磁性層中に非磁性材である結合剤を混入する必要が無い
ため、磁性材料の充填密度を高めることができることな
ど、数々の利点を有している。
【０００５】さらに、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることが出来るよ
うにするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。
特性を向上させ、より大きな出力を得ることが出来るよ
うにするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな金属磁性薄膜型の磁気記録媒体、特に、金属磁性薄
膜がポリエステルフィルムやポリアミド、ポリイミドフ
ィルム等の可撓性の非磁性支持体上に成膜されてなる磁
気テープにおいては、幅方向への反りが発生することが
ある。
うな金属磁性薄膜型の磁気記録媒体、特に、金属磁性薄
膜がポリエステルフィルムやポリアミド、ポリイミドフ
ィルム等の可撓性の非磁性支持体上に成膜されてなる磁
気テープにおいては、幅方向への反りが発生することが
ある。
【０００７】この反りは、カッピングと呼ばれ、金属磁
性薄膜が形成された面とは反対側に向かって曲がる場合
をプラス（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向か
って曲がる場合をマイナス（−）として表される。ま
た、このカッピングの量は、幅方向中央部から、最も高
さが変位した位置までの高さとして表される。
性薄膜が形成された面とは反対側に向かって曲がる場合
をプラス（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向か
って曲がる場合をマイナス（−）として表される。ま
た、このカッピングの量は、幅方向中央部から、最も高
さが変位した位置までの高さとして表される。
【０００８】金属磁性薄膜としてコバルト（Ｃｏ）を主
体とした合金薄膜が成膜されてなる磁気テープにおいて
は、該合金薄膜の成膜時や、バックコート層の形成時に
熱が加えられることによりカッピングが生じる。そし
て、磁気テープの完成時におけるカッピングがマイナス
（−）方向であっても、この磁気テープを保存しておく
と、時間の経過とともに、カッピングがプラス（＋）方
向へ変化していく。
体とした合金薄膜が成膜されてなる磁気テープにおいて
は、該合金薄膜の成膜時や、バックコート層の形成時に
熱が加えられることによりカッピングが生じる。そし
て、磁気テープの完成時におけるカッピングがマイナス
（−）方向であっても、この磁気テープを保存しておく
と、時間の経過とともに、カッピングがプラス（＋）方
向へ変化していく。
【０００９】磁気テープに対する書き込み／読み出しを
行うに際しては、このカッピングが磁気ヘッドとの当た
り具合に影響を与え、プラス（＋）方向のカッピングの
量が大きくなるほど磁気ヘッドとの当たりが悪くなる。
このため、上述したような磁気テープにおいては、保存
によって磁気ヘッドとの当たりが劣化し、その結果、磁
気ヘッドとの接触が一部で弱くなり、十分な電磁変換特
性を発揮できなくなってしまう。
行うに際しては、このカッピングが磁気ヘッドとの当た
り具合に影響を与え、プラス（＋）方向のカッピングの
量が大きくなるほど磁気ヘッドとの当たりが悪くなる。
このため、上述したような磁気テープにおいては、保存
によって磁気ヘッドとの当たりが劣化し、その結果、磁
気ヘッドとの接触が一部で弱くなり、十分な電磁変換特
性を発揮できなくなってしまう。
【００１０】そこで、本発明はかかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、保存によるプラス（＋）方向
のカッピングが抑制されることにより、摩耗が抑制さ
れ、十分な電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製
造する方法を提供することを目的とする。
て提案されたものであり、保存によるプラス（＋）方向
のカッピングが抑制されることにより、摩耗が抑制さ
れ、十分な電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製
造する方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体の製造方法は、上述の目的を達成するために提案され
たものであり、非磁性支持体上の一主面に、真空蒸着法
により金属磁性薄膜を成膜するに際し、蒸着中の成膜室
内の真空度を適正に制御することによって、保存による
プラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑制するもの
である。
体の製造方法は、上述の目的を達成するために提案され
たものであり、非磁性支持体上の一主面に、真空蒸着法
により金属磁性薄膜を成膜するに際し、蒸着中の成膜室
内の真空度を適正に制御することによって、保存による
プラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑制するもの
である。
【００１２】プラス（＋）方向へのカッピングの変化を
抑制するには、蒸着中の成膜室内の真空度が低い方がよ
いが、低すぎると成膜レートが劣化することから、３×
１０-2〜５×１０-2Ｐａの範囲に制御して好適である。
抑制するには、蒸着中の成膜室内の真空度が低い方がよ
いが、低すぎると成膜レートが劣化することから、３×
１０-2〜５×１０-2Ｐａの範囲に制御して好適である。
【００１３】成膜室内の真空度が３×１０-2Ｐａ未満で
あると、完成時における磁気記録媒体のカッピングがマ
イナス（−）方向であっても、保存によりカッピングが
プラス（＋）方向へ急激に変化し、数十日程度の保存で
プラス（＋）の量となってしまう。成膜室内の真空度を
低くすると、プラス（＋）方向へのカッピングの変化を
抑制する効果は高まるが、成膜レートが劣化し、金属磁
性材料を加熱蒸発させるために電子銃のパワーを大きく
する必要が生じてくる。そして、成膜室内の真空度を５
×１０-2Ｐａより大きくすると、成膜レートが著しく劣
化し、電子銃のパワーが不足してしまう。
あると、完成時における磁気記録媒体のカッピングがマ
イナス（−）方向であっても、保存によりカッピングが
プラス（＋）方向へ急激に変化し、数十日程度の保存で
プラス（＋）の量となってしまう。成膜室内の真空度を
低くすると、プラス（＋）方向へのカッピングの変化を
抑制する効果は高まるが、成膜レートが劣化し、金属磁
性材料を加熱蒸発させるために電子銃のパワーを大きく
する必要が生じてくる。そして、成膜室内の真空度を５
×１０-2Ｐａより大きくすると、成膜レートが著しく劣
化し、電子銃のパワーが不足してしまう。
【００１４】本発明は、非磁性材料よりなる非磁性支持
体上に磁性層として金属磁性薄膜が設けられてなる磁気
記録媒体を製造するに際して適用されるものであるが、
特に、可撓性の非磁性支持体が所定の幅に裁断されてな
る磁気テープを製造するに際して適用されて好適であ
る。
体上に磁性層として金属磁性薄膜が設けられてなる磁気
記録媒体を製造するに際して適用されるものであるが、
特に、可撓性の非磁性支持体が所定の幅に裁断されてな
る磁気テープを製造するに際して適用されて好適であ
る。
【００１５】非磁性支持体としては、ポリエステル類、
ポリオレフィン類、セルロース類、ビニル類、ポリイミ
ド類、ポリカーボネート類に代表されるような高分子材
料によって形成される高分子基板や、アルミニウム合
金、チタン合金からなる金属基板、アルミガラス等のセ
ラミックス基板、ガラス基板等が挙げられ、その形状も
何等限定されないが、磁気テープに適用する場合には、
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナ
フタレートフィルム、アラミドフィルム等を用いて好適
である。また、これらのフィルムには、表面粗度を制御
するためにフィラーが内添されていてもよいし、表面に
表面粗度を制御するための層が形成されていてもよい。
ポリオレフィン類、セルロース類、ビニル類、ポリイミ
ド類、ポリカーボネート類に代表されるような高分子材
料によって形成される高分子基板や、アルミニウム合
金、チタン合金からなる金属基板、アルミガラス等のセ
ラミックス基板、ガラス基板等が挙げられ、その形状も
何等限定されないが、磁気テープに適用する場合には、
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナ
フタレートフィルム、アラミドフィルム等を用いて好適
である。また、これらのフィルムには、表面粗度を制御
するためにフィラーが内添されていてもよいし、表面に
表面粗度を制御するための層が形成されていてもよい。
【００１６】非磁性支持体上には、強磁性金属材料を直
接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として形成
されるが、この金属磁性材料としては、通常使用される
ものであれば如何なるものであってもよい。例示すれ
ば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，
Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃ
ｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａ
ｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等
の強磁性合金があげられる。また、これらの単層膜であ
ってもよいし多層膜であってもよい。
接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として形成
されるが、この金属磁性材料としては、通常使用される
ものであれば如何なるものであってもよい。例示すれ
ば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，
Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃ
ｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａ
ｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等
の強磁性合金があげられる。また、これらの単層膜であ
ってもよいし多層膜であってもよい。
【００１７】そして、上述のような強磁性金属材料を成
膜するに際して、成膜室内の真空度を一定に保持するた
めに導入される気体としては、使用する強磁性金属材料
との反応性が低いものであればよく、その種類を問わな
い。
膜するに際して、成膜室内の真空度を一定に保持するた
めに導入される気体としては、使用する強磁性金属材料
との反応性が低いものであればよく、その種類を問わな
い。
【００１８】さらに、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、
あるいは多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並び
に抗磁力の制御等のため、下地層または、中間層を設け
てもよい。また、例えば磁性層表面近傍が耐蝕性改善等
のために酸化物となっていてもよい。
あるいは多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並び
に抗磁力の制御等のため、下地層または、中間層を設け
てもよい。また、例えば磁性層表面近傍が耐蝕性改善等
のために酸化物となっていてもよい。
【００１９】また、上記非磁性支持体上に形成された金
属磁性薄膜上には保護膜層が形成されていても良いがこ
の材料としては、通常の金属磁性薄膜用の保護膜として
一般に使用されるものであれば如何なるものであっても
よい。例示すれば、カーボンの他、ＣｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＢＮ、Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ、ＳｉＯ2 、Ｓｉ3 Ｏ
4 、ＳｉＮx 、ＳｉＣ、ＳｉＮx −ＳｉＯ2 、ＺｒＯ
2 、ＴｉＯ2 、ＴｉＣ等があげられる。これらの単層膜
であってもよいし多層膜、あるいは複合膜であってもよ
い。
属磁性薄膜上には保護膜層が形成されていても良いがこ
の材料としては、通常の金属磁性薄膜用の保護膜として
一般に使用されるものであれば如何なるものであっても
よい。例示すれば、カーボンの他、ＣｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＢＮ、Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ、ＳｉＯ2 、Ｓｉ3 Ｏ
4 、ＳｉＮx 、ＳｉＣ、ＳｉＮx −ＳｉＯ2 、ＺｒＯ
2 、ＴｉＯ2 、ＴｉＣ等があげられる。これらの単層膜
であってもよいし多層膜、あるいは複合膜であってもよ
い。
【００２０】もちろん、磁気記録媒体の構成はこれに限
定されるものではなく、必要に応じて非磁性支持体上に
下塗層が形成されたり、非磁性支持体における金属磁性
薄膜が成膜された面とは反対側の主面にバックコート層
を設けたり、金属磁性薄膜または保護膜表面に潤滑剤や
防錆剤等よりなるトップコート層を形成したりしてもよ
い。
定されるものではなく、必要に応じて非磁性支持体上に
下塗層が形成されたり、非磁性支持体における金属磁性
薄膜が成膜された面とは反対側の主面にバックコート層
を設けたり、金属磁性薄膜または保護膜表面に潤滑剤や
防錆剤等よりなるトップコート層を形成したりしてもよ
い。
【００２１】
【作用】本発明を適用して、蒸着中の成膜室内の真空度
を適正に制御すると、保存によるプラス（＋）方向への
カッピングの変化が抑制された磁気記録媒体を得ること
ができる。
を適正に制御すると、保存によるプラス（＋）方向への
カッピングの変化が抑制された磁気記録媒体を得ること
ができる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明がこの実施例に限定されるものではない
ことはいうまでもない。
するが、本発明がこの実施例に限定されるものではない
ことはいうまでもない。
【００２３】先ず、本実施例において金属磁性薄膜を形
成するために使用した真空蒸着装置の構成について説明
する。
成するために使用した真空蒸着装置の構成について説明
する。
【００２４】図１に示されるように、この真空蒸着装置
においては、真空ポンプ３に接続された排気口２から排
気されて内部が減圧可能となされた成膜室１内に、図中
ａ方向に定速回転する送りロール４と、図中ｂ方向に定
速回転する巻取りロール５とが設けられ、これら送りロ
ール４から巻取りロール５にテープ状の非磁性支持体６
が順次走行するようになされている。
においては、真空ポンプ３に接続された排気口２から排
気されて内部が減圧可能となされた成膜室１内に、図中
ａ方向に定速回転する送りロール４と、図中ｂ方向に定
速回転する巻取りロール５とが設けられ、これら送りロ
ール４から巻取りロール５にテープ状の非磁性支持体６
が順次走行するようになされている。
【００２５】これら送りロール４から巻取りロール５に
向かって非磁性支持体６が走行する中途部には、上記各
ロール４，５の径よりも大径となされた冷却キャン７が
設けられている。この冷却キャン７は、上記非磁性支持
体６を図中側方に引き出すように設けられ、図中ｃ方向
に定速回転する構成とされる。
向かって非磁性支持体６が走行する中途部には、上記各
ロール４，５の径よりも大径となされた冷却キャン７が
設けられている。この冷却キャン７は、上記非磁性支持
体６を図中側方に引き出すように設けられ、図中ｃ方向
に定速回転する構成とされる。
【００２６】なお、送りロール４、巻取りロール５およ
び冷却キャン７は、それぞれ非磁性支持体６の幅と略同
じ長さからなる円筒状をなすものである。また、冷却キ
ャン７には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、非
磁性支持体６の温度上昇による変形等を抑制し得るよう
になされている。
び冷却キャン７は、それぞれ非磁性支持体６の幅と略同
じ長さからなる円筒状をなすものである。また、冷却キ
ャン７には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、非
磁性支持体６の温度上昇による変形等を抑制し得るよう
になされている。
【００２７】したがって、この真空蒸着装置の成膜室１
内では、非磁性支持体６が、送りロール４から順次送り
出され、さらに上記冷却キャン７の周面を通過し、巻取
りロール５に巻取られるようになされている。
内では、非磁性支持体６が、送りロール４から順次送り
出され、さらに上記冷却キャン７の周面を通過し、巻取
りロール５に巻取られるようになされている。
【００２８】また、成膜室１内には、冷却キャン７の下
方に、該冷却キャン７の幅と略同一の幅を有するルツボ
８が設けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填
されている。
方に、該冷却キャン７の幅と略同一の幅を有するルツボ
８が設けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填
されている。
【００２９】一方、成膜室１の側壁部には、上記ルツボ
８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるため
の電子銃１０が取り付けられる。この電子銃１０は、当
該電子銃１０より放出される電子線Ｘが上記ルツボ８内
の金属磁性材料９に照射されるような位置に配設され
る。そして、この電子銃１０によって蒸発した金属磁性
材料９が上記冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性
支持体６上に磁性層として被着形成されるようになって
いる。
８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるため
の電子銃１０が取り付けられる。この電子銃１０は、当
該電子銃１０より放出される電子線Ｘが上記ルツボ８内
の金属磁性材料９に照射されるような位置に配設され
る。そして、この電子銃１０によって蒸発した金属磁性
材料９が上記冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性
支持体６上に磁性層として被着形成されるようになって
いる。
【００３０】また、冷却キャン７とルツボ８との間であ
って該冷却キャン７の近傍には、シャッタ１１が、上記
冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性支持体６の所
定領域を覆う形で配設されている。このシャッタ１１に
より、蒸発せしめられた金属磁性材料９が非磁性支持体
６に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようにな
る。
って該冷却キャン７の近傍には、シャッタ１１が、上記
冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性支持体６の所
定領域を覆う形で配設されている。このシャッタ１１に
より、蒸発せしめられた金属磁性材料９が非磁性支持体
６に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようにな
る。
【００３１】さらに、成膜室１の側壁部にはガス導入口
１２が設けられ、成膜室１内に所望のガスを所望の流量
にて供給できるようになされている実施例１ ここで、実際に、以上のような構成を有する真空蒸着装
置を用い、成膜室１内の真空度を制御しながら金属磁性
薄膜を成膜し、磁気テープを製造した。
１２が設けられ、成膜室１内に所望のガスを所望の流量
にて供給できるようになされている実施例１ ここで、実際に、以上のような構成を有する真空蒸着装
置を用い、成膜室１内の真空度を制御しながら金属磁性
薄膜を成膜し、磁気テープを製造した。
【００３２】具体的には、先ず、上述した真空蒸着装置
に、厚さ１０μｍポリエチレンテレフタレートフィルム
よりなる非磁性支持体６を走行させ、下記の条件にて金
属磁性薄膜を１８０ｎｍなる厚さに成膜した。
に、厚さ１０μｍポリエチレンテレフタレートフィルム
よりなる非磁性支持体６を走行させ、下記の条件にて金
属磁性薄膜を１８０ｎｍなる厚さに成膜した。
【００３３】蒸着条件 インゴット ： Ｃｏ80−Ｎｉ20 入射角 ： ５０〜９０° 蒸着時真空度 ： ３×１０-2Ｐａ なお、真空度は、成膜室１内を排気すると同時に、酸素
ガスの流量を調整することによって、上述の値に制御し
た。
ガスの流量を調整することによって、上述の値に制御し
た。
【００３４】その後、８ミリ幅に裁断して磁気テープを
得た。これを実施例１のサンプルテープとする。
得た。これを実施例１のサンプルテープとする。
【００３５】比較例１ 蒸着時の真空度を１×１０-2Ｐａとして金属磁性薄膜の
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例１のサンプルテープとする。
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例１のサンプルテープとする。
【００３６】比較例２ 蒸着時の真空度を９×１０-3Ｐａとして金属磁性薄膜の
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例２のサンプルテープとする。
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例２のサンプルテープとする。
【００３７】特性の評価 実施例１、比較例１、比較例２のサンプルテープについ
て、保存によるカッピングの経時変化を調べた。
て、保存によるカッピングの経時変化を調べた。
【００３８】具体的には、各サンプルテープを製造後、
温度２５℃、相対湿度６０％ＲＨの環境下にて１０００
日間保存し、その間、カッピング量を数回にわたって測
定した。なお、カッピング量は、金属磁性薄膜が形成さ
れた面とは反対側に向かって曲がる場合をプラス
（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向かって曲が
る場合をマイナス（−）とし、幅方向中央部から最も高
さが変位した位置までの高さとして表す。
温度２５℃、相対湿度６０％ＲＨの環境下にて１０００
日間保存し、その間、カッピング量を数回にわたって測
定した。なお、カッピング量は、金属磁性薄膜が形成さ
れた面とは反対側に向かって曲がる場合をプラス
（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向かって曲が
る場合をマイナス（−）とし、幅方向中央部から最も高
さが変位した位置までの高さとして表す。
【００３９】図２に測定結果を示す。なお、図２におけ
る横軸は、製造後の日数を示すが、その目盛りの間隔
は、日数の対数をとった値に対応させている。
る横軸は、製造後の日数を示すが、その目盛りの間隔
は、日数の対数をとった値に対応させている。
【００４０】図２に示されるように、各サンプルテープ
とも、製造直後は、マイナス（−）のカッピング値を有
しているが、比較例１および比較例２のサンプルテープ
においては、日数とともにカッピングが急激にプラス
（＋）方向に変化し、５０日から１００日間保存する
と、プラス（＋）の量となってしまう。これに対して、
実施例１のサンプルテープにおいては１０００日間保存
しても、カッピングがプラス（＋）の量となっていない
ことがわかる。
とも、製造直後は、マイナス（−）のカッピング値を有
しているが、比較例１および比較例２のサンプルテープ
においては、日数とともにカッピングが急激にプラス
（＋）方向に変化し、５０日から１００日間保存する
と、プラス（＋）の量となってしまう。これに対して、
実施例１のサンプルテープにおいては１０００日間保存
しても、カッピングがプラス（＋）の量となっていない
ことがわかる。
【００４１】これより、真空度を３×１０-2Ｐａ以上と
して金属磁性薄膜の成膜を行うことにより、長期間保存
しても、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた磁気記録媒
体となることがわかる。但し、生産性を考慮すると、真
空度を５×１０-2Ｐａより大きくすることは現実的でな
い。
して金属磁性薄膜の成膜を行うことにより、長期間保存
しても、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた磁気記録媒
体となることがわかる。但し、生産性を考慮すると、真
空度を５×１０-2Ｐａより大きくすることは現実的でな
い。
【００４２】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、真空
度を適正に制御しながら金属磁性薄膜の成膜を行うと、
保存によるプラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑
制することができ、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた
磁気記録媒体となる。
度を適正に制御しながら金属磁性薄膜の成膜を行うと、
保存によるプラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑
制することができ、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた
磁気記録媒体となる。
【００４３】したがって、本発明を適用すると、十分な
電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製造すること
が可能となる。
電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製造すること
が可能となる。
【図１】真空蒸着装置の一構成例を示す模式図である。
【図２】保存日数とカッピングとの関係を示す特性図で
ある。
ある。
１ 成膜室 ６ 非磁性支持体 ７ 冷却キャン ９ 金属磁性材料 １０ 電子銃 １２ ガス供給口
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性支持体上の一主面に、真空蒸着法
により金属磁性薄膜を成膜するに際し、 蒸着中の成膜室内の真空度を３×１０-2〜５×１０-2Ｐ
ａに制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16530795A JPH0916959A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16530795A JPH0916959A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0916959A true JPH0916959A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15809855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16530795A Withdrawn JPH0916959A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0916959A (ja) |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16530795A patent/JPH0916959A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0995776A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| US5225234A (en) | Magnetic recording medium comprising multiple thin film magnetic layers each formed within specified maximum and minimum incident angles | |
| JPH10208229A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及びその製造装置 | |
| JP2000195035A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH01319119A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2004335005A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10255263A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0636272A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH09143601A (ja) | 金属磁性材およびこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH10308019A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH06338052A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0836750A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH10283633A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH10188279A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び非磁性支持体 | |
| JPH10283634A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2004310900A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09153220A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びこれによって製造された磁気記録媒体 | |
| JPH09128750A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH10105943A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2008033996A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06282841A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH01303623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0737235A (ja) | 磁気記録媒体用支持体及び磁気記録媒体 | |
| JPH1064036A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0916948A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |