JPH1043505A - 液体を脱気する装置及び方法 - Google Patents

液体を脱気する装置及び方法

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JPH1043505A
JPH1043505A JP9117654A JP11765497A JPH1043505A JP H1043505 A JPH1043505 A JP H1043505A JP 9117654 A JP9117654 A JP 9117654A JP 11765497 A JP11765497 A JP 11765497A JP H1043505 A JPH1043505 A JP H1043505A
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Kwantai Cho
チョ クワンタイ
Xiaoyan Huang
ファン シャオヤン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体を脱気するための高い温度で動作可能な
接触器を提供する。 【解決手段】 60℃より高い温度及び40psig以
上の圧力で液体を脱気するための微孔性膜接触器であっ
て、60℃より高い温度及び40psig以上の圧力に
30日以上供したときに潰れに耐えそして実質的な孔の
収縮又は孔の閉止を抑えることのできる微孔性中空糸膜
及び該膜を包囲するハウジングを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は微孔性中空糸膜接触
器を用いる液体の脱気に関する。
【0002】
【従来の技術】液体の脱気とは液体からの、それに溶解
又は混入しているガスの完全な又は制御された除去をさ
す。ある工業処理に用いられる液体では超純粋が求めら
れる。これら超純粋な液体はミネラル、例えば鉄、イオ
ン及びガスを含まないか又は実質的に含まないものであ
る。ミネラル及びイオンの除去は最も頻繁には逆浸透処
理により達成されている。しかしながら逆浸透処理は溶
解ガス又は混入(entrained)ガスは除去しな
い。最も一般的な溶解又は混入ガスは窒素、酸素及び二
酸化炭素を主要成分とする空気である。
【0003】過去においては、溶解又は混入ガスは膜接
触器、例えば中空糸膜接触器の使用により除去されてき
た。これらの接触器は、約30ミクロン以下の壁厚みの
ポリプロピレン微孔性中空糸膜を用いた。しかしながら
これらの接触器は約1℃から約60℃の液体を脱気でき
るだけであった。例えばヘキスト セラニーズ社のLI
QUI−CEL(登録商標)エキストラフロー4″×2
8″膜接触器を見られたい。この温度でのガス除去が適
当である一方で、ある工業界では超純粋液体に対する需
要が高まり、一層積極的な脱気技術の探索が要求されて
きた。従来の接触器を用いる場合、従来の接触器はより
高い温度に耐えることができないために、液体の脱気は
前記温度に制限されていた。一層積極的な脱気が生じる
であろう約60−85℃の温度では、中空糸は潰れて接
触器をダメにしてしまう。従って、より高い温度で作動
する接触器に対する要求があった。
【0004】半導体工業においては超純水が必要とされ
る。それは超純水が半導体チップを作るためのシリコン
ウエハの表面を洗浄するのに用いられるからである。汚
染物は典型的には空気である溶解又は混入ガスでさえ、
チップに対して悪影響をもちうる。従って、超純水源を
もつことが必要とされる。
【0005】昭和52年11月28日出願の特願昭52
−143213号は壁厚みがそれぞれ30及び27ミク
ロンのポリオレフィン(例えばポリエチレン及びポリプ
ロピレン)中空糸を開示している。この中空糸は他にも
用いうるがとりわけガス分離膜(ある1のガスを別のガ
スから分離する工程)に用いうる。このポリオレフィン
は結晶質であり核形成されており、1つの核形成剤とし
てはナトリウムベンゾエートがある。この中空糸は、比
較的小さな収縮を意味すると理解される「形状安定性」
を有すると述べられている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、60℃より高
い温度(>60℃)及び40psig以上の圧力(≧4
0psig)で液体を脱気するための微孔性膜接触器に
関する。この接触器は、60℃より高い温度(>60
℃)及び40psig以上の圧力(≧40psig)に
30日以上(≧30日)供したときに潰れに耐えそして
認知しうる程度に即ち実質的に孔の収縮又は孔の閉止を
抑えるよう適合された微孔性中空糸膜を有する。該膜を
ハウジングが包囲する。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明を説明する目的のため、好
ましい実施の態様を示す図面を示す。しかし本発明は図
面に示される精密な配置及び説明に限定されるものでは
ないことを理解されたい。
【0008】図1を参照すると、液体脱気処理工程(プ
ロセス)10が示される。処理工程10は膜接触器12
(後に詳述する)を用いている。処理工程10では対向
流配置をとっているけれども、本発明はこれに限定され
はしない。接触器12は典型的にはシェル側とチューブ
側をもつ。溶解又は混入ガスをもつ液体14は好ましく
接触器12のシェル側へ導入される。掃引ガス16(又
は真空、又は掃引ガスと真空の両方)は好ましくは接触
器12のチューブ側へ導入される。脱気された水18が
接触器12より放出され、そして掃引ガス16もまた接
触器12から除去される。当業者には、シェル及びチュ
ーブ側の流速(又は圧力)、温度及び材料組成を変える
ことにより、膜を横切るガスの移動を所望の通り調節で
きることは容易に理解できよう。本発明において水は脱
気されうる液体の1つである。典型的には、液体14は
それが水である場合、約60℃より高い最小温度をも
つ。液体はその沸点より低い最大温度をもつけれども、
(液体が水である場合)好ましくは80℃を超えない。
接触器への液体の圧力は約40psigより高く約12
0psigまでであるべきであるけれども、好ましくは
85psigを超えない。中空糸膜は60℃以上及び4
0psig以上で、良好な寸法安定性を有するべきであ
る。良好な安定性とは少なくとも、潰れに耐え、そして
/又は、認知しうる孔の収縮又は孔の閉止を抑えるよう
適合されていることを指す。認知しうる孔の収縮又は孔
の閉止を抑えるとは、膜の透過移動能力が実質的に(即
ち少なくとも50%まで)減少しない程度までの孔の実
質的な数の減少又は孔の閉塞を指す。
【0009】図2を参照すると例示的な接触器12が一
層詳細に示されている。接触器12はここに参考として
取り込まれる米国特許第5,264,171号、第5,
284,584号及び第5,352,171号に従って
作られてよい。一般に接触器12は1のシェル30及び
複数のチューブ32からなる。好ましくはチューブ32
は微孔性中空糸である。中央チューブ34はシェル30
の長軸に沿って位置する。中央チューブ34は孔あきチ
ューブであって、液体がそこを通って進入及び脱出しう
る。バッフル36が中央チューブの両端の間に固定され
ていてよい。シェル30、チューブシート38、及びチ
ューブ32の外表面がシェル側40を画成する。シェル
側40は入口42及び出口44を備える。シェル側40
を通る材料の流れは矢印46で示される。チューブ32
の内側又は内腔は、部分的に、チューブ側48を画成す
る。チューブ側48は入口50及び出口52を備える。
接触器12は上記の形態に限定されるものではない。
【0010】好ましくは、微孔性中空糸32は;壁厚み
が30ミクロンより厚い(より好ましくは35ミクロン
より厚く、最も好ましくは50ミクロン以上(≧)の)
ポリオレフィン材料から作られ;そして80%より少な
い(より好ましくは60%より少なく、最も好ましくは
約20%である)多孔度を有し;1より大きい(より好
ましくは100より大きく、最も好ましくは約300で
ある)ガーレー数を有し;25psig以上(より好ま
しくは100psigより高く、最も好ましくは200
psigより高い)泡立ち点を有し;90℃60分間で
負荷無しで5%より少ない(好ましくは約2%以下の)
収縮を有する。
【0011】ポリオレフィンとは単純なオレフィンから
誘導される熱可塑性ポリマー類をいう。ポリオレフィン
の非制限的な例にはポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リメチルペンテン、ポリエチレンのコポリマー、ポリプ
ロピレンのコポリマー、ポリメチルペンテンのコポリマ
ー及びそれらの組合せがある。好ましいポリオレフィン
は後記するポリプロピレンである。
【0012】ポリプロピレンは好ましくは結晶質であ
り、そして125℃以上の結晶化温度を有する。この結
晶質ポリプロピレンを得るために、核形成されているこ
とが好ましい。核形成されている、又は、核形成剤を有
するとは、ポリマーに加えられた物質により開始される
結晶核形成の促進を指す。好ましい核形成剤にはナトリ
ウムベンゾエート又はソルビタールアセテート又はそれ
らの混合物がある。特に好ましい核形成剤はナトリウム
ベンゾエートである。好ましくは約2400ppmの核
形成剤がポリマーに加えられる。核形成処理された材料
は少なくとも2つの見地から有用である。第1に、良好
な結晶均一性が良好なほどより大きな熱安定性を付与す
る。第2に、結晶均一性が良好なほどポリマーの孔の寸
法を「クリープ」又は閉止又は収縮する傾向を減少させ
る。
【0013】ポリプロピレンは10分当たり0.1gよ
り大きいメルトフローインデックス(ASTM D12
38−85)を有し、好ましくは10分当たり1gより
大きく、最も好ましくは10分当たり0.1から20g
の範囲のメルトフローインデックスを有する。
【0014】ポリオレフィン樹脂の選択に際しては、商
業的に入手可能な全ての樹脂に通常存在する安定剤のな
かには孔の閉止又は孔の収縮及び/又は糸表面上のスキ
ン形成を起こす可能性のあるものがあるので、安定剤を
含む添加剤について考慮すべきである。例えば0.05
%のBHT(ブチル化ヒドロキシトルエン又は2,4−
ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール)、0.12%
のテトラキス〔メチレン(3,5−ジ−ブチル−r−ヒ
ドロキシヒドロシンナメート)〕メタン(チバガイギー
社、Irganox1010)、及び32ppmのステ
アリン酸カルシウムからなる安定剤は完全な孔閉塞及び
糸表面上のスキン形成を生じせしめる。この安定剤はポ
リマーから浸出して孔を閉塞し、そして糸表面にスキン
形成すると考えられる。一方で、600ppmのヒンダ
ーフェノリック(エチル社、エチル330)及び100
0ppmのホスファイト(チバガイギー社、Orgaf
ox)からなる安定剤は孔又は糸表面に何ら影響を与え
なかった。前記に基づけば次の安定剤選択基準が提案さ
れる。移動拡散しない安定剤が好ましく、そうした安定
剤は高分子量をもち及び/又は長い炭化水素からなる側
鎖(例えば非極性でポリオレフィンと化学的相溶性が高
いもの)をもち、また(移動拡散する量が一層少ないよ
うに)一層少量の使用ですむ安定剤が勧められる。
【0015】本発明に従って製造されたモジュールは約
60℃より上の温度及び約40psigより上の圧力に
供されて、30日より多く作動を維持した。
【0016】
【実施例】以下は、微孔性中空糸を製造するときの本発
明による好ましい手順である。樹脂はポリプロピレン
(フィナ社、FinaPP3362)である。押し出し
温度は210℃であり、押し出し速度は100m/分で
あり、そして 紡糸張力は21gであった。核形成剤
(約2400ppmのナトリウムベンゾエート)の点か
ら急冷は不要である。糸を紡糸した後、糸を延伸した。
紡糸の直径は332ミクロンであり、壁厚みは55ミク
ロンであった。150℃でアニーリング処理した。次い
でそれを10%冷延伸し、50%熱延伸し(142
℃)、そして後20%弛緩(142℃)した。得た糸は
次の特性を有していた:直径325ミクロン;内径21
5ミクロン;壁厚み55ミクロン;ガーレー数250秒
/m2 ;泡立ち点250psig;収縮1.2%;形状
比1.02;引張り強度460g;及び破断伸度220
%。
【0017】ここに示した全ての測定値は通常の工業規
格(例えば適当なASTM手順)に従って測定されたも
のである。以下の値について詳細を述べる。
【0018】ガーレー − 「ガーレー」とは微孔性中
空糸の壁を通る空気流の抵抗の尺度を指す。ガーレー指
示器により測定される空気流の抵抗は、12.2インチ
(約30cm)H2 Oの一定圧力で1平方インチ(約6
cm2 )の製品を10ccの空気が通り抜けるのに必要
な秒で示される時間である。測定値は「秒/インチ2
で記録され、そして1平方インチ値に標準化される。
【0019】泡立ち点 − 「泡立ち点」とは中空糸の
大きな孔の直径及び一般的な孔の直径を決定する尺度で
ある。メタノール浴中の窒素加圧ガスを用いて約1フィ
ート(約30cm)の中空糸を試験する。始めの圧力は
15psigであり、そして1秒毎に約5−10psi
gに増加させる。15ストリーマの泡が出現したときに
測定値が計算される。ここでは泡立ち点はpsigで記
録され、ミクロンで表される孔径と相関する(ミクロン
=6.56/メタノール浴中psig)。
【0020】多孔度 − 「多孔度」とは中空糸の内部
孔容積及び見かけの孔径分布の尺度である。多孔度はA
STM D−2873−89に記載される手順によって
測定される。
【0021】本発明はその技術思想から離れない限り他
の態様においても具体化されうる。従って、本発明の範
囲を示すものとしては前記の説明よりむしろ請求の範囲
が参照されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液体脱気処理工程の概要を説明する
図。
【図2】本発明で用いるに適する接触器の断面図。
【符号の説明】
12 接触器 14 液体 30 シェル 32 チューブ 34 中央チューブ 42 入口 44 出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シャオヤン ファン アメリカ合衆国ノース カロライナ州 28210 チャーロッテ チムニー コーナ ー コート 9905

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 60℃より高い温度及び40psig以
    上の圧力で液体を脱気するための微孔性膜接触器であっ
    て、60℃より高い温度及び40psig以上の圧力に
    30日以上供したときに潰れに耐えそして実質的な孔の
    収縮又は孔の閉止を抑えることのできる微孔性中空糸膜
    及び該膜を包囲するハウジングからなることを特徴とす
    る微孔性膜接触器。
  2. 【請求項2】 該微孔性中空糸膜が少なくとも50ミク
    ロンの壁厚みをもつ請求項1の接触器。
  3. 【請求項3】 該微孔性中空糸膜が核形成ポリオレフィ
    ンからなる請求項1の接触器。
  4. 【請求項4】 該微孔性中空糸膜が125℃以上の結晶
    化温度をもつポリプロピレンからなる請求項1の接触
    器。
  5. 【請求項5】 該ポリプロピレンが10分当たり0.1
    g以上のメルトフローインデックスをもつ請求項4の接
    触器。
  6. 【請求項6】 核形成剤がナトリウムベンゾエート又は
    ソルビタールアセテート又はそれらの組み合わさせから
    なる請求項3の接触器。
  7. 【請求項7】 該核形成剤がナトリウムベンゾエートで
    ある請求項6の接触器。
  8. 【請求項8】 60℃より高い温度及び40psig以
    上の圧力で液体を脱気するための微孔性膜接触器であっ
    て、30ミクロンより大きい壁厚みを有して核形成ポリ
    オレフィンからなる微孔性中空糸膜及び該膜を包囲する
    ハウジングからなることを特徴とする微孔性膜接触器。
  9. 【請求項9】 該壁厚みが少なくとも50ミクロンであ
    る請求項8の接触器。
  10. 【請求項10】 核形成剤がナトリウムベンゾエート又
    はソルビタールアセテート又はそれらの混合物からなる
    請求項8の接触器。
  11. 【請求項11】 該核形成剤がナトリウムベンゾエート
    である請求項10の接触器。
  12. 【請求項12】 60℃以上及び40psig以上で良
    好な寸法安定性をもつ核形成ポリオレフィン中空糸膜を
    もつ微孔性膜接触器を準備する工程、及び、該膜を介し
    て溶解又は混入ガスを除くことにより液体を脱気する工
    程からなることを特徴とする溶解又は混入ガスを含む液
    体を温度60℃で脱気する方法。
  13. 【請求項13】 壁厚みが少なくとも50ミクロンで結
    晶化温度が125℃以上の複数のポリプロピレン中空糸
    膜をもつ微孔性膜接触器を準備する工程、及び、該膜を
    介して溶解又は混入ガスを除くことにより水を脱気する
    工程からなることを特徴とする溶解又は混入ガスを含む
    水を60℃以上の温度及び40psig以上の圧力で脱
    気する方法。
  14. 【請求項14】 30ミクロンより大きい壁厚みを有
    し、核形成ポリオレフィンから製造され、80%より少
    ない多孔度及び1より大きいガーレー数を有し、該ポリ
    オレフィンが10分当たり0.1gより大きいメルトフ
    ローインデックスを有する微孔性中空糸からなる膜。
  15. 【請求項15】 該ポリオレフィンがポリエチレン、ポ
    リプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリエチレンのコ
    ポリマー、ポリプロピレンのコポリマー、ポリメチルペ
    ンテンのコポリマー、及びそれらの混合物からなる群か
    ら選ばれる請求項14の膜。
  16. 【請求項16】 該ポリオレフィンがポリプロピレンで
    ある請求項14の膜。
  17. 【請求項17】 該ポリプロピレンの結晶化温度が12
    5℃以上である請求項15の膜。
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