JPH1081959A - テープ蒸着装置の電子銃取付け構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子銃のメンテナンスや交換がやり易く、し
かも蒸着効率を向上させたテープ蒸着装置における電子
銃取付構造を提供する。 【解決手段】 装置本体１内に、冷却ドラム２およびそ
の下部近傍に蒸着容器４を設け、該蒸着容器４内の蒸着
材３を加熱溶解して蒸発させるための電子銃８を備え、
前記冷却ドラム表面上を蒸着すべきテープ２２が通過
し、該テープの蒸着部分が開口した防着マスク１５をそ
の支持部材１９，２３，２４とともに一体化して防着板
ユニット５を形成し、該防着板ユニット５を前記装置本
体１に対し着脱可能に構成したテープ蒸着装置におい
て、前記電子銃８を前記防着板ユニット５に取付けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気テープを製造す
るために使用されるテープ蒸着装置に関し、さらに詳し
くは磁性材料を蒸発させるために使用される電子銃の取
付構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】情報の記録担体となる磁気テープを製造
するためのテープ蒸着装置は、内部を真空雰囲気とする
装置本体内に冷却ドラムを備え、その表面上をＰＥＴ等
のテープ基体を通過させ、冷却ドラム通過中のテープ基
体に対し、マスクを介して蒸着材を加熱溶融して蒸着さ
せるものである。

【０００３】図５は、従来のテープ蒸着装置の基本構成
図である。内部を真空雰囲気とした装置本体３１内に冷
却ドラム３５が備る。装置本体３１の一端部上側に例え
ばＰＥＴを材料とするテープ（基体）５４が巻かれた巻
出軸３２が設けられ、その下側にテープを巻き取る巻取
軸３３が設けられる。巻出軸３２からのテープ５４は複
数のガイドロール（図では１個のみ図示）３４を介して
冷却ドラム３５表面を通過するように案内される。冷却
ドラム３５は、テープ５４を冷却しながらこのテープに
蒸着するためのものである。この冷却ドラム３５の下部
近傍には、磁性材料（主としてＣｏ−Ｎｉ）からなる蒸
着材３７を収容した蒸着容器（るつぼ）３８が設置され
る。この蒸着材３７を加熱溶融して蒸発させるための電
子銃３６が装置本体１の天井部に取付けられる。

【０００４】このような構成のテープ蒸着装置におい
て、巻出軸３２から巻き出されたテープ５４がガイドロ
ール３４により案内されて冷却ドラム３５を通過する
際、そのテープ５４は先ず基体処理部５０で表面を活性
化して磁性材を剥がれにくくし、次いで電子銃３６から
の電子ビームにより蒸発させた蒸着容器３８内の蒸着材
３７の蒸気をテープ表面で凝縮させて磁性膜を形成す
る。このテープ蒸着の際、冷却ドラム３５表面のテープ
５４は、防着マスク（図示しない）およびシャッタ５２
によりマスキングされ、必要部分のみ磁性膜が形成され
る。このとき、さらに酸素供給管５３から酸素を吹き付
けて特性を向上させる。冷却ドラム３５を通過し磁性膜
が形成されたテープ５４は、表面除電処理部５１でしわ
がないようにされ表面を滑りやすくさせた後、巻取軸３
３に巻き取られる。

【０００５】図６は、図５の蒸着装置の電子銃３６と磁
性材料からなる蒸着材３７を収容した蒸着容器３８、お
よび不要な箇所に磁性材料の粒子が蒸着しないようにマ
スキングする防着板ユニット３９の位置関係を詳細に説
明する図である。図示するように、従来の電子銃３６
は、装置本体３１の上部に取り付けられ、斜め下方に位
置する蒸着容器３８内の蒸着材３７に向けて電子ビーム
を照射する。蒸着容器３８は支柱５６を介して装置本体
３１のベース５５に固定される。電子ビームは図示しな
い偏向コイルにより蒸着容器３８の幅方向（図面に垂直
方向）に振られスキャニングされながら蒸着材３７を加
熱溶融し蒸発させる。この電子ビームの照射により、磁
性材料の蒸気が冷却ドラム３５を通過するテープ５４の
表面に付着し、磁性膜を形成する。この場合、冷却ドラ
ム３５表面は、防着マスク５７でマスキングされる。

【０００６】この防着マスク５７は、その上部に電子ビ
ームが通過する開口５８を有し、また冷却ドラム面に対
向して蒸着領域を形成する蒸着用開口５９を有する。蒸
着用開口５９にはシャッタ６０が設けられ、蒸着面積を
さらに調整する。この防着マスク５７は、その支持材と
ともに一体化され防着板ユニット３９を構成する。この
防着板ユニット３９は、装置本体３１の左方より装置本
体３１に着脱自在に移動する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の蒸着装置における電子銃は、装置本体の特に上部に
取付けられていたため、電子銃から磁性材料を収容する
蒸着容器までの距離が長く、しかも電子ビームは、蒸着
容器上方に形成される磁性材料蒸気の蒸着雲内を通過す
る構成になっているため、電子ビームのエネルギー損失
が大きくなりテープへの蒸着効率が悪かった。また、従
来の電子銃は装置本体に固定されていたため、電子銃の
周りに付着する蒸着物を取り除く清掃等のメンテナンス
や電子銃の交換作業が非常に面倒であった。さらに、従
来の電子銃は固定されていたため、一旦取付けた後は電
子ビームの照射角度を調整することができず、プロセス
ごとに最適な照射角度の蒸着ポジションを得ることがで
きなかった。

【０００８】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、電子銃のメンテナンスや交換がやり
易く、しかも蒸着効率を向上させたテープ蒸着装置にお
ける電子銃取付構造の提供を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、装置本体内に、冷却ドラムおよ
びその下部近傍に蒸着容器を設け、該蒸着容器内の蒸着
材を加熱溶解して蒸発させるための電子銃を備え、前記
冷却ドラム表面上を蒸着すべきテープが通過し、該テー
プの蒸着部分が開口した防着マスクをその支持部材とと
もに一体化して防着板ユニットを形成し、該防着板ユニ
ットを前記装置本体に対し着脱可能に構成したテープ蒸
着装置において、前記電子銃を前記防着板ユニットに取
付けたことを特徴とするテープ蒸着装置の電子銃取付け
構造を提供する。

【００１０】上記構成によれば、電子銃から磁性材料を
収容する蒸着容器までの距離を短くすることができ、し
かも電子ビームを磁性材料による蒸着雲の影響が少ない
側面方向から磁性材料に照射させることができ、テープ
への蒸着効率を向上させることができる。また、電子銃
を着脱可能な防着板ユニットとともに装置本体から分離
して動かすことができ、電子銃の周りに付着する蒸着物
を取り除く清掃等のメンテナンスや電子銃の交換が容易
にできる。

【００１１】

【発明の実施の形態】好ましい実施の形態においては、
前記電子銃の取付け角度調整手段を備えたことを特徴と
している。

【００１２】さらに好ましい実施の形態においては、前
記取付け角度調整手段は、電子銃側に設けたウォームホ
イルと、このウォームホイルに噛み合う防着板ユニット
側に設けたウォームとからなることを特徴としている。

【００１３】

【実施例】次に本発明に係るテープ蒸着装置における電
子銃の取付構造の実施の一例について説明する。テープ
蒸着装置の基本構成については、電子銃の取付位置を除
けば、前述した図５の基本構成図のものと特に異なると
ころはなく、巻出軸から巻き出されたテープが冷却ドラ
ムを通過する際に、そのテープ表面に電子銃からのビー
ムにより蒸発させた磁性材料を凝縮させ、磁性膜が形成
されたテープを巻取軸に巻き取る構成のものである。こ
のような基本構成において、本発明はその電子銃の取付
け配置構造に特徴を有する。

【００１４】図１は、本発明の実施例に係るテープ蒸着
装置の電子銃と磁性材料を収容した蒸着容器、および磁
性材料蒸着時のマスキング用防着板ユニットの位置関係
を詳細に説明する図である。図示するように、この装置
は、内部を真空雰囲気とした装置本体１内にテープ２２
（例えばＰＥＴからなる）を冷却しながらこのテープ２
２に蒸着するための冷却ドラム２が設置され、その斜め
下側に隣接してドラム下部近傍に磁性材料（主としてＣ
ｏ−Ｎｉ）からなる蒸着材３を収容した蒸着容器（るつ
ぼ）４が設置される。この蒸着容器４は、支柱２０を介
して装置本体１のベース２１に固定される。

【００１５】装置本体１の外側には、左方より装置本体
１に着脱自在に移動する可動式の防着板ユニット５が設
置される。この防着板ユニット５は、図２の斜視図に示
すように、隔壁１３から突出して固定された２本の支持
台１９上に、防着マスク１５を設置して有するものであ
る。隔壁１３は、この防着板ユニット５を装置本体１に
装着した際、装置本体１の開口１４（図１）を塞ぐ。ま
た、この隔壁１３には覗き窓１２が設けられる。この防
着マスク１５を固定支持する隔壁１３は、支持枠２３を
介して台車２４上に固定される。このような防着マスク
１５およびこれを支持する支持台１９、支持枠２３およ
び台車２４等の支持部材により防着板ユニット５が形成
される。

【００１６】前記防着マスク１５は、その背面に電子ビ
ーム通過用の開口１８（図１）を有し、また前面側の冷
却ドラム２に対向する位置に蒸着領域を形成する蒸着用
開口１６を有する。この蒸着用開口１６部分にはさらに
シャッタ１７が設けられ蒸着面積を調整可能とする。

【００１７】この防着板ユニット５の隔壁１３の背面
に、ユニットフランジ７およびフレキシブルジョイント
６を介して電子銃８が装着される。電子銃８は、図３に
示すように、ユニットフランジ７に固定され、このユニ
ットフランジ７にウォームホイル１１が装着される。こ
のウォームホイル１１は、ウォーム１０と噛み合う。こ
のウォーム１０は、防着板ユニット５の台車２４上に設
けた台枠２５上に設置される。トルクモータ９あるいは
手動でウォーム１０を回転させることにより、ウォーム
ホイル１１が回転して、フレキシブルジョイント６を介
する電子銃８の取付け角度が変り、電子ビームの照射方
向が調整可能になる。

【００１８】電子銃８からの電子ビームは、図示しない
偏向コイルにより進路を曲線状に曲げられ、防着マスク
１５の開口１８を通して蒸着容器４内の蒸着材３を照射
し、これを加熱溶融させさらに蒸発させる。

【００１９】このような電子銃８を取付けた防着板ユニ
ット５は、図４に示すように、台車２４を移動させて、
装置本体１の開口１４を介して防着マスク１５を装置本
体内部に進入させ、この開口１４を隔壁１３により気密
封止して装着される。

【００２０】上記構成の電子銃の取付構造によれば、電
子銃８は、装置本体１の側面に対し着脱可能な可動式の
防着板ユニット５に取り付けられているので、電子ビー
ムの照射距離を短くすることができ、しかも電子ビーム
は側方から蒸着容器４内の磁性材料を照射するため、容
器上方に形成される蒸着雲の影響が少なくなって、加熱
エネルギーロスが小さくなり、蒸着効率を向上させるこ
とができる。また、装置を使用しないときは、可動式の
防着板ユニット５を装置本体１から離脱させることがで
き、これに伴い電子銃８を作業し易い場所に移動でき、
電子銃８の周りに付着した蒸着物を取り除く清掃等のメ
ンテナンスや電子銃の交換が容易にできる。さらに、電
子銃８の電子ビーム照射角度をトルクモータ９等の駆動
により上下方向に調整することができるので、各蒸着プ
ロセスごとに最適な照射角度の蒸着ポジションを得るこ
とができ、この点からも蒸着効率を向上させることがで
きる。なお、テープの表面に形成される磁性膜の状態は
図１の覗き窓１２から観察することができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、電子銃を装置本体側面の可動式の防着板ユニットに
取付けたので、電子銃を装置本体上面側に取付けた従来
の場合に比べて、電子ビームの照射距離を短くすること
ができ、しかも電子ビームを蒸着雲の影響が少ない側面
方向から照射させることができ、エネルルギーロスを抑
えてテープへの蒸着効率を向上させることができる。ま
た、電子銃を可動式の防着板ユニットとともに動かすこ
とができ、電子銃の周りに付着する蒸着物を取り除く清
掃等のメンテナンスや電子銃の交換が容易にできる。

【００２２】さらに、電子銃をその照射角度が調整自在
に可動式の防着板ユニットに取付ければ、蒸着プロセス
ごとに最適な照射角度の蒸着ポジションを得ることがで
き、蒸着効率を一層向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るテープ蒸着装置における電子銃
取付構造の実施の一例を示す構成図。

【図２】 図１の防着マスクの斜視図。

【図３】 図１の電子銃取付け部分の斜視図。

【図４】 本発明に係る防着板ユニットを装置本体に装
着する状態の説明図。

【図５】 テープ蒸着装置の基本構成図。

【図６】 従来のテープ蒸着装置における電子銃取付構
造の構成図。

【符号の説明】

１：装置本体、２：冷却ドラム、３：蒸着材、４：蒸着
容器、５：防着板ユニット、６：フレキシブルジョイン
ト、７：ユニットフランジ、８：電子銃、９：トルクモ
ータ、１０：ウォーム、１１：ウォームホイール、１
２：覗き窓、１３：隔壁、１４：装置本体の開口、１
５：防着マスク、１６：蒸着用開口、１７：シャッタ、
１８：電子ビーム通過用開口、１９：支持台、２０：支
柱、２１：装置本体のベース、２２：テープ、２３：支
持枠、２４：台車、２５：台枠

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】装置本体内に、冷却ドラムおよびその下部
   近傍に蒸着容器を設け、 該蒸着容器内の蒸着材を加熱溶解して蒸発させるための
   電子銃を備え、 前記冷却ドラム表面上を蒸着すべきテープが通過し、 該テープの蒸着部分が開口した防着マスクをその支持部
   材とともに一体化して防着板ユニットを形成し、 該防着板ユニットを前記装置本体に対し着脱可能に構成
   したテープ蒸着装置において、 前記電子銃を前記防着板ユニットに取付けたことを特徴
   とするテープ蒸着装置の電子銃取付け構造。
2. 【請求項２】前記電子銃の取付け角度調整手段を備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載のテープ蒸着装置の電
   子銃取付け構造。
3. 【請求項３】前記取付け角度調整手段は、電子銃側に設
   けたウォームホイルと、このウォームホイルに噛み合う
   防着板ユニット側に設けたウォームとからなることを特
   徴とする請求項２に記載のテープ蒸着装置の電子銃取付
   け構造。