JPH1197322A - データ管理方法、データ管理装置、及び、搭載台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】生産性の向上とコストダウンを可能とすること
のできるデータ管理方法を提供すること。 【解決手段】搭載台としてのウェハフレーム１１に刻印
されたホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄに含まれる識別デ
ータ１３に基づいて、そのウェハフレーム１１に保持さ
れた搭載物としてのウェハＷの特性データをサーバ装置
から取得する。また、ホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄに
含まれる方向データに基づいて、特性データの配列方向
をウェハＷの方向に合わせるように変換するようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程にお
いて搭載物（ウェハ）を管理するためのデータ管理方
法、データ管理装置、及び、搭載台に関するものであ
る。

【０００２】近年、半導体集積回路装置は、高速化、高
集積化が進められると共に、コストダウンが要求されて
いる。その為、半導体集積回路装置の製造工程におい
て、生産性の向上とコストダウンが求められている。

【０００３】

【従来の技術】従来、図１０に示すように、半導体製造
工程において、ウェハＷには、表面にウェハＷ固有の識
別記号５１が刻まれ、その識別記号５１によりウェハＷ
の特性データ等が管理されている。しかし、ウェハＷ表
面に刻印された識別記号５１は、そのウェハがダイシン
グされるとその後の行程において読みとれなくなってし
まうので、データを管理することが難しくなる。その
為、ダイシング後の行程では、識別記号を表示したＩＤ
シール５２が用いられる。ＩＤシール５２は、ウェハフ
レーム５３に張られウェハ及びダイシングされたチップ
を保持するためのテープ５４上の指定された１ヶ所だけ
に張り付けられる。

【０００４】所定の行程を行う処理装置は、ＩＤシール
５２に表示された識別記号を読みとり装置にて読みと
り、その識別記号に対応したウェハＷの特性データ等を
サーバ装置等から取得する。例えば、マウンティング装
置は、識別記号にて取得した特性データに含まれる各チ
ップの良否データに基づいて、良品のチップのみをＩＣ
パッケージにマウントする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、その後
行程において固定された位置に設置された１個の読み取
り装置でＩＤシール５２を読みとるときに、ウェハフレ
ーム５３の向きが一様でないため、読みとることができ
ない場合がある。そのため、予め人手や回転機構等によ
りウェハフレーム５３を所定角度（９０度、１８０度、
又は２７０度）回転させてウェハフレーム５３の向きを
一様にする必要があり、手間がかかるので、生産性の低
下を招いていた。

【０００６】また、ＩＤシール５２は、ダイボンディン
グ行程が終了すると不要となる。また、識別記号はウェ
ハ固有であるため、ＩＤシール５２がウェハ毎に必要と
なり、行程を終了したウェハのＩＤシール５２を再利用
することができない。そのため、半導体製造工程におけ
るコストアップを招いていた。

【０００７】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は生産性の向上とコストダ
ウンを可能とすることのできるデータ管理方法、データ
管理装置、及び、搭載台を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、搭載台に搭載され、処理
装置にて処理される搭載物のデータを管理するためのデ
ータ管理方法であって、搭載台表面に複数設けられた搭
載台固有の搭載台識別記号と搭載物固有の搭載物識別記
号を対応付けておき、前記搭載物識別記号には搭載物の
データが対応付けられており、前記処理装置では前記複
数の搭載台識別記号のうちの１つを読み取り、その読み
取った搭載台識別記号に基づいて対応付けられる搭載物
のデータを取得できるようにした。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のデータ管理方法において、前記複数の搭載台識別記号
は、該搭載台識別記号がそれぞれ設けられた方向を示す
方向データを含み、前記搭載物のデータは、該搭載物の
方向に対応してデータの配列方向が規定された第１デー
タを含み、前記搭載物のデータを取得した後、前記第１
データの方向が所望の方向ではない場合に、前記読み取
られた搭載台識別記号に含まれる方向データに基づい
て、前記第１データの方向を所望の方向に変換するよう
にした。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載のデータ管理方法において、搭載台識別記号は、
該搭載台固有に設定され、複数の搭載台識別記号に対し
て共通に設定された識別データを含み、前記識別データ
は、前記搭載物識別記号が格納されたファイルのファイ
ル名であり、そのファイルに格納された搭載物識別記号
と前記識別データを含む搭載台識別記号とを対応付け
た。

【００１１】請求項４に記載の発明は、搭載台に搭載さ
れ、処理装置にて処理される搭載物のデータを管理する
ためのデータ管理装置であって、前記搭載物のデータが
予め格納された記憶装置を備え、搭載台表面に複数設け
られた搭載台固有の搭載台識別記号と搭載物固有の搭載
物識別記号を対応付けておき、前記搭載物識別記号には
搭載物のデータが対応付けられており、前記処理装置は
前記複数の搭載台識別記号のうちの１つを読み取り、そ
の読み取った搭載台識別記号に基づいて対応付けられる
搭載物のデータを前記記憶装置から取得するようにし
た。

【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のデータ管理装置において、前記複数の搭載台識別記号
は、該搭載台識別記号がそれぞれ設けられた方向を示す
方向データを含み、前記記憶装置に格納された搭載物の
データは、該搭載物の方向に対応してデータの配列方向
が規定された第１データを含み、前記搭載物のデータを
取得した後、前記第１データの方向が所望の方向ではな
い場合に、前記読み取られた搭載台識別記号に含まれる
方向データに基づいて、前記第１データの方向を所望の
方向に変換するデータ変換手段を備えた。

【００１３】請求項６に記載の発明は、請求項４又は５
に記載のデータ管理装置において、前記搭載台識別記号
は、該搭載台固有に設定され、複数の搭載台識別記号に
対して共通に設定された識別データを含み、前記識別デ
ータは、前記搭載物識別記号が格納されたファイルのフ
ァイル名であり、そのファイルに格納された搭載物識別
記号と前記識別データを含む搭載台識別記号とを対応付
けた。

【００１４】請求項７に記載の発明は、処理装置にて処
理される搭載物が搭載された搭載台であって、搭載台の
表面には該搭載台固有の搭載台識別記号が刻まれてお
り、該搭載物識別記号は前記処理装置に取得される搭載
物のデータに対応付けられているとともに、該搭載台識
別記号が設けられた方向を示す方向データを含んでい
る。

【００１５】（作用）従って、請求項１に記載の発明に
よれば、搭載台表面には複数の搭載台固有の搭載台識別
記号が設けられている。各搭載台識別記号はその搭載台
に搭載された搭載物固有の搭載物識別記号が対応付けら
れており、搭載物識別記号には搭載物のデータが対応付
けられている。処理装置では複数の搭載台識別記号のう
ちの１つを読み取り、その読み取った搭載台識別記号に
基づいて対応付けられた搭載物のデータが容易に取得で
きる。また、搭載物のデータに対応付けられた搭載台識
別記号が搭載台に設けられているため、その搭載物識別
記号を張り替える手間が省ける。

【００１６】請求項２に記載の発明によれば、複数の搭
載台識別記号は、その搭載台識別記号がそれぞれ設けら
れた方向を示す方向データを含み、搭載物のデータは、
その搭載物の方向に対応してデータの配列方向が規定さ
れた第１データを含んでいる。処理装置では、搭載物の
データを取得した後、第１データの方向が所望の方向で
はない場合に、読み取られた搭載台識別記号に含まれる
方向データに基づいて、第１データの方向を所望の方向
に変換するようにしたので、搭載台を回転させるための
機構が不要となるとともに、処理時間が短くなる。

【００１７】請求項３に記載の発明によれば、搭載台識
別記号は、その搭載台固有に設定され、複数の搭載台識
別記号に対して共通に設定された識別データを含んでい
る。識別データは、搭載物識別記号が格納されたファイ
ルのファイル名であり、そのファイルに格納された搭載
物識別記号と識別データを含む搭載台識別記号とが容易
に対応付けられる。

【００１８】請求項４に記載の発明によれば、記憶装置
には、予め搭載物のデータが格納されている。搭載台表
面には複数の搭載台固有の搭載台し喜悦記号が設けられ
ている。各搭載台識別記号はその搭載台に搭載された搭
載物固有の搭載物識別記号と対応付けられており、搭載
物識別記号には搭載物のデータが対応付けられている。
処理装置では、複数の搭載台識別記号のうちの１つを読
み取り、その読み取った搭載台識別記号に基づいて対応
付けられる搭載物のデータを記憶装置から取得するよう
にした。その為、データの取得が容易である。また、搭
載物のデータに対応付けられた搭載台識別記号が搭載台
に設けられているため、その搭載物識別記号を張り替え
る手間が省ける。

【００１９】請求項５に記載の発明によれば、複数の搭
載台識別記号は、その搭載台識別記号がそれぞれ設けら
れた方向を示す方向データを含み、記憶装置に格納され
た搭載物のデータは、その搭載物の方向に対応してデー
タの配列方向が規定された第１データを含んでいる。処
理装置は、搭載物のデータを取得した後、第１データの
方向が所望の方向ではない場合に、読み取られた搭載台
識別記号に含まれる方向データに基づいて、第１データ
の方向を所望の方向に変換するデータ変換手段を備えて
いる。そのため、搭載台を回転させるための機構が不要
となるとともに、処理時間が短くなる。

【００２０】請求項６に記載の発明によれば、搭載台識
別記号は、その搭載台固有に設定され、複数の搭載台識
別記号に対して共通に設定された識別データを含んでい
る。識別データは、搭載物識別記号が格納されたファイ
ルのファイル名であり、そのファイルに格納された搭載
物識別記号と識別データを含む搭載台識別記号とが容易
に対応付けられる。

【００２１】請求項７に記載の発明によれば、搭載台の
表面にはその搭載台固有の搭載台識別記号が刻まれてお
り、その搭載物識別記号は処理装置に取得される搭載物
のデータに対応付けられているとともに、その搭載台識
別記号が設けられた方向を示す方向データを含んでい
る。その方向データにより搬送された搭載台の方向が容
易に判別できると共に、搭載台識別記号により搭載台識
別記号が容易に取得できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図６に従って説明する。図１は、本実施
形態のウェハフレームの平面図である。搭載台としての
ウェハフレーム１１は、正方形の各頂点が直線又は円弧
により切り取られた略八角形状に形成されている。ウェ
ハフレーム１１の上面には、円形のテープ（又はウェハ
シートという）５４が中央に張り付けられ、そのテープ
５４により搭載物としてのウェハＷ（又はダイシングさ
れたチップ）が保持されている。

【００２３】ウェハフレーム１１の上面には、同ウェハ
フレーム１１固有のフレーム識別記号１２ａ〜１２ｄが
刻印されている。フレーム識別記号１２ａ〜１２ｄは、
ウェハフレーム１１の上下左右の各辺１１ａ〜１１ｄに
沿って形成されている。又、フレーム識別記号１２ａ〜
１２ｄは、ウェハフレーム１１上面に張られたテープ５
４により隠れない位置に形成されている。

【００２４】図２に示すように、各フレーム識別記号１
２ａ〜１２ｄは、それぞれ識別データ１３と方向データ
１４を含む。識別データ１３は、各ウェハフレーム１１
を識別するために設けられたウェハフレーム１１固有の
データであり、各フレーム識別記号１２ａ〜１２ｄに対
して共通に設定されている。

【００２５】識別データ１３は、文字列を含み、その文
字列は、ウェハフレーム１１に対応付けられたファイル
のファイル名を示している。例えば、図２に示すよう
に、識別データ１３は、文字列「１８００００１」を含
み、その文字列は、図３に示すように、ファイル１５の
ファイル名を示している。即ち、１枚のウェハフレーム
１１には、識別データ１３及びファイル名により対応付
けられた１つのファイル１５が予め設けられている。

【００２６】ファイル１５には、ウェハ識別記号が格納
されている。ウェハ識別記号は、その時にファイル名と
関連づけられた識別データ１３が刻印されたウェハフレ
ーム１１に保持されたウェハＷ固有の記号である。ウェ
ハ識別記号は、ウェハＷ上に形成された識別記号５１
（図１参照）と同一文字列よりなる。ウェハ識別記号
は、ウェハフレーム１１に保持される際にファイル１５
に格納される。従って、ウェハフレーム１１に対して新
たなウェハＷが保持される場合、その新たなウェハＷの
ウェハ識別記号がウェハフレーム１１に対応するファイ
ル１５に格納される。

【００２７】ウェハ識別記号は、対応するウェハフレー
ム１１に保持されたウェハＷの特性データを後述するサ
ーバ装置３３から取得するために利用される。サーバ装
置３３には、半導体製造工程において処理されている複
数のウェハＷの特性データがファイル１６ａ，１６ｂ，
１６ｃ，… として格納されている。ウェハの特性デー
タは、ウェハＷに対するプロセスの条件、ウェハＷを切
断して形成されるチップの品種，動作速度，電源電圧等
の特性、検査装置により検出されたチップの良否等を含
む。

【００２８】従って、半導体製造工程における処理装置
は、ウェハフレーム１１を受け取ると、そのウェハフレ
ーム１１表面に刻印されたホルダ識別記号１２ａ〜１２
ｄのうちの１つを読み取り、読み取ったホルダ識別記号
に含まれる識別データ１３によりファイル名を取得す
る。次に、処理装置は、ファイル名を基に、ファイル１
５に格納されたウェハ識別記号を取得する。更に、処理
装置は、ウェハ識別記号を基に、ウェハフレーム１１に
保持されたウェハＷの特性データが格納されたファイル
１６ｂを取得する。即ち、処理装置は、ウェハフレーム
１１を受け取り、ウェハフレーム１１に刻印されたホル
ダ識別記号１２ａ〜１２ｄに基づいて、その時にウェハ
フレーム１１に保持されたウェハＷの特性データを容易
に取得することができる。

【００２９】図２に示すように、方向データ１４は、フ
レーム識別記号１２ａ〜１２ｄが刻印されている方向を
示すためのデータであり、各フレーム識別記号１２ａ〜
１２ｄに対して別々に設定されている。方向データ１４
は、各フレーム識別記号１２ａ〜１２ｄが設けられた辺
を示す文字が設定されている。

【００３０】例えば、図１において、フレーム識別記号
１２ａは、ウェハフレーム１１の右辺１１ａに沿って設
けられている。その為、フレーム識別記号１２ａの方向
データ１４には、右辺を示す文字「Ｒ」が設定されウェ
ハフレーム１１上に刻まれている。また、フレーム識別
記号１２ｂは、ウェハフレーム１１の下辺１１ｂに沿っ
て設けられている。その為、フレーム識別記号１２ｂの
方向データ１４には、下辺を示す文字「Ｄ」が設定され
ウェハフレーム１１上に刻まれている。

【００３１】同様に、フレーム識別記号１２ｃは、ウェ
ハフレーム１１の左辺１１ｃに沿って設けられているの
で、その左辺を示す文字「Ｌ」が方向データ１４に設定
されると共にウェハフレーム１１上に刻まれている。ま
た、フレーム識別記号１２ｄは、ウェハフレーム１１の
上辺１１ｄに沿って設けられているので、その上辺を示
す文字「Ｕ」が方向データ１４に設定されると共にウェ
ハフレーム１１上に刻まれている。

【００３２】また、各フレーム識別記号１２ａ〜１２ｄ
は、それぞれが設けられた辺１１ａ〜１１ｄからみて文
字が正立して刻印されている。従って、各フレーム識別
記号１２ａ〜１２ｄは、各辺１１ａ〜１１ｄからみて文
字を正しく読みとることができるように構成されてい
る。

【００３３】従って、各フレーム識別記号１２ａ〜１２
ｄとして刻まれた文字列を読みとり、その文字列の中か
ら方向データ１４を確認することによって、ウェハフレ
ーム１１のその時の向きを容易に確認できる。そして、
ウェハフレーム１１にウェハＷを保持する際に方向デー
タ１４によってウェハフレーム１１の方向を確認して記
憶しておくことにより、半導体製造工程において方向デ
ータ１４を確認することによってウェハＷの方向を容易
に検出できる。

【００３４】さて、上記のウェハフレーム１１に刻印さ
れたホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄは、処理装置に設け
られた読み取り装置にて読み取られる。図４は、処理装
置としてのマウンティング装置の概略平面図である。

【００３５】マウンティング装置２１は、搬送ロボット
２２及び読み取り装置２３を備える。搬送ロボット２２
は、ライン２４上を搬送されるウェハフレーム１１をマ
ウンティング装置２１の処理室２５へ搬送するために設
けられている。読み取り装置２３は、搬送ロボット２２
にて搬送されるウェハフレーム１１に刻印されたフレー
ム識別記号１２ａ〜１２ｄのうちの１つを読み取るため
に設けられている。また、図５に示すように、マウンテ
ィング装置２１は、ディスク装置２６を備える。ディス
ク装置２６には、マウンティング装置２１が実行するプ
ログラムデータや、処理中のウェハＷの特性データ等が
記憶される。

【００３６】図５に示すように、マウンティング装置２
１は、ネットワーク３１を介してウェハ検査装置３２等
の半導体製造工程における各種処理装置、及び、サーバ
装置３３に接続されている。サーバ装置３３は、半導体
製造工程の全行程におけるデータを管理するためのデー
タベースが格納されたディスク装置３４を備える。その
ディスク装置３４には、半導体製造工程において処理さ
れているウェハＷの特性データがデータベースとして格
納されている。マウンティング装置２１及び他の処理装
置は、処理中のウェハＷに設けられたウェハ識別記号、
又は、搭載台としてのウェハフレーム１１に刻印された
ホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄに基づいて、サーバ装置
３３に対して処理中のウェハＷの特性データをアクセス
する。

【００３７】例えば、ウェハ検査装置３２は、ウェハＷ
に形成されたチップが正常か不良かを判断するための検
査を行う。ウェハ検査装置３２には、ダイシング前のウ
ェハＷが搬送される。ウェハ検査装置３２は、搬送され
たウェハＷに設けられたウェハ識別記号（図１参照）に
基づいて、そのウェハＷの特性データをサーバ装置３３
から取得する。ウェハ検査装置３２は、取得した特性デ
ータに含まれるチップの品種や電源電圧、動作速度等に
基づいてチップの検査を行い、そのチップが良品か不良
品かを判断する。そして、ウェハ検査装置３２は、検査
結果をウェハＷのオリエンテーションフラットＯＦを基
準とするマトリックス配列の良否データとして特性デー
タに付加してサーバ装置３３に転送する。

【００３８】マウンティング装置には、ウェハフレーム
１１が搬送される。ウェハフレーム１１には、図示しな
いダイシング装置にてダイシングされたウェハ（チッ
プ）が保持されている。

【００３９】マウンティング装置２１は、ウェハフレー
ム１１上に刻印されたホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄの
うちの１つを読み取り装置２３にて読み取る。マウンテ
ィング装置２１は、読み取ったホルダ識別記号に含まれ
る識別データ１３を基に、その識別データ１３をファイ
ル名とするファイルからウェハＷ固有のウェハ識別記号
を取得する。更に、マウンティング装置２１は、ウェハ
識別記号を基にして、サーバ装置からウェハＷの特性デ
ータを取得し、ディスク装置２６に記憶する。

【００４０】また、マウンティング装置２１は、読み取
ったホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄに含まれる方向デー
タ１４に基づいて、特性データの配列方向を変換する。
例えば、図６（ａ）に示すように、マウンティング装置
２１に搬送されたウェハフレーム１１に搭載されたウェ
ハＷの方向（例えばオリエンテーションフラットＯＦの
方向）は、先にウェハ検査装置３２にて検査されて特性
データに付加されたマトリックス配列の良否データの配
列方向と合っている。この場合、マウンティング装置２
１は、良否データの配列に従って、所定位置のチップか
ら順番に良品のチップをピックアップし、図示しないリ
ードフレームにマウントする。これにより、出来上がっ
た半導体装置と特性データが一致する。

【００４１】一方、図６（ｂ）に示すように、マウンテ
ィング装置２１に搬送されたウェハフレーム１１は、９
０度回転しているため、チップの配列方向が良否データ
の配列方向と一致しない。このままでは、マウンティン
グ装置は、所定位置のチップから順番にピックアップす
るため、出来上がった半導体装置と特性データが一致し
なくなるため、特性データを管理できなくなる。また、
マウンティング装置は、不良品をピックアップしてマウ
ントする場合があり、半導体装置に不良品が発生する。

【００４２】そのため、マウンティング装置２１は、読
み取り装置２３により読み取った方向データ１４に基づ
いて、ディスク装置２６に記憶した特性データの配列方
向を変換する。例えば、正常な場合の方向データ１４が
「Ｒ」（図６（ａ）参照）であるとする。そして、マウ
ンティング装置２１は、読み取った方向データ１４が
「Ｄ」（図６（ｂ）参照）である時、特性データを９０
度逆時計方向に回転させる。すると、回転後の特性デー
タの配列方向と搬送されたウェハＷの方向が一致する。
そして、マウンティング装置２１は、変換された特性デ
ータの配列に従って、チップを順次ピックアップしてリ
ードフレームにマウントする。これにより、マウンティ
ング装置は、良品と判断されたチップを確実にピックア
ップしてマウントすることができる。また、出来上がっ
た半導体装置と特性データとが一致するため、特性デー
タを確実に管理することができる。

【００４３】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 ○搭載台としてのウェハフレーム１１に刻印されたホル
ダ識別記号１２ａ〜１２ｄに含まれる識別データ１３に
基づいて、そのウェハフレーム１１に保持された搭載物
としてのウェハＷの特性データをサーバ装置３３から取
得する。また、ホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄに含まれ
る方向データ１４に基づいて、特性データの配列方向を
ウェハＷの方向に合わせるように変換するようにした。
そのため、ウェハフレーム１１を回転させるための機構
が不要となり、その分処理装置の構成を簡単にする事が
できる。また、回転機構に比べてデータを回転させるた
めの処理は短時間で処理できるため、１枚のウェハＷに
対する処理時間が短くなるので、生産性を向上させるこ
とができる。

【００４４】○搭載台としてのウェハフレーム１１に、
同ホルダ１１固有のホルダ識別記号１２ａ〜１２ｄを刻
印した。そして、搭載物としてのウェハＷをウェハフレ
ーム１１に保持する際に、そのウェハＷ固有のウェハ識
別記号を、ホルダ識別記号により対応付けられたファイ
ルに格納するようにした。その為、同一のウェハフレー
ム１１に新たなウェハＷを保持する場合、ファイルに新
たなウェハＷ固有のウェハ識別記号を格納するだけで、
ウェハフレーム１１とウェハ識別記号とを関連づけるこ
とができる。その結果、従来のＩＤシール５２が不要と
なるとともにＩＤシール５２を貼るための手間が省ける
ので、半導体製造工程におけるコストを低減することが
できる。

【００４５】尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の
態様で実施してもよい。上記実施形態では、１枚のウェ
ハＷを搭載するウェハフレーム１１に具体化したが、図
７に示すように、複数枚のウェハＷを収容し搬送するウ
ェハカセット４１に具体化して実施しても良い。また、
ダイシングされたチップをそれぞれ区画された領域に収
容して搬送するチップトレイ等に具体化して実施しても
良い。

【００４６】図７のウェハカセット４１に具体化した場
合、ウェハカセット４１に刻印されたカセット識別記号
４２ａ〜４２ｄには、図８に示すように、文字列の先頭
に方向データ１４が含まれている。この方向データ１４
により、ウェハＷの取り出し方向を容易に確認すること
ができ、ウェハカセット４１を従来より簡単で短時間に
取り出し方向をあわせることが可能となる。また、カセ
ット識別記号４２ａ〜４２ｄには、識別データ１３が文
字列の後方に含まれている。識別データ１３は、上記実
施形態と同様にファイル名を示す。図９に示すように、
そのファイル名にて特定されるファイル４３には、ウェ
ハカセット４１に収容された複数のウェハＷ固有のウェ
ハ識別記号が格納されている。これにより、ウェハカセ
ット４１のカセット識別記号４２ａ〜４２ｄと、ウェハ
カセット４１に収容された各ウェハＷのウェハ識別記
号、即ち、各ウェハＷの特性データとを関連づけること
ができ、その特性データを容易に取得することができ
る。

【００４７】上記実施形態では、フレーム識別記号１２
ａ〜１２ｄを文字列にて構成したが、コンピュータにて
読みとり可能な形式であればどの様なものでも良く、例
えば文字に代えてバーコード等を用いて実施してもよ
い。

【００４８】上記実施形態では、方向データを識別記号
の最後に設けたが、設ける位置は先頭、中央等のいずれ
の位置であっても良い。また、上記実施形態では１文字
により方向データ１４を構成したが、例えばフレーム識
別記号１２ｄの方向データ１４に設定した「Ｄ」に代え
て「ＤＮ」とする等のように、複数の文字により方向デ
ータ１４を構成するようにしても良い。

【００４９】上記実施形態では、ウェハフレーム１１に
対して識別データ１３をファイル名とするファイル１５
を設けてそのファイル１５にウェハ識別記号を記憶して
ウェハＷの特性データ等を管理するようにしたが、識別
データ１３を必ずしもファイル名とする必要は無い。例
えば、識別データ１３とファイル名を対応付けるための
テーブルを設ける。これにより、識別データ１３，ファ
イル名を任意に設定することが可能となる。

【００５０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
生産性の向上とコストダウンを可能とすることのできる
データ管理方法、データ管理装置、及び、搭載台を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 一実施形態のウェハフレームの平面図。

【図２】 フレーム識別記号の構成を示す説明図。

【図３】 データの関連を示す説明図。

【図４】 一実施形態のマウンティング装置の概略平面
図。

【図５】 半導体製造工程における各装置の接続を示す
説明図。

【図６】 （ａ）（ｂ）は特性データの変換処理を示す
説明図。

【図７】 ウェハカセットに具体化した別の実施形態を
示す平面図。

【図８】 別のフレーム識別記号の構成を示す説明図。

【図９】 別のデータの関連を示す説明図。

【図１０】 従来のウェハフレームの平面図。

【符号の説明】

Ｗ 搭載物としてのウェハ １１ 搭載台としてのウェハフレーム １２ａ〜１２ｄ ホルダ識別記号 １３ 識別データ １４ 方向データ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搭載台に搭載され、処理装置にて処理さ
   れる搭載物のデータを管理するためのデータ管理方法で
   あって、 搭載台表面に複数設けられた搭載台固有の搭載台識別記
   号と搭載物固有の搭載物識別記号を対応付けておき、前
   記搭載物識別記号には搭載物のデータが対応付けられて
   おり、 前記処理装置では前記複数の搭載台識別記号のうちの１
   つを読み取り、その読み取った搭載台識別記号に基づい
   て対応付けられる搭載物のデータを取得できるようにし
   たデータ管理方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のデータ管理方法におい
   て、 前記複数の搭載台識別記号は、該搭載台識別記号がそれ
   ぞれ設けられた方向を示す方向データを含み、 前記搭載物のデータは、該搭載物の方向に対応してデー
   タの配列方向が規定された第１データを含み、 前記搭載物のデータを取得した後、前記第１データの方
   向が所望の方向ではない場合に、前記読み取られた搭載
   台識別記号に含まれる方向データに基づいて、前記第１
   データの方向を所望の方向に変換するようにしたデータ
   管理方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のデータ管理方法
   において、 搭載台識別記号は、該搭載台固有に設定され、複数の搭
   載台識別記号に対して共通に設定された識別データを含
   み、 前記識別データは、前記搭載物識別記号が格納されたフ
   ァイルのファイル名であり、そのファイルに格納された
   搭載物識別記号と前記識別データを含む搭載台識別記号
   とを対応付けたデータ管理方法。
4. 【請求項４】 搭載台に搭載され、処理装置にて処理さ
   れる搭載物のデータを管理するためのデータ管理装置で
   あって、 前記搭載物のデータが予め格納された記憶装置を備え、 搭載台表面に複数設けられた搭載台固有の搭載台識別記
   号と搭載物固有の搭載物識別記号を対応付けておき、前
   記搭載物識別記号には搭載物のデータが対応付けられて
   おり、 前記処理装置は前記複数の搭載台識別記号のうちの１つ
   を読み取り、その読み取った搭載台識別記号に基づいて
   対応付けられる搭載物のデータを前記記憶装置から取得
   するようにしたデータ管理装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のデータ管理装置におい
   て、 前記複数の搭載台識別記号は、該搭載台識別記号がそれ
   ぞれ設けられた方向を示す方向データを含み、 前記記憶装置に格納された搭載物のデータは、該搭載物
   の方向に対応してデータの配列方向が規定された第１デ
   ータを含み、 前記搭載物のデータを取得した後、前記第１データの方
   向が所望の方向ではない場合に、前記読み取られた搭載
   台識別記号に含まれる方向データに基づいて、前記第１
   データの方向を所望の方向に変換するデータ変換手段を
   備えたデータ管理装置。
6. 【請求項６】 請求項４又は５に記載のデータ管理装置
   において、 前記搭載台識別記号は、該搭載台固有に設定され、複数
   の搭載台識別記号に対して共通に設定された識別データ
   を含み、 前記識別データは、前記搭載物識別記号が格納されたフ
   ァイルのファイル名であり、そのファイルに格納された
   搭載物識別記号と前記識別データを含む搭載台識別記号
   とを対応付けたデータ管理装置。
7. 【請求項７】 処理装置にて処理される搭載物が搭載さ
   れた搭載台であって、 搭載台の表面には該搭載台固有の搭載台識別記号が刻ま
   れており、該搭載物識別記号は前記処理装置に取得され
   る搭載物のデータに対応付けられているとともに、該搭
   載台識別記号が設けられた方向を示す方向データを含ん
   でいる搭載台。