JPS58210480A - 遠心脱水乾燥機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体ウェハを乾燥するための遠心脱水乾
燥機の改良に関するものである。

従来のこの種の遠心脱水乾燥機として第１図に示すもの
があった。即ち、半導体ウェハ（１）を収納したバスケ
ット（２）を保持するための円板（８）が、タンク（４
）内に設けられており、一方この円板（句を回転させる
ためのモータ（５）がタンク（４）の底面中央外部に設
けられている。また、タンク（４）の上部にはフタ（０
）が設けられ、外部空気の吸引を防止し、７り（６）の
中央に垂下して設けられたセンターポスト（７）よりク
リーンエアーが供給される。そして、タンク（４）底面
と側面には排水用の穴（８）と排気用の穴（９）が設け
られている。

次にその作用について説明する。モータ＋５１　Ｋより
タンク（４）内の円板（８）が回転すると、半導体ウェ
ハ（１）やバスケット（２）に付着した水が、遠心力に
より吹き飛ばされ、露状となった水が、フタ（６）とタ
ンク（４）で密閉された空間内で、第１図に示す矢印の
ようにタンク（４）側面からフタ（６）内面とバスケッ
ト（２）上面の空間を通る循環流になり、タンク（４）
の中心より再度半導体ウェハ（１）の間を通って出てい
くよつな流れを形成する。このため、タンク（４）の内
壁や底面に付着した汚れやゴミを運び、半導体ウェハ（
１）を汚染し、次工程での半導体素子の歩留　　　′（
ＩＬ下の要因になっていた。

この発明は以上のような欠点に＠みてなされたもので、
半導体ウェハを汚染することなく乾燥することか出来る
遠心脱水乾燥機を提供するものである。

以下第２図に示すこの発明の一実施例について説明する
。半導体ウェハ（１）を収納したバスケット（２）を保
持した円板（３）、及びタンク（４）底面中央外部に設
けたモータ（５）は従来のものと同様であるが、本発明
では、タンク（４）の上部円周上に、排気用の空間（ダ
クト）αＱを設けるとともに、上記タンク（４）の上部
に取付けたフタ（６）の中央部に外部空気吸入用の穴ｃ
Ｉυを設けたことを特徴とするものである。

本発明は以上のような構造となっているため、モータ（
５）によりタンク（４）内の円板（８）が回転して、半
導体ウェハ（１）やバスケット（２）に付着した水が遠
心力により吹き飛ばされ、霧状になって飛散しても、フ
タ（６）の中央部に設けられ九外部空気吸入用の穴Ｏυ
から新しい空気が吸い込まれるとともに１タンク（４）
の上部円周上に設けられた排気用の空間四を通り、霧状
の水となって排出されるようになる。

従って本発明によれば、従来のように、半導体ウェハを
汚染することなく乾燥させることが出来、次工程での半
導体素子の歩留を向上し得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の遠心脱水乾燥機を示す断面図、第２図は
この発明の一実施例を示す断面図である。 図中、（１）は半導体ウェハ、（２）はバスケラ）　、
（８）は円板、（４）はタンク、（５）はモータ、（６
）はフタ、ＱＩは排気用空間、Ｑηは外部空気吸入用穴
である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　葛　野　信　−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. タンク内に半導体ウェハを収納したバスケットを保持す
   る回転円板が内蔵されている遠心脱水乾燥機において、
   上記タンクのフタの中央部に外部空気吸入用の穴を設け
   ると凄もに、タンク上部円周上に排気用の空間を設けた
   ことを特徴とする遠心脱水乾燥機。