JPS5888242A - 除振台の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は慎構を載置したテーブルを空気パ坏鉄源によっ
て支持し、この空気バネ装置に空気を出入させてアープ
ルをｉ羊位置に保っ［掘餉電の制一方法に−する。

九字慎仝、槓密細定幡、ＩＣの線違蝙蓋、゛−子―値蜆
等の億憔は、その使用時きわめて愼少な振動や変位が生
じてもその作業に支障をきたし、めるいＦｉ表品が不良
品となる恐れがめるにのような振動等の影曽がら機械を
保謙するために、第１図のように憬憔１を除振台２に鎮
せることが竹μわれている。

この除振台のうちでも敵も除振幼果の置Ｉしているもの
の一つとして、空気バネ装置によってＫｍ賃２の上聞の
テーブル３を支持したものかわる。

この↓うな詠掘萱に、テーブルを文飾する空気バネ装置
に空気を出入させる升ＩＬ′獣ける一万、デープル下向
に振触するテーブル質位横知用プランジャーによって基
準位置からのテーブルの位置ずれ量に応じて弁の−ｍを
行なう。これによって、空気バネ装置が上下に移動しレ
ベルの一贅が行なわれて、テーブルが１卑位置に復帰す
るというもので、崗えば米−特許５に３，７３０，４７
３号明細書に配置されている。

このような従来の除振台は、テーブル下−に接してテー
ブルの位置すれ量を横用するプランジャーに対して床面
がらの振動が伝わらないような複雑な機構を必要とする
。しがも、振動の性質によっては、このような対策をと
ってもプランジャーな通じてＷｉ動がテーブルに伝わる
といり欠点がおった。

また、基準位置からのテーブルの位置ずれ量が大きいと
きはプランジャーが大きく移動して弁に大量の空気が訛
れ早くテーブルのレベルを修正スるよう作製するが、位
置ずれ童が値少になるＫっれて弁の開腋が小さくなプ、
ＩＩＩＬ＃ｌ的に基準位置へテーブルが傷帰するまでに
は和尚の黄時閾な懺するという一点がめった。

本発明に上記の点に′Ｎ目してなされたもので、次のよ
うな目的を達成するものでるる。

本発明の′ｒＪｆの目的は、テーブルの位置すれ霊な非
恢触状態で検出して、空気バネ装置を適切に駆動する除
振台の制御方法な提供することにるる。

本発明の第２の目的は、テーブル上の機械の１童が変動
したときもそれに対応して除振台に最適のＶペル調整機
能を付与する除振台の制一方法を提供することにある、 本発明の第３の目的は除振台のレベル調整の精度を十分
に＾くする除振台の制御方法を提供することＫある。

本発明の第４の目的は高速で基準位置にＯＬ帰する除振
台の劃一方法を提供することにめる。

第２図は本発明の方法を実施した＊＊台をテーブル２１
の上方から見たもので、テーブル２１の四隅に空気バネ
装［２２，２３，２４，２５がそれぞれ配置されテーブ
ル２１を支持している。また。

このテーブル２１の基準位置からの位置ずれ菫を画定す
る几めの３ｉＩｌｌ！の竜ンＹ２６．２７．２８がテー
ブル２１０下方Ｋｋ：、置場れている。

構図でるる。

図において、テーブル３１は空気バネ装［３２により支
持嘔れている。この空気バネ俟＊　３２　Ｆｉ、テーブ
ル下面に徴するダイヤフラム３２１　と、これな支える
空気ｆｉ　３２２と、脚４２３とを有している。そして
、！９！ｇＩ４１１３２２にはそこへ加圧９気を鉄人す
るための吸気口３２４とそこから空気を掛出するための
排気口３２５とが設けられて−る、また、空気室３２２
の上部のダイヤフラムａ２１との境界ｉｔ　３２１ｉ　
Ｋｒｉ＆定口径の貫通孔な有するオリフィス３２１が皐
り付けられている。

一方、空気バネ１ｉｔ３２の貴方に儀り出したアーム３
３上廊には、テーブル３１の下向と虐定関隔を開けてセ
ンサ３４が取り付けられている。このセンサ３４は依述
するようにセンサ３４の上聞とテーブル３１の下向との
閾噛ｔ’ｎｍＫ＃ｊ足し、この情報を制−装置３５に送
る。割−装置３５では、この情報Ｋ１１ｌｌｉつきテー
ブル３１を上昇させるべきか下降させるべきかを判断し
、排気弁３６もしくは吸気弁３１を作動させる。排気口
３２５にｒｉ併気気９Ｐ３６連結されているので、排気
弁３６が開放動作すれば空気室３２２内の空気は排出さ
れ、これに伴ってダイヤフラム３２１が動みテーブル３
１は下降する。また、吸気弁３１が開放動作すると、コ
ンプレツｆ！１１内に蓄積された加圧空気が吸気口３２
４を通じて空気室３２２に流入し、オリフィス３２１を
通じてダイヤフラム３２１を伸黄させるので、テーブル
３１は上昇する。

このような動作をテーブルを支持する４台の谷空気バネ
装置によって行なうことにより、テーブルを床面から所
定のレベルに常に維持することができる。

第４図は、ＷＩｐＪｚ図に示したような４台の空気バネ
装置を３個のセンサによって請書する方法をボすブロッ
ク図である。この図は第２図と対応させるため、対応す
るセンサや空気バネｉｋｗには１１１−の符号を付した
。

図において、センサ２１はテーブルの位置すれ重に対応
する情報人を側御装置４１に送り、ここでレベルｉｉ４
！ｉに必畳な上昇パルスＡ＋ｉるいは下降パルス八−を
発する。これにふって吸気弁４２めるいは併気９Ｐ４３
が１Ｍｍ作動し、空気バネ装置２４のレベルを調整する
。センサ２８について奄同様でるる。一方、センサス６
は空気バネ装置２２と２３との中間においてテーブルの
位置ずれ重を検出するので、その情報に基〈上昇パルス
Ｃ＋ｈるいは下降パルスＣ−は、２台の窒気バネ鉄電を
同時にレベルｉ＆１ＩＩ１１するようにする。これは、
２萱の装置の空気室をパイプ等で連結して、！ｌｌｉの
吸気弁と排気弁をとりつけることにより造成される。

さて、それでは具体的に上記のセンナがテーブルの位置
ずれ賞をどのように検知し、またこのような除Ｉｋ會に
よれば、テーブルはどの根板の変位に対してレベル復帰
機部なセするがを以下に説明する。

第５図はセンナの作Ｍ鳳塩を示すブロック図である。

図において、センサ５１は発振１ｇｉ錯５１１と。

この発振′ｌ１ｌＬ流が供給されるコイル５１２お工び
コンア／す５１３との共振回路と、この共振回路に虞れ
る′１派を取り出して！ＩｇＬ、直流に変供する壷眞回
路５１４とから構成されている。また、センサ５１の整
眞回Ｍ　５１４からの出力は、９１号ケーブル５２を介
シテ制＃　ｔａ　Ｉｔ　５３　円ｔＤ　Ａ／４ｆ−：！
　ｙ　／＜一夕５３１に送られる。

このセンサ５１１Ｉ′ｉ実際にガえは仄のように作動す
る。

発振回ｌ１８５１１　な約２００に社の周［畝で発振さ
せ、２５０μｈのコイル５１２と０．０１μＦのコンデ
ンサ５１３と４１−並列接続した共Ｉ＆ｉ回路にその発
掘電流を供給する。そして、例えは第６図のようにコイ
ル６２Ｆｉｍ性体のテーブル下−６１（りるいはテーブ
ル下圓に設けた磁性体板）に近接してとり付けられてい
る。第６図のような状−で、テーブル６１が上昇ま几は
下降をすると、コイルｂ２のインピーダンスが変化する
。従って、ｌ１Ｋ７図に示すように上記共振回路のイン
ピーダンス２はコイルのインダクタンスＬの変化に応じ
て、２００ＫＪｉｚに対する共撫、！７１ｔ−憶大甑と
する圧右対康の１騙となる。ここで、コイル６２とテー
ブル６１との距離が１０．０ときインダクタンスＬが第
７図のＡ点での臘になるように圓略定畝を設定すれは。

共振回路のインピーダンスは、テーブル６１が上昇する
と上がり、下降すると下がるようになる。

従って、この共ｔＩ１ｇ回路Ｋ　２００　ＫＪｌｚの一
定の発掘電圧が加わっていればここＫｔＩＬれる電ｆＬ
がＩＪ　ニアに変化し、これｔ整流した備考はテーブル
のレベルと対応した蝋となる。上記例示したセンサによ
れは、テーブルとコイルとの間隔が１１０５ａのとき整
ｔ１１．回路のｉ［流出方電圧は２．５ｖで、これが１
５諺になったときは出方電圧＃ｉｏ、ｓｖというように
良好にテーブルのレベルの検出をすることができた。

しかも第５図のように１１１ＫＩＩｉｌ輌直ｂ３へ延長
される偏力ケーブル５２には直流電圧がカロゎるのみで
ノイズに対して非ＩＩＫ強い利Ａを１する。

除振台に豐氷される柱部はその用途に応じて抹々でめる
が、上記の方法によりセンサから得られたθ〜５ｖ程腿
のｔｉ處亀圧をム／に変換して耐鉤り をおこなえば２０μ根鼠の位置ずれ、ｔ％測定ヵＩＪ馳
でるる。

以上のようなセンサの出方を処理して弁の開閉をｔＩｆ
ｌｌ＃する耐ｊｆ＃装置を第８図によって説明する。

第８図は、制御装置のブロックダイヤグラムでめる。こ
のＭｖ４装置は、センナ８０１からの［流出力電圧信号
人をＡ／Ｄコンバータ８ＬＩ２によってデジタル変換し
その偏号をＣＰＵ　　１ｌＱ３　　の匍令Ｋ　ｊ　ツテ
ハスライン１１０４に送り出す。このパスラインにはプ
ログラム等が書き込まれたＲＯＭ　　ＩＯ３−？１ｔｌ
ｌｊ＃定ｍｓをｆｆ１ｔｉｔするル人Ｍ　　８０６　−
？、升の１１１１１１出力を発するＩｌｏ　ボ・−）　
８０７１飯！されている。ＣＰＬＩ　　１ｍ◎３　嬬、
セン−？１０により侍たデータと、本来テーブルが位置
すべき−に準位型に対応するデータとを比軟して、排気
弁８ｏ暮を開くべきか吸気弁ｇｏｓを開くべきがを刊断
し、上昇パルスλ＋わるいは下−バルスムー七出力する
。この上昇パルス人士めるいは下眸パルスによって、ド
ライブ崗路暮１Ｇ、１１が作動する。

このドライブ回路８１０，８１１は、排気弁８０８や吸
気弁８０９の作動する例えは２４Ｖの電圧ｔＯＮ、Ｏｋ
’ト’する。そして、このドライブ回１８１０゜８１１
　　は崗知のトランジスタを用いたスイッチ回路でＳ成
することができる。

マｙ Ｊｌ装蝋により上昇させて、基準位置９１を中心とする
レベル調整工費の領域即ち基準領域９５までり１上ける
方法を説明するための、それぞれチーフルのレベルと、
吸気パルプを作動させる上昇パルスの時間変化を示して
いる。

ｗＪｅ図に２いて、テーブルははじめ、位置９２にある
が、第１Ｏ図のように吸気弁を１秒間開放させると、−
速慣域Ｓ３の上端９４１で上昇する。

これ杉より上方の低速領域９６では、テーブルのハンチ
ングｉｋ抑えるために上昇速匿を低下嘔せる。

このため、吸気弁の１回の開放時間な短く１秒間とし、
これをｍ定時間Ｅ１回づつ作−させて、基準領域ｓ５に
テーブルの一レベルが復帰したときに作動を停止させる
ようにする。

以上のように、２橿の上昇運［領域を設けることにより
、テーブルは目的とする基準領域にすみやかにかつハン
チングしく上昇する。なお後述するように基準領域の上
１１ｉ１にも２機の下降速に領域を設けることが好まし
いことはいうまでもない。

ここで、具体的に吸気弁や排気弁の作動とテーブルの上
下＃について夷融のａｍを用いてｄ明する。

実覇によれは、テーブル上のＭＡ械の１童が１２０時の
とき、ｇ！、気バネＩｉ＆蝋の空気室の空気圧を３ゆ／
−とした場合、吸気弁を第１１図のように上昇／＜　ル
ｘ　Ａ　＋　Ｋよって２００ｍ５ｅｃ開放させるとテー
ブルが４００μ凧上昇し、排気弁を工時パルス人−によ
って５１ｍ５ｅｃ開放させると同様にテーブルが４００
μ璽　下降した。

このように、テーブルの上の＋ａ績のＸ電が空気バネ装
置に直接加わっているので、テーブルに同じ＠Ｏ変位を
村なわさせようとした場合、必賛な吸気弁と排気弁の作
動時間は太きく相違する。そして、テーブル４２）萄ｌ
が変化すればそれぞれの憾もこｆＬＫ伴って変化する。

るテーブルの単位上昇ＩＩＴｏるいに単位下降量即ち準
位ＪＩＩＫ＃重は一定でおることが好ましい。

本健明に＆−ては、テーブルの使用状態でテストパルス
な吸気弁や排気弁に加えてそれに伴なうテーブルの上昇
めるいは下神童を測定する。そして、これＫよって得た
データから単位駆鯛箪に対応する弁Ｏ作動時間−を算出
して、定直として第８凶の制御装置の几ムＭ　龜０６　
等にｂｄ憶するという方法によって上記の間ｍな？＃決
している。

第１２図はこの定値の決定作業時のテーブルのレベル変
化を表わすものである。

基準勇域１２１内にテーブルが好走している麩にＡ十で
示す上昇パルス１２２によりテーブルを＠鱒Ｈで示すよ
うに一家階上弁させてそのレベル変化量を−ｊ定する。

このパルスの時間幅とレベル変化量とから庁定の単位上
昇量を得る上昇パルスの−を３ｌ−ｆｆｌする０次ＫＡ
−で示す下ＩＱ　パルス１２３をｔｂｊ様にして加え、
単位下ｔ１１＃童を得る下−パルスの暢を算出する。こ
れらのｍ保を絡８図のＲＡＭ８０６　　に収容し、テー
ブルの上昇めるいは下肯節令がＣＰＵ　　８０３　　が
ら出力されるたびに１／（Ｊボートから羊位駆ｆｌＪ蓋
に相当する上昇パルスめるいは下降パルスが発せられる
。

このような冗畝固定作県を、テーブルの使用時遇宜竹な
えば、テーブル上に躯直した愼械の重菫に応じて、換百
すればテーブルの使用状態に応じて適切な定数を設定す
ることができる。

さて、上述のようにすれば上昇パルスと下降パルスとに
よって吸気弁めるいＦｉ排気弁な作動させてテーブルを
上下させることができるが、−Ｎにソレノイドを用いた
升はソレノイドに所足時間以上のパルスを加えなければ
これが作動しないｃ？ＩＩえは、本発明′：４ｉ尋の使
用した升は、１）Ｃ２４Ｖで５０ｍ５ｅｃ以上の−のパ
ルスを加えなければ作製しな−。ところが、５９Ｋｎｇ
のパルスにより升が５０ｍａｔ開放されれば、テーブル
上の愼傳の１菫が大きいと例えば上昇時は１００μｍ、
下降時は４ＱＱｇｎのレベル変化が生じ、基準重職の輪
が２００μｍ＠度でるる場合には、テーブルをこの愼域
内に安定に保持することが不可艷になる。

そこで本発＃４においては、纂１３図に示すように、上
昇パルスと下降パルスとを組み合せて発することにより
上述の関越を解決している。

−において、上昇パルスＡ十を２ＱＱｍｓｅｃ発して吸
気弁を２ＱＱｍｓｅｃ開放し、その５００ｍ城後に下降
パルスを５０ｍ５ｅｃ発して排気弁’１５Ｑｍ＆作動さ
せる。制＃装置がこのようなパルスな始してから弁が作
動を開始するまでは約Ｉ　Ｑ　ｍ　ｓｅｃでめり、この
応答時間のすれは図上大きなものでないから各パルスの
みを表示し弁の開閉作動の光示ｒｉ省略する。

ところが、吸気弁めるいは排気弁のいずれの一合一、こ
れが作動してからそれによってｇ！気バネＷ＆縦の空気
室内の空気が接動してテーブルを実際に上下動させるま
では約３秒間を豐するので、吸気弁およびまたは排気弁
の作動開始以彼テーブルが実際に上昇または下降を開始
する以前に、吸気弁およびまたは排気弁を同時にあるー
は所定開−をめけて作動させると、これらの作ｍｔ−合
計した菫の空気の流入小るいはａａＳが行なわれたと同
様の結果が生じる。即ち、この鰯米第１３図の＠−１３
１のように、テーブルは例えば単純に上昇をし、吸気弁
めるい＃ｉ排気升のいずれが一方のみの作動によっては
得られな％／ｈ１［少な上昇量を得ることができる。こ
れによって上述の単位１ＡＩＩｂ重な得るようにすれば
、きわめて高糟匿のレベル調量が可能となる。

第１３図に示したような制御方法を採用するにあたって
は、組み合せて発する上昇パルスと下降パルスの暢をめ
らかじめ決定して、歳過な組合せを児つけ６作業を公費
とする。この方法を絽１４図によってｉ１５！明する。

まず、除振台の使用状−において、テーブルが蕪早識域
にるるとき、図のように一２００ｍ減の上昇パルスを発
する。仄Ｋ例えば３００ｍ城遅れ１−５ＱｆｆｌｌＥの
下降パルスを発する。そして、約３秒恢に生じるテーブ
ルのレベル変化を測定する。久に上昇パルスの輪は変え
ずに下−パルスの鴨ｔａｉＬに６Ｉ萬、７　ｇｕｕｅｃ
と広けてぃき、テーブルのレベル変化と下降パルスの幅
と℃＠係を第１５図のようにプロットする。理論的には
、このｇＩａｉ＆−利用し′″ｔａｇ弁と排気弁を第１
３図のように組合せて作−させることによって、弁の応
答性能に左右されずにテーブルのきわめて黴少な変位の
修正も可能となる。

さて、本発明者等の試作した第６図で１明したようなセ
ンナによれば、テーブルのレベル鉱化の調定の騰界は約
２０ａｍでめった友め、２００ｍ５ａ：の上昇パルスと
５５　ｍ　露の下降パルスの組合ぜによって３０μｍの
単位上昇量を得、また、２００ｍ５ｅｃの上昇パルスと
１１０ｍＷ−の下降パルスとを組合せて３０μｍの単位
下神童を得て、テーブルの基早懺填の内餉の低逐懺域用
として設定した。なお、この一連の作業は、第８図の劃
１ｉ４１！ｉＩＫの九〇Ｍ８０５に１憶させたパルス幅
の決定用プログラムによって、例えば所定の−の上昇パ
ルスなパラメータとして下降バルーＸ−を所定範囲で胆
に質更し、そのときのテーブルのレベル変化をろらかし
め設定しＲＯＭ　　８０５　　に紀憚させた単位駆動型
と比較して、過切なパルス幅を選定し、この甑をＲＡＭ
　　＄０６に１ｊＩ２慣させるという方法により行なう
。

第１６図は、このような処理を官む１１１１ＩＩ４１ｉ
Ｉｋ電のロ ブログラムフチ−チャートである。

この方法＃ｉまず、除振台のテーブル上に４！ｒ積愼械
を蛎せて使用を開始するためにｌ１１１１１袈直の電源
を入れた恢、除振台が使用されるｍ１ｌＫ上述の処理を
行なうようにしたものでるる。

なお、本図は、第８図のブロックタイヤグラムを＃照し
ながら説明する。

図において、制御装置の電線を入れると、ｋ４Ａ）ＭＳ
ｌｅｓ　　Ｋ沓き込まれたプログラムがスタートし、ま
す、ル（ＪＭ　　１１０５　　から、ＩＩ＆早テーデー
してめらかじめこ仁に膏き込筐れた準位上−ＪＩＩ重お
よび単位下−重に対応する上昇パルスと下降パルスの量
さデータがルＡＭ　Ｋ転送される６次に、ＣＰＵはセン
サ８０１のデータ人を絖みテーブルのｉＩｋ］！１１１
位置と比較して位置すれ童を算出する、そして、逃富空
気バネ鍼瀘上のテーブルは、不使用時最下−位置にめる
ので、その位置が高速値域にめるか低速領１１Ｌにめる
かな判断する。そして、これが高速値域にあると判定し
て吸気弁なＯＮとしプログラムはＬＯＯＰ点にもどる。

、久に、別のセンサからくるデータＢｋ絖み上記と同様
の処理上行ない、さらにデータＣＯ処理を行った後再び
データＡを絖む。

このとき、先の処理の結果を−ベて、テーブルが低迷領
域に入ったところで吸気弁を−たんＯｋ’　？とし、次
に単位上昇量を得る上昇パルス′４Ｉ：１′）発する、
このパルス幅は＊準データを使用して決定する。以下ｔ
Ｉ！３＠に上記のような位置ずれ菫の検出と上昇パルス
発生のサイクルをくり返してテーブル′ｌｋ−基阜懺填
にまで引き上ける。

このべ廊になったとき、華位駆Ｉｌｌ菫、即ち単位上昇
量と単侃下痺量を設定する処理な打ったかどうかを刊足
し、この処ｊＪＩＫ入る。

第１６図のプログラムの８ＮＴ点以下ではテーブルが基
準領域にわる場合にのみ、論１２図でボしたように上昇
パルス人＋と下降ハルス人−とを組み合せて発し、これ
Ｋよって生じるテーブルの単位駆動型が迦止かどうかを
判定する。

例えは上昇パルス２００　Ｌｎｔｙｅｃで、下Ｉｌｌ　
パルス１１０ｍ５ｅｃのときテーブルが３５μｍ下−し
た場合、単位’ＨＡ　＠　ＩＩを３０μｍと設定してい
る場合は下−Ｉくルス輌を１ｍｓ＆減少させて丹びテー
ブルの変位電を＃ｌ定する。このようにして単位駆ｍｔ
を倚るための上昇パルスと下降パルスの−の組み合せの
データが決定したら、スタート当初ルムＭに畳き込まれ
た俤準データな査き換える。そして、単位ＪＩ１１！１
ｗ菫決定渦みとし、！びプログラムが１９ｋＴ点へ入る
ことを防止する。

この後は、テーブルが基準領域から外れたかどうかをも
センサ毎にチェックして、そのつと必胃な畝だけ上昇パ
ルスｂるいは下眸ノくルスを発してテーブルを一４阜寥
填に倶帰さぜる。過電、マイクロコンビエータを用いた
このような処理は空気／（ネ鉄櫨の剋２＆に比べ１きわ
めて肯速に行なわれるので、センサの畝がさらに多くめ
った場合も見かけ上Ｉｆｉも空気バネｉｉｔがほとんど
同時に上昇めるいは下降動作することとなる。

第１７図は、基準領域１７１の上下に隣接する低迷領域
１７２．１１３のレベル１１４．１７５にあるテーブル
を、それぞれｌ！ｌの単位駆動によってＡ準領域１’　
７１へ復帰させたところを示す。また、第１８図は、例
えば基準領域１８１０下−の低迷領域１８２なさらに２
つの速度領域１８３．１８４に区分し、それぞれ準位１
ＩＡ１１ｉ１重を異ならせた場合を示す。

第１８図においては、単位上昇室を２ｍ設けているので
、絡ｌの低迷領域１ｍ＄４にまで下降し几テーブルを第
２の低速Ｉｉｊ域１８３まで比軟的高速で復帰させ、か
つ第２の低速１！１ＪａｉＬ１８３の−を十分に挾くし
て全体としてテーブルの応答を速くすることができる。

′＠１９図は本発明の方法に使用するセンサの変形例を
示し、これは光字的にテーブルの位置を愼輿するもので
るる。

この例にお−ては、発光本子駆動回鮎１５１により発’
７を累子１８５，１９６を作動させて元を発射嘔せ、テ
ーブル１９０の下面にとり付けた［１９３゜１９４　に
より反射した党をまず２次元イメージセ／す１９１で受
ける。これからテーブル１ｓＯの平向の傾１！な知るこ
とができる、２人元イメージ七ンｔｔｒｉテーブルが水
平状態からどれだけ丁れているかのテークｔ’　ｌｌｊ
　ＩＩＩ餉ｉｆ　１９１１　Ｋ送り、テーブル１９０な
水平に復帰させる。水平になったテーブル下面の蜆１１
８３に所定位置から所定角にで発元累子１９６によって
九を歯て一久ルのイメージセンサ１９２で欠けれは、そ
の父九位置のずれからチーフルのレベルをＯＬ出するこ
とができる。

以上のように本発明の方法によれは、テーブルと非蛍触
な状態でテーブルの位置を一梢表で憔出し、テーブルを
ｉｌｈ早位線位置帰名せることができる。そして、その
儂婦に費する時間も従来の蝋憔式のものに比べてはるか
に短軸することができる。

さらに本帖明の万障によれは、比躯的簡単な７０グラム
によって除振台のレベル劃−をコンピュータ処理するこ
とができる。

なお、本発明は上述の実施例に限定されることなく例え
ば仄のように変形することができる。

１）七ンｔは静電軽量の変化′に利用する方法等。

迦黴吻の距離を非接触で検出する−のに直きかえること
ができる。

２）空気バネ制置は、つり下げ式等に変史することがで
きる。

３）制＃鋲ｍは過室そのプログラムな叢史し、倒えばオ
ペレータが指示し友とき随時率位躯−重を設定する処理
を行なったり、各処塩円ｌ！を表示する！！置を付加す
ることができる。

４）また、上昇時と下一時の単位駆ｌＩｌ＋霊を必要に
応じて相違させることもできる。

【図面の簡単な説明】

ｍ１図は本発明の方法の夾農に好蟻する一嶽會の斜視図
、纂２図は本発明の万障を実施した―愼台の上−図、絡
３図は空気バネ嫉電崗辺の憔帯図、第４図は空気バー＋
＊直の劃−刃出ながすブロック図、１ｉｉ１４５図はセ
ンナのブロック図、弗す、　７図はセンサの作１１１＃
理認明図、第８図は劃−装置のブロック図％′＃９図は
テーブルのレベル叢化凶、第１Ｏ図はこれに対応する上
昇パルスを示し、第ｌ１図は同−躯勤菫を侍るための上
昇パルスと下降パルスを示し、絡１２図は上昇パルスと
下降パルスによるテーブルのレベル変化な欄足する説明
図、第１３図は上昇パルスと工時パルスをｍ曾せた鮎米
生じるテーブルのレベル変化な示し、帛１４．１５＠は
上昇パルスと下降パルスの比を決める作条の説明図、第
１６図は劃−回路のレベル側−フローチャート、第１７
，１８−は単位ｗｈ動ハ、７９スによるテーブルのレベ
ル変化を示し、第１９図はセンナの変形例を示している
。 ２１．３１・・・テーブル ２２．２３．２４．２５．３２・・・空気バネ制置２６
．２Ｔ、２８．３４．５１・・・センナ３２４　・・・
・・・吸気口 ３２５　・・・・・・併気口 ３１．４２．４４．４６　・・・１１１に気弁３６．４
３．４５．４１　・・・排気弁３５．４１、！１３　　
・・・制御Ｗ＆霞０　・・・・・・基準位置 鶴６．１２１，１７８．１＠１　　・・・蕪準領域人＋
　・・・上昇パルス Ａ−・・・下降パルス 第４図 第６図 第７図 ｔ コ乃しのインタ゛ンタンズ 第７図 館〃図 第１３図 雌図 第１／７図 第１８図 第１ｑ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　レベル制御をされるべきテーブルと、このテーブ
   ルを支持する空気バネ装置と、前記テーブルの基準位置
   からの位置ずれ量を検出するセンサーと、前記空気バネ
   装置に加圧空気を送り込む吸気口に連結された吸気弁と
   、前記空気バネ装置の排気口に連結された排気弁とを有
   する除振台において、前記基準位置にテーブルを復帰さ
   せるための前記吸気弁およびまたは排気弁を作動させる
   時間幅を前記位置ずれ量から算出し、前記吸気弁および
   または排気弁を動作させて前記テーブルのレベルを調整
   する方法において、前記テーブルの単位上昇量および単
   位下降量を得るための上昇パルスおよび下降パルスの幅
   をあらかじめ設定し、この上昇パルスを断続的に発して
   前記吸気弁を作動させ、あるいは前記下降パルスを断続
   的に発して前記排気弁を作動させてテーブルを前記巣位
   上昇量あるいは巣位下降量毎に変位させることを特徴と
   する除振台の制御方法。 ２　テーブルの基準位置に対する位置ずれ量に応じて２
   以上の上昇または下降速度領域を定め、巣位上昇量およ
   びまたは単位下降量を前記領域ごとに相違させ、前記基
   準位置に近い領域はど前記巣位上昇量およびまたは単位
   下降量を／１１さくしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の除振台の制御方法。 以下余白 １　　　　　　　　　　　　　　　−　　−　　　　　
   　　　　　　　　　　　　　　．