JPS589233A - 光学的情報記録媒体 - Google Patents

光学的情報記録媒体

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JPS589233A
JPS589233A JP56107035A JP10703581A JPS589233A JP S589233 A JPS589233 A JP S589233A JP 56107035 A JP56107035 A JP 56107035A JP 10703581 A JP10703581 A JP 10703581A JP S589233 A JPS589233 A JP S589233A
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JP
Japan
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film
recording
optical information
recording medium
sensitivity
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JP56107035A
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English (en)
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Noburo Yasuda
安田　修朗
Masao Mashita
真下　正夫
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Inorganic Chemistry (AREA)
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は元、熱等、のエネルギービームの照射昏こより
記録膜に大もしくは凹部を形成することによって情報を
記録するよう曇こした光学的情報記−媒体に係り、特に
感度の同上及び長寿命化を図った光学的情報記鎌媒体曇
こ関する。
基板上に塑成８些た薄膜層にエネルギービームを照射し
・記録される″き一１ｃ対応した１ット列を形成するよ
うにした光学的情報記ＩＩｍ媒体において、従来より記
録薄膜としエテルル（Ｔ＠）を使用することが知られて
いる。Ｔ＠薄膜は最も低いエネルギーで所望のビットを
形成で参る材料であり、こｏ’ｉａ−途においては高感
度材、科として極めて有望で弗る。ここで１渾とは、単
位面ＩＲ尚りのｒット形成に費するエネルギー（ｍＪ／
ａｔ）で定義される。
しかしながらＴｅは大気中に放置さ３た場合、酸１ 素や水分により、＠化され透明になる度合が早、い。、
記−Ｓ腰として使用する場合、膜厚は５０５位を礁めて
薄いため、テルル薄膜の酸化で生じ九透＠度増加に基因
する膜の感度劣化、出力減少は着るしい。即ち膜が鹸化
されると融解、原発温度か上昇Ｔｍため感度劣化となり
、透明化するため反射率又は透過率が情報記録されるピ
ットの有無に敏感に対応しなくなってしまうためである
。たとえば、７０℃相対ｆｉ［８５％の雰囲気壷こ放置
した場合、約５時間で感度か釣部％低下し、約す時間で
約団％低下してしまう。このためＴ、膜の酸化防止のた
めに１機々の防止策かとられている。最も有効な手Ｒは
無機ガラス体でおおう事だが、プＯセスが複雑であり、
高貴なため実用化されていない。
有＊ｓｒ＊、例えば透明プラスチックにすれば、安価で
あり、熱伝導率もガラスのＶ２のため感度も２倍となる
ためグラスチックを如何に使いζな電力）が、現状の最
重点項目の１つとなっている。
ここでプラスチックには決定的な欠陥がある。即ち、大
気中の酸素、水分を自由に通過させてしまうことであり
、上述のＴｅ薄膜の基板゛としては使えないということ
である。
本発明は、この問題点に鎌みなされたもので、有機ｓｒ
ｓ基坂を使用しながら、高感度でかつ長寿命の元学的情
報記鍮媒体を提供することを目的とする。
本発明の光学的情報記録媒体は、記録層を縦索（Ｃ）並
びに弗素（Ｈ）を含有するＴｅ膜によって形成したこと
を特徴としており、炭化弗素基（−ＣｍＦ　ｎ　）をも
含有するＴｅ１ｌも対称とし、こｎによって高感度と長
寿命とを兼ね備えたものである。
以下、図面を参照にして本発明の実施例につき説明する
。
第１図は本発明の一実施例を示す断面構Ｉｉｔ図である
。
図において（１）は基板で本実施例では合ｇ＊麿の１つ
であるアクリル板を用いた。しかし他のどの様なプラス
チック板、又はガラス板であっても作用効果は同じであ
り、ただ情報記録の書き込み睨み出し、方法によって遥
宜遺択丁れば良い。（２）は、Ｃ，Ｐを含む情報記録用
Ｔｅ薄膜で、その厚さは→な光反射率を得る楊度に厚く
、かつ、Ｊ！１度を損なわない１１度に薄いことが必費
で、２ｏｏｉ−１μｍ機度が適当である。
ＣとＦを含む情報記録用Ｔｅ薄ｍｌ　（２３は、Ｔｅを
ターゲットとし、Ｃと１とを含むガス、例えばＣＦ。
ガスとムｒとの混合ガス中でスパッターすることにより
□得られる。ここで、Ｔｅ膜中のＣと１との含有量はＡ
ｒとＣＰ、との混合比、並びに印加高周波電力により自
由に制御でき、例えばＡｒ１０２４　＝　１　Ｏ混合比
で、約３　ｍ’；ｗｌｏｌｌのＲＦ（１３５６ＫＨｚ）
ｔカをＴｏツタ−ットと基板との間に印加すると釣部原
子％のＣと釣部％のＦを含有させることができる。
膜厚はスパッタ時間をかえφことに得られる。
腰の光学定数は、ＣとＦとの含有量によって異なるか、
情報記録用として活用するには、反射率ならびに消衰係
数に制限かあり、我々の実験結果では、前記のスパッタ
条件で約ｘｏｏｏＸｏ＠厚め時に歳員の膜が得られた。
この条件で作成した膜は非晶質であり、多結晶Ｔｅ膜に
比べて、紀碌状悪の（ット屑辺工□ツヂ部がなめらかと
なり情報読み出し時のノイズレベルを低くおさえること
ができる。
纂２図は７０℃、相対ａ１１度８５％の雰囲気中での時
間経過に対する感度の劣化を、従来のＴ＠率体のものと
本発明のものとで比較した図である。
本図における感度の劣化は、記録に必賛なエネルギーの
逆数の初期値に対する変化として表わしており、Ｔｅ率
体からなる従来の記録層、本発明による記録展共にアク
リル基板上に形ｌ１Ｌ８れた場合を示す。
本図かられかるようにＴｅ率体からなる記録層の場合は
、図中（Ａ）で示すように時間経過とともに感度が劣化
する。
これは時間とともに局部的な透明領域（、シミ）が発生
する丸めでの１１０時間経過後には全肉にわたって劣化
してしまう・ −１、本発明＃ＣよるＣとＦを含有するＴｅ膜の場合は
、同図中（３１で示すように１０００時！＆１１経遥後
もＴｅ薄膜に見られた様なシミは全く１めら詐れば、常
にはり一定の感度を保持しており、長寿命化を達成して
いることがわかる。
以上述べ皮様に本発明によ６ＣとＰとを含有するＴｅ薄
膜を用いた記録媒体では優れた感度と非常＃Ｃ長い寿命
を得ることが出来る。但し、５ａｔ％以下の−ｂ含有量
嚢膜はＴｅ膜との有意義はみられず、また４０１１％以
上では感度の低下がみられた。又、５ａｔ％以下のＦ含
有嚢膜では感度の低下がみられた。又、５ａｔ％以下の
含有量では感度の低下となり、４０ａｔ％以上では膜の
反射率が低下に記録用簿膜としては不過当であった。
上記の例ではＡｒガスとＣＦ４ガス中のＴｅの反応性ス
パッター曇こよる薄膜形成法についてのべ喪。
従って膜内にＣとＦとがまったく別個に存在しているわ
けではない。ＣＦ、ガスは電界解離によりＣＦ、　（ラ
ジカル）　、ＣＦｔ（ラジカル）、ＣＦ（ラジカル）モ
してＣとＦのラジカル基に順次分解しており、そこにＴ
ｅ原子が介在して、任意のＣｍＦｎ基とＴｅとが重合し
てネットを形成する。従って形成された膜は非結晶であ
り、ラマン＃乱、示差熱分析、赤外線吸収解析等の結果
からも結論出来る。
このＴｅとＣとＦとＣｍＦｎとによる牛有機的非晶質構
造の友めＴｅ率体換と同一の高感度特性をもち、鹸化と
なるタングリングボンド（未結合基）が存在しないため
一＆寿命峙性をもつこととなる。
この様な膜の形成は反応スパッタ法だけで形成されるも
のではない。例えばＣＦ、ガス中又はＡｒとｃｒ、　６
＆合ガス中Ｔｅｏｇ着をイオンプローティング法で形ｊ
ｉＥＴる手段、又はイオンクラスターで形成する手段、
それらガスをもつとイオン化して行なう。反応性イオン
クラスター法に形成手段、又はイオンビーム法で形成す
る手段等も通する。又、テＣ金属を母体として使用する
のではな（、Ｔｅｒｍ　ｅＴ＠Ｃ１ｗ等のガスと、Ｈよ
とＣＩ（、ガス等のキャリアガスモ反応させ膜を形成さ
せるプラズマ重合歩、七り′場に電場を印加して形成さ
せるプラズマＣｖＯ法等でも同一性能をもった膜を形成
させることが出来る。
本発明の光学的情報記録媒体は１戸−以下にしばったシ
ーｆＪｌｔに敏感に作用Ｔるため倣細なパター°ンそ任
意＃Ｃ形成できるという性質をもつこの性質を利用し九
個の用い方も可能である。たとえば、ＩＣ用として使わ
れているフォトレジス）的に使用できる６挽在のフォト
レジストはウェットプロセスを必要とするが１本＠明の
膜を用いれば、ドライプロセスで丁むという大きな利点
がある。
又、水、湿気に強い事を利用して、各種部品の保繰層と
して使える。例えば、従来の情報記碌躾であるＴｅ　ｌ
ｌＩの保藤展として、ＩＣ等の保鏝層として、ダイオー
ドのｐ−ｎ　！Ｉ合面保一層等として、又、絶縁層とし
てＩＣ用多層配線の絶縁層、電気的絶縁層等として使用
できる。
４．１８１ｆｆｉの簡単な脱明 ８１図は本発明の実施例を示す断面構成図、第２図は腑
１図に示した記録媒体と従来の記録媒体との寿命ｌこつ
いての比１２図である。
１・・・基板　　　　　２・・・Ｔｅ　−Ｃ−Ｆｌ１代
理人　弁理士　期近Ｉｌ佑（ほか１名）手続補正書（自
発） ｔｅａ　５竿、Ｊ１２Ｅｌ 特許庁長官　若　杉　和　夫　　殿 １、事件の表示 昭和５６年特願第１０７０３５号 ２、発明の名称 光学的情報記録媒体 ３、補正をする者　。
事件との関係　特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ 東京芝浦電気株式会社東京事務所内 明細書の「特許請求の範囲」の欄 及び「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１）　　特許請求の範囲を別紙のとうり補正する＠（
２）明細書ＩＩＥ２夏第５行目の「凹部」を「例えば凹
部等の麦形部」と訂正する。
以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくは変形部を形成して情報を
記録する光学的記録用部材に−おいて、前記記録膜がテ
ルル及び炭素及び弗素を含有することを特徴とする光学
的情報記録媒体。
（２）基板はガラスもしくは合成樹脂であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体
〇 （３）記録膜は炭化弗素基な含むことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体０ （４）記録膜は非晶質であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。
（６）記録膜中の炭素の含有量は５〜４０Ｊ［・子パー
セント、弗素の含有量は５〜４０原子パーセントである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情
報記録媒体。
（６）記録膜の厚さは２００人乃至１μｍであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネ
    ルギービームを照射し、大もしくは凹Ｓを形成して情４
    １Ｉを記録する光学的記録゛用部材において、前記記録
    膜がテルル及び炭素及び弗素を含有量。 るこ゛とを特徴とする光学的情報記′録媒体。
  2. （２）基板はガラスもしくは合ｓｎｒｍであることを（
    ５）　　記録膜中の画素の含有量は５−４０原子パーセ
    ント、弗素の含有量は５〜４０原子パーセントであるこ
    とを特徴とする特許−求の範□囲第１現記−の光学的−
    報記録媒体。　　゛ １６）　　記録膜の厚さは２００人乃至１μｍであるこ
    とを特徴とする特許−求の範囲ｊ１１項記載の元学的情
    報光鍮媒体。
JP56107035A 1981-07-10 1981-07-10 光学的情報記録媒体 Pending JPS589233A (ja)

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JP56107035A JPS589233A (ja) 1981-07-10 1981-07-10 光学的情報記録媒体

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