JPS5943874A - 蒸発材料収容器及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばセレン及びテルルからなる蒸発材料を
加熱、蒸発させる際に使用され、前記蒸発材料がその蒸
発面積より小さい開口を辿して外方へ導出されるように
構成された蒸発材料収容器及びその使用方法に関するも
のである。

この種の蒸発材料収容器（以下、蒸着ボートと称する。

）として、蒸発材料の蒸発面λｈとほぼ同一サイズの上
部間１コを有したいわゆるオープンボートが知られてい
る。　　しかし、このようなオープンボートでは、蒸着
速度の制御が困難であシ、しかも突沸が多い等の実用上
の問題が大きい。

一方、オープンボートの欠点をｉＷ消したボートとして
、いわゆるクヌードセンセル型と称すれるものがある。

　これは、上部間１」１・蒸発面積よシ狭く絞ることに
よシ、蒸着速度が効果的に制御され、かつ突沸で飛出し
た蒸発物が土部１ｉ１　Ｄに至るまでの間に壁部に付着
して外方（即ち被蒸着基体側）へ飛翔することはない等
の点で、非常に優れたものである。

こうしたクヌードセンセル型蒸発源としては、構成が比
較的簡素化しかつ操作性、蒸発安定性を改良した単一ボ
ート方式が例えは特開昭５５−１７６３６１号で提案さ
れている。　この公知の蒸発源は、第１図の如く、１つ
のボート１の内空間を隔壁２で２分し、これらの区分さ
れた各空間内に互いに異なる成分濃度のセレン−テルル
合金３．４を配して、各セレン−テルル合金をヒーター
５．６で加熱、蒸発さぜ、上部間ロアから導出させるこ
とができる。　この場合、各合金の温度を個々に制御し
、各蒸気を混合しながら例えはドラム状の被蒸着基体８
に蒸着することによってテルルのｍ１度プロファイルを
コントロールしている。

しかしながら、この公知の装置及び方法には次の如き欠
点があることが判明した。　即ち、各蒸発材料が互いに
隔絶された空間で夫々蒸発せしめられるから、これらの
複数種類の蒸気ｒ均一に混合することが困難となり、基
体上に均−若しくは連続的なイ１．奄度プロファイルの
蒸着膜（Ｓｅ　　’Ｉ”ｅ　Ａｉｋ光体１１ｊ’！　）
を形成することができない。　しかも、比較的低温に制
御している蒸発材料側へ他方の蒸気が侵入した場合、こ
の蒸気がボート内壁部に付着したり、或いは外方へ出た
蒸気が低温側のボート外壁面に付着する現象が生じる。

　この句着物質は再蒸発等によって蒸気組成を変化させ
るので不都合なものである。　また、上記した如く隔壁
を設けていることは致命的な別の欠陥を生せしめる。　
即ち、蒸発材料として高いテルル濃度の合金を用いる場
合には、腐食性の強いテルルの蒸気によって隔壁が腐食
され易く、このために蒸発源とし７ての耐久性の低下や
腐食物質の蒸着膜への混入の問題が生じる。　これを防
ぐプζめに隔壁の温度を下げるように処置すると、今度
はＩ’ｆ＋４壁土に蒸気の凝結（更に１．１昇華）が牛
じるので不適当である。

本発明は、上記の如き蒸発源の！ｈ艮を生かしつつその
欠陥を是正し、構造が簡素であるにも拘らず所望の４１
度プロファイルの膜質良好な蒸着膜を作成でき、しかも
耐久性等の改善された蒸発材料収容器を提供するもので
ある。

即ち、本発明＆″：Ｌ：Ｌ冒頭た蒸発材料収容器におい
て、２棟以上の蒸発材料が単一の容器本体内に夫々配置
され、各蒸発材料間には容器本体の内空間を実質的に区
分する隔壁が設けられていないことを特徴とするもので
ある。

この容器によれば、既述したクヌードセンセル型蒸発源
のもつ特長（即ち、蒸発の制御性、突沸の防止等）を発
揮できると共に、各蒸発利料を共通の窒問中へ蒸発させ
イｎるために蒸気の混合を均一化し、均−若しくは連続
した濃度コントロールを行なうことができる。　しかも
、各Ａ発月料は同時に加熱できることから、上述した如
き蒸気物質の付着の問題が生じない。　これに加えて、
容器内にμｍ゛１壁を設けないもう１つの利点として、
隔　　　　′壁を設けた場合の腐食や蒸着膜への不純物
の混入という事態も避けることができる。

本発明による容器においては、各蒸発材料を加熱するた
めのヒーターか夫々前され、これらのヒーターが同時に
オンするように構成することが、上記の効果を得る上で
重重しい。　まだ、突沸をより効果的に防止するために
、蒸発月料上に突沸防止板が設けられているのがよい。

本発明による容器は、次の如くに使用することが望まし
い。　即ち、この使用方法は、容器本体の内空間を実質
的に区分するよりな■、つ壁が設けられていない単一の
容器内に２種以上の蒸発材料を夫々配置し、これらの蒸
発材料を同時に加熱、蒸発させ、その蒸発面積より小さ
い開口を通して外方へ導出して被蒸着基体上に蒸着する
ことを特徴としている。

この使用方法によって、上Ｈ己したに♂（＋著な効果を
再現性良く確実に得ることができ、蒸着膜ケ呉造する上
で極めて不用なものである。

この方法においては、所望の濃度プロファイルを得るた
めに、各蒸発材料を互いに異なった蒸発速度で蒸発せし
めるのが重重しい。　蒸発月料としてはセレン合金が使
用可能であるが、各セレン合金間において、セレン以外
の同一種類の成分元素の濃度が互いに異なっていたり、
各セレン台金間において、セレン以外の成分元素の棹頓
が互いに異なっていてもよい。

以下、本発明を実施例についで図面参照下に詳細に説明
する。

第２図に示す蒸発源１１はクヌードセンセル型に構成さ
れるが、これによれは、容器本体１０内には、その内空
間を実質的に区分する如き隔壁は全く設けられておらず
、共通の内空間１２では濃度の）°１５なる第１のＳｅ
　−’Ｌ”ｅ蒸発イオ料３と第２の５ｅ−Ｔｅ蒸発材料
４とが各内容器１３．１４に夫々収容されている。

各蒸発材料−トにはヒーターランプ５．６が夫々間され
、更に上部には突沸防止板１５、蒸夕を加辻及び凝縮防
止用のヒーターランプ１６が配されでいるＯこのように
構成された蒸発源を用いた蒸Ａ′１操作の−０１１を説
明すると、第１の蒸発材料３としてＴｅ濃度４重、１１
（係の５ｅ−Ｔｅ、第２の蒸発月料４としてＴｅａ度２
５　重ｉ　％　’のＳｅ−’ｒｅを別々に装力Ｑした０
　そして、ヒーター５．６を同時にオンさせ、２９０°
Ｃで６０分間各蒸発材料を同時に蒸発させて蒸着したと
ころ、低讃Ｉ変の蒸発材料３は全邦蒸発し、高鍋度の蒸
発材料４は約３０係の蒸発率となった。　々お、蒸着槽
の真空度はＩｎ”Ｔｏｒｒ以−にとするのがよい０ こうして得られた蒸着膜、即ち５ｅ−Ｔｅ感光体をＸメ
′泉マイクロアナライザーで解析しん結果、不３図に示
す如きＴｅ濃度プロファイルを示し、内層はＴｅ５重量
％であって電イ’＋：ｉ輸送層として機能し、表層は’
ｌ’ｅｌＢ重量％であり、テルルの高含有量により特に
長波長域の感度が良好となった電荷発生層として機能す
る。　また、この感光体について、電子写真複写機Ｕ　
　Ｂｉｘ　Ｖ２　（小西六写真工業（抹）製）で実写特
性を調べたところ、カブリのない高濃度な画像が併られ
た。

上記の如く、本発明に従う蒸発（原及びその（車用方法
によれば、蒸発源自体の構造が史に簡素化される上に、
容易に所望の）湿度コントロール忙行なうことができる
。　これは、容器内にｈ；壁を設けず、各蒸兆旧料の蒸
発速度の差を利用して同時蒸発させ、均一な混合蒸気針
基体１ｔｔ１へイノ１出できるからである。　得らり、
だ＃）、乍プロファイル（第３図参照）は非常に望まし
いものであり、ｇｊＹ：体の電位保持性、残留電位の低
下、黒紙４１１ｆの低下といった優れた静電特性を奏し
得るものとなる。

なお、上記の各蒸蛇材料３及び４問におけるテルル濃度
は４・Ｊｉ　ｋ　選択でき、例えば第１の蒸発材料３で
はＴｅ濃度をＯ〜８重量係、第２の蒸発材料４ではＴｅ
濃度を１５−２５　：ｆｊｒ、　、ｉ＋ｉ％の範囲で夫
に訳択してよい。　まだ、テルルに代えて他の１ｊυ、
分元索、例エハヒ素、アンチモン等３．：用い、これら
全各坏イｉ′；材料とも同一：ｒ！ｔｒ　ａとしてよい
し、或い（′Ｊ、そのｉ’ｉｌｉ　Ｑ３４を異ならせて
もよい。

第４図は、別の例による蒸発源を示しているが、ここで
は１１Ａ発月料３．４をヒーター２５．２Ｇによって底
部からも加熱しているので、加熱、蒸発の女定性か良く
なる。　なお、突沸防止＆１１１、ｌｊｉ’１ロア７ｊ
’ｊ下に配されている。

以上、本発明を例示したが、上１ボの例ｋｒ本発明の技
術的思想に基いて史に変形が可能である。

例えば、蒸〉１源の形状や４４造、蒸発材料の配置や（
１・Ｓｌ介Ｊ、＆；ｌ：　Ｎ−ｊｌｉ々変更できる。　
また、使用する蒸発材料はＳｅ　−’ｌ’ｅに限らず、
Ｓｅ　−Ｓ　、　Ｆｅ　Ｎｉ　ＸＡｇＢｒ−Ｉ等でもよ
い。

ｌ￥１面の間車な説明 第１１２４は従来例による真空蒸着Ａ々置の要部＋１を
略図である。

欝２図〜第４図は本発明の実施例を示すものであって、 第２図は蒸発源のＩＦＩＩｉ′而図、 第３面は蒸着膜のデルル冷度フロファイルを示す図、 第４図は別の蒸発源の断面図 である。

なお、図面に示された符号において、 ３・・・−・・・・・・−・−・　・−低テルル病度の
＃屏材利４・・・　・・・・・・・−・・・　・・・筒
テルル敬度の蒸発利料５．６．１６．２５．２Ｇ・・・
・ヒーター７・　　　・・・　−・・・・上部開口８・
・・・・　・・　　　・被蒸着基体１１・・・・・・・
　・　・・・　・・蒸発線１５・・・・・・・・・・・
・・　・　・突沸防止板である。

代理人　弁理士　　沿′二　坂　　　先竿１図 　　４ 第２図 第３図 膜刷）ｔｍｌ 第４図 （自発）　手１ｔ”５ｅネ市正書 昭和５８年１１月３旧コ 特許庁長官　　若　杉　和　夫　　殿 １、事件の表示 昭和５７年　　特許　願第１５４２４０号２、発明の名
称 蒸発材料収容器及びその使用方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　東京都新宿区西新宿１丁目２６番２号名　称　
（１２７）小西六写真工業株式会社４、代理人 住　所　東京都立川市柴崎町３−９−１７鈴木ビル２階
６、補ｉＥ？こより増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ８、補正の内容 （１）、明細書箱５頁１０行目の「（更には昇華）Ｊを
削除しまず。

（２）、同第８頁下から２行目のｒＳｅ−Ｔｅ感光体」
を「Ｓ　ｅ　−Ｔ’　ｅ感光層」と訂正しまず。

−以　上− ４２３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、蒸発材料を加熱、蒸発させる際に使用され、前記蒸
   発材料がその蒸発面積よシ小さい開口を通して外方へ導
   出されるように構成された蒸発材料収容器において、２
   秒以上の蒸発材料が単一の容器本体内に夫々配置され、
   各蒸発材料間には容器本体の内空間を実質的に区分する
   隔壁が設けられていないことを特徴とする蒸発材料収容
   器。 ２　各蒸発材料を加熱するだめのヒーターが夫々配され
   、これらのヒーターし一同時に通電するように構成した
   、特許請求の範囲の第１項に記載した蒸発利料収容器。 ３、蒸発材料上に突沸防止板が設けられている、！１′
   ｉ許請求の範囲の第１項又は第２項に記載した蒸発利料
   収容器。 ４　容器本体の内空間を実質的に区分するような隔壁が
   設けられていない単一の容器内に２種以上の蒸発材料を
   夫々配置し、これらの蒸発材料を同時に加熱、蒸発させ
   、その蒸発面積より小さい開口を通して外方へ導出して
   被蒸着基体上に恭着することを特徴とする蒸発材料収容
   器の使用方法。 ５、各蒸発材料を互いに異なった蒸発速度で蒸発せしめ
   る、特許請求の範囲の第４項に記載した方法。 ６、蒸発材料としてセレン合金を用いる、ｑ踵’Ｆ　、
   ｉｉ’７求の範囲の第４項又は第５項に記載した方法。 ７、各セレン合金間において、セレン以外の同一；１−
   ｉｌｉ　＃ｉｉの成分元素の濃度が互いに異なっている
   、！１￥許藺求の範囲の第６項に記載した方法。 ８、各セレン合金間において、セレン以外の成分元素の
   種類が互いに異なっている、特許請求のｔｉ１Σ囲の第
   ６項に記載した方法。