JPS5982626A - 磁気デイスク基板 - Google Patents
磁気デイスク基板Info
- Publication number
- JPS5982626A JPS5982626A JP57190737A JP19073782A JPS5982626A JP S5982626 A JPS5982626 A JP S5982626A JP 57190737 A JP57190737 A JP 57190737A JP 19073782 A JP19073782 A JP 19073782A JP S5982626 A JPS5982626 A JP S5982626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- substrate
- magnetic
- magnetic head
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73917—Metallic substrates, i.e. elemental metal or metal alloy substrates
- G11B5/73919—Aluminium or titanium elemental or alloy substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73913—Composites or coated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高密度記録φ再生用の薄膜磁気ディスク基板
に関するものである。
に関するものである。
従来、スパッタ、メッキ、イオンブレーティング等の薄
膜形成技術を用いて、磁性薄膜を形成してなる磁気ディ
スク用基板としては、アルミ合金表面をアルマイト被覆
し、これを鏡面仕上げしたものや、あるいはアルミ合金
表面にＮ１−Ｐメッキを数ｌＯμｍの厚さに施して、こ
れを研削、ラップ、ポリシュ等の加工手段を用いて表面
粗さＲａ０．００５μｍ以下の鏡面にしたものが使用さ
れてきた（第１図（ａ）参照）。
膜形成技術を用いて、磁性薄膜を形成してなる磁気ディ
スク用基板としては、アルミ合金表面をアルマイト被覆
し、これを鏡面仕上げしたものや、あるいはアルミ合金
表面にＮ１−Ｐメッキを数ｌＯμｍの厚さに施して、こ
れを研削、ラップ、ポリシュ等の加工手段を用いて表面
粗さＲａ０．００５μｍ以下の鏡面にしたものが使用さ
れてきた（第１図（ａ）参照）。
しかしながら、高密度記録化に伴ない、磁気ヘッド浮上
隙間の低減が要求される一方、磁気ヘッドのコンタクト
・ストップ時に、磁気ヘッドと、磁気ディスク間の微小
隙間の潤滑剤、或いは吸着水分の表面張力によシ磁気ヘ
ッドが吸着されて、次のディスク起動時に損傷を引き起
すことがあった。
隙間の低減が要求される一方、磁気ヘッドのコンタクト
・ストップ時に、磁気ヘッドと、磁気ディスク間の微小
隙間の潤滑剤、或いは吸着水分の表面張力によシ磁気ヘ
ッドが吸着されて、次のディスク起動時に損傷を引き起
すことがあった。
すなわち、従来の磁気ディスク基板に、磁性薄膜を形成
し、液体又は固体潤滑剤を塗布した場合、ディスク表面
に潤滑剤の溜ｐ場がないために、磁気ディスクの回転中
に、潤滑剤が飛散消失したシ、殊に液体潤滑剤では、磁
気ヘッドのコンタクト・ストップ時に磁気ヘッドと鏡面
仕上げした磁気ディスクとの微小隙間に存在する潤滑剤
あるいは吸着水分の表面張力によシ磁気ヘッドが吸着さ
れる。従って次のディスク起動時に磁気ヘッド、磁気デ
ィスクの損傷ｔ−まねく惧れがある。
し、液体又は固体潤滑剤を塗布した場合、ディスク表面
に潤滑剤の溜ｐ場がないために、磁気ディスクの回転中
に、潤滑剤が飛散消失したシ、殊に液体潤滑剤では、磁
気ヘッドのコンタクト・ストップ時に磁気ヘッドと鏡面
仕上げした磁気ディスクとの微小隙間に存在する潤滑剤
あるいは吸着水分の表面張力によシ磁気ヘッドが吸着さ
れる。従って次のディスク起動時に磁気ヘッド、磁気デ
ィスクの損傷ｔ−まねく惧れがある。
そこで、上述した弊害を避けるため、磁気ディスク表面
粗さを粗くすることも考えられるが、所定以上に表面粗
さを粗くすることは、低浮上隙間で動作する磁気ヘッド
の浮上安定性を損ねる突起が増加し、さらに信号Ｏ８Ｎ
比低下、或いはエラー特性が劣化する等の欠点があった
。
粗さを粗くすることも考えられるが、所定以上に表面粗
さを粗くすることは、低浮上隙間で動作する磁気ヘッド
の浮上安定性を損ねる突起が増加し、さらに信号Ｏ８Ｎ
比低下、或いはエラー特性が劣化する等の欠点があった
。
本発明は、上述した従来の欠点を解決するために、磁気
ディスク基板表面を適度に粗面化し、磁気ヘッドとの摩
擦係数及び潤滑剤の飛散消失や表面張力による吸着力を
小さく保ち、信号ＳＮ比の劣化がなく、しかも信号エラ
ーとなる欠陥のない磁気ディスク基板を提供するもので
ある。
ディスク基板表面を適度に粗面化し、磁気ヘッドとの摩
擦係数及び潤滑剤の飛散消失や表面張力による吸着力を
小さく保ち、信号ＳＮ比の劣化がなく、しかも信号エラ
ーとなる欠陥のない磁気ディスク基板を提供するもので
ある。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。
本発明は磁気ディスクのアルミ合金基板上に表面被覆を
施し、この表面を所定の表面粗さの範囲に成形する（第
１図（ｂ）参照）。ここで上記表面粗さの範囲について
は第２図に示すように所定の範囲において摩擦係数、吸
着力に関して大幅な相違がみられる。
施し、この表面を所定の表面粗さの範囲に成形する（第
１図（ｂ）参照）。ここで上記表面粗さの範囲について
は第２図に示すように所定の範囲において摩擦係数、吸
着力に関して大幅な相違がみられる。
第２図は本発明の実施例による効果を示す磁気ディスク
基板の表面粗さｈ（μｍ）と、磁気ヘッドとの吸着力（
１ｆ）及び磁気ディスク媒体の摩擦係数との測定結果で
ある。
基板の表面粗さｈ（μｍ）と、磁気ヘッドとの吸着力（
１ｆ）及び磁気ディスク媒体の摩擦係数との測定結果で
ある。
すなわち、Ｎ１−Ｐメッキ面を研削、ラップ及びポリシ
ュによシ鏡面仕上げした表面粗さＲａＯ，００５μｍの
従来型の８インチ基板、及びポリシュの砥粒粒度を変え
て仕上げ表面粗さＲａ Ｏ，００６〜０．０１４μｍま
で振った８インチ基板を用意し、これに湿式によるＣｏ
−Ｎ１−Ｐ磁性メッキ膜を０．０８μｍに形成するとと
もに、ＲＦスパッタによ、り Ｓｉｎ、保護膜を０．０
８μｍ施し、その上に潤滑剤としてデュポン社りライト
ツクスＡＣ等所定のＯ，Ｏ１％フレオン溶液をスピンコ
ー）して試料を作成する。
ュによシ鏡面仕上げした表面粗さＲａＯ，００５μｍの
従来型の８インチ基板、及びポリシュの砥粒粒度を変え
て仕上げ表面粗さＲａ Ｏ，００６〜０．０１４μｍま
で振った８インチ基板を用意し、これに湿式によるＣｏ
−Ｎ１−Ｐ磁性メッキ膜を０．０８μｍに形成するとと
もに、ＲＦスパッタによ、り Ｓｉｎ、保護膜を０．０
８μｍ施し、その上に潤滑剤としてデュポン社りライト
ツクスＡＣ等所定のＯ，Ｏ１％フレオン溶液をスピンコ
ー）して試料を作成する。
上述した試料を各表面粗さＲａ値毎３枚ずつ作成し、Ｍ
ｎ−Ｚｎフェライト製テーパフラットタイプの磁気ヘッ
ド（負荷６ｆｆ）との摩擦係数及び同磁気５ツドをコン
タクト状態にしたま＼常温常湿に保持し、２４時間後に
磁気ヘッドと磁気ディスクを低速でずらすに要する吸着
力を測定した結果をまとめたものである。
ｎ−Ｚｎフェライト製テーパフラットタイプの磁気ヘッ
ド（負荷６ｆｆ）との摩擦係数及び同磁気５ツドをコン
タクト状態にしたま＼常温常湿に保持し、２４時間後に
磁気ヘッドと磁気ディスクを低速でずらすに要する吸着
力を測定した結果をまとめたものである。
図からも明らかなように、表面粗さＲａが０．００５μ
ｍから０．００６μｍに増加すると、急激に摩擦係数と
吸着力は低下し、以後Ｒａの増加とともに、両値は徐々
に低下していく。特に摩擦係数はＲａＯ，０１０μｍ以
上で一定値を示している。
ｍから０．００６μｍに増加すると、急激に摩擦係数と
吸着力は低下し、以後Ｒａの増加とともに、両値は徐々
に低下していく。特に摩擦係数はＲａＯ，０１０μｍ以
上で一定値を示している。
これは、基板の粗面化によシ潤滑剤の溜り場が多く形成
されるためである。
されるためである。
一方、基板の粗面化とともに、信号ＳＮ比の低下、信号
エラーとなる欠陥の増加が懸念されるため、上記磁気デ
ィスクと磁気ヘッドとの組合わせで、両特性の測定を行
なった。この結果を第３図に示す。
エラーとなる欠陥の増加が懸念されるため、上記磁気デ
ィスクと磁気ヘッドとの組合わせで、両特性の測定を行
なった。この結果を第３図に示す。
ここで、信号エラーとなる欠陥測定は、ヘッドトラック
幅１７μｍ、）ラックピッチ２５μｍ、ディスク回当ｐ
２２００ ）ラック、ヘッド浮上隙間０．２５μｍ１信
号記録密度６００ ｂｉｔ／ｍ。
幅１７μｍ、）ラックピッチ２５μｍ、ディスク回当ｐ
２２００ ）ラック、ヘッド浮上隙間０．２５μｍ１信
号記録密度６００ ｂｉｔ／ｍ。
ディスク回転数３６０ Ｏｒｐｍ、信号エラーとする信
号レベル（スライスレベル）ｋ６０％として測定した結
果である。
号レベル（スライスレベル）ｋ６０％として測定した結
果である。
上述した第２図の結果から、表面粗さＲａが０．００５
μｍから増加するに従い、欠陥数は徐々に劣化していく
が、０．０１０μｍを越えると急激に劣化する。
μｍから増加するに従い、欠陥数は徐々に劣化していく
が、０．０１０μｍを越えると急激に劣化する。
また、信号のＳＮ比はＲａがｏ、ｏｉｏμｍまでは、は
とんど変化せず、０．０１０μｍ’ｒ越えるとやや劣化
する。
とんど変化せず、０．０１０μｍ’ｒ越えるとやや劣化
する。
さらに、磁気ディスク表面の突起に関しては、潤滑剤塗
布後にサファイア製スライダを用いて１５分間パニシュ
した後、ＡＥ素子を応用したディスク表面突起物検査装
置上用いてディスク全面を検査したところ、磁気ヘッド
の浮上隙間０．２μｍでは突起との接触箇所は０であシ
、０．１５μｍでは表面粗さＲａが０．０１０μｍを越
えた場合のみ１〜１０箇所／面が検出された。
布後にサファイア製スライダを用いて１５分間パニシュ
した後、ＡＥ素子を応用したディスク表面突起物検査装
置上用いてディスク全面を検査したところ、磁気ヘッド
の浮上隙間０．２μｍでは突起との接触箇所は０であシ
、０．１５μｍでは表面粗さＲａが０．０１０μｍを越
えた場合のみ１〜１０箇所／面が検出された。
以上詳細に説明したように、本発明の高密度記録・再生
用の薄膜磁気ディスク基板は、基板の表面粗さＲａを０
．００６〜０．０ＩＯμｍとすることによシ、磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの摩擦係数及び磁気ヘッドの吸着力
を小さく保持することができるとともに、信号ＳＮ比の
劣化及び、信号エラーとなる欠陥が少なく、しかも磁気
ヘッド浮上安定性を損うディスク表面突起を少なくする
ことができる等の効果を奏する。
用の薄膜磁気ディスク基板は、基板の表面粗さＲａを０
．００６〜０．０ＩＯμｍとすることによシ、磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの摩擦係数及び磁気ヘッドの吸着力
を小さく保持することができるとともに、信号ＳＮ比の
劣化及び、信号エラーとなる欠陥が少なく、しかも磁気
ヘッド浮上安定性を損うディスク表面突起を少なくする
ことができる等の効果を奏する。
第１図（ａ） （ｂ）は磁気ディスク基板表面の粗さ曲
線を示すグラフであシ、（ａ）は従来の例、（ｂ）は本
発明の例を示す。第２図は磁気ディスク基板の表面粗さ
Ｒａとディスク媒体の摩擦係数および磁気ヘッドの吸着
力との関係を示すグラフ、第３図は磁気ディスク基板の
表面粗さＲａと信号欠陥箇所数、ＳＮ比との関係を示す
グラフである。 特許出願人 日本電信電話公社 代理人 弁理士 光 石 士 部（他１名）第１図 （ａ） （ｂ） 第２図 ・“［ｌ ？ 「
線を示すグラフであシ、（ａ）は従来の例、（ｂ）は本
発明の例を示す。第２図は磁気ディスク基板の表面粗さ
Ｒａとディスク媒体の摩擦係数および磁気ヘッドの吸着
力との関係を示すグラフ、第３図は磁気ディスク基板の
表面粗さＲａと信号欠陥箇所数、ＳＮ比との関係を示す
グラフである。 特許出願人 日本電信電話公社 代理人 弁理士 光 石 士 部（他１名）第１図 （ａ） （ｂ） 第２図 ・“［ｌ ？ 「
Claims (1)
- （１）高密度記録・再生用の薄膜磁気ディスクにおいて
、アルミ合金基板上に表面被覆を施し、これを鏡面仕上
げして表面粗さＲａ ｋ Ｏ，ＯＯ６〜０．０１０μｎ
１の範囲に成形することを特徴とする磁気ディスク基板
。 （２、特許請求の範囲第１項において、アルミ合金基板
上に表面被覆としてＮ１−Ｐメッキを施し、これを表面
粗さＲａ Ｏ，００６〜０１０１０μｍの範囲に成形す
ることを特徴とする磁気ディスク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190737A JPS5982626A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 磁気デイスク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190737A JPS5982626A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 磁気デイスク基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5982626A true JPS5982626A (ja) | 1984-05-12 |
Family
ID=16262930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57190737A Pending JPS5982626A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 磁気デイスク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5982626A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220119A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Sony Corp | 磁気デイスク |
| JPS6361409A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4803577A (en) * | 1985-06-12 | 1989-02-07 | Tdk Corporation | Vertical magnetic recording system using rigid disk |
| JPH06203371A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
| JPH06342520A (ja) * | 1994-01-13 | 1994-12-13 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
| US5626970A (en) * | 1985-11-12 | 1997-05-06 | Hedgcoth; Virgle L. | Sputtered magnetic thin film recording disk |
| US5825591A (en) * | 1993-07-23 | 1998-10-20 | Hitachi, Ltd. | Frictionally sliding head magnet disk apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56114125A (en) * | 1980-02-14 | 1981-09-08 | Hitachi Ltd | Substrate for magnetic recording medium and its production |
-
1982
- 1982-11-01 JP JP57190737A patent/JPS5982626A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56114125A (en) * | 1980-02-14 | 1981-09-08 | Hitachi Ltd | Substrate for magnetic recording medium and its production |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4908727A (en) * | 1985-06-12 | 1990-03-13 | Tdk Corporation | Disk with substrate of alumina silicate resin glass |
| US5626970A (en) * | 1985-11-12 | 1997-05-06 | Hedgcoth; Virgle L. | Sputtered magnetic thin film recording disk |
| US6036824A (en) * | 1985-11-12 | 2000-03-14 | Magnetic Media Development Llc | Magnetic recording disk sputtering process and apparatus |
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| JPH06203371A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
| US5825591A (en) * | 1993-07-23 | 1998-10-20 | Hitachi, Ltd. | Frictionally sliding head magnet disk apparatus |
| JPH06342520A (ja) * | 1994-01-13 | 1994-12-13 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
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