JPH0567728A - 混成集積回路のフアンクシヨントリミング方法 - Google Patents
混成集積回路のフアンクシヨントリミング方法Info
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- JPH0567728A JPH0567728A JP22720891A JP22720891A JPH0567728A JP H0567728 A JPH0567728 A JP H0567728A JP 22720891 A JP22720891 A JP 22720891A JP 22720891 A JP22720891 A JP 22720891A JP H0567728 A JPH0567728 A JP H0567728A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ステップ切断トリミングにおけるトリミング
時間を短縮する。 【構成】 各トリミングステップごとに、特性測定値と
目標値との差を求め、この差と目標値付近の特性値変化
率との積を次のステップの切断量とする。このようにし
て測定値と目標値との差が大きい時は、切断量が大き
く、その差が小さい時は、切断量が小さくなりオーバー
カットを防止し、しかもトリミング時間が短縮される。
時間を短縮する。 【構成】 各トリミングステップごとに、特性測定値と
目標値との差を求め、この差と目標値付近の特性値変化
率との積を次のステップの切断量とする。このようにし
て測定値と目標値との差が大きい時は、切断量が大き
く、その差が小さい時は、切断量が小さくなりオーバー
カットを防止し、しかもトリミング時間が短縮される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、混成集積回路として
構成された例えば増幅器の増幅特性を、その厚膜または
薄膜抵抗の一部をレーザなどで切断除去して目的のもの
にするファンクショントリミング方法に関する。
構成された例えば増幅器の増幅特性を、その厚膜または
薄膜抵抗の一部をレーザなどで切断除去して目的のもの
にするファンクショントリミング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば図２Ａに示すような増幅器１１が
混成（ハイブリッド）集積回路として構成され、その増
幅器１１に含まれる厚膜は薄膜で形成された調整用抵抗
１２の一部を切断除去することにより、その増幅器１１
の特性、例えば出力波形の立上り、立下り特性を調整し
ている。
混成（ハイブリッド）集積回路として構成され、その増
幅器１１に含まれる厚膜は薄膜で形成された調整用抵抗
１２の一部を切断除去することにより、その増幅器１１
の特性、例えば出力波形の立上り、立下り特性を調整し
ている。
【０００３】増幅器１１の例えば立上り特性の値と、調
整用抵抗１２の切断量との関係は、例えは図２Ｂに示す
ように、目標値から大きく離れている状態では抵抗の除
去量の影響が小さく、目標値に近づくに従ってわずかの
除去量でも特性が大きく変化する。
整用抵抗１２の切断量との関係は、例えは図２Ｂに示す
ように、目標値から大きく離れている状態では抵抗の除
去量の影響が小さく、目標値に近づくに従ってわずかの
除去量でも特性が大きく変化する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】調整用抵抗１２の一部
除去は通常レーザを照射して行うが、この切断除去速度
は通常0.５〜２０mm／ｓ程度である。この切断除去速度
に対し、増幅器１１の特性を測定する速度が十分高速で
あれば、抵抗の切断除去を行いながら、同時にその特性
の測定を行い、その特性が目標値に到達したか否かの判
断を行うことができるため、高速な連続切断トリミング
を実行できる。
除去は通常レーザを照射して行うが、この切断除去速度
は通常0.５〜２０mm／ｓ程度である。この切断除去速度
に対し、増幅器１１の特性を測定する速度が十分高速で
あれば、抵抗の切断除去を行いながら、同時にその特性
の測定を行い、その特性が目標値に到達したか否かの判
断を行うことができるため、高速な連続切断トリミング
を実行できる。
【０００５】しかし、特性の測定に比較的長い時間、例
えば0.２〜0.５秒もかゝる場合は、測定と同時に切断除
去を行うと、オーバーカット、つまり目標の特性値から
許容値以上通過してしまう恐れがあり、測定しながら切
断除去を行うことはできなかった。このような場合は、
従来においてはオーバーカットしない最小の切断量を決
め、「その最小切断量だけ切断−特性測定−その測定の
判断」のプロセスを繰り返すステップ切断トリミングを
行っていた。このため、目標値に達するまでの測定回数
が多くなり、トリミングに長い時間がかゝるという問題
があった。
えば0.２〜0.５秒もかゝる場合は、測定と同時に切断除
去を行うと、オーバーカット、つまり目標の特性値から
許容値以上通過してしまう恐れがあり、測定しながら切
断除去を行うことはできなかった。このような場合は、
従来においてはオーバーカットしない最小の切断量を決
め、「その最小切断量だけ切断−特性測定−その測定の
判断」のプロセスを繰り返すステップ切断トリミングを
行っていた。このため、目標値に達するまでの測定回数
が多くなり、トリミングに長い時間がかゝるという問題
があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明によれば、ステ
ップ切断トリミングにおいて、目標値と測定値との差を
求め、その差が小さくなるに従って次のトリミング量
（切断除去量）を小さくする。
ップ切断トリミングにおいて、目標値と測定値との差を
求め、その差が小さくなるに従って次のトリミング量
（切断除去量）を小さくする。
【０００７】
【実施例】図１を参照してこの発明の実施例を説明す
る。いま混合集積回路の調整用抵抗１２が図１Ａに示す
形状をしており、その両端の電極１３，１４の中間部を
線１５で示す方向に切断しながら特性値の調整を行う場
合に、その切断量と特性値との関係が図１Ｂに示す状態
にあるとする。その切断量と特性値との関係において目
標値ＣG における許容特性値量ΔＣに対する切断量ΔＬ
との比、つまり、目標値付近における特性値の変化率Δ
Ｓ＝ΔＣ／ΔＬを予め実験で求める。
る。いま混合集積回路の調整用抵抗１２が図１Ａに示す
形状をしており、その両端の電極１３，１４の中間部を
線１５で示す方向に切断しながら特性値の調整を行う場
合に、その切断量と特性値との関係が図１Ｂに示す状態
にあるとする。その切断量と特性値との関係において目
標値ＣG における許容特性値量ΔＣに対する切断量ΔＬ
との比、つまり、目標値付近における特性値の変化率Δ
Ｓ＝ΔＣ／ΔＬを予め実験で求める。
【０００８】実際のトリミングでは、特性値Ｃを測定
し、その測定値Ｃと目標値ＣG との差を求め、その差と
前記特性値変化率ΔＳとの積を次の切断量とする。例え
ば、特性値変化率ΔＳが1.０，目標値ＣG が3.００，最
初の測定値Ｃが2.７２の場合、第１ステップの切断量Ｌ
は0.２８mmとなる。以下切断、測定、判定ごとの測定値
Ｃ，切断量Ｌは例えば次のようになる。
し、その測定値Ｃと目標値ＣG との差を求め、その差と
前記特性値変化率ΔＳとの積を次の切断量とする。例え
ば、特性値変化率ΔＳが1.０，目標値ＣG が3.００，最
初の測定値Ｃが2.７２の場合、第１ステップの切断量Ｌ
は0.２８mmとなる。以下切断、測定、判定ごとの測定値
Ｃ，切断量Ｌは例えば次のようになる。
【０００９】 ステップ番号 （ ＣG − Ｃ ） × ΔＳ ＝ Ｌ（mm） １ 3.００ − 2.７２ × 1.０ ＝ 0.２８ ２ 3.００ − 2.７５ × 1.０ ＝ 0.２５ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Ｎ−１ 3.００ − 2.８２ × 1.０ ＝ 0.１８ Ｎ 3.００ − 2.９２ × 1.０ ＝ 0.０８ この数値例での各ステップごとの切断の状態を図１Ａに
線１５にステップ番号を付けて示す。
線１５にステップ番号を付けて示す。
【００１０】このように、この発明では目標値ＣG と測
定値Ｃとの差が大きい時は、切断量Ｌを大きくとり、差
が小さい時は切断量Ｌを小さくしてオーバーカットにな
らないようにする。従ってオーバーカットが生じないよ
うに最初から切断量をΔＬずつ切断してゆく場合と比較
して、切断回数、測定回数が著しく少なくなり、トリミ
ングに必要とする時間を著しく短くすることができる。
定値Ｃとの差が大きい時は、切断量Ｌを大きくとり、差
が小さい時は切断量Ｌを小さくしてオーバーカットにな
らないようにする。従ってオーバーカットが生じないよ
うに最初から切断量をΔＬずつ切断してゆく場合と比較
して、切断回数、測定回数が著しく少なくなり、トリミ
ングに必要とする時間を著しく短くすることができる。
【００１１】例えば、混成集積回路で構成した高速パル
ス増幅器における出力波形の立上りや立下りを、デジタ
ルオシロスコープで測定して、トリミングを行って目的
とする特性にする場合などに、この発明は有効である。
ス増幅器における出力波形の立上りや立下りを、デジタ
ルオシロスコープで測定して、トリミングを行って目的
とする特性にする場合などに、この発明は有効である。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば特
性測定値が目標値から大きくずれている時は、大きな切
断量とし、そのずれが小さくなるに従って切断量を小さ
くすることにより、切断速度に対し、特性測定、その判
定に長い時間を必要とするステップ切断トリミングにお
いて、トリミング時間を、従来よりも著しく短くするこ
とができる。
性測定値が目標値から大きくずれている時は、大きな切
断量とし、そのずれが小さくなるに従って切断量を小さ
くすることにより、切断速度に対し、特性測定、その判
定に長い時間を必要とするステップ切断トリミングにお
いて、トリミング時間を、従来よりも著しく短くするこ
とができる。
【図１】Ａは調整用抵抗とトリミングステップごとの切
断量の例を示す平面図、Ｂは特性値と切断量と、ステッ
プごとの切断量との関係例を示す図である。
断量の例を示す平面図、Ｂは特性値と切断量と、ステッ
プごとの切断量との関係例を示す図である。
【図２】Ａは混合集積回路で構成された増幅器の等価回
路図、Ｂはその特性値と調整用抵抗の切断量との関係を
示す図である。
路図、Ｂはその特性値と調整用抵抗の切断量との関係を
示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 目標値と測定値との差を求め、その差が
小さくなるに従って次のトリミング量を小さくすること
を特徴とする混成集積回路のファンクショントリミング
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22720891A JPH0567728A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 混成集積回路のフアンクシヨントリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22720891A JPH0567728A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 混成集積回路のフアンクシヨントリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567728A true JPH0567728A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16857190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22720891A Withdrawn JPH0567728A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 混成集積回路のフアンクシヨントリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567728A (ja) |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP22720891A patent/JPH0567728A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |