JPS6066013U - ソレノイドコイル - Google Patents

ソレノイドコイル

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Publication number
JPS6066013U
JPS6066013U JP15856883U JP15856883U JPS6066013U JP S6066013 U JPS6066013 U JP S6066013U JP 15856883 U JP15856883 U JP 15856883U JP 15856883 U JP15856883 U JP 15856883U JP S6066013 U JPS6066013 U JP S6066013U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solenoid coil
metal wiring
wiring
transformer
silicon
Prior art date
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Pending
Application number
JP15856883U
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English (en)
Inventor
逸見　学
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは、従来のソレノイドコイルの断面図、第１図
すは、同図ａの銅線と絶縁被膜の断面構造の拡大図、第
２図ａは、本考案の一実施例の断面図、第２図すは、同
図ａのアルミニウム配線・　　　と、ＳｉＯ３膜の断面
構造の拡大図、第３図は、トランスの等価回路図、第４
図は、本考案の他の実施例を示す断面構造図、第５図は
、２次側の出力が連続可変となるトランスの等価回路図
、第６図ａは、本考案に係る製造装置の一例を示す鳥敞
図、第６図すは、同図ａの円筒形の絶縁体の側面に形成
されたアルミニウム配線の一例を一平面に押し広げた図
、第６図Ｃは、同図ａにより形成されたアルミニウムの
配線（単層のソレノイドコイル）の−例を示す鳥敞図、
第６図ｄは、本考案に係る円筒形の絶縁体の側面に形成
された“アルミニウム配線の一例を示す断面構造図、第
６図ｅは、本考案に係る円筒形の絶縁体の側面に、多層
のアルミニウム配線を形成する製造装置の一例を示す構
成図、第６図ｆは、本考案に係る多層のアルミニウム配
線の一例を示す断面構造図である。 １・・・円筒形の絶縁体、２・・・銅線、３・・・絶縁
被膜、２′・・・アルミニウム配線、３′・・・Ｓ　ｉ
　０２膜、４・・・アルミニウム配線形成用の蒸着装置
、４′・・・マスク蒸着用の微細な窓、５・・・Ｓ　ｉ
　０２膜３′２堆積用のスパッタ装置、６・・・Ｓ　ｉ
　ｏ４３　’エツチング用のスパッタ装置、６′・・・
スパッタに用いるアルゴンイオンを通過させる窓、７・
・・真空に保ったペルジャー、１２・・・１次側のコイ
ルを構成する銅の配線、２２・・・２次側のコイルを構
成する銅の配線。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）円筒状の絶縁体の側面に、らせん状に形成された
    金属配線からなるソレノイドコイルにおいて、金属配線
    間の必要な電気的絶縁の材料が、シリコン酸化膜、シリ
    コン窒化膜、酸化アルミニウム、あるいはシリコンかア
    ルミニウムの少なくとも１つを含みかつ酸素か窒素の少
    なくとも１つを含む混合物であることを特徴とするソレ
    ノイドコイル。
  2. （２）金属配線として、高融点金属よりなる金属配線を
    用いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
    記載のソレノイドコイル。
  3. （３）　　金属配線として、超電導材料よりなる金属配
    線を用いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載のソレノイドコイル。
  4. （４）金属配線が、トランスの１次側のコイルを構成す
    る配線およびトランスの２次側のコイルを構成する配線
    であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
    ないし第３項のいずれかに記載のソレノイドコイル。
JP15856883U 1983-10-13 1983-10-13 ソレノイドコイル Pending JPS6066013U (ja)

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