JPS61108144A - 集積回路を回路ユニツトに接続して組み立てる方法並びにこの方法を実施する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、集積回路を回路ユニットに接続して組み立”
Ｃる方法並びにこの方法を実施する装置に関する。

特に本発明は、その過程中に集積回路の片面の外周部に
配置された接続スタッドが回路ユニットの端子にいわゆ
る［インナリードポンデイング」によって熱圧を用いて
接続される方法に関する。なお付言すると本明細書にお
いて回路ユニットというのは、集積回路が取り付けられ
る導線セットを意味しており、このような導線セットは
電気又は電子構成要素を単数備えていても複数備えてい
てもよい。

従来技術並びに欠点 「インナリードボンディング」を行うためには通常映画
フィルムの形のリボンが使用され、このリボンはその長
手方向に一列に配置された多数の回路ユニットを支承し
ており、これらの回路ユニットには集積回路がスタッド
と端子とのろう接又は溶接によってそれぞれ接続される
。

リボンは間欠的に溶接位置を通して駆動され、溶接作業
はスタッド及びこれに重ねられる対応する各端子に加熱
された工具又は溶接火口を押し付けることによって行わ
れる。この場合集積回路は周知のように溶接火口に対し
て垂直に支持装置に保持される。

集積回路の寸法が極めて小さいことを考慮すると、溶接
火口に対する集積回路の極めて正確な整合を達成するこ
と並びに、集積回路が接続される回路ユニットに対する
集積回路の極めて正確な整合を達成することは不可欠な
ことである。多くの場合整合誤差が２０ミクロンを越え
ることは許されない。このよう々高い精度を得るために
一般にはテレビ回路のような光学機構が用いられ、カメ
ラによってとらえられた画像に基づいて回路ユニットに
対する集積回路の位置が調整される。この作業は例えば
集積回路支持装置を互いに直角な２つの方向に沿って手
によってずらすことによって行われる。従ってこの調整
作業は、溶接位置におけるカメラの視野が解放されてい
る場合にのみ行うことが可能であり、このためには、各
作業サイクル中におけるアライメントの前後に溶接火口
を側方に移動させることが必要である。

さらにまた作業サイクルには集積回路のだめの供給作業
が含まれており、従って各集積回路毎に作業サイクルは
４秒必要であり、そのうち０１秒はカメラの視野からの
又は同視野への溶接火口の移動のために必要である。

発明の課題 ゆえに本発明の課題は、従来のものに比べてより高い溶
接精度とより短い作業サイクル時間でインナリードボン
ディングによって集積回路を回路ユニットに接続して組
み立てる方法並びにこの方法を実施する装置を提供する
ことである。

課題を解決するための手段（方法） この課題を解決するために本発明の方法では、リボンに
清って長手方向に１列に配置された回路ユニットと集積
回路とを、リボンに配置された各回路ユニットの端子と
集積回路のスタッドとの熱圧溶接又はろう接によって組
み立てる方法において、リボンにおける回路ユニットと
各集積回路との正確なアライメントの後で組立てを行う
溶接位置を通してリボンを間欠的に前進させ、溶接位置
に回転可能に取り付けられていて間欠的に角移動可能な
、集積回路を支持するターンテーブルを用いて、別個の
集積回路において少なくとも供給作業とアライメント作
業と溶接作業とを同時に行い、ターンテーブルに載って
いる集積回路を、ターンテーブルに関して形成された極
座標系によって規定された正確な溶接位置に配置させ、
この場合集積回路が極座標系における位相角に相当する
ターンテーブルの各ステップによって、極座標系の極軸
における所定の半径の点に位置しており、位相角の総数
及び（又は）半径からわずかにずれた座標をもつターン
テーブル上の供給位置に、集積回路を１つずつ置くこと
で集積回路の供給を行い、位相角の総数によって溶接位
置に対してかつ半径に相当する距離によってターンテー
ブル中心に対して正確にずらされたアライメント位置に
、ターンテーブルに対して平行な平面において集積回路
を摺動させて集積回路のアライメントを行うようにした
。

課題を解決するための手段（装置） 前記課題を解決するために本発明の構成では、集積回路
を回路ユニットに接続して組み立てる装置が、熱圧溶接
又すまろう接を行うための溶接位置と、該溶接位置にお
いて回路ユニットを支承するり・トンを間欠的に前進さ
せる手段と、溶接位置において集積回路を１つずつ対応
する各回路ユニットに対して垂直に導入する供給装置と
、各溶接作業に先行して集積回路のスタッドを回路ユニ
ットの接続端子と整合させるアライメント機構と、溶接
位置に対して垂直に配置された軸に回転可能に取り付け
られたターンテーブルと、該ターンテーブルをリボンの
運動と同期させて間欠的に駆動させる駆動手段とを有し
ており、ターンテーブルが、該ターンテーブルの運動中
に溶接工具に対して垂直に順次通過しかつ同一円周上に
角度間隔をおいて配置された同数の作業位置に対応する
少なくとも６つの位置を有しており、ターンテーブルの
順次行われるステップの間にこれらの位置において供給
装置、アライメント機構及び溶接工具がそれぞれかつ同
時に働へ、供給装置が、溶接工具の下において集積回路
が占めるべき位置に対してずれた角度及び半径方向距離
を備えたターンテーブルの相応な位置に各集積回路を供
給するのに通した供給アームを有しており、アラ１メン
ト機構が、供給時における集積回路の角度及び半径方向
におけるずれを正確な位置への集積回路の摺動によって
修整しひいては集積回路を溶接工具の下に正確に導くた
めに、ターンテーブル表面に対して平行な平面において
移動可能なアライメントアームを有している。

発明の効果 本発明の方法並びに装置によればまず第１に作業サイク
ルの時間がファクタ２つ分だけ減じられ、つまりリボン
の並進動作と集積回路の供給動作に減じられる。この結
果１作業サイクルにかかる時間は例えば２秒になり、供
給作業によってこの時間が決定され、その他の作業も同
様に短くなる。

次に、集積回路のアライメントが溶接位置において行わ
れないという事実にもかかわらず、所望のアライメント
精度は、ターンテーブルにおける正確な位置に集積回路
が摺動させられることによって容易に達成される。この
場合さらにターンテーブルがかなりの機械的な剛性度を
有していることに基づいて、一度アライメント作業を施
された集積回路は、同集積回路が溶接位置にもたらされ
るまでその正確な位置を維持する。他方、集積回路と回
路ユニットとの間のアライメント精度はリボンの製作誤
差に関連しており、もしこの製作誤差がインナリードボ
ンディングを行うのに不都合なほど大きい場合には、回
路ユニットの再アライメントを実施することができる光
学系を付加的に設けることも容易に可能である。

最後に、ターンテーブルの各ステップにおいて得られる
同ターンテーブルの可変の位置は容易に割り出すことが
でき、他方、周囲温度の変化は集積回路に問題になるよ
うな影響を与えることはない。

実施例 第１図の斜視図には集積回路を組み立てるだめの装置が
示されており、この装置のフレーム１にはその中央部に
作業ユニット２が設けられ、図面で見て作業ユニット２
の左には供給ユニット３がかつ反対骨１つまり右側には
受取りユニット４が設けられている。

周知のように本発明による装置においても規格のパーフ
ォレーションを備えた例えハ３５１Ｂ映画フィルムの形
のリボン５が使用される（第２図も参照）。このフィル
ム状のリボン５は作業ユニット２をはさんで供給ユニッ
ト３と受取りユニット４との間を循環し、作業ユニット
２においてリボン５には集積回路が固定される。

供給ユニット３はリボン貯え部を有する供給リール６と
、リボン５から保護バンド８を巻き上げるためのリール
７と、１１ボン５を案内１．かつ緊張させる手段９とを
備えている。受取りユニット４は出来上がったリボンの
だめの巻上げリール１０と、保護バンド供給リール１１
とを有し、この供給リール１１から繰り出された保護バ
ンド１２は巻上げリール１０におけるリボン５の回転中
に送り込まれる。

リボン５は案内１４が後置された駆動手段１３によって
間欠的に駆動される。

作業ユニット２には溶接工具として働く溶接火口１５が
、熱圧溶接又はろう接作業を行うための鉛直運動だけで
なく、後方への引込み運動をも実施できるように取り付
けられている。装置を調整するだめにのみ役立つ後者の
運動は、溶接工具の上に配置されたテレビカメラ１６の
視野を解放するのに役立ち、テレビカメラ１６は装置の
作業区域の映像を画面１７に送ることができる。この機
構が例えば仕上がった作業の検査のために利用できるこ
とは明白である。

リボン５は集積回路のための支持装置２０の両１１１１
に配置された案内１８．１９に導かれて作聚ユニット２
を通過する。支持装置２０において本発明は具体化され
ている。

この支持装置２０について詳しく述べる前に集積回路の
供給方法について述べておく：集積回路は粘着パントン
２を用いた供給装置２１を介して作業ユニツ、ト２に供
給され、粘着バンド２２には前もってチェックされた集
積回路が接着されている。このような粘着バンド２２は
例えば米国特許第３６９５４７４号明細書に開示されて
いる。集積回路は十分な運転テストの後でシリコンウェ
ハ製のこの粘着バンド２２に接着される。粘着バンド２
２はリール２３から繰り出されて個別化機構２４を通過
し、この個別化機構２４から集積回路は通路２５に貯え
られる。この通路２５は振動させられていてもよく、同
時に集積回路の緩衝貯え装置を構成しており、この通路
２５から集積回路は支持装置２０に配置される。

次に本発明による装置において用いられるリボン５（フ
ィルム）の１例が略示されている第２図について説明す
る。

図面かられかるように回路ユニッ）ＵＯは、集積回路Ｃ
Ｉを受容する各ユニットが長手方向に整列しているフィ
ルム状のリボン５に形成されている。集積回路ＣＩを受
容するために各回路ユニツ）ＵＯは所定数の端子Ｂを有
し、これらの端子Ｂはそれぞれ周知の技術によって集積
回路の対応するスタン１？（図示せず）に熱圧溶接又は
ろう接によって接続される。もちろん本発明は特定の回
路ユニットに限定されるものではなく、回路ユニットは
単純な導線セット並びに単数又は複数の電気又は電子回
路成分から成る極めて複雑な回路セットをも含む。例え
ば本発明が時計製造技術の分野において用いられる場合
には、各回路ユニットＵＣは、クォーツ又はその仙の関
連部材が接続されている導線を既に有していてもよい。

なお付言すると第２図には図面をわかりやすくするだめ
に２つの回路ユニットにしか導線が描かれていない。

上において簡単に述べた操作はインナリードボンディン
グ（工ｎｎｅｒ　Ｌｅａｄ　Ｂｏｎｄｉｎｇ　）という
名で知られており、それ自体なんら独創的なものではな
い。また同様に溶接火口１５（第１図参照）は周知の形
で構成されていて、この溶接火口１５は組立て禍程にお
いて端子とスタッドとのすべての重量部において一定の
圧力と一定の熱瞳とを同時に加えるように構成されてい
る。

さらに付言するとこの操作は従って集積回路と所属の回
路ユニットとの電気的な接続だけでなく、集積回路及び
回路ユニットとフィルムであるリボン５との完全な一体
化をも効果的に保証する。

本発明によれば集積回路の支持装置２０は円形のターン
テーブル２６として構成されている（第３図及び第４図
参照）。このターンテーブル２６はターンテーブル表面
２７における中心点０を通る鉛直な軸線ｘ　−ｘを中心
にして回転可能に取り付けられている。

ターンテーブル表面２７は平らで有利には超精密に加工
されている。

中心点０を極軸ＯＡの極座標系の極だと仮定すると、溶
接火口によって規定されかつ溶接時に各集積回路ＣＩが
それに対して中心位置決めされねばならない鉛直な参考
軸線０′は、中心点０から半径方向に距離ｍをおいて位
置するととになる。集積回路がこの軸線Ｏ′に正碑に中
心位置決めされると、回路ユニツ）ＵＯの各端子Ｂは集
積回路の対応するスタッドに対して正確に直角に位置し
、これによって所望の精度で溶接を行うことができる。

なお整合誤差は２０ミクロンよりも小さくなくてはなら
ず、さもないと結合が不十分なものになってしまう。こ
のような整合精度を得るために多くの場合、製作誤差を
補償することができるフーイルムアライメント系が設け
られている。

図示の実施例かられかるようにターンテーブル２６は、
互いに４５°の角度間隔をおいたつまり上に述べた座標
系において互いに位相角ａの角度間隔をおいた８つのセ
ークタから成っている。

これらの位置は、ターンテーブル表面２７の中心点０か
ら半径ｍに相当する距離をおいた所でターンテーブル２
６に穿孔された円形の孔２８によって具現されている。

第４図に示されているようにターンテーブル２６には中
心ピン２９が設けられており、この中心ピン２９はター
ンテーブルの下面から下方に向かって延びていて、アン
プフレーム３０に回転可能に取り付けられている。この
アンプフレーム３０自体は４つのコラム３１に取り付け
られている。この場合アンプフレーム３０とターンテー
ブル２６とから成るユニットは、溶接火口１５からのタ
ーンテーブル表面２７の距離を調節できるように鉛直方
向でシフト可能に構成されている。

ア”　ｌｌ　７　ｖ　−ム３０の上面３２にはテフロン
製のリング３３が装着されており、このリング３３には
、吸気導管として働く溝３４が設けられている。これら
の溝３４は一方では負千源（図示せず）とかつ他方では
選択的に孔２８と接続されている。中心−ン２９は周知
のマルタクロス機構３６の従動車であるマルタクロス３
５に固定されており、このマルタクロス機構３６はモー
タ３６ａによって駆動されて、ターンテーブル２６の間
欠的な運動を保証する。図示の実施例ではターンテーブ
ル２６は８つの異なった位置を占め、その運動は１）ボ
ン５の間欠的な送りと同期的に行われる。

まだアンプフレーム３０には割出しフィンガ３７が設け
られており、どの割出しフィンガ３７はターンテーブル
２６の８つの位置を固定するために、リング３３及びタ
ーンテーブル２６にそれぞれ穿孔された孔３８ａ　、３
８ｂに選択的に差し込まれる。ちなみにこれらの孔３８
ａ、３８ｂは第２図には示されていない。

（２１］） 割出しフィンガ３７はターンテーブル２６及びリボン５
の運動に同期してスラスト装置３９によって操作される
。

供給装置２５は吸引作用を行う供給アーム４０を有し、
この供給アーム４０は、水平面において第２図の矢印Ｆ
１の方向で可動のキャリッジ４７に取り付けられている
。供給アーム４．０は集積回路ＣＩを通路２５の出口か
らターンテーブル２６の供給装置に向かって１つずつ運
ぶために働く。この供給位置は第２図において符号Ｐ工
で示されている。また供給アーム４０には有利には、鉛
直軸線を中心にして回転可能に取り付けられかつ吸引作
業を行うヘッド４０ａが設けられている。このようにな
っているとターンテーブル２６への搬送過程中に各集積
回路ＣＩはその中心点を中心にして例えば９０°、１８
００又は２７０°だけ選択的に回動させられて配置され
得る。

ターンテーブル２６の運動方向（第２図の矢印Ｆ２参照
）で見て供給位置Ｐ０の後ろにはアライメント機構４２
が設けられており、このアラ・１メント機構４２はキャ
リッジ４４に増り付けられたアライメントアーム４３を
有し、キーヤリッジ４４は互いに直角な２つの方向（矢
印Ｆ３及びＦ４）に可動である。アラ・ｆメントアーム
４３の動きは、充電検出器４５とｆｔｉ制御回路４６と
キャリッジ４４に連結された駆動モータ（図示せず）と
を有する自動制御系によって制御される。図面かられか
るように供給位置Ｐ０とアライメント位置Ｐ２とは極座
標系の位相角ａの値に相当する角度間隔をおいて離れて
いる。

本発明によればターンテーブル２６に供給された際にお
ける各集積回路ＣＩの位置は、溶接位置Ｐ３へのつまり
溶接火口１５の下への角移動後に集積回路ＣＩが占める
べき位置に正確に対応していない。換言すれば先に述べ
た座標系において供給位置Ｐ０の半径は溶接位置Ｐ３の
半径ｍとは異なっており、また位相角は孔２８の間の角
度間隔によって規定された位相角の総数に相当していな
い。つまり第２図かられかるように供給位置Ｐ□は半径
ｍ　＋　ｍＸＦＣ相当しかつ位相角は３　ａ　−１−（
ａ　−ａＸ）に相当しており、この場合ｍｘ及びａｘは
極めて小さくかつ個個の集積回路において変化すること
がある。

とのような状態において、アライメントアーム４３を用
いてターンテーブル表面２７上で集積回路を摺動させる
だけで供給後に集積回路の位置を修正することができる
。

このためにアライメントアーム４３の端部には５字形の
切欠き４７が設けられており、この切欠き４７の縁部は
集積回路ＣＩの隣接した２つの縁部と接触するようにな
っている。正確なアラ・イメントを達成するためには、
充電検出器４５とこれに所属の調整系とを用いて実現さ
れる接続スタッドとの光学的なアライメントを集積回路
の側縁を利用して行う場合には、集積回路の製造時に生
じる可能性のある不正確さを考慮する必要がある。なお
付言すると充電検出器４５としてはスイス在の０ｉｐｏ
ｓａ　ｏｆ　Ｌｅ　Ｌａｎｄｅｒｏｎ社の製品で１ミニ
デモｊ　１０２−０６６２型の名で知られている光電検
出器が有利である。調整系は、正確な溶接位置から得ら
れた基準に関して各集積回路を適切な位置にもたらすよ
うになっている。図示の実施例ではこの位置は半径ｍと
６ａに相当する位相角を有している。従ってアライメン
トアーム４３は集積回路の中心がこれらの座標によって
規定された点に正確に合致するように配置する。このよ
うにして集積回路ＣＩはターンテーブル２６の３ステツ
プ後にぴったりと溶接火口１５と整合させられる。

上に述べた装置の作業サイクルは以下のように行われる
： 集積回路ＣＩは、先に述べた座標をもつ供給位置Ｐ□に
順次送られる。集積回路ＣＩは吸引作用によってターン
テーブル２６に保持される。

この作業中に先に供給された集積回路ＣＩは、光電検出
器４５と制御回路４６とキャリッジ４４の駆動モータと
を有する調整系及びアライメントアーム４３によって所
定位置にもたらされる。同時に、既に溶接位ｔＰ３に搬
送された集積回路Ｃ■は、ちょうど溶接火口１５の下に
位置している回路ユニットＵＣと溶接される。

この作業サイクルが終了するとリボン及びターンテーブ
ル２６は１ステツプ前進させられ、６つの異なった作業
がターンテーブル２６上の３つの乗積回路において同時
に繰り返される。

以上述べたことかられかるよう１で本発明による作業サ
イクルは、３つの作業が溶接位置において順次行われね
ばならない従来の装置における作業サイクルに比べて著
しく短縮されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による方法を実施する装置全体を示す斜
視図、第２図は本発明にとって重要な装置部分を示す平
面図、第６図は第１図に示された装置において用いられ
るターンテーブルとその駆動機構とを示す平面図、第４
図は第６図のＩＶ−ＩＶ線に沿った拡大断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、リボン（５）に沿つて長手方向に１列に配置された
   回路ユニット（ＵＣ）と集積回路（ＣＩ）とを、リボン
   （５）に配置された各回路ユニット（ＵＣ）の端子（Ｂ
   ）と集積回路（ＣＩ）のスタッドとの熱圧溶接又はろう
   接によつて組み立てる方法であつて、 リボン（５）における回路ユニット（ＵＣ）と各集積回
   路（ＣＩ）との正確なアライメントの後で組立てを行う
   溶接位置（Ｐ＿３）を通してリボン（５）を間欠的に前
   進させ、 溶接位置（Ｐ＿３）に回転可能に取り付けられていて、
   間欠的に角移動可能な、集積回路（ＣＩ）を支持するタ
   ーンテーブル（２６）を用いて、別個の集積回路（ＣＩ
   ）において少なくとも供給作業とアライメント作業と溶
   接作業とを同時に行い、 ターンテーブル（２６）に載つている集積回路（ＣＩ）
   を、ターンテーブル（２６）に関して形成された極座標
   系によつて規定された正確な溶接位置（Ｐ＿３）に配置
   させ、この場合集積回路（ＣＩ）が極座標系における位
   相角（ａ）に相当するターンテーブル（２６）の各ステ
   ップによつて、極座標系の極軸における所定の半径（ｍ
   ）の点に位置しており、 位相角（ａ）の総数及び（又は）半径（ｍ）からわずか
   にずれた座標をもつターンテーブル（２６）上の供給位
   置（Ｐ＿１）に、集積回路（ＣＩ）を１つずつ置くこと
   で集積回路（ＣＩ）の供給を行い、 位相角（ａ）の総数によつて溶接位置（Ｐ＿３）に対し
   てかつ半径（ｍ）に相当する距離によつてターンテーブ
   ル中心に対して正確にずらされたアライメント位置（Ｐ
   ＿２）に、ターンテーブル（２６）に対して平行な平面
   において集積回路（ＣＩ）のアライメントを行うことを
   特徴とする、集積回路を回路ユニットに接続して組立て
   る方法。 ２、アライメント作業中に集積回路スタッドの１つを、
   正確なアライメント位置（Ｐ＿２）から求められた基準
   によつて光学的に規定された位置にもたらし、この場合
   集積回路（ＣＩ）を、前記基準に対する半径及び位相角
   におけるアライメント誤差がなくなるまで摺動させる、
   特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、溶接位置（Ｐ＿３）における溶接過程中に集積回路
   （ＣＩ）が占めるべき位置に集積回路の位置を適合させ
   るために、供給作業中に各集積回路（ＣＩ）をその大き
   な面及びターンテーブル表面（２１）に対して平行な平
   面において回転させる、特許請求の範囲第１項記載の方
   法。 ４、集積回路（ＣＩ）を回路ユニット（ＵＣ）に接続し
   て組み立てる装置であつて、 熱圧溶接又はろう接を行うための溶接位置（Ｐ＿３）と
   、該溶接位置において回路ユニット（ＵＣ）を支承する
   リボン（５）を間欠的に前進させる手段と、溶接位置（
   Ｐ＿３）において集積回路（ＣＩ）を１つずつ対応する
   各回路ユニット（ＵＣ）に対して垂直に導入する供給装
   置（２１）と、各溶接作業に先行して集積回路（ＣＩ）
   のスタッドを回路ユニット（ＵＣ）の接続端子（Ｂ）と
   整合させるアライメント機構（４２）と、溶接位置（Ｐ
   ＿３）に対して垂直に配置された軸に回転可能に取り付
   けられたターンテーブル（２６）と、該ターンテーブル
   をリボン（５）の運動と同期させて間欠的に駆動させる
   駆動手段とを有しており、 ターンテーブル（２６）が、該ターンテーブルの運動中
   に溶接工具に対して垂直に順次通過しかつ同一円周上に
   角度間隔をおいて配置された同数の作業位置に対応する
   少なくとも５つの位置を有しており、ターンテーブル（
   ２６）の順次行われるステップの間にこれらの位置にお
   いて供給装置（２１）、アライメント機構（４２）及び
   、溶接工具がそれぞれかつ同時に働き、 供給装置（２１）が、溶接工具の下において集積回路（
   ＣＩ）が占めるべき位置に対してずれた角度及び半径方
   向距離を備えたターンテーブル（２６）の相応な位置に
   各集積回路（ＣＩ）を供給するのに適した供給アーム（
   ４０）を有しており、 アライメント機構（４２）が、供給時における集積回路
   （ＣＩ）の角度及び半径方向におけるずれを正確な位置
   への集積回路（ＣＩ）の摺動によつて修整しひいては集
   積回路（ＣＩ）を溶接工具の下に正確に導くために、タ
   ーンテーブル表面（２７）に対して平行な平面において
   移動可能なアライメントアーム（４３）を有している ことを特徴とする、集積回路を回路ユニットに接続して
   組み立てる装置。 ５、アライメントアーム（４３）がその端部に、アライ
   メント過程中に集積回路（ＣＩ）の隣接した２つの側縁
   に接触する縁部を備えたＬ字形の切欠き（４７）を有し
   ている、特許請求の範囲第４項記載の装置。 ６、アライメント機構（４２）がアライメントアーム（
   ４３）の位置を調整する調整系を有し、該調整系が、集
   積回路（ＣＩ）のスタッドの位置を検出する光電検出器
   （４５）と、集積回路（ＣＩ）の正確な溶接位置に対す
   る集積回路スタッドの角度及び半径方向におけるずれに
   基づいてアライメントアーム（４３）の運動を制御する
   制御回路（４６）とを有している、特許請求の範囲第４
   項記載の装置。