JPS61211355A - 架橋方法 - Google Patents
架橋方法Info
- Publication number
- JPS61211355A JPS61211355A JP60052384A JP5238485A JPS61211355A JP S61211355 A JPS61211355 A JP S61211355A JP 60052384 A JP60052384 A JP 60052384A JP 5238485 A JP5238485 A JP 5238485A JP S61211355 A JPS61211355 A JP S61211355A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer
- rays
- compsn
- resin composition
- reactive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は紫外線、Ｘ−線、γ−線などの照射により架橋
反応し、不溶化する反応性の樹脂組成物に関する。
反応し、不溶化する反応性の樹脂組成物に関する。
レジストなどの用途に反応性の樹脂組成物が用いられて
おり、アクリル酸系の重合体、メタアクリル酸系の重合
体、フェノール系の重合体、スチレン系の重合体などか
らなる樹脂組成物が広（半導体ディバイス製造など疋用
いられている。
おり、アクリル酸系の重合体、メタアクリル酸系の重合
体、フェノール系の重合体、スチレン系の重合体などか
らなる樹脂組成物が広（半導体ディバイス製造など疋用
いられている。
°半導体ディバイスの高集積化など反応性樹脂組成物に
対する高感度化、高解像力化などの改良が望まれている
。
対する高感度化、高解像力化などの改良が望まれている
。
本発明者らは、上記課題、特に高感度化について鋭意検
討し、特定の重合体と特定の化合物からなる樹脂組成物
の反応性が極めて高いことを見い出し、本発明を完成し
た。
討し、特定の重合体と特定の化合物からなる樹脂組成物
の反応性が極めて高いことを見い出し、本発明を完成し
た。
で表わされる単量体単位の全重合体中の単量体単位に対
する比が０．０２以上であるイソプロペニル基含有重合
体とノ・ロゲン化炭化水素からなる反応性樹脂組成物で
ある。
する比が０．０２以上であるイソプロペニル基含有重合
体とノ・ロゲン化炭化水素からなる反応性樹脂組成物で
ある。
本発明の樹脂組成物を構成するインプロペニル基含有重
合体の一般式 で表わされる単量体単位の以外の単量体単位としては、
特に制限はないが、好ましくは、芳香族単量体単位、即
ち、スチレン、α−メチルスチレンの誘導体などであり
、 メチルスチレン、クロロスチレン、メトキシスチレン、
シアノスチレンなどの環置換スチレン誘導体及びそれら
のα位がメチル基置換されたα−′ メチルスチレン誘
導体が挙げられる。
合体の一般式 で表わされる単量体単位の以外の単量体単位としては、
特に制限はないが、好ましくは、芳香族単量体単位、即
ち、スチレン、α−メチルスチレンの誘導体などであり
、 メチルスチレン、クロロスチレン、メトキシスチレン、
シアノスチレンなどの環置換スチレン誘導体及びそれら
のα位がメチル基置換されたα−′ メチルスチレン誘
導体が挙げられる。
又、上記インプロペニル基含有重合体の分子量としては
、組成物の成膜性、反応性などから、３０℃トルエン溶
液で測定した極限粘度数として、０．０５以上、好まし
くは０．１〜２．０である。
、組成物の成膜性、反応性などから、３０℃トルエン溶
液で測定した極限粘度数として、０．０５以上、好まし
くは０．１〜２．０である。
本発明の反応性樹脂組成物を構成するハロゲン化炭化水
素としては、どのようなものであっても使用可能である
が、取り扱いやすさの点から比較的高沸点のものが好ま
しく、用いられる。具体的には、テトラクロルエタン、
ヘキサクロルエタン、） ＩＪ ／ロルプロパン、α−
クロロトルエン、α、α−ジクロルトルエン、α、α、
α−トリクロロトルエンなどの塩素化炭素水素化合物、
四臭化炭素、四臭化エタン、ヘキサブロムエタン、トリ
ブロムプロパン、α−ブロムトルエン、α、α−シフロ
ムトルエン、α、α、α−トリブロムトルエンなどの臭
素化炭化水素化合物、ヨウ化エチレン、ヨウ化エチリデ
ン、ショートエチレン、ショートプロパン、ヨウ化ベン
ゼン、ジヨウ化ベンゼンなどのヨウ素化炭化水素化合物
が挙げられる。
素としては、どのようなものであっても使用可能である
が、取り扱いやすさの点から比較的高沸点のものが好ま
しく、用いられる。具体的には、テトラクロルエタン、
ヘキサクロルエタン、） ＩＪ ／ロルプロパン、α−
クロロトルエン、α、α−ジクロルトルエン、α、α、
α−トリクロロトルエンなどの塩素化炭素水素化合物、
四臭化炭素、四臭化エタン、ヘキサブロムエタン、トリ
ブロムプロパン、α−ブロムトルエン、α、α−シフロ
ムトルエン、α、α、α−トリブロムトルエンなどの臭
素化炭化水素化合物、ヨウ化エチレン、ヨウ化エチリデ
ン、ショートエチレン、ショートプロパン、ヨウ化ベン
ゼン、ジヨウ化ベンゼンなどのヨウ素化炭化水素化合物
が挙げられる。
本発明の組成物を構成するインプロペニル基含有重合体
の製造法としては、簡便には、ジイソプロペニルベンゼ
ンと他の重合性単量体、例えば上述のスチレン及びα→
メチルスチレンの誘導体をジイソプロペニルベンゼン単
位が０．０２以上となるように共重合することによって
得られ、例えばラジカル共重合、アニオン共重合、カチ
オン共重合することでインプロペニル基含有重合体を得
ることができる。例えばジイソプロペニルベンゼンとス
チレンの共重合体は、ジイソプロペニルベンゼンの含量
（インプロペニル基含有単量単位の比）が０．４程度ま
での重合体はラジカル重合で製造可能であり、又ジイソ
プロペニルベンゼンとα−メチルスチレンの共重合は、
ジイソプロペニルベンゼンの含量が０．３程度まではブ
チルリチウムなどのアニオン重合開始剤を用いて重合す
ることができる。
の製造法としては、簡便には、ジイソプロペニルベンゼ
ンと他の重合性単量体、例えば上述のスチレン及びα→
メチルスチレンの誘導体をジイソプロペニルベンゼン単
位が０．０２以上となるように共重合することによって
得られ、例えばラジカル共重合、アニオン共重合、カチ
オン共重合することでインプロペニル基含有重合体を得
ることができる。例えばジイソプロペニルベンゼンとス
チレンの共重合体は、ジイソプロペニルベンゼンの含量
（インプロペニル基含有単量単位の比）が０．４程度ま
での重合体はラジカル重合で製造可能であり、又ジイソ
プロペニルベンゼンとα−メチルスチレンの共重合は、
ジイソプロペニルベンゼンの含量が０．３程度まではブ
チルリチウムなどのアニオン重合開始剤を用いて重合す
ることができる。
さらに高ジイソプロペニルベンゼン含量の重合体を得る
方法としては、例えば特開昭５９−２０７９０５号にそ
の例が知られている。
方法としては、例えば特開昭５９−２０７９０５号にそ
の例が知られている。
本発明の組成物は、上記インプロペニル基含有上
重合体とハロゲン化炭化水素の混合することで得られる
、比較的均一の組成物を得るための両者を比較的低沸点
の媒体に溶解し、次いで低沸点の媒体を蒸発除去する方
法を採用することもできる。あるいは場合によっては、
媒体に溶解したものを反応性樹脂組成物溶液とし、所望
の用途に供することもできる。
、比較的均一の組成物を得るための両者を比較的低沸点
の媒体に溶解し、次いで低沸点の媒体を蒸発除去する方
法を採用することもできる。あるいは場合によっては、
媒体に溶解したものを反応性樹脂組成物溶液とし、所望
の用途に供することもできる。
本発明の組成物は、紫外線、Ｘ線、γ線あるいは電子線
を照射することで架橋反応を起し、溶剤に不溶となるた
め、例えばレジスト用に供することが可能である。
を照射することで架橋反応を起し、溶剤に不溶となるた
め、例えばレジスト用に供することが可能である。
本発明の組成物は、紫外線、Ｘ線、γ線あるいは電子線
などの照射に対して極めて高感度で反応するため、反応
性の組成物として極めて有用であり、工業的に価値があ
る。
などの照射に対して極めて高感度で反応するため、反応
性の組成物として極めて有用であり、工業的に価値があ
る。
以下、実施例を挙げ、本発明をさらに説明する。
実施例１
２００−の丸底フラスコに、トルエン８０−、スチレン
５６−、ジインプロペニルベンゼン（ｍ−ジイソプロペ
ニルベンゼンが９４ｗｔ％、残りはインプロミル−α−
メチルスチレン）２４−およびアゾビスイソブチロニト
リル０．４９を入れ、７０℃で８時間重合し、トルエン
不溶分をろ別した後、１１のメタノール中に投じてポリ
マーを析出させた。収量は１８．４７であり、３０℃ト
ルエン溶液の極限粘度は０．３４であった。またプロト
ンＮＭＲにより測定したインプロペニル基含有単位の割
合は０．２８であった。
５６−、ジインプロペニルベンゼン（ｍ−ジイソプロペ
ニルベンゼンが９４ｗｔ％、残りはインプロミル−α−
メチルスチレン）２４−およびアゾビスイソブチロニト
リル０．４９を入れ、７０℃で８時間重合し、トルエン
不溶分をろ別した後、１１のメタノール中に投じてポリ
マーを析出させた。収量は１８．４７であり、３０℃ト
ルエン溶液の極限粘度は０．３４であった。またプロト
ンＮＭＲにより測定したインプロペニル基含有単位の割
合は０．２８であった。
こうして得られた共重合体１ｇに対し四臭化炭素５０■
を１０−のクロロホルム中で溶解混合し、ガラス板上に
厚さ約２０μｍになるように塗布し、乾燥した後、１ｍ
ｍ間隔のスリット状のアルミ板をおいて３００Ｗ高圧水
銀灯で２０ｃｒｒＬの位置より光照射した。１時間後ク
ロロホルムで処理したところ光が照射された部分はまっ
たく溶解しなかった。
を１０−のクロロホルム中で溶解混合し、ガラス板上に
厚さ約２０μｍになるように塗布し、乾燥した後、１ｍ
ｍ間隔のスリット状のアルミ板をおいて３００Ｗ高圧水
銀灯で２０ｃｒｒＬの位置より光照射した。１時間後ク
ロロホルムで処理したところ光が照射された部分はまっ
たく溶解しなかった。
比較例１
ジイソプロペニルベンゼンの量を帆８−、スチレンを８
０１ｔとした他は実施例１と同様にして、インプロペニ
ル基含有単位０．０１の重合体を２６．５２得た。極限
粘度数は０．４８であった。
０１ｔとした他は実施例１と同様にして、インプロペニ
ル基含有単位０．０１の重合体を２６．５２得た。極限
粘度数は０．４８であった。
この重合体を用い実施例１と同様に四臭化炭素と混合し
光照射テストを実施したが５時間の光照射でもクロロホ
ルムに溶解した。
光照射テストを実施したが５時間の光照射でもクロロホ
ルムに溶解した。
実施例２
スチレン７０ｍ、ジイソプロペニルベンゼン１〇−およ
びアゾビスイソブチロニトリル０．３ ｇとした他は実
施例１と同様にして、インプロペニル基含有単位０．１
３、極限粘度数０．６１の重合体１９．６７を得た。
びアゾビスイソブチロニトリル０．３ ｇとした他は実
施例１と同様にして、インプロペニル基含有単位０．１
３、極限粘度数０．６１の重合体１９．６７を得た。
この重合体を用い実施例１と同様に四臭化炭素と混合し
、光照射テストを実施したところ、光照射された部分は
クロロホルムに不溶となった。
、光照射テストを実施したところ、光照射された部分は
クロロホルムに不溶となった。
実施例３
四臭化炭素に代えてヘキサブロモエタンを用いた他は実
施例１と同様にした。光照射された部分ハクロロホルム
に不溶となった。
施例１と同様にした。光照射された部分ハクロロホルム
に不溶となった。
実施例４
２００−の丸底フラスコにトルエン３０−１α−メチル
スチレン２７−、ジイソプロペニルベンゼン３ｄおよび
ジグライム１−を入れ、−５℃でブチルリチウム（１０
ｗｔ％ヘキサン溶液）１．２−を入れ、−５℃で２時間
重合した後、１−のメタノールで失活し、ろ過したのち
１１のメタノール中に投じて、重合体を析出させた。
スチレン２７−、ジイソプロペニルベンゼン３ｄおよび
ジグライム１−を入れ、−５℃でブチルリチウム（１０
ｗｔ％ヘキサン溶液）１．２−を入れ、−５℃で２時間
重合した後、１−のメタノールで失活し、ろ過したのち
１１のメタノール中に投じて、重合体を析出させた。
この重合体を用いて実施例１と同様に四臭化炭素と混合
して光照射テストを実施したところ、光照射部は不溶化
した。
して光照射テストを実施したところ、光照射部は不溶化
した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ で表わされる単量体単位の全重量体中の単量体単位に対
する比が０．０２以上であるイソプロペニル基含有重合
体とハロゲン化炭化水素からなる反応性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60052384A JPH063547B2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 架橋方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60052384A JPH063547B2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 架橋方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61211355A true JPS61211355A (ja) | 1986-09-19 |
| JPH063547B2 JPH063547B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=12913310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60052384A Expired - Lifetime JPH063547B2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 架橋方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063547B2 (ja) |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP60052384A patent/JPH063547B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063547B2 (ja) | 1994-01-12 |
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