JPS6121182A - 螢光体およびその製造法 - Google Patents

螢光体およびその製造法

Info

Publication number
JPS6121182A
JPS6121182A JP14148984A JP14148984A JPS6121182A JP S6121182 A JPS6121182 A JP S6121182A JP 14148984 A JP14148984 A JP 14148984A JP 14148984 A JP14148984 A JP 14148984A JP S6121182 A JPS6121182 A JP S6121182A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor
compositional formula
rare earth
range
cerium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP14148984A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0475950B2 (ja
Inventor
Takashi Nakamura
隆 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP14148984A priority Critical patent/JPS6121182A/ja
Publication of JPS6121182A publication Critical patent/JPS6121182A/ja
Priority to US07/119,202 priority patent/US4835398A/en
Publication of JPH0475950B2 publication Critical patent/JPH0475950B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
  • Luminescent Compositions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の分野] 本発明は、蛍光体およびその製造法に関するものである
。さらに詳しくは、本発明は、セリウムにより賦活され
ている希土類ハロゲン化物系蛍光体およびその製造法に
関するものである。
[発明の技術的背景] セリウムで賦活したハロゲン化物系蛍光体の一種として
、従来よりセリウム賦活希土類オキシハロゲン化物蛍光
体(LnOX:Ce、ただしLnはY、La、Gdおよ
びLuからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類
元素であり;XはClおよびBrからなる群より選ばれ
る少なくとも一種のハロゲンである)が知られている。
たとえば特開昭55−12144号公報に開示されてい
るようK、この蛍光体はX線、電子線および紫外線など
の放射線で励起したのち可視乃至赤外領域の電磁波で励
起すると近紫外発光(輝尽発光)を示し、放射線像変換
方法に用いられる輝尽性蛍光体として有用であることが
見出されている。
[発明の要旨] 本発明は、−1−記セリウム賦活希土類オキシハロゲン
化物蛍光体とは異なる新規なセリウム賦活希土類ハロゲ
ン化物系蛍光体およびその製造法を提供することを目的
とするものである。
発明の蛍光体は、組成式(I): L n X 3 ++ a M ” X ’ : x 
Ce 3+(I )(ただし、LnはY、La、Gdお
よびLuからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土
類元素であり;MIIはLi、Na、K、CsおよびR
bからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金
属であり;XおよびXoはそれぞれCKL、Brおよび
■からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンで
あり;そしてaはO< a≦10.0の範囲の数値であ
り、XはO<x≦0.2の範囲の数値である) で表わされるセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光体
である。
また、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光
体の製造法は、化学量論的に 組成式(II): L nX3  a  aM ” X’:xCe    
  (II)(ただし、LnはY、La、GdおよびL
uからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素
であり;MIIはLi、Na、K、CsおよびRbから
なる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であ
り;XおよびXoはそれぞれCI、BrおよびIからな
る群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり;そ
してaは0<a≦10,0の範囲の数値であり、Xは0
<x≦0.2の範囲の数値である) に対応する相対比となるように蛍光体原料混合物を調製
したのち、この混合物を弱還元性雰囲気中で500乃至
1300℃の範囲の温度で焼成することを特徴とする。
組成式(I)で表わされる本発明のセリウム賦活希土類
ハロゲン化物系蛍光体は、X線、紫外線、電子線などの
放射線を照射した後、500〜850nmの波長領域の
電磁波で励起すると近紫外乃至青色領域に輝尽発光を示
す。
また、組成式(I)で表わされる本発明のセリウム賦活
希土類ハロゲン化物系蛍光体は、X線、紫外線、電子線
などの放射線を照射して励起する場合にも近紫外乃至青
色領域に発光(瞬時発光)を示す。
[発明の構成] 本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光体は、
たとえば、以下に記載するような製造法により製造する
ことができる。
まず、蛍光体原料として、 1)YCJL3、YB r3、YI3、LaCu3、L
aBr3、LaI3、G d CJl 3、GdBr3
、Gdl3、LuCu3.LuBr3およびLul3か
らなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素ハロ
ゲン化物、 2)LiCJl、LiBr、LiI、NaCu、NaB
r、NaI、KCu、KBr、KI、CsCl、CsB
r、CsI、RbCl、RbBrおよびRbIからなる
群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属ハロゲン
(l、3)ハロゲン化物、酸化物、硝酸塩、硫酸塩など
のセリウムの化合物からなる群より選ばれる少なくとも
一種の化合物、 を用意する。場合によっては、さらにハロゲン化アンモ
ニウム(NH4x″;ただし、X”はCl、Brまたは
Iである)などをフラックスとして使用してもよい。
蛍光体の製造に際しては、上記l)の希土類元素ハロゲ
ン化物、2)のアルカリ金属ハロゲン化物および3)の
セリウム化合物を用いて、化学量論的K、組成式(II
): L nX3 m aM IX’:xCe    (II
)(ただし、LnはY、La、GdおよびLuからなる
群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり;M
IIはLi、Na、K、CsおよびRbからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり;Xおよ
びXoはそれぞれCI、BrおよびIからなる群より選
ばれる少なくとも一種のハロゲンであり;そしてaは0
<a≦10.0の範囲の数値であり、XはO<x≦0.
2の範囲の数値である) に対応する相対比となるように秤量混合して、蛍光体原
料の混合物を調製する。
本発明の蛍光体の製造法において、輝尽発光輝度並びに
瞬時発光輝度の点から、組成式(II)において希土類
元素を表わすLnはYおよびLaのうちの少なくとも一
種であるのが好ましく、アルカリ金属を表わすMIIは
CsおよびRbのうちの少なくとも一種であるのが好ま
しい。また、ハロゲンを表わすXおよびXoはそれぞれ
ClおよびBrのいずれかであるのが好ましく、XとX
oは異なるのが好ましい。アルカリ金属ハロゲン化物の
含有量を表わすa値は0.1≦a≦2.0の範囲にある
のが好ましく、特に好ましくは0.2≦a≦1.0の範
囲である。同じく輝尽発光輝度並びに瞬時発光輝度の点
から、組成式(If)においてセリウムの賦活量を表わ
すX値は10−’≦X≦10”の範囲にあるのが好まし
い。
蛍光体原料混合物の調製は、 i)上記1)、2)および3)の蛍光体原料を単に混合
することによって行なってもよく、あるいは、 ii)まず、上記1)および2)の蛍光体原料を混合し
、この混合物を100″C以上の温度で数時間加熱した
のち、得られた熱処理物に上記3)の蛍光体原料を混合
することによって行なってもよいし、あるいは、 1ii)  まず、上記1)および2)の蛍光体原料を
溶液の状態で混合し、この溶液を加温下(好ましくは5
0〜200°C)で減圧乾燥、真空乾燥、噴霧乾燥など
により乾燥し、しかるのち得られた乾燥物に上記3)の
蛍光体原料を混合することによって行なってもよい。
なお、上記ii)の方法の変法として、上記l)、2)
および3)の蛍光体原料を混合し、得られた混合物に上
記熱処理を施す方法を利用してもよい。また、上記1i
i)の方法の変法として、上記1)、2)および3)の
蛍光体原料を溶液の状態で混合し、この溶液を乾燥する
方法を利用してもよい。
上記l)、11)、および1ii)のいずれの方法にお
いても、混合には、各種ミキサー、V型ブレンダー、ボ
ールミル、ロッドミルなどの通常の混合機が用いられる
次K、上記のようにして得られた蛍光体原料混合物を石
英ポート、アルミナルツボ、石英ルツボなどの耐熱性容
器に充填し、電気炉中で焼成を行なう。焼成温度は50
0〜1300℃の範囲が適当であり、好ましくは700
〜1000℃の範囲である。焼成時間は蛍光体原料混合
物の充填量および焼成温度などによっても異なるが、一
般には0.5〜6時間が適当である。焼成雰囲気として
は、少量の水素ガスを含有する窒素ガス雰囲気、あるい
は、−酸化炭素を含有する二酸化炭素雰囲気などの弱還
元性の雰囲気を利用する。一般に上記2)の蛍光体原料
として、セリウムの価数が四価のセリウム化合物が用い
られるが、その場合には焼成過程において、上記弱還元
性の雰囲気によって四価のセリウムは三価のセリウムに
還元される。
上記焼成によって粉末状の本発明の蛍光体が得られる。
なお、得られた粉末状の蛍光体については、必要に応じ
て、さらK、洗節、乾燥、ふるい分けなどの蛍光体の製
造における各種の一般的な操作を行なってもよい。
以上に説明した製造法によって製造されるセリウム賦活
希土類ハロゲン化物系蛍光体は、組成式(): %式%() (ただし、LnはY、La、GdおよびLuからなる群
より選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり、 y
l 1はLi、Na、K、CsおよびRbからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり;Xお
よびX゛はそれぞれCl、Brおよび■からなる群より
選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり;そしてaは
0<a≦10.0の範囲の数値であり、Xは0<x≦0
.2の範囲の数値である) で表わされるものである。
本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光体はX
線、紫外線、電子線などの放射線で励起すると近紫外乃
至青色領域(発光のピーク波長:約360〜380nm
)に瞬時発光を示す。
第1図は、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系
蛍光体の瞬時発光スペクトルおよびその励起スペクトル
を例示するものである。第1図において曲線1〜4はそ
れぞれ、 1 : L a B r 3 * Cs C41:0.
001Ce 3+蛍光体の発光スペクトル 2:LaBr5sCsCJl:0.001Ce′蛍光体
の励起スペクトル 3 : L a Cl 3 ・Cs B r :0.0
01Ce ”蛍光体の発光スペクトル 4:LaCJ13 ecsBr:0.001Ce3+蛍
光体の励起スペクトル である。
第1図から、本発明の蛍光体は紫外線励起下において近
紫外乃至青色領域に瞬時発光を示すことが明らかである
。また、その発光スペクトルのビーク波長はL a B
 r 3 * Cs Cn :0.001Ce ′につ
いては365 n m テあり、LaCl3・CsB 
r :0.001Ce ”については375nmである
以上二種類の蛍光体を例にとって、本発明のセリウム賦
活希土類ハロゲン化物系蛍光体の紫外線励起の場合の瞬
時発光スペクトルおよびその励起スペクトルを説明した
が、本発明のその他の蛍光体についてもその発光スペク
トルおよび励起スペクトルは、上述と同様の傾向を示す
ことが確認されている。また、本発明の蛍光体のX線お
よび電子線励起の場合の瞬時発光スペクトルは、第1図
または第2図に示される紫外線励起の場合の瞬時発光ス
ペクトルとほぼ同様であることも確認されている。
また、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光
体はX線、紫外線、電子線などの放射線を照射したのち
、500〜850nmの可視乃至赤外領域の電磁波で励
起すると近紫外乃至青色領域に輝尽発光を示す。
第2図は、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系
蛍光体の具体例であるLaBr3拳CsCl :O,0
OICe 3+蛍光体の輝尽励起スペクトルである。
第2図から、本発明の蛍光体は放射線照射後500〜8
50nmの波長領域の電磁波で励起すると輝尽発光を示
すことが明らかである。
なお、上記本発明の蛍光体の輝尽発光スペクトルは、瞬
時発光スペクトル(第1図の曲線1)に一致する。
以上、LaBr3 *CsCu:O,0OICe3+蛍
光体の場合を例にとって、本発明のセリウム賦活希土類
ハロゲン化物系蛍光体の輝尽励起スペクトルおよびその
輝尽発光スペクトルを説明したが、本発明のその他の蛍
光体についてもその輝尽励起スペクトルおよびその輝尽
発光スペクトルは上述とほぼ同様であることが確認され
ている。
第3図は、本発明c7)LaBr3 e acscl:
0.001Ce ′蛍光体におけるa値と輝尽発光強度
[80KV pのX線を照射したのち、He−Neレー
ザー光(632,8nm)で励起した時の輝尽発光強度
]との関係を示すグラフである。
第3図から明らかなようK、a値が0<a≦10.0の
範囲にある本発明のLaBr3・CsCn :0.00
1Ce 3+蛍光体のうちでも、a値が0゜1≦a≦2
.0の範囲にある蛍光体は高輝度の輝尽発光を示す。
なお、」−記蛍光体についてのa値と瞬時発光強度との
関係も第3図と同じような関係にある。さらK、LaB
r3 *CsCl:0.0OICe3′)蛍光体以外の
本発明の蛍光体についても、a値と輝尽発光強度および
瞬時発光強度それぞれとの関係は第3図と同じような傾
向にあることが確認されている。
以上に説明した発光特性から、本発明の蛍光体は、特に
医療診断を目的とするX線撮影等の医療用放射線撮影お
よび物質の、非破壊検査を目的とする工業用放射線撮影
などにおいて使用される輝尽性蛍光体利用の放射線像変
換方法に用いられる放射線像変換パネル用の蛍光体とし
て、あるいは同じく医療診断および非破壊検査等を目的
とする放射線撮影に利用される放射線写真法に用いられ
る放射線増感スクリーン用の蛍光体として非常に有用で
ある。
次に本発明の実施例を記載する。ただし、これらの各実
施例は本発明を限定するものではない。
[実施例1] 臭化ランタン(LaBr3)378.9g、塩化セシウ
ム(CsCJl)168.4gおよび酸化セリウム(C
eO2)0.172gを蒸留水(H20) 800 m
 lに添加し、混合して水溶液とした。この水溶液を6
0℃で3時間減圧乾燥した後、さらに150℃で3時間
の真空乾燥を行なった・ 次K、得られた蛍光体原料混合物をアルミナルツボに充
填し、これを高温電気炉に入れて焼成を行なった。焼成
は、−酸化炭素を含む二酸化炭素雰囲気中にて900℃
の温度で2時間かけて行なった。焼成が完了したのち焼
成物を炉外に取り出して冷却した。このようにして、粉
末状のセリウム賦活臭化ランタン系蛍光体(LaBr3
・CsCl :0.001Ce 3+)を得た。
[実施例2] 実施例1において、臭化ランタンおよび塩化セシウムの
代りにそれぞれ、塩化ランタン(LaC交3)245.
3gおよび臭化セシウム(CsBr)213.0gを用
いること以外は、実施例1の方法と同様の操作を行なう
ことにより、粉末状のセリウム賦活塩化ランタン系蛍光
体(LaCl 3 * Cs B r :0.001C
e3+)を得た。
[実施例3] 実施例1において、臭化ランタンおよび塩化セシウムの
代りにそれぞれ、臭化イツトリウム(YBr3)328
.9gおよび塩化リチウム(LiC立)42.4gを用
いること以外は、実施例1の方法と同様の操作を行なう
ことにより、粉末状のセリウム賦活臭化イツトリウム系
蛍光体(YB r 3 e L i Cl :0.00
1Ce3+)を得た。
次K、実施例1および2で得られた各蛍光体を紫外線で
励起した時の発光スペクトルおよびその励起スペクトル
を測定した。その結果を第1図に示す。
上述のように第1図において曲線1〜4はそれぞれ、 1 : L a B r 3 * Cs Cl :0.
001Ce ”蛍光体(実施例1)の発光スペクトル 2 : LaB r3 @ C5cJ1:O,0OIC
e3+蛍光体(実施例1)の励起スペクトル 3 : L a Cl 3 * Cs B r :0.
0OICe 3+蛍光体(実施例2)の発光スペクトル 4 : L a Cl 3 m Cs B r :0.
001Ce 3+蛍光体(実施例2)の励起スペクトル を示す。
また、実施例1で得られたLaBr3・C3C41:0
.001Ce 3+蛍光体に管電圧80KVpのX線を
照射した後500〜850nmの波長領域の光で励起し
た時の、輝尽売先のピーク波長(365nm)における
輝尽励起スペクトルを測定した。その結果を第2図に示
す。
さらK、実施例1〜3で得られた各蛍光体に管電圧80
KVpのX線を照射した後He−Neレーザー(波長:
632.8nm)で励起した時の輝尽発光強度を測定し
た。その結果を第1表に示す。
第1表 相対輝尽発光強度 実施例1        100 実施例2        95 実施例3        50 [実施例4] 実施例1において、塩化セシウムの量を臭化ランタン1
モルに対して0〜10.0モルの範囲で変化させること
以外は、実施例1の方法と同様の操作を行なうことによ
り、塩化セシウムの含有量の異なる各種のセリウム賦活
臭化ランタン系蛍光体(LaBr3 e acscJl
:0.001Ce3′))を得た。
次K、実施例4で得られた各蛍光体に管電圧80KVP
のX線を照射した後He−Neレーザー(波長:632
.8nm)で励起した時の輝尽発光強度を測定した。そ
の結果を第3図に示す。
第3図は、L a B r 3 @ a Cs Cl 
:0.001Ce3+蛍光体における塩化セシウムの含
有量(a値)と輝尽発光強度との関係を示すグラフであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系
蛍光体の具体例であるLaBr3・C8CJl :0.
001Ce ”蛍光体およびLaCu3*CsB r 
:0.001Ce ”蛍光体の瞬時発光スペクトルおよ
びその励起スペクトル(それぞれ曲線l、2.3および
4)を示す図である 第2図は、本発明のセリウム賦活希土類/%ロゲン化物
系蛍光体の具体例であるLaBr3・CsCl :0.
001Ce″蛍光体の輝尽励起スペクトルを示す図であ
る。 第3図は、本発明のセリウム賦活希土類ハロゲン化物系
蛍光体の具体例であるLaB r3・aCs Cl :
0.001Ce 3+蛍光体におけるa値と輝尽発光強
度との関係を示すグラフである。

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.組成式(I): LnX_3・aM^IIX’:xCe^3^+(I)(た
    だし、LnはY、La、GdおよびLuからなる群より
    選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり;M^IIは
    Li、Na、K、CsおよびRbからなる群より選ばれ
    る少なくとも一種のアルカリ金属であり;XおよびX’
    はそれぞれCl、BrおよびIからなる群より選ばれる
    少なくとも一種のハロゲンであり:そしてaは0<a≦
    10.0の範囲の数値であり、xは0<x≦0.2の範
    囲の数値である) で表わされるセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光体
  2. 2.組成式(I)におけるaが0.1≦a≦2.0の範
    囲の数値であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の蛍光体。
  3. 3.組成式(I)におけるaが0.2≦a≦1.0であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の蛍光体
  4. 4.組成式(I)におけるLnがYおよびLaのうちの
    少なくとも一種であることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の蛍光体。
  5. 5.組成式(I)におけるM^IIがCsおよびRbのう
    ちの少なくとも一種であることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の蛍光体。
  6. 6.組成式(I)におけるXおよびX’がそれぞれCl
    およびBrのいずれかであって、かつX≠X’であるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の蛍光体。
  7. 7.組成式(I)におけるxが10^−^5≦x≦10
    ^−^2の範囲の数値であることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の蛍光体。
  8. 8.化学量論的に組成式(II): LnX_3・aM^IIX’:xCe(II)(ただし、L
    nはY、La、GdおよびLuからなる群より選ばれる
    少なくとも一種の希土類元素であり;M^IはLi、N
    a、K、CsおよびRbからなる群より選ばれる少なく
    とも一種のアルカリ金属であり;Xおよびx’はそれぞ
    れCL、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくと
    も一種のハロゲンであり;そしてaは0<a≦10.0
    の範囲の数値であり、xは0<x≦0.2の範囲の数値
    である) に対応する相対比となるように蛍光体原料混合物を調製
    したのち、この混合物を弱還元性雰囲気中で500乃至
    1300℃の範囲の温度で焼成することを特徴とする組
    成式(I): LnX_3・aM^IX’:xCe^3^+(I)(た
    だし、Ln、M^I、X、X’、aおよびxの定義は前
    述と同じである) で表わされるセリウム賦活希土類ハロゲン化物系蛍光体
    の製造法。
  9. 9.組成式(II)におけるaが0.1≦a≦2.0の
    範囲の数値であることを特徴とする特許請求の範囲第8
    項記載の蛍光体の製造法。
  10. 10.組成式(II)におけるaが0.2≦a≦1.0
    であることを特徴とする特許請求の範囲第9項記載の蛍
    光体の製造法。
  11. 11.組成式(II)におけるLnがYおよびLaのう
    ちの少なくとも一種であることを特徴とする特許請求の
    範囲第8項記載の蛍光体の製造法。
  12. 12.組成式(II)におけるM^IがCsおよびRb
    のうちの少なくとも一種であることを特徴とする特許請
    求の範囲第8項記載の蛍光体の製造法。
  13. 13.組成式(II)におけるxおよびx’がそれぞれ
    ClおよびBrのいずれかであって、かつX≠X’であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第8項記載の蛍光体
    の製造法。
  14. 14.組成式(II)におけるxが10^−^5≦x≦
    10^−^2の範囲の数値であることを特徴とする特許
    請求の範囲第8項記載の蛍光体の製造法。
  15. 15.蛍光体原料混合物の焼成を700乃至1000℃
    の範囲の温度で行なうことを特徴とする特許請求の範囲
    第8項記載の蛍光体の製造法。
JP14148984A 1984-07-10 1984-07-10 螢光体およびその製造法 Granted JPS6121182A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14148984A JPS6121182A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 螢光体およびその製造法
US07/119,202 US4835398A (en) 1984-07-10 1987-11-04 Phosphor, Radiation image recording and reproducing method and radiation image storage panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14148984A JPS6121182A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 螢光体およびその製造法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6121182A true JPS6121182A (ja) 1986-01-29
JPH0475950B2 JPH0475950B2 (ja) 1992-12-02

Family

ID=15293100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14148984A Granted JPS6121182A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 螢光体およびその製造法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6121182A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007517949A (ja) * 2004-01-09 2007-07-05 スティヒテング フォール デ テフニシェ ウェテンシャッペン 高輝度及び高速の中性子シンチレータ
JP2009506971A (ja) * 2005-09-01 2009-02-19 ルードヴィッヒ・マクシミリアンス・ウニベルジテート ミュンヘン 無水ランタノイド塩溶液及びその調製方法
JP2020535585A (ja) * 2017-09-29 2020-12-03 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 荷電粒子のビーム状態を調節するための方法及び装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007517949A (ja) * 2004-01-09 2007-07-05 スティヒテング フォール デ テフニシェ ウェテンシャッペン 高輝度及び高速の中性子シンチレータ
JP2009506971A (ja) * 2005-09-01 2009-02-19 ルードヴィッヒ・マクシミリアンス・ウニベルジテート ミュンヘン 無水ランタノイド塩溶液及びその調製方法
JP2020535585A (ja) * 2017-09-29 2020-12-03 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 荷電粒子のビーム状態を調節するための方法及び装置
US11569060B2 (en) 2017-09-29 2023-01-31 Asml Netherlands B.V. Methods and apparatuses for adjusting beam condition of charged particles
US11948772B2 (en) 2017-09-29 2024-04-02 Asml Netherlands B.V. Methods and apparatuses for adjusting beam condition of charged particles

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0475950B2 (ja) 1992-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5936183A (ja) 「けい」光体の製造法
NL8201943A (nl) Luminescerend scherm.
JPH0248595B2 (ja)
JPS6121183A (ja) 螢光体およびその製造法
JPS60221483A (ja) 蛍光体
JPS6225189A (ja) 螢光体およびその製造法
JPH0475950B2 (ja)
US4871474A (en) Phosphor
JPH0527674B2 (ja)
JPS61236890A (ja) 蛍光体およびその製造法
JPS60166379A (ja) 螢光体およびその製造法
JPS61236888A (ja) 蛍光体およびその製造法
JPS61120883A (ja) 螢光体およびその製造法
JPH0526839B2 (ja)
JPS61235486A (ja) 蛍光体およびその製造法
JPS6123679A (ja) 螢光体およびその製造法
JPS5927980A (ja) 「けい」光体およびその製造法
JPS6084381A (ja) 螢光体およびその製造法
JPS5947289A (ja) 蛍光体の製造法
JPS61120885A (ja) 蛍光体およびその製造法
JPH0152433B2 (ja)
JPS6178891A (ja) 蛍光体
JPH0152434B2 (ja)
JPH06158041A (ja) 蛍光体の製造方法及び蛍光体を使用したx線画像変換パネル
JPS58217582A (ja) 「け」

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees