JPS61213655A - ガスクロマトグラフと質量分析計を備えた熱分析装置 - Google Patents
ガスクロマトグラフと質量分析計を備えた熱分析装置Info
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- JPS61213655A JPS61213655A JP5660585A JP5660585A JPS61213655A JP S61213655 A JPS61213655 A JP S61213655A JP 5660585 A JP5660585 A JP 5660585A JP 5660585 A JP5660585 A JP 5660585A JP S61213655 A JPS61213655 A JP S61213655A
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- Japan
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- gas
- valve
- trap
- flow path
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- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、熱重量測定装置や示差熱分析装置などの熱
分析装置にガスクロマトグラフと質量分析計とを結合し
た装置に関するものである。
分析装置にガスクロマトグラフと質量分析計とを結合し
た装置に関するものである。
(従来の技術)
熱分析装置は、無機化合物や有機化合物の熱分解反応、
あるいは揮発成分を含む物質の物理特性などの研究分野
で使用されている。
あるいは揮発成分を含む物質の物理特性などの研究分野
で使用されている。
一方、熱分解のメカニズムは、熱分解時に発生する・ガ
スを分析することにより、−眉唾論的な検討が可能にな
る。そのため、熱分析装置と、ガスクロマトグラフ、ガ
スクロマトグラフ−質量分析計(GC,/MS)、質量
分析計、赤外分光光度計などの分析装置とを組み合せ、
熱分解時に発生したガスを分析することが行なわれてい
る。
スを分析することにより、−眉唾論的な検討が可能にな
る。そのため、熱分析装置と、ガスクロマトグラフ、ガ
スクロマトグラフ−質量分析計(GC,/MS)、質量
分析計、赤外分光光度計などの分析装置とを組み合せ、
熱分解時に発生したガスを分析することが行なわれてい
る。
(発明が解決しようとする問題点)
熱分析装置とガスクロマトグラフやガスクロマトグラフ
−質量分析計とを組み合せる場合、熱分析装置での熱分
解過程の一定時間分の発生ガスをトラップし、その後ガ
スクロマトグラフやガスクロマトグラフ−質量分析計に
より分析が行なわれる。その場合1発生ガスと熱分解温
度との関係が不明確となる問題がある。
−質量分析計とを組み合せる場合、熱分析装置での熱分
解過程の一定時間分の発生ガスをトラップし、その後ガ
スクロマトグラフやガスクロマトグラフ−質量分析計に
より分析が行なわれる。その場合1発生ガスと熱分解温
度との関係が不明確となる問題がある。
熱分析装置と質量分析計や赤外分光光度計とを組み合せ
る場合、発生ガスは一般に混合ガスであることが多いが
、質量分析計や赤外分光光度計は混合物の分析には不適
当である。
る場合、発生ガスは一般に混合ガスであることが多いが
、質量分析計や赤外分光光度計は混合物の分析には不適
当である。
この発明は、熱分解時の熱分解温度と発生ガスの定性・
定量を明確にし、分解過程のメカニズムの研究に対して
すぐれた情報を得ることができるように、熱分析装置の
反応器から発生するガスを時々刻々に定性・定量するこ
とができる分析手段を備えた熱分析装置を提供すること
を目的とするものである。
定量を明確にし、分解過程のメカニズムの研究に対して
すぐれた情報を得ることができるように、熱分析装置の
反応器から発生するガスを時々刻々に定性・定量するこ
とができる分析手段を備えた熱分析装置を提供すること
を目的とするものである。
(問題点を解決するための手段)
この発明の装置は、実施例を示す第1図を参照して示す
と、ルツボ4を収容する反応器6内に第1のキャリアガ
スが流され、その反応器6の温度を変化させて、温度と
、ルツボ4内の試料の物理化学的挙動を測定する熱分析
装置(図では熱天秤)2と、この熱分析装置2の反応器
出口に接続され。
と、ルツボ4を収容する反応器6内に第1のキャリアガ
スが流され、その反応器6の温度を変化させて、温度と
、ルツボ4内の試料の物理化学的挙動を測定する熱分析
装置(図では熱天秤)2と、この熱分析装置2の反応器
出口に接続され。
複数の流路切換えを行なう切換えバルブ24と、この切
換えバルブ24に接続された第2のキャリアガス流路2
8と、切換バルブ24により入口が反応器6又はキャリ
アガス流路28に切り換えて接続されるトラップ30と
、切換バルブ24により入口がキャリアガス流路28又
はトラップ30の出口に切り換えて接続されるガスクロ
マトグラフカラム32と、質量分析計36と、ガスクロ
マトグラフカラム32の出口と質量分析計36の間。
換えバルブ24に接続された第2のキャリアガス流路2
8と、切換バルブ24により入口が反応器6又はキャリ
アガス流路28に切り換えて接続されるトラップ30と
、切換バルブ24により入口がキャリアガス流路28又
はトラップ30の出口に切り換えて接続されるガスクロ
マトグラフカラム32と、質量分析計36と、ガスクロ
マトグラフカラム32の出口と質量分析計36の間。
に設けられたセパレータ44と、開閉バルブ46を有し
切換バルブ24とセパレータ44との間に設けられ切換
バルブ24により反応器6に接続される流路34と、を
備えて構成されている。
切換バルブ24とセパレータ44との間に設けられ切換
バルブ24により反応器6に接続される流路34と、を
備えて構成されている。
(作用)
熱分析装置の反応器6の出口が流路34に接続されるよ
うに切換えバルブ24を切り換え、かつ、流路3.4の
開閉バルブ46を開けておくことにより、反応器6から
の発生ガスがセパレータ44を経て直接に質量分析計3
6に導かれ時々刻々分析される。
うに切換えバルブ24を切り換え、かつ、流路3.4の
開閉バルブ46を開けておくことにより、反応器6から
の発生ガスがセパレータ44を経て直接に質量分析計3
6に導かれ時々刻々分析される。
反応器6の出口とトラップ30の入口とが接続されるよ
うに切換えバルブ24を切り換えると。
うに切換えバルブ24を切り換えると。
反応器6からの発生ガスがトラップ30にトラップされ
る。
る。
また、トラップ30の入口がキャリアガス流路28に接
続され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフカラ
ム32の入口に接続されるように切換えバルブ24を切
り換えると、トラップ30にトラップされていた種々の
化合物がガスクロマトグラフカラム32で分離され、質
量分析計36で検出される。
続され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフカラ
ム32の入口に接続されるように切換えバルブ24を切
り換えると、トラップ30にトラップされていた種々の
化合物がガスクロマトグラフカラム32で分離され、質
量分析計36で検出される。
(実施例)
第1図は、熱分析装置として熱重量測定装置である熱天
秤を用い、質量分析計として四重極質量分析計を用いた
実施例を表わす。
秤を用い、質量分析計として四重極質量分析計を用いた
実施例を表わす。
2は熱天秤で、試料がルツボ4内に入っており、ルツボ
4は反応lIG内に収容されるようになっている6反応
器6の外側には加熱炉8が設けられ、加熱炉8の温度は
加熱炉8と結合した温度コントローラ(図示時)により
制御される1反応器6の下端にはガス出ロガ開けられて
いる。IOは熱天秤2のバランスをとる分銅である。
4は反応lIG内に収容されるようになっている6反応
器6の外側には加熱炉8が設けられ、加熱炉8の温度は
加熱炉8と結合した温度コントローラ(図示時)により
制御される1反応器6の下端にはガス出ロガ開けられて
いる。IOは熱天秤2のバランスをとる分銅である。
熱天秤2は反応器6と一体をなす容器12中に収容され
、この容器□12にはキャリアガス入口14が開けられ
、フローコントローラ16からバルブ18を経てキャリ
アガスとしてヘリウム又は空気が供給される。20は安
全弁である。 ・反応器6内の試料は加熱炉8で加熱さ
れ、試料から発生したガスは、容量入口14から供給さ
れるキャリアガスとともに反応器6の下端の出口から流
路22を経て、切換えバルブとしての六方バルブ24に
導かれるように、流路22により反応器6の出口と六方
バルブ24が接続されている。
、この容器□12にはキャリアガス入口14が開けられ
、フローコントローラ16からバルブ18を経てキャリ
アガスとしてヘリウム又は空気が供給される。20は安
全弁である。 ・反応器6内の試料は加熱炉8で加熱さ
れ、試料から発生したガスは、容量入口14から供給さ
れるキャリアガスとともに反応器6の下端の出口から流
路22を経て、切換えバルブとしての六方バルブ24に
導かれるように、流路22により反応器6の出口と六方
バルブ24が接続されている。
流路22は試料から発生したガスが吸着するのを防止す
るために、室温から400℃までの所定の温度に加熱で
きるようになっている。
るために、室温から400℃までの所定の温度に加熱で
きるようになっている。
六方バルブ24にはフローコントローラ26からキャリ
アガス(ヘリウム)が供給されるキャリアガス流路28
.トラップ30の入口と出口、ガスクロマトグラフカラ
ム32の入口、及び質量分析計36につながる流路34
の入口が接続されている。この六方バルブ24の切り換
え操作により、流路22がトラップ30の入口又は流路
34の入口に接続され、キャリアガス流路28がトラッ
プ30の入口又はガスクロマトグラフカラム32の入口
に接続され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフ
カラム32の入口又流路34の入口に接続されるように
切り換えられる。
アガス(ヘリウム)が供給されるキャリアガス流路28
.トラップ30の入口と出口、ガスクロマトグラフカラ
ム32の入口、及び質量分析計36につながる流路34
の入口が接続されている。この六方バルブ24の切り換
え操作により、流路22がトラップ30の入口又は流路
34の入口に接続され、キャリアガス流路28がトラッ
プ30の入口又はガスクロマトグラフカラム32の入口
に接続され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフ
カラム32の入口又流路34の入口に接続されるように
切り換えられる。
トラップ30は冷却された状態で流路22からのガスを
通すことにより、そのガスに含まれる試料からの発生ガ
ス成分を吸着してトラップし、加熱されることにより吸
着ガス成分を放出する。
通すことにより、そのガスに含まれる試料からの発生ガ
ス成分を吸着してトラップし、加熱されることにより吸
着ガス成分を放出する。
ガスクロマトグラフカラム32は、その入口部分38が
第2図に示されるように、六方バルブ24に接続される
流路40と、ゴム栓42により封止されマイクロシリン
ジにより試料注入が可能な試料導入口とを備えている。
第2図に示されるように、六方バルブ24に接続される
流路40と、ゴム栓42により封止されマイクロシリン
ジにより試料注入が可能な試料導入口とを備えている。
再び、第1図に戻って説明すると、ガスクロマトグラフ
カラム32の出口はセパレータ44を経て四重極質量分
析計36へ接続されている。セパレータ44は供給され
るガスからキャリアガスを除去し、分析対象ガス成分の
濃度を高めるものである。
カラム32の出口はセパレータ44を経て四重極質量分
析計36へ接続されている。セパレータ44は供給され
るガスからキャリアガスを除去し、分析対象ガス成分の
濃度を高めるものである。
六方バルブ24とセパレータ44の間にはまた、反応器
6での発生ガスを直接質量分析計36へ導入するための
流路34が設けられており、この流路34には開閉バル
ブ46が設けられ、開閉バルブ46により流路34の開
閉操作を行なうようになっている。
6での発生ガスを直接質量分析計36へ導入するための
流路34が設けられており、この流路34には開閉バル
ブ46が設けられ、開閉バルブ46により流路34の開
閉操作を行なうようになっている。
また、流路34において、六方バルブ24と開閉バルブ
46の間には流路34のガスを放出することができるス
プリッタ48が設けられているとともに、フローコント
ローラ50から抵抗管52を経てキャリアガス(例えば
ヘリウム)が供給されるようになっている。このように
フローコントローラ50からキャリアガスを付加するの
は、ガス流量を調節して開閉バルブ46での試料の広が
りや開閉バルブ46とセパレータ44の間での試料の広
がりを防止し、またセパレータ44の分離効率を高める
ためのものである。
46の間には流路34のガスを放出することができるス
プリッタ48が設けられているとともに、フローコント
ローラ50から抵抗管52を経てキャリアガス(例えば
ヘリウム)が供給されるようになっている。このように
フローコントローラ50からキャリアガスを付加するの
は、ガス流量を調節して開閉バルブ46での試料の広が
りや開閉バルブ46とセパレータ44の間での試料の広
がりを防止し、またセパレータ44の分離効率を高める
ためのものである。
次に、この実施例の動作を各操作モード別に説明する。
(A)熱分析装置−質量分析計直結測定モード(第1図
) 六方バルブ24において、流路22が流路34に接続さ
れ、キャリアガス流路28がトラップ30の入口に接続
され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフカラム
32の入口に接続されるように六方バルブ24を設定す
る。 また、流路34の開閉バルブ46を開状態にする
。
) 六方バルブ24において、流路22が流路34に接続さ
れ、キャリアガス流路28がトラップ30の入口に接続
され、トラップ30の出口がガスクロマトグラフカラム
32の入口に接続されるように六方バルブ24を設定す
る。 また、流路34の開閉バルブ46を開状態にする
。
このとき、試料から発生したガスは、キャリアガスとと
もに実線の矢印で示されるように反応器6→流路22→
六方バルブ24→流路34→開閉バルブ46→セパレ一
タ44→質量分析計36へと流れ、時々刻々分析されて
いく。
もに実線の矢印で示されるように反応器6→流路22→
六方バルブ24→流路34→開閉バルブ46→セパレ一
タ44→質量分析計36へと流れ、時々刻々分析されて
いく。
なお、流路34において試料からの発生ガスを含むガス
は、スプリッタ48から一部放出されるとともに、フロ
ーコントローラ50から抵抗管52を経てキャリアガス
が付加され、流路34を流れるガス流量が調整される。
は、スプリッタ48から一部放出されるとともに、フロ
ーコントローラ50から抵抗管52を経てキャリアガス
が付加され、流路34を流れるガス流量が調整される。
また、トラップ30やガスクロマトグラフカラム32は
、不使用時にもキャリアガスを流しておくのが一般的で
あり、この場合にも少量(例えば5mΩ/分程度)のキ
ャリアガスが破線の矢印で示されるようにキャリアガス
流路28→六方バルブ24→トラツプ30→六方バルブ
24→ガスクロマトグラフカラム32→セパレータ44
へと流れる。
、不使用時にもキャリアガスを流しておくのが一般的で
あり、この場合にも少量(例えば5mΩ/分程度)のキ
ャリアガスが破線の矢印で示されるようにキャリアガス
流路28→六方バルブ24→トラツプ30→六方バルブ
24→ガスクロマトグラフカラム32→セパレータ44
へと流れる。
(B)トラップモード(第3図)
トラップ30を冷却し、六方バルブ24において、流路
22がトラップ30の入口に接続され、トラップ30の
出口が流路34に接続され、キャリアガス流路28がガ
スクロマトグラフカラム32の入口に接続されるように
、六方バルブ24を設定する。また、流路34の開閉バ
ルブ46を閉状態にする。
22がトラップ30の入口に接続され、トラップ30の
出口が流路34に接続され、キャリアガス流路28がガ
スクロマトグラフカラム32の入口に接続されるように
、六方バルブ24を設定する。また、流路34の開閉バ
ルブ46を閉状態にする。
このとき、試料から発生したガスを含むガスは、実線の
矢印で示されるように流路22→六方バルブ24→トラ
ツプ3oへと流れて発生ガス成分がトラップされ、残余
ガスが六方バルブ24→流路34→スプリツタ48と流
れて放出される。
矢印で示されるように流路22→六方バルブ24→トラ
ツプ3oへと流れて発生ガス成分がトラップされ、残余
ガスが六方バルブ24→流路34→スプリツタ48と流
れて放出される。
トラップモードでは、開閉バルブ46は閉状態にしてお
くのが普通であるが、残余ガスをモニタするために時々
開状態にしてセパレータ44→質量分析計36へと導く
こともある。
くのが普通であるが、残余ガスをモニタするために時々
開状態にしてセパレータ44→質量分析計36へと導く
こともある。
また、少量のキャリアガスが、破線の矢印で示されるよ
うにフローコントローラ26→キヤリアガス流路28→
六方バルブ24→ガスクロマトグラフカラム32→セパ
レータ44へと流されている。
うにフローコントローラ26→キヤリアガス流路28→
六方バルブ24→ガスクロマトグラフカラム32→セパ
レータ44へと流されている。
(C)ガスクロマトグラフ−質量分析計測定モード(第
4図) トラップ30を加熱し、六方バルブ24においてフロー
コントローラ26からのキャリアガス流路28がトラッ
プ30の入口に接続され、トラップ30の出口がガスク
ロマトグラフカラム32の入口に接続され、流路22が
流路34に接続されるように、六方バルブ24を設定す
る。また、流路34の開閉バルブ4oを閉状態にする。
4図) トラップ30を加熱し、六方バルブ24においてフロー
コントローラ26からのキャリアガス流路28がトラッ
プ30の入口に接続され、トラップ30の出口がガスク
ロマトグラフカラム32の入口に接続され、流路22が
流路34に接続されるように、六方バルブ24を設定す
る。また、流路34の開閉バルブ4oを閉状態にする。
このとき、フローコントローラ26からのキャリアガス
が実線の矢印で示されるように、 流路28→六方バル
ブ24→トラツプ3o→六方バルブ24→ガスクロマト
グラフカラム32→セパレータ44へと流れ、それに伴
なってトラップ3oにトラップされていた試料からの発
生ガスもキャリアガスとともに移動し、ガスクロマトグ
ラフカラム32で分離された後、セパレータ44を経て
質量分析計36へ導入され、分析される。
が実線の矢印で示されるように、 流路28→六方バル
ブ24→トラツプ3o→六方バルブ24→ガスクロマト
グラフカラム32→セパレータ44へと流れ、それに伴
なってトラップ3oにトラップされていた試料からの発
生ガスもキャリアガスとともに移動し、ガスクロマトグ
ラフカラム32で分離された後、セパレータ44を経て
質量分析計36へ導入され、分析される。
また、熱天秤2を収容する容器12内にも少量のキャリ
アガスが流され、破線の矢印で示されるように反応器6
→流路22→六方バルブ24→流路34へと流され、ス
プリッタ48がら放出される。
アガスが流され、破線の矢印で示されるように反応器6
→流路22→六方バルブ24→流路34へと流され、ス
プリッタ48がら放出される。
次に、この実施例を用いた熱分析装置−質量分析計直結
測定モードでの測定例を第5図に示す。
測定モードでの測定例を第5図に示す。
60は熱天秤における反応器6の温度であり。
62はその反応器6の温度変化に対応する試料の重量変
化を示すものである。64は四重極質量分析計36で検
出された全イオン強度を表わし、試料から発生する全体
のガス量に対応している。全イオン強度64は重量62
が減少するところで増大している。
化を示すものである。64は四重極質量分析計36で検
出された全イオン強度を表わし、試料から発生する全体
のガス量に対応している。全イオン強度64は重量62
が減少するところで増大している。
66−1〜66−5はマスクロマトグラムであり、それ
ぞれ異なるm/z(mは質量数、2は荷電数)をもつイ
オンの強度である。マスクロマトグラムのデータとして
採取するm/zの値は、前述の(B) トラップモード
及び(C)ガスクロマトグラフ−質量分析計測定モード
によって別途測定し、その測定結果から発生ガスに含ま
れる成分を分析し、その分析結果をもとにして決定され
たものである。
ぞれ異なるm/z(mは質量数、2は荷電数)をもつイ
オンの強度である。マスクロマトグラムのデータとして
採取するm/zの値は、前述の(B) トラップモード
及び(C)ガスクロマトグラフ−質量分析計測定モード
によって別途測定し、その測定結果から発生ガスに含ま
れる成分を分析し、その分析結果をもとにして決定され
たものである。
このようなマスクロマトグラムを測定すれば。
温度変化に伴なう重量変化と、各重量変化の段階での発
生ガス成分との関係が明らかになる。
生ガス成分との関係が明らかになる。
(発明の効果)
この発明によれば、切換えバルブの切換えにより、熱分
析装置で発生したガスを直接質量分析計に導入して時々
刻々の発生ガスの変化を測定する直結測定モードと、発
生ガスを一旦トラップした後、ガスクロマトグラフ−質
量分析計により分離して同定するモードとに切り換える
ことができる。
析装置で発生したガスを直接質量分析計に導入して時々
刻々の発生ガスの変化を測定する直結測定モードと、発
生ガスを一旦トラップした後、ガスクロマトグラフ−質
量分析計により分離して同定するモードとに切り換える
ことができる。
したがってガスクロマトグラフ−質量分析計による測定
モードで発生ガスに含まれるガス成分を測定し、そこで
、8N定された成分のm/zのイオン強度を採取するこ
とにより1発生ガス成分の時々刻々の変化を測定するこ
とができるようになる。
モードで発生ガスに含まれるガス成分を測定し、そこで
、8N定された成分のm/zのイオン強度を採取するこ
とにより1発生ガス成分の時々刻々の変化を測定するこ
とができるようになる。
そして1両測定モードで、熱分析装置から切換えバルブ
に至る流路が共通であるので、同一条件での測定が行な
われることになる。
に至る流路が共通であるので、同一条件での測定が行な
われることになる。
このように1両測定モードを切換えバルブで切り換える
ようにしたこの発明により1時々刻々の発生ガス分析が
正しく行なわれるようになる。
ようにしたこの発明により1時々刻々の発生ガス分析が
正しく行なわれるようになる。
第1図はこの発明の一実施例を熱分析装置−質量分析計
直結測定モードとして示す概略線図、第2図はガスクロ
マトグラフカラムの入口部を示す部分断面図、第3図及
び第4図は同実施例の他の動作モードを表わす概略線図
で、それぞれトラップモード及びガスクロマトグラフ−
質量分析計測定モードに対応している。第5図は同実声
例を用いて測定されるデータの例を示すグラフである。 2・・・・・・熱天秤、 4・・・・・・ルツボ、 6
・・・・・・反応器、8・・・・・・加熱炉、 12
・・・・・・容器、 16,26゜50・・・・・・
キャリアガスのフローコントローラ。 22.34・・・・・・流路、 24・・・・・・六方
バルブ。 28・・・・・・キャリアガス流路、 30・・・・
・・トラップ。 32・・・・・・ガスクロマトグラフカラム、 36
・・・・・・四重極質量分析計、 44・・・・・・セ
パレータ。 46・・・・・・開閉バルブ。
直結測定モードとして示す概略線図、第2図はガスクロ
マトグラフカラムの入口部を示す部分断面図、第3図及
び第4図は同実施例の他の動作モードを表わす概略線図
で、それぞれトラップモード及びガスクロマトグラフ−
質量分析計測定モードに対応している。第5図は同実声
例を用いて測定されるデータの例を示すグラフである。 2・・・・・・熱天秤、 4・・・・・・ルツボ、 6
・・・・・・反応器、8・・・・・・加熱炉、 12
・・・・・・容器、 16,26゜50・・・・・・
キャリアガスのフローコントローラ。 22.34・・・・・・流路、 24・・・・・・六方
バルブ。 28・・・・・・キャリアガス流路、 30・・・・
・・トラップ。 32・・・・・・ガスクロマトグラフカラム、 36
・・・・・・四重極質量分析計、 44・・・・・・セ
パレータ。 46・・・・・・開閉バルブ。
Claims (1)
- (1)試料を収容する反応器内に第1のキャリアガスが
流され、その反応器の温度を変化させて温度と試料の物
理化学的挙動を測定する熱分析装置と、 この熱分析装置の反応器出口に接続され、複数の流路切
換えを行なう切換えバルブと、 この切換えバルブに接続された第2のキャリアガス流路
と、 前記切換バルブにより入口が前記反応器又は前記第2の
キャリアガス流路に切り換えて接続されるトラップと、 前記切換バルブにより入口が前記第2のキャリアガス流
路又は前記トラップの出口に切り換えて接続されるガス
クロマトグラフカラムと、 質量分析計と、 前記ガスクロマトグラフカラム出口と前記質量分析計の
間に設けられたセパレータと、 開閉バルブを有し前記切換バルブと前記セパレータとの
間に設けられ前記切換バルブにより前記反応器に接続さ
れる流路と、を備えた熱分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60056605A JPH0680423B2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ガスクロマトグラフと質量分析計を備えた熱分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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